JP6482244B2 - 測定機へのワーク載置方法および測定機 - Google Patents

Description

本発明は、測定機へのワーク載置方法および測定機に関する。

物品の寸法あるいは形状を測定するために、多様な測定機が使用されている。
例えば、物品の表面上の各点位置を測定するために、三次元測定機が使用されている。物品の表面の微細な形状や輪郭あるいは粗さを測定するために、表面性状測定機（形状測定機、輪郭測定機または表面粗さ測定機）が使用されている。円筒状などの物品の真円度を測定するために、真円度測定機が使用されている。

これらの測定機では、測定対象であるワークは、測定用のテーブル（載物台）に載置される。そして、各測定内容に応じた測定用のヘッドを、テーブルに対して相対移動させながら、ワークの各部分に対する測定を行っている。
テーブルとヘッドとの相対移動には、様々な形式が用いられるが、多くの測定機ではテーブルの移動が行われており、その移動機構には測定機としての精度を確保するために高精度なガイド機構あるいは軸受機構が採用されている。

例えば、真円度測定機においては、ワークを回転させつつその周面を測定するために、回転テーブルが使用される。回転テーブルには、高い回転精度を実現するために、エアベアリングが採用される（特許文献１参照）。
回転テーブルのエアベアリングにおいて、回転側であるロータと固定側であるステータとの間隙には数μｍ〜十数μｍ（ミクロン）の空気層が形成され、ロータはステータに対して空気層の剛性によって浮上支持され、非接触での回転を実現している。
ロータおよびステータは、空気層を介して対向する受圧面を有する。それぞれの受圧面の形状は、真円度測定機の主要な性能である回転精度に大きく影響する。したがって、高い回転精度を得ることを目的として、エアベアリングのロータおよびステータの各受圧面の仕上げ加工には、サブミクロンオーダの幾何精度が要求される。

近年、測定機における測定対象の巨大化が進んでいる。例えば、風力発電ロータ、水力タービン等の巨大なワークの真円度測定の要求がある。
これらの巨大なワークを、測定機のテーブルに載置するためには、クレーンやリフター等の揚重装置による吊り込みが行われる。
しかし、小型のワークをテーブル上に作業者がていねいに載置する状況に比べて、クレーンでの巨大なワークの吊り込み作業では細かな動作を期待できない。

すなわち、クレーンでの巨大なワークの吊り込み作業では、ワークをテーブル面上近傍に移動させた後、ワークやテーブルの損傷を防止するため、衝突が発生しないようにワークを低速で降下させる必要がある。
しかし、前述のような細かな動作は、熟練者には可能であっても、一般の作業者には困難である。さらに、一般のクレーンやリフターは十分な低速度の設定ができなかったり、動作が間欠的であったりする。
このような背景から、クレーン等による吊り込みにおいては、ワークと測定テーブルとが衝突しがちである。
そして、クレーン等で吊り込むワークの質量が大きい場合、その衝撃も大きくなり、測定機の高精度ではあるが頑強ではないガイド機構や軸受機構を損傷する等の可能性がある。

例えば、前述した真円度測定機の回転テーブルにワークを積載する場合、ワークの荷重は、ロータとステータとの間の空気層で受け止められる。ここで、積載するワークが巨大で重量が大きく、かつ衝撃的に積載されると、このエアベアリングの空気層が有する負荷容量を超えて、ロータおよびステータの各対向面が接触してしまう可能性がある。このような接触があると、エアベアリングの対向面に損傷が生じ、回転精度が劣化する虞があるとともに、さらに回転状態での固体接触による大きな損傷（カジリ）が生じると、回転動作自体が不能になる虞がある。
このような問題に対して、いくつかの対策が提案されている。

特許文献２には、三次元測定機にワークを搬入するための装置および方法が示されている。特許文献２では、測定機の定盤の上に可搬定盤を設置する。そして、可搬定盤を測定手段の下方から側方の移動台上へと移動させ、この状態で上方からクレーンでワークを吊り込み、可搬定盤上に載置する。そして、載置されたワークとともに可搬定盤を定盤の上つまり測定手段の下方に引き込み、測定を行う。このような構成では、クレーンで吊り込まれる際の衝撃は側方の移動台で負担され、測定機の定盤への影響を避けることができる。

特許文献３には、防振台を備えた測定装置において、ワーク受け渡し時にワークテーブルが振動してワークが破損するのを防止するための構成が示されている。特許文献３では、ワークの受け渡しの際に、防振台のワークテーブルを下方向に引き寄せてロック可能な構成とする。このようにロックすることで、ワークの受け渡し時に、外力によりワークテーブルが振動してワークを破損することを防止しつつ、ロックを解除することで本来の防振機能を利用できるようにしている。

実公平０３−００８９６９号公報 特公平０２−０６２００６号公報 特開２００３−０４５４９２号公報

前述した特許文献２の構成では、搬入時にクレーンで吊り込まれるワークが可搬定盤に衝突しても、測定機の定盤への影響は解消できる。
しかし、可搬定盤およびこれを側方へ引き出す機構が必要であり、構造の複雑化が避けられない。さらに、特許文献２の構成は、搬入されるワークと可搬定盤との衝突自体を解消できるものではない。そして、可搬定盤とワークとの衝突が生じれば、可搬定盤およびワークに損傷を与える可能性がある。

前述した特許文献３の構成では、ワークの搬入時に、外力によりワークテーブルが振動してワークを破損することは防止できる。
しかし、特許文献３の構成は、搬入されるワークとワークテーブルとの衝突自体を解消できるものではない。そして、ワークテーブルとワークとの衝突が生じれば、ワークおよびワークテーブルないしは測定機に損傷を与える可能性がある。

本発明の目的は、構造を複雑化させることなく、搬入時のワークの衝突を解消できる、測定機へのワーク載置方法および測定機を提供することにある。

本発明の測定機へのワーク載置方法は、測定機のテーブルにワークを載置する測定機へのワーク載置方法であって、前記ワークを前記テーブルの上方に保持可能な保持装置と、前記テーブルの上面を昇降させる昇降装置とを用い、前記保持装置で前記ワークを前記テーブルの上方に保持しておき、前記昇降装置で前記テーブルの上面を上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させ、前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させた後、前記保持装置による前記ワークの保持を解除することを特徴とする。

このような本発明では、上方に保持されたワークに対してテーブルを上昇させることにより、ワークを保持装置で保持した状態のまま、ワークとテーブルとを接触させることができる。そして、既に接触した状態で、荷重をテーブル側に負担させ、保持装置の負担を解除することで、ワークをテーブルに載置することができる。
すなわち、ワークの荷重の保持装置からテーブルへの移行が、予めワークとテーブルとを接触させた状態で行われるため、衝突という状況が生じない。

そして、本発明では、ワークを保持する保持装置は、従来のクレーン等を利用することができ、テーブルを昇降させる昇降装置としては、測定機に既存の機構を用いることができ、あるいは追加的な構成を用いる場合でも簡単な装置構成にとどめることができる。
このように、本発明により、前述した目的を達成することができる。

なお、本発明が適用される測定機としては、物品の寸法あるいは形状を測定するための多様な測定機が該当する。
例えば、物品の表面上の各点位置を測定する三次元測定機、物品の表面の微細な形状や輪郭あるいは粗さを測定する表面性状測定機（形状測定機、輪郭測定機または表面粗さ測定機）、円筒状などの物品の真円度を測定する真円度測定機が適用できる。
そして、テーブルとしては、平面的に移動するＸＹテーブル（三次元測定機など）あるいは回転テーブル（真円度測定機など）が利用できる。平面的に移動するテーブルとして、Ｘ軸またはＹ軸の一軸方向の移動だけでもよい。一方、ＸＹ二軸に加えて、Ｚ軸方向に移動可能でもよい。

本発明の測定機へのワーク載置方法において、前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させる操作は、前記テーブルを上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させた後、そのまま前記テーブルの上昇を継続させて前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させる操作であることが望ましい。

このような本発明では、ワークとテーブルとが接触した状態で、テーブルを僅かに上昇させる動作により、ワークの荷重負担を保持装置からテーブルへ転換することができる。このため、ワークの荷重をテーブルで負担させる際に、ワークはテーブル上方に保持したまま動かす必要がない。
ワークの質量が大きい場合、ワークを下降させるためには、保持装置の微妙な操作が必要になるが、本発明によればワークを動かさないため、このような熟練が必要な微妙な操作を解消することができる。

なお、本発明の測定機へのワーク載置方法において、ワークの荷重をテーブルに負担させる操作は、ワークの下面に接触した状態でテーブルを停止させ、この状態でワークを僅かに下降させる動作であってもよい。
このようなワークを僅かに下降させる動作は、保持装置によるワークの保持を解除する動作により生じさせることができる。さらに、テーブルの上昇およびワークの下降の両方により、荷重負担の保持装置からテーブルへの転換を行ってもよい。

本発明の測定機へのワーク載置方法において、前記保持装置で前記ワークを基準位置にある前記テーブルの上方に保持し、前記昇降装置で前記テーブルの上面を前記基準位置から上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させ、前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させた後、前記保持装置による保持を解除し、前記昇降装置で前記テーブルの上面を下降させて前記基準位置に復帰させる、という手順とすることができる。

このような本発明では、テーブルを基準位置（測定機で測定を行う際の測定位置など）から上昇させ、ワークに接触し、荷重負担した後、ワークおよびテーブルを基準位置に復帰させることができる。従って、ワークの受け渡しを基準位置よりも上方で行うことができ、ワークの搬入にあたって周囲の機器との干渉などを未然に回避することができる。

本発明の測定機へのワーク載置方法において、前記昇降装置で前記テーブルの上面を基準位置より下方の待機位置まで下降させておき、前記保持装置で前記ワークを前記テーブルの上方かつ前記基準位置より下方に保持し、前記昇降装置で前記テーブルの上面を前記待機位置から上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させ、前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させた後、前記保持装置による保持を解除し、前記昇降装置で前記テーブルの上面を上昇させて前記基準位置に復帰させる、という手順とすることができる。

このような本発明では、テーブルを基準位置（測定機で測定を行う際の測定位置など）から待機位置まで待避させておき、この状態でワークを搬入するため、接触前のワークを基準位置またはその近傍に保持することができる。従って、ワークとテーブルとの接触ないしその後のテーブルの基準位置への復帰のための移動量を最小限にすることができる。

本発明の測定機は、ワークが上面に載置されるテーブルを有しかつベース上に設置されるテーブル装置と、前記テーブルに載置された前記ワークを測定する測定装置と、前記テーブルから前記ベースまでの間に設置されて前記テーブルを前記ベースに対して昇降させる昇降装置と、前記昇降装置を制御する制御装置と、を有し、前記制御装置は、前記テーブルの上方に前記ワークが保持された状態で、前記テーブルを上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させた後、前記ワークの荷重を前記テーブル装置に負担させる、ことを特徴とする。

このような本発明では、前述した本発明の測定機へのワーク載置方法で述べた通りの操作を行うことで、同方法で述べた通りの作用効果を得ることができる。
この際、前述したワーク載置方法における保持装置としては、外部のクレーン等の揚重装置を用いればよい。

本発明の測定機において、前記昇降装置は、前記テーブル装置と前記ベースとの間に設けられた除振台であって、前記ベースに配置される下面部材と、前記テーブル装置を支持する上面部材と、前記下面部材に設置されて前記上面部材を支持するガススプリングと、を備えた除振台と、前記ガススプリングへのガス供給を行うガス経路と、前記ガス経路によるガス供給を制御するための制御弁と、を有し、前記制御装置は、前記制御弁による前記ガススプリングへのガス供給を制御することで、前記昇降装置の動作を制御することが好ましい。

このような本発明では、既存の除振台に、ガススプリングへのガス供給を行うガス経路と、このガス経路におけるガス供給を制御する制御弁とを追加することで、前述した本発明の測定機へのワーク載置方法における昇降装置をきわめて容易に実現することができる。

本発明の測定機において、前記除振台は、前記上面部材と前記下面部材との間に設置された複数の前記ガススプリングと、前記ガススプリングにそれぞれ接続され、前記ガススプリングが縮んだ際に前記ガス経路からのガスを追加し、かつ前記ガススプリングが延びた際には前記ガススプリングからガスを排出する調整弁と、を有する傾き調整機能付き除振台であり、前記昇降装置は、前記除振台と、前記調整弁を強制開閉させる弁開閉機構とを有し、前記制御装置は、前記弁開閉機構により前記調整弁を強制開閉することで、前記ガススプリングへのガス供給を制御することが好ましい。

このような本発明では、既存の傾き調整機能付き除振台が、ガス経路および調整弁を備えているため、この調整弁を弁開閉機構で強制開閉させることで、昇降装置の制御弁として機能させることができ、これらを利用して昇降装置を構成するとともに、制御装置による制御を可能とする。
弁開閉機構としては、上面部材が傾いた際に制御弁に加わる変位等と同様な状況を、仮想的に実現できるものであればよく、制御弁を外部操作するソレノイドや、シリンダ装置等を適宜利用することができる。
従って、本発明では、既存の傾き調整機能付き除振台に加えて、弁開閉機構の僅かな追加によって、昇降装置を実現することができ、追加的な装置構成を一層簡素にすることができる。

本発明の測定機において、前記昇降装置は、前記テーブル装置に設置されて前記テーブルを昇降可能に支持する昇降機構であるとしてもよい。
このような昇降機構としては、テーブルの下面を支持するエアシリンダ等をテーブル装置に設置し、このエアシリンダ等を伸縮させることで、テーブルをテーブル装置の本体に対して昇降させる機構などが利用できる。

このような本発明では、昇降装置がテーブル装置に内蔵されることになるため、測定機としての構成の簡素化、小型化を図ることができる。
また、ワークとともに昇降するのがテーブルだけになり、テーブル装置の全体は昇降させなくてよいため、昇降のための駆動力を削減することができる。

本発明の測定機へのワーク載置方法および測定機によれば、テーブルを昇降させることにより、ワークの荷重負担に先立ってワークの下面と接触させておくことができ、構造を複雑化させることなく、搬入時のワークの衝突を解消することができる。

本発明の第１実施形態の全体構成を示す図。 前記第１実施形態の制御系統を示す図。 前記第１実施形態の調整弁の通常状態を示す断面図。 前記第１実施形態の調整弁の下降状態を示す断面図。 前記第１実施形態の調整弁の上昇状態を示す断面図。 前記第１実施形態の調整弁の強制開状態を示す断面図。 前記第１実施形態の前提となる従来の除振台を示す図。 前記従来の除振台の調整弁を示す断面図。 前記従来の除振台の調整弁の下降状態を示す断面図。 前記従来の除振台の調整弁の上昇状態を示す断面図。 前記第１実施形態での動作を示すフロー図。 前記第１実施形態での動作を示す模式図。 本発明の第２実施形態の制御系統を示す図。 前記第２実施形態の動作を示すフロー図。 前記第２実施形態での動作を示す模式図。 本発明の第３実施形態の構成を示す図。 本発明の第４実施形態の構成を示す図。 前記第４実施形態のテーブルの支持構造を示す断面図。 前記第４実施形態のテーブルの下限状態を示す断面図。 前記第４実施形態のテーブルの上限状態を示す断面図。 本発明の第５実施形態の構成を示す図。

〔第１実施形態〕
図１において、真円度測定機１は本発明に基づく測定機である。真円度測定機１はテーブル２を有し、その上面には測定対象のワーク３が載置される。
本実施形態において、ワーク３は、作業者が手作業で搬送可能な一般的な重量よりも大きい。このために、ワーク３をテーブル２に載置するために、ワーク３を吊り下げるクレーン４が使用される。クレーン４は本発明の保持装置に相当する。

このようなクレーン４で重量の大きなワーク３を搬入する際に、ワーク３とテーブル２との衝突を防止するために、本実施形態では、本発明に基づく測定機へのワーク載置方法を採用する。

測定機である真円度測定機１は、測定機本体１０を有し、その上面には測定装置２０およびテーブル装置３０が設置されている。測定機本体１０は、除振台４０を介して平坦なベース９上に支持されている。
測定機本体１０は、高剛性を有する箱状の構造体であり、上面に設置された測定装置２０およびテーブル装置３０の相対位置を高精度に維持する。
真円度測定機１は、さらに、テーブル装置３０および除振台４０に加圧エアを供給するエア供給装置５０、および各部の動作を制御する制御装置６０を備えている。

エア供給装置５０は、アキュムレータあるいはコンプレッサ等の加圧エア源５１と、加圧エア源５１からの加圧エアの濾過および調圧を行うフィルタレギュレータ５２を有する。
加圧エア源５１からの加圧エアは、フィルタレギュレータ５２を通った後、配管５３によりテーブル装置３０に供給され、配管５４により除振台４０に供給される。

制御装置６０は、パーソナルコンピュータ等で構成され、所定の動作プログラムに従って測定装置２０、テーブル装置３０、除振台４０およびエア供給装置５０の動作を制御する。なお、測定装置２０、テーブル装置３０、除振台４０およびエア供給装置５０と制御装置６０との間には、コントローラ６１が介在されている、
また、測定装置２０から得られた測定データを、所定の動作プログラムに従って処理し、測定結果を作成する。

測定装置２０は、測定機本体１０の上面に起立するコラム２１と、コラム２１に沿って昇降するスライダ２２と、スライダ２２に支持されて水平に進退可能なアーム２３と、アーム２３の先端に支持された検出器２４とを有する。

測定装置２０は、制御装置６０で実行される動作プログラムに従って、スライダ２２およびアーム２３を移動させ、テーブル２に載置されたワーク３に検出器２４を近接させてワーク３の周面の測定を行う。検出器２４からの測定データは、制御装置６０に転送され、所定の処理を経て真円度として評価される。

テーブル装置３０は、図２に示すように、前述したテーブル２が上面に配置されたテーブル本体３１と、テーブル本体３１に対するテーブル２の中心軸線の水平位置を調整する二軸の調整機構３２とを有する。テーブル２は円板状に形成され、テーブル本体３１の上面に沿って支持される。

テーブル装置３０は、さらに、テーブル本体３１を測定機本体１０に対して垂直な回転軸まわりに回転自在に支持する空気静圧軸受３３と、テーブル本体３１を前述した回転軸まわりに回転させる駆動モータ３４とを有する。空気静圧軸受３３および駆動モータ３４は、測定機本体１０に収容されている。

空気静圧軸受３３には、配管５３により、エア供給装置５０からの加圧エアが供給される。この加圧エアにより、空気静圧軸受３３の摺動面に薄い静圧空気層を形成することで、テーブル本体３１は高精度かつ非接触状態で、回転自在に支持される。

駆動モータ３４は、測定機本体１０を通る配線を介してコントローラ６１に接続されている。コントローラ６１は制御装置６０に接続され、制御装置６０の制御のもとで駆動電力を供給し、駆動モータ３４を所定の回転速度で回転させる。

除振台４０は、図２に示すように、ベース９に設置される下面部材４１と、測定機本体１０を支持する上面部材４２と、下面部材４１に設置されて上面部材４２を支持する複数のガススプリング４３と、を有する。
ガススプリング４３は、それぞれ上面部材４２および下面部材４１の間であって、例えば、上面部材４２で支持される測定機本体１０の重心を内包する水平面内の３ヵ所に設置されている。

ガススプリング４３には、配管５４により、エア供給装置５０からの加圧エアが供給される。この加圧エアにより、ガススプリング４３が下面部材４１と上面部材４２との間で膨満状態とされ、上面部材４２の荷重を支持しつつ、下面部材４１からの振動を吸収し、上面部材４２への伝達を遮断することができる。

本実施形態の除振台４０は、傾き調整機構４９を有する。
傾き調整機構４９として、下面部材４１には、ガススプリング４３にそれぞれ接続され、ガススプリング４３が縮んだ際にはガススプリング４３に配管５４からの加圧エアを追加し、かつガススプリング４３が延びた際にはガススプリング４３から加圧エアを排出する調整弁４５が設置され、上面部材４２には調整弁４５ごとに、調整弁４５を強制開閉するための作動ユニット４６が設置されている。
図３、図４および図５には、調整弁４５および作動ユニット４６が拡大図示されている。

調整弁４５は、下面部材４１に固定されたケース４５１と、ケース４５１内を上下に移動可能な移動部材４５２とを有する。
移動部材４５２は、コイルばね４５３によりフランジ部４５４を上向きに付勢されている。
ケース４５１の上部には、揺動部材４５７が設置され、その下面には移動部材４５２の上端４５６が当接されている。揺動部材４５７は、コイルばね４５８により、揺動端４５９（回動軸と反対側の端部）を常時上向きに付勢されている。

ケース４５１には、エア供給装置５０のフィルタレギュレータ５２に続く配管５４と、ガススプリング４３に続く配管５４とが接続され、これらの一対の配管５４はケース４５１内のポート４５５を通して互いに連通されている。
フランジ部４５４は、移動部材４５２が上昇限にあるとき、前述した一対の配管５４を連通するポート４５５を封止する。この状態では、配管５４からのガススプリング４３への加圧エア供給が遮断される。

一方、揺動部材４５７の揺動端４５９が外力により押し下げられた際には、移動部材４５２およびフランジ部４５４が下降するため、ポート４５５が開放される。この状態では、フィルタレギュレータ５２からの加圧エアが、配管５４を通してガススプリング４３へ供給される。
従って、調整弁４５は、通常は配管５４を遮断しているが、揺動部材４５７の揺動端４５９を押し下げることで、配管５４を開通させることができる。

作動ユニット４６は、上面部材４２に固定されたブッシュ４６１と、ブッシュ４６１に同軸状態で挿通されたステム４６２と、ステム４６２の下端に固定されたキャップ４６３とを有する。
キャップ４６３は、前述した揺動部材４５７の揺動端４５９の上方に設定され、上面部材４２が下面部材４１に近接した際に、揺動端４５９を押してガススプリング４３への加圧エア供給を実行させる（図７参照）。

図２に示すように、ガススプリング４３、調整弁４５および作動ユニット４６は、それぞれ上面部材４２および下面部材４１の複数箇所に設置されている。
ここで、テーブル２に載置されたワーク３の重心がテーブル２の中心に対して偏っていると、上面部材４２の各部の荷重も偏り、荷重が大きい部分ではガススプリング４３が縮み、荷重が小さい部分ではガススプリング４３が延びる。その結果、上面部材４２が下面部材４１に対して傾斜し、互いに平行でなくなる。

そして、傾斜に伴って上面部材４２の何れかの部位が下降または上昇すると、その部位のガススプリング４３に接続された調整弁４５により、ガススプリング４３に対する加圧エアの追加または排出が行われ、これにより傾きが自動的に回復される。

図４に示すように、上面部材４２の何れかの部位に設置されたガススプリング４３が縮み、同部位の作動ユニット４６が下降すると、同部位の作動ユニット４６により調整弁４５の揺動部材４５７が押されてポート４５５が開かれる。そして、配管５４からの加圧エアがガススプリング４３に追加され、ガススプリング４３が延び、上面部材４２の下降していた部位が再び上昇する。

図５に示すように、上面部材４２の何れかの部位に設置されたガススプリング４３が延び、同部位の作動ユニット４６が上昇すると、同部位の作動ユニット４６により調整弁４５の揺動部材４５７の押圧が解除され、ポート４５０が開かれてガススプリング４３の内部の加圧エアが排出される。これにより、ガススプリング４３が縮み、上面部材４２の上昇していた部位が再び下降する。

このような複数のガススプリング４３および各々の調整弁４５の動作により、自動的に上面部材４２の傾斜が解消され、下面部材４１に対して常に平行に維持される。
これらにより、除振台４０の傾き調整機構４９が構成されている。

本実施形態においては、前述した除振台４０の傾き調整機構４９を利用して、本発明の昇降装置が構成される。
図２、図３および図６に示すように、本実施形態のエア供給装置５０および作動ユニット４６には、傾き調整機構４９を昇降装置として利用するための、追加的な弁開閉機構７０、配管７６および制御弁７７が設置されている。

作動ユニット４６において、ステム４６２はブッシュ４６１に対して軸方向に摺動自在に収容され、コイルばね７１によりステム４６２はブッシュ４６１に収まる向きに付勢され、キャップ４６３は上面部材４２に接近した状態に維持されている。
ステム４６２とキャップ４６３との接続部分にはレバー７２が接続されている。

上面部材４２には、レバー７２の先端に対応する位置に、加圧エアで動作するエアシリンダ７３が設置されている。エアシリンダ７３には配管７４が接続され、配管７４から加圧エアが供給されることで、エアシリンダ７３の先端が進出してレバー７２を押し下げ、キャップ４６３を下方へ進出させることができる。
このように、本実施形態の作動ユニット４６では、配管７４からの加圧エア供給によりキャップ４６３を下方へ進出させることで、上面部材４２の傾きとは関係なく、調整弁４５を開くことができる。

図２に示すエア供給装置５０において、各作動ユニット４６に附設されたエアシリンダ７３に続く配管７４は、ガススプリング４３に加圧エアを供給する配管５４から分岐されている。配管７４の途中には、加圧エアの流通を制御する制御弁７５が設置されている。
さらに、各ガススプリング４３には、配管５４とは別に排気用の配管７６およびこれを開閉する制御弁７７が設置されている。配管７６は配管５４よりも大口径とされ、加圧エアの供給時よりも高効率で排気することが可能である。

これらの制御弁７５，７７は、それぞれコントローラ６１を介して制御装置６０に接続され、制御装置６０で実行される動作プログラムに従って制御される。
ここで、制御弁７５を開き、上面部材４２と下面部材４１との間の全ての調整弁４５を開くことで、全てのガススプリング４３を一様に伸長させ、これにより上面部材４２を下面部材４１に対して上昇させることができる（図６参照）。

一方、制御弁７７を開き、配管７６を通して、全てのガススプリング４３の排気を行うことで、全てのガススプリング４３を一様に収縮させ、これにより上面部材４２を下面部材４１に対して下降させることができる（図３参照）。
このように、本実施形態では、弁開閉機構７０をエア供給装置５０および作動ユニット４６に追加することで、傾き調整機構４９を昇降装置として利用できるようになっている。

図７ないし図１０には、既存の傾き調整機能つき除振台４０Ｒを含む真円度測定機１Ｒが示されている。
真円度測定機１Ｒは、前述した本実施形態の真円度測定機１（図１ないし図４参照）と同様な基本構成を有する。
すなわち、真円度測定機１Ｒにおいて、測定機本体１０、測定装置２０、テーブル装置３０および制御装置６０は、前述した真円度測定機１と同様のものである。

一方、図２ないし図６に示される真円度測定機１の除振台４０およびエア供給装置５０に対し、図７ないし図１０に示される真円度測定機１Ｒの除振台４０Ｒおよびエア供給装置５０Ｒは、一部の構成が異なる。

図７において、除振台４０Ｒは、傾き調整機構４９として、前述した本実施形態の除振台４０（図２ないし図６参照）と同様な下面部材４１、上面部材４２、ガススプリング４３を有する。
ただし、除振台４０Ｒの傾き調整機構４９は、調整弁４５が本実施形態と同様であるが、作動ユニット４６が異なり、ステム４６２はブッシュ４６１に対して固定され、本実施形態のようなコイルばね７１、レバー７２、エアシリンダ７３および配管７４（図３ないし図６参照）は設置されていない。

図７において、エア供給装置５０Ｒは、前述した本実施形態のエア供給装置５０（図２参照）と同様な加圧エア源５１、フィルタレギュレータ５２、配管５３および配管５４（図２参照）を有する。
ただし、除振台４０Ｒの作動ユニット４６に至る配管７４およびこれを断続する制御弁７５（図２参照）は設置されていない。

このような除振台４０Ｒおよびエア供給装置５０Ｒを備えた真円度測定機１Ｒにおいては、除振台４０Ｒの傾き調整機構４９により、前述した図２〜図６の除振台４０と同様な傾き調整機能が得られる。

図９に示すように、上面部材４２の何れかの部位が下降と、その部位に設置されたガススプリング４３が縮む。このとき、同部位の作動ユニット４６が下降するため、この作動ユニット４６により調整弁４５の揺動部材４５７が押されてポート４５５が開かれる。そして、配管５４からの加圧エアがガススプリング４３に追加され、ガススプリング４３が延びることで上面部材４２の下降した部位が再び上昇する。

図１０に示すように、上面部材４２の何れかの部位が上昇すると、その部位に設置されたガススプリング４３が延びる。このとき、同部位の作動ユニット４６が上昇するため、この作動ユニット４６により調整弁４５の揺動部材４５７の押圧が解除され、ポート４５０が開かれてガススプリング４３の内部の加圧エアが排出される。これにより、ガススプリング４３が縮むことで上面部材４２の上昇した部位が再び下降する。

このような複数のガススプリング４３および各々の調整弁４５の動作により、自動的に上面部材４２の傾きを解消し、水平状態を回復することができる。

図２ないし図６に戻って、本実施形態の除振台４０は、図７ないし図１０に示す既存の除振台４０Ｒに、追加的な弁開閉機構７０（コイルばね７１、レバー７２、エアシリンダ７３、配管７４および制御弁７５）、排気用の配管７６および制御弁７７を追加したものである。
つまり、本実施形態の除振台４０は、前述した既存の除振台４０Ｒに弁開閉機構７０、配管７６および制御弁７７という簡単な構成の追加により、傾き調整機構４９による傾き調整機能に加えて、本発明の昇降装置としての機能を得ることができる。

これらの弁開閉機構７０、配管７６および制御弁７７は、汎用部品などを利用することができ、かつ小規模な改造に留めることができる。従って、既存の除振台４０Ｒを本実施形態の除振台４０に改装することは、装置構成を複雑化させることなく、容易に行うことができる。

本実施形態においては、前述した除振台４０の昇降機構を利用して、真円度測定機１に、重量の大きなワーク３を載置する。
ワーク３をテーブル２に載置する際には、本発明に基づく測定機へのワーク載置方法に基づき、ワーク３を保持装置であるクレーン４で吊り下げるとともに、テーブル２を昇降させてワーク３とテーブル２との衝突を防止する。

このために、本実施形態では、制御装置６０によりエア供給装置５０の制御弁７５，７７を開閉制御し、弁開閉機構７０により調整弁４５を強制開閉させること、あるいは配管７６および制御弁７７でガススプリング４３からの強制排気を行うことで、除振台４０の傾き調整機構４９を利用した昇降装置（作動ユニット４６，調整弁４５およびガススプリング４３）によりテーブル２を昇降させる。
具体的には、図１１に示す操作により、図１２に示すような動作を行う。

先ず、保持装置であるクレーン４（図１参照）でワーク３を吊り下げ（図１１の手順Ｓ１）、吊り下げたワーク３をテーブル２の上方に保持する（図１１の手順Ｓ２、図１２（Ａ）参照）。
この際、テーブル２の上面の高さは基準位置Ｐｏとし、ワーク３の下面の高さは保持位置Ｐｈとしておく。基準位置Ｐｏと保持位置Ｐｈとの差、つまりテーブル２の上面とワーク３の下面との間隔は、距離Ｃとする。保持位置Ｐｈは、除振台４０の傾き調整機構４９を利用した昇降装置の上昇限よりも下方としておく。
この状態では、ワーク３の荷重はクレーン４で負担されている。

次に、昇降装置によりテーブル２を基準位置Ｐｏから上昇させ、ワーク３の下面に接触させる（図１１の手順Ｓ３、図１２（Ｂ）参照）。この際、テーブル２を上昇させる距離Ｌは、前述した距離Ｃと等しくしておく。
この動作にあたっては、上昇するテーブル２の移動量をモニタし、テーブル２がワーク３に接近するまでは高速であっても、ワーク３と接触する際には十分な低速で上昇することにより、接触時の衝撃が生じないようにすることが望ましい。

続いて、ワーク３の下面に接触したテーブル２を僅かに上昇させ、ワーク３の荷重をテーブル２で負担する（図１１の手順Ｓ４、図１２（Ｂ）参照）。
ワーク３の荷重をテーブル２で負担することで、クレーン４による荷重負担は解消される。
ここで、クレーン４を外してワーク３の保持を解除する（図１１の手順Ｓ５、図１２（Ｂ）参照）。これにより、ワーク３は、保持位置Ｐｈから下降可能な状態となる。

ワーク３の保持が解除された状態で、テーブル２を下降させ、基準位置Ｐｏへと復帰させる（図１１の手順Ｓ６、図１２（Ｃ）参照）。
以上により、基準位置Ｐｏにあるテーブル２に、ワーク３が載置された状態が得られる。そして、ワーク３の載置にあたって、テーブル２とワーク３との間で衝撃が生じることはない。

このような本実施形態によれば、次に述べるような効果を得ることができる。
本実施形態では、上方に保持されたワーク３に対してテーブル２を上昇させることにより、ワーク３を保持装置であるクレーン４で保持した状態のまま、ワーク３とテーブル２とを接触させることができる。

そして、既に接触した状態で、荷重をテーブル２側に負担させ、クレーン４の荷重負担を解除することで、ワーク３をテーブル２に載置することができる。
すなわち、ワーク３の荷重を、保持装置であるクレーン４からテーブル２へ移行させる動作が、予めワーク３とテーブル２とを接触させた状態で行われるため、衝突という状況が生じないようにできる。

さらに、本実施形態では、ワーク３を保持する保持装置として、従来のクレーン４を利用することができ、テーブル２を昇降させる昇降装置としても、既存の除振台４０の傾き調整機構４９に、追加的な弁開閉機構７０、配管７６および制御弁７７を追加した簡単な装置構成とすることができる。

本実施形態では、ワーク３とテーブル２とが接触した状態で、テーブル２を僅かに上昇させる動作（図１１の手順Ｓ４）により、ワーク３の荷重負担を保持装置であるクレーン４からテーブル２へ転換することができる。このため、ワーク３の荷重をテーブル２で負担させる際に、ワーク３はテーブル２上方に保持したまま動かす必要がない。
とくに、ワーク３の質量が大きい場合、ワーク３を下降させるためには、クレーン４の微妙な操作が必要になるが、本実施形態によればワーク３を動かさないため、このような熟練が必要な微妙な操作を解消することができる。

本実施形態では、図１１および図１２に示すように、テーブル２を基準位置Ｐｏ（測定機で測定を行う際の測定位置など）から上昇させ、ワーク３に接触し、荷重負担した後、ワーク３およびテーブル２を基準位置Ｐｏに復帰させるようにした。このため、ワーク３の受け渡しを基準位置Ｐｏよりも上方の保持位置Ｐｈで行うことができ、ワーク３の搬入にあたって周囲の機器との干渉などを未然に回避することができる。

〔第２実施形態〕
図１３ないし図１５には、本発明の第２実施形態が示されている。
本実施形態は、前述した第１実施形態と同様な真円度測定機１において、前述した第１実施形態とは異なる手順を実行するものである。

図１３において、本実施形態の真円度測定機１は、前述した図２の構成と同様であるが、配管５４の途中に、制御装置６０で操作可能な制御弁７８が設置されている。
この制御弁７８は、制御弁７７を開いて配管７６からガススプリング４３の加圧エアを強制排気する際に閉じられ、調整弁４５からガススプリング４３への加圧エアが供給されることを一時的に停止させる。

これは、後述する動作（図１４の手順Ｓ１２）において、テーブル２を基準位置Ｐｏ（図１５（Ａ）の二点鎖線参照）から待機位置Ｐｒ（図１５（Ａ）の実線参照）まで下げた際に、調整弁４５が開かれて加圧ガスがガススプリング４３から配管７６まで吹き抜けることを防止するための構成である。 以下、本実施形態における操作（図１４参照）および動作（図１５参照）について説明する。

先ず、保持装置であるクレーン４（図１参照）でワーク３をテーブル２の上方（テーブル２の基準位置Ｐｏよりも上方）に吊り下げておく（図１４の手順Ｓ１１）。
次に、テーブル２を基準位置Ｐｏ（図１５（Ａ）の二点鎖線参照）から待機位置Ｐｒ（図１５（Ａ）の実線参照）まで下げる（図１４の手順Ｓ１２）。
なお、手順Ｓ１１と手順Ｓ１２とは、順番を逆あるいは同時並行としてもよい。

続いて、吊り下げておいたワーク３を下降させ、ワーク３の下面が基準位置Ｐｏより下方の保持位置Ｐｈとなるように保持する（図１４の手順Ｓ１３、図１５（Ａ）参照）。
この状態では、ワーク３の荷重はクレーン４で負担されている。

次に、昇降装置によりテーブル２を待機位置Ｐｒから上昇させ、保持位置Ｐｈに保持されたワーク３の下面に接触させる（図１４の手順Ｓ１４、図１５（Ｂ）参照）。
この際、テーブル２を上昇させる距離Ｌは、待機位置Ｐｒと保持位置Ｐｈとの差である距離Ｃと等しくしておく。
この動作にあたっては、上昇するテーブル２の移動量をモニタし、テーブル２がワーク３に接近するまでは高速であっても、ワーク３と接触する際には十分な低速で上昇することにより、接触時の衝撃が生じないようにすることが望ましい。

続いて、ワーク３の下面に接触したテーブル２を僅かに上昇させ、ワーク３の荷重をテーブル２で負担する（図１４の手順Ｓ１５、図１５（Ｂ）参照）。
ワーク３の荷重をテーブル２で負担することで、クレーン４による荷重負担は解消される。

ワーク３の保持が解除された状態で、テーブル２を更に上昇させ、保持位置Ｐｈから基準位置Ｐｏへと復帰させる（図１４の手順Ｓ１６、図１５（Ｄ）参照）。
この状態で、クレーン４を外してワーク３の保持を解除する（図１４の手順Ｓ１７）。
なお、手順Ｓ１６と手順Ｓ１７とは、順番を逆あるいは同時並行としてもよい。
以上により、基準位置Ｐｏにあるテーブル２に、ワーク３が載置された状態が得られる。そして、ワーク３の載置にあたって、テーブル２とワーク３との間で衝撃が生じることはない。

このような本実施形態によれば、前述した第１実施形態と同様な効果が得られる。
さらに、本実施形態では、テーブル２を基準位置Ｐｏ（測定機で測定を行う際の測定位置など）から待機位置Ｐｒまで待避させておき、この状態でワーク３を搬入するため、接触前のワーク３を基準位置Ｐｏまたはその近傍の保持位置Ｐｈに保持することができる。従って、ワーク３とテーブル２との接触ないしその後のテーブル２の基準位置Ｐｏへの復帰のための移動量を最小限にすることができる。

〔第３実施形態〕
図１６には、本発明の第３実施形態が示されている。
図１６において、本実施形態の真円度測定機１Ａは、前述した第１実施形態の真円度測定機１と基本構成が同様である。従って、以下には、共通の構成についての重複する説明は省略し、相違する部分についてのみ説明する。

前述した第１実施形態では、弁開閉機構７０として、除振台４０の傾き調整機構４９の作動ユニット４６に、コイルばね７１、レバー７２、エアシリンダ７３が追加され（図３ないし図６参照）、エアシリンダ７３には途中に制御弁７５を有する配管７４が接続されていた（図２参照）。
本実施形態においては、除振台４０の傾き調整機構４９の作動ユニット４６に対する装置の追加はない。代わりに、エア供給装置５０から分岐された配管７４（途中に制御弁７５を有する）が、除振台４０のガススプリング４３に接続されている。

なお、各ガススプリング４３には、前述した第１実施形態と同様な排気用の配管７６およびこれを開閉する制御弁７７が設置されている。配管７６は配管５４よりも大口径とされ、加圧エアの供給時よりも高効率で排気することが可能である。

このような本実施形態では、制御装置６０により制御弁７５，７７を開閉し、配管７４から加圧エアをガススプリング４３に供給することで、除振台４０の上面部材４２ないしテーブル２を上昇させ、あるいは配管７６によりガススプリング４３から排気してテーブル２を下降させることができる。

このような本実施形態においては、前述した第１実施形態と同様にテーブル２を昇降させることができる。そして、前述した図１１および図１２の手順（第１実施形態）あるいは図１４および図１５の手順（第２実施形態）と同様な操作により、テーブル２にワーク３を載置する際に、テーブル２とワーク３との間で衝撃が生じることを防止できる。
さらに、テーブル２を昇降させるために除振台４０に追加する装置は、ガススプリング４３への配管７４，７６および制御弁７５，７７だけでよいため、装置構成を一層簡素にすることができる。

〔第４実施形態〕
図１７ないし図２０には、本発明の第４実施形態が示されている。
図１７において、本実施形態の真円度測定機１Ｂは、前述した第１実施形態の真円度測定機１と基本構成が同様である。従って、以下には、共通の構成についての重複する説明は省略し、相違する部分についてのみ説明する。

前述した第１実施形態では、除振台４０の傾き調整機構４９を利用して、テーブル２を昇降させる昇降装置を構成していた。
本実施形態においては、テーブル２およびテーブル装置３０の間に追加的な昇降機構８０を設け、テーブル２をテーブル装置３０に対して昇降可能とし、これにより昇降装置を構成する。
具体的な本実施形態の構成は以下の通りである。

図１７において、テーブル２は、円板状のテーブル部材８１で構成され、テーブル装置３０から分離可能である。
テーブル装置３０の上面には、加圧エアにより上方へ進出可能なエアシリンダ８３が、複数（本実施形態では１２０度間隔で３箇所）設置されている。
テーブル２（テーブル部材８１）は、これらのエアシリンダ８３で支持され、加圧エアを供給あるいは遮断することで昇降可能である。

図１８に示すように、テーブル部材８１の下面には、径方向に連続する三角溝８１１が複数（本実施形態では１２０度間隔で３本）形成されている。
エアシリンダ８３は上端にボール８３１を有し、このボール８３１で三角溝８１１に係合することで、テーブル２（テーブル部材８１）とテーブル装置３０との自動調心が行われるようになっている。

図１９および図２０において、エアシリンダ８３は、テーブル本体３１に固定されたケース８３２と、ケース８３２の内部を上下に移動可能な移動部材８３３とを有する。移動部材８３３にはピストン８３４が形成され、ピストン８３４はコイルばね８３５で下方へ付勢されている。ケース８３２には、ピストン８３４より下方に配管８４が接続されている。

エアシリンダ８３では、配管８４から加圧エアを供給することで、ピストン８３４ないしボール８３１が上昇し、テーブル２が上昇する。一方、内部の加圧エアを排出することで、ピストン８３４ないしボール８３１が下降し、テーブル２が下降する。
なお、エアシリンダ８３によるテーブル２の上昇限度は距離Ｌ（図１６参照）とされている。

図１７に戻って、エアシリンダ８３に接続される配管８４は、テーブル本体３１の中心部分を通して駆動モータ３４の下方へ引き出され、図示しない回転自在なカプラ等を介して測定機本体１０内を通り、エア供給装置５０に接続されている。
配管８４の途中には制御弁８５が設置され、制御弁８５はコントローラ６１を介して制御装置６０に接続されている（前述した第１実施形態の制御弁７５と同様）。

従って、本実施形態においては、制御装置６０からの動作指令により、制御弁８５を開閉し、配管８４への加圧エアを断続することにより、エアシリンダ８３によるテーブル２の昇降を行うことができる。
本実施形態では、これらのテーブル部材８１、エアシリンダ８３、配管８４および制御弁８５により昇降機構８０が構成され、この昇降機構８０の追加により昇降装置が構成されている。

なお、テーブル部材８１の上面中央に近接センサ８２を設置し、制御装置６０でワーク３の近接を監視するようにしてもよい。このようにすれば、ワーク３とテーブル２との接近ないし接触を確実に把握でき、より細かな動作が行えるとともに、衝突を防止するための緊急停止などにも利用することができる。

このような本実施形態においては、前述した第１実施形態と同様にテーブル２を昇降させることができる。そして、前述した図１１および図１２の手順（第１実施形態）あるいは図１４および図１５の手順（第２実施形態）と同様な操作により、テーブル２にワーク３を載置する際に、テーブル２とワーク３との間で衝撃が生じることを防止できる。

さらに、テーブル２を昇降させるために追加する装置は、テーブル装置３０に対する昇降機構８０（テーブル部材８１、エアシリンダ８３、配管８４および制御弁８５）だけでよいため、装置構成を簡素にすることができる。
とくに、昇降装置となるテーブル部材８１およびエアシリンダ８３がテーブル装置３０に内蔵されることになるため、測定機としての構成の簡素化、小型化を図ることができる。

さらに、テーブル２（テーブル部材８１）だけを昇降させるため、昇降部分を最小限とすることができる。
すなわち、ワーク３とともに昇降するのがテーブル２だけになり、測定機本体１０およびテーブル装置３０の全体を昇降させなくてよいため、昇降のための駆動力を削減することができる。

〔第５実施形態〕
図２１には、本発明の第５実施形態が示されている。
前述した各実施形態は、除振台４０に傾き調整機構４９を有し、それぞれガススプリング４３に調整弁４５が設置されていた。しかし、本発明は、傾き調整機構４９をもたない除振台４０を用いて昇降装置を構成するようにしてもよい。

図２１において、本実施形態の真円度測定機１Ｃは、前述した第１実施形態の真円度測定機１と基本構成が同様である。
ただし、除振台４０のガススプリング４３には、エア供給装置５０からの配管５４が直接接続されており、その途中に制御弁７５が設置されている。

このような本実施形態では、制御装置６０で制御弁７５を断続することで、ガススプリング４３に加圧エアの供給が行われ、あるいは加圧エアを排出することで、全てのガススプリング４３の伸縮を一括して制御することができる。そして、全てのガススプリング４３を一括して伸縮させることで、昇降装置としての機能を得ることができる。

〔変形例〕
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変更は本発明に含まれる。
例えば、テーブル装置３０は空気静圧軸受３３で浮上支持されるものに限らず、油静圧軸受などであってもよく、あるいは接触を伴うボール等の転動による軸受であってもよい。

除振台４０はガススプリング４３を利用するものに限らない。例えば機械式のクッションを利用するものであってもよく、このような機械式の除振台に昇降機構を追加して昇降装置を構成してもよい。
ただし、ガススプリング４３を用いた除振台４０および空気静圧軸受３３を用いたテーブル装置３０とすることで、エア供給装置５０を共用することができる。

さらに、前記各実施形態では、加圧エアを利用して昇降する昇降装置を構成したため、昇降装置の駆動にもエア供給装置５０を共用することができる。
ただし、これらの各駆動源としてエア供給装置５０を共用することは本発明に必須ではなく、それぞれ他の駆動方式、例えば油圧駆動、電磁ソレノイド駆動、モータ駆動等としてもよい。

前記実施形態では、本発明を真円度測定機に適用した例を説明したが、本発明の測定機としては物品の寸法あるいは形状を測定するための多様な測定機が利用できる。
例えば、物品の表面上の各点位置を測定する三次元測定機、物品の表面の微細な形状や輪郭あるいは粗さを測定する表面性状測定機（形状測定機、輪郭測定機または表面粗さ測定機）、円筒状などの物品の真円度を測定する真円度測定機が適用できる。

さらに、ワークを載置するテーブルとしては、前記各実施形態のような回転テーブルに限らず、平面的に移動するＸＹテーブル（三次元測定機など）が利用できる。平面的に移動するテーブルとして、Ｘ軸またはＹ軸の一軸方向の移動だけでもよい。一方、ＸＹ二軸に加えて、Ｚ軸方向に移動可能でもよい。

本発明は、測定機へのワーク載置方法および測定機に利用でき、とくに重量が大きなワークを測定する場合に好適に利用できる。

１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ…真円度測定機
２…テーブル
３…ワーク
４…保持装置であるクレーン
９…ベース
１０…測定機本体
２０…測定装置
２１…コラム
２２…スライダ
２３…アーム
２４…検出器
３０…テーブル装置
３１…テーブル本体
３２…調整機構
３３…空気静圧軸受
３４…駆動モータ
４０…除振台
４１…下面部材
４２…上面部材
４３…昇降装置を構成するガススプリング
４５…昇降装置を構成する制御弁
４５０，４５５…ポート
４５１…ケース
４５２…移動部材
４５３，４５８…コイルばね
４５４…フランジ部
４５６…上端
４５７…揺動部材
４５９…揺動端
４６…昇降装置を構成する作動ユニット
４６１…ブッシュ
４６２…ステム
４６３…キャップ
４９…傾き調整機構
５０…エア供給装置
５１…加圧エア源
５２…フィルタレギュレータ
５３，５４…配管
６０…制御装置
６１…コントローラ
７０…昇降装置を構成する弁開閉機構
７１…コイルばね
７２…レバー
７３、８３…エアシリンダ
７４，７６…配管
７５，７７，７８…制御弁
８０…昇降装置を構成する昇降機構
８１…テーブル部材
８１１…三角溝
８２…近接センサ
８３１…ボール
８３２…ケース
８３３…移動部材
８３４…ピストン
８３５…コイルばね
８４…配管
８５…制御弁
Ｃ…距離
Ｌ…距離
Ｐｈ…保持位置
Ｐｏ…基準位置
Ｐｒ…待機位置

Claims (8)

1. 測定機のテーブルにワークを載置する測定機へのワーク載置方法であって、
   前記ワークを前記テーブルの上方に保持可能な保持装置と、前記テーブルの上面を昇降させる昇降装置とを用い、
   前記保持装置で前記ワークを前記テーブルの上方に保持しておき、
   前記昇降装置で前記テーブルの上面を上昇させて前記ワークに近接させ、
   前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させ、
   前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させた後、前記保持装置による前記ワークの保持を解除することを特徴とする測定機へのワーク載置方法。
2. 請求項１に記載した測定機へのワーク載置方法において、
   前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させる操作は、前記テーブルを上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させた後、そのまま前記テーブルの上昇を継続させて前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させる操作であることを特徴とする測定機へのワーク載置方法。
3. 請求項１または請求項２に記載した測定機へのワーク載置方法において、
   前記保持装置で前記ワークを基準位置にある前記テーブルの上方に保持し、
   前記昇降装置で前記テーブルの上面を前記基準位置から上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させ、
   前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させた後、前記保持装置による保持を解除し、
   前記昇降装置で前記テーブルの上面を下降させて前記基準位置に復帰させることを特徴とする測定機へのワーク載置方法。
4. 請求項１または請求項２に記載した測定機へのワーク載置方法において、
   前記昇降装置で前記テーブルの上面を基準位置より下方の待機位置まで下降させておき、
   前記保持装置で前記ワークを前記テーブルの上方かつ前記基準位置より下方に保持し、
   前記昇降装置で前記テーブルの上面を待機位置から上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させ、
   前記ワークの荷重を前記テーブルに負担させた後、前記保持装置による保持を解除し、
   前記昇降装置で前記テーブルの上面を上昇させて前記基準位置に復帰させることを特徴とする測定機へのワーク載置方法。
5. ワークが上面に載置されるテーブルを有しかつベース上に設置されるテーブル装置と、
   前記テーブルに載置された前記ワークを測定する測定装置と、
   前記テーブルから前記ベースまでの間に設置されて前記テーブルを前記ベースに対して昇降させる昇降装置と、前記昇降装置を制御する制御装置と、を有し、
   前記制御装置は、前記テーブルの上方に前記ワークが保持された状態で、前記テーブルを上昇させて前記ワークに近接させ、前記ワークに近接する速度よりも低速で前記テーブルを前記ワークの下面に接触させた後、前記ワークの荷重を前記テーブル装置に負担させる、ことを特徴とする測定機。
6. 請求項５に記載した測定機において、
   前記昇降装置は、
   前記テーブル装置と前記ベースとの間に設けられた除振台であって、前記ベースに配置される下面部材と、前記テーブル装置を支持する上面部材と、前記下面部材に設置されて前記上面部材を支持するガススプリングと、を備えた除振台と、
   前記ガススプリングへのガス供給を行うガス経路と、
   前記ガス経路によるガス供給を制御するための制御弁と、を有し、
   前記制御装置は、
   前記制御弁による前記ガススプリングへのガス供給を制御することで、前記昇降装置の動作を制御することを特徴とする測定機。
7. 請求項６に記載した測定機において、
   前記除振台は、前記上面部材と前記下面部材との間に設置された複数の前記ガススプリングと、前記ガススプリングにそれぞれ接続され、前記ガススプリングが縮んだ際に前記ガス経路からのガスを追加し、かつ前記ガススプリングが延びた際には前記ガススプリングからガスを排出する調整弁と、を有する傾き調整機能付き除振台であり、
   前記昇降装置は、前記除振台と、前記調整弁を強制開閉させる弁開閉機構とを有し、
   前記制御装置は、前記弁開閉機構により前記調整弁を強制開閉することで、前記ガススプリングへのガス供給を制御することを特徴とする測定機。
8. 請求項５に記載した測定機において、
   前記昇降装置は、前記テーブル装置に設置されて前記テーブルを昇降可能に支持する昇降機構であることを特徴とする測定機。

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