JP6470252B2 - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は電子機器に適用される様々なコイル部品の例を概略的に示す。
以下では、本発明のコイル部品について説明するにあたり、便宜上、インダクタ(Inductor)、具体的にはパワーインダクタ(Power Inductor)の構造を例として説明するが、他の様々な用途のコイル部品にも本発明のコイル部品が適用され得ることはいうまでもない。
2 高周波インダクタ
3 通常のビーズ
4 高周波用ビーズ
5 コモンモードフィルター
100A、100B、100C コイル部品
10 本体部
11 磁性物質
11a、11b、11c 金属磁性体粉末
20 コイル部
21、22、23、24 第1〜第4コイル層
21a、22a、23a、24a 第1導体
21b、22b、23b、24b 第2導体
21c、22c、23c、24c 第3導体
21d、22d、23d、24d 第4導体
21A、22A、23A、24A 第1めっき層
21B、22B、23B、24B 第2めっき層
21C、22C 第3めっき層
31、32、33 第1〜第3バンプ
41、42、43 第1〜第3樹脂層
51、52、53、54 第1〜第4絶縁層
61、62 第1及び第2絶縁膜
80 電極部
81、82 第1及び第2電極
Claims (28)
- 磁性物質を含む本体部の内部にコイル部が配置され、前記本体部上に前記コイル部と電気的に接続された電極部が配置されたコイル部品であって、
前記コイル部は、
平面スパイラル状を有する複数の導体が積層された形態の第1コイル層と、
平面スパイラル状を有する複数の導体が積層された形態の第2コイル層と、
前記第1コイル層と第2コイル層との間に配置され、前記第1コイル層と第2コイル層とを電気的に接続する第1バンプと、を含み、
前記第1コイル層と第2コイル層とが前記第1バンプを介して電気的に接続されて、水平及び垂直方向に互いに隣接した複数のコイルターン数を有する一つのコイルを形成し、
前記第1コイル層及び第2コイル層はそれぞれ、第1導体と、第2導体と、前記第1導体と第2導体との間に配置されてこれらを接続させる第3導体と、を含み、
前記第1バンプの厚さが、前記第1コイル層における第1導体および第2導体の厚さおよび前記第2コイル層における第1導体および第2導体の厚さより小さく、かつ、前記第1バンプの幅が、前記第1コイル層における第1導体および第2導体の幅および前記第2コイル層における第1導体および第2導体の幅より小さい、コイル部品。 - 前記第1コイル層及び前記第2コイル層において、ぞれぞれの前記第1導体は、前記第2導体より、前記第1コイル層及び第2コイル層の境界の近くに配置されており、
前記第1コイル層の前記第1導体と、前記第2コイル層の前記第1導体とが前記第1バンプを介して電気的に接続されている、請求項1に記載のコイル部品。 - 前記第1コイル層及び第2コイル層はそれぞれ、前記第1導体、第2導体、及び第3導体が、それぞれ平面スパイラル状を有する、請求項2に記載のコイル部品。
- 前記コイル部は、
前記第1コイル層の第1導体及び第2コイル層の第1導体が埋め込まれた第1樹脂層と、
前記第1コイル層の第1導体と第2導体との間に配置された第1絶縁層と、
前記第2コイル層の第1導体と第2導体との間に配置された第2絶縁層と、をさらに含み、
前記第1バンプは、前記第1コイル層の第1導体と第2コイル層の第1導体との間で前記第1樹脂層を貫通し、
前記第1コイル層の第3導体は前記第1絶縁層を貫通し、
前記第2コイル層の第3導体は前記第2絶縁層を貫通する、請求項2または3に記載のコイル部品。 - 前記第1樹脂層は前記第1絶縁層及び第2絶縁層より厚さが厚い、請求項4に記載のコイル部品。
- 前記第1樹脂層は、感光性絶縁物質または磁性体フィラーが含有された硬化性絶縁物質を含む、請求項4または5に記載のコイル部品。
- 前記第1絶縁層及び第2絶縁層は、それぞれ感光性絶縁物質を含む、請求項4から6のいずれか1項に記載のコイル部品。
- 磁性物質を含む本体部の内部にコイル部が配置され、前記本体部上に前記コイル部と電気的に接続された電極部が配置されたコイル部品であって、
前記コイル部は、
平面スパイラル状を有する複数の導体が積層された形態の第1コイル層と、
平面スパイラル状を有する複数の導体が積層された形態の第2コイル層と、
前記第1コイル層と第2コイル層との間に配置され、前記第1コイル層と第2コイル層とを電気的に接続する第1バンプと、を含み、
前記第1コイル層と第2コイル層とが前記第1バンプを介して電気的に接続されて、水平及び垂直方向に互いに隣接した複数のコイルターン数を有する一つのコイルを形成し、
前記第1バンプは金属間化合物(IMC)を含む、コイル部品。 - 磁性物質を含む本体部の内部にコイル部が配置され、前記本体部上に前記コイル部と電気的に接続された電極部が配置されたコイル部品であって、
前記コイル部は、
平面スパイラル状を有する複数の導体が積層された形態の第1コイル層と、
平面スパイラル状を有する複数の導体が積層された形態の第2コイル層と、
前記第1コイル層と第2コイル層との間に配置され、前記第1コイル層と第2コイル層とを電気的に接続する第1バンプと、を含み、
前記第1コイル層と第2コイル層とが前記第1バンプを介して電気的に接続されて、水平及び垂直方向に互いに隣接した複数のコイルターン数を有する一つのコイルを形成し、
前記第1コイル層及び第2コイル層はそれぞれ、第1導体と、第2導体と、前記第1導体と第2導体との間に配置されてこれらを接続させる第3導体と、前記第2導体上に配置されて前記第2導体と直接接続された第4導体と、を含み、
前記第1導体及び第2導体の線幅が前記第3導体の線幅より広い、コイル部品。 - 前記コイル部は、
前記第1コイル層の第1導体及び第2コイル層の第1導体が埋め込まれた第1樹脂層と、
前記第1コイル層の第2導体が埋め込まれた第2樹脂層と、
前記第2コイル層の第2導体が埋め込まれた第3樹脂層と、
前記第1樹脂層と第2樹脂層との間に配置された第1絶縁層と、
前記第1樹脂層と第3樹脂層との間に配置された第2絶縁層と、をさらに含み、
前記第1バンプは、前記第1コイル層の第1導体と第2コイル層の第1導体との間で前記第1樹脂層を貫通し、
前記第1コイル層の第3導体は前記第1絶縁層を貫通し、
前記第2コイル層の第3導体は前記第2絶縁層を貫通する、請求項9に記載のコイル部品。 - 前記コイル部は、
平面スパイラル状を有する複数の導体が積層された形態の第3コイル層と、
平面スパイラル状を有する複数の導体が積層された形態の第4コイル層と、
前記第3コイル層と第4コイル層との間に配置され、前記第3コイル層と第4コイル層とを電気的に接続する第2バンプと、
前記第1コイル層と第3コイル層との間に配置され、前記第1コイル層と第3コイル層とを電気的に接続する第3バンプと、をさらに含み、
前記第1〜第4コイル層が前記第1〜第3バンプを介して電気的に接続されて、水平及び垂直方向に互いに隣接した複数のコイルターン数を有する一つのコイルを形成する、請求項1または2に記載のコイル部品。 - 前記第1〜第4コイル層はそれぞれ、第1導体と、第2導体と、前記第1導体と第2導体との間に配置されてこれらを接続させる第3導体と、を含み、
前記第1導体及び第2導体の線幅が前記第3導体の線幅より広い、請求項11に記載のコイル部品。 - 前記コイル部は、
前記第1コイル層の第1導体及び第2コイル層の第1導体が埋め込まれた第1樹脂層と、
前記第3コイル層の第1導体及び第4コイル層の第1導体が埋め込まれた第2樹脂層と、
前記第1コイル層の第2導体及び第3コイル層の第2導体が埋め込まれた第3樹脂層と、
前記第1コイル層の第1導体と第2導体との間に配置された第1絶縁層と、
前記第2コイル層の第1導体と第2導体との間に配置された第2絶縁層と、
前記第3コイル層の第1導体と第2導体との間に配置された第3絶縁層と、
前記第4コイル層の第1導体と第2導体との間に配置された第4絶縁層と、をさらに含み、
前記第1バンプは、前記第1コイル層の第1導体と第2コイル層の第1導体との間で前記第1樹脂層を貫通し、
前記第2バンプは、前記第3コイル層の第1導体と第4コイル層の第1導体との間で前記第2樹脂層を貫通し、
前記第3バンプは、前記第1コイル層の第2導体と第3コイル層の第2導体との間で前記第3樹脂層を貫通し、
前記第1コイル層の第3導体は前記第1絶縁層を貫通し、
前記第2コイル層の第3導体は前記第2絶縁層を貫通し、 前記第3コイル層の第3導体は前記第3絶縁層を貫通し、
前記第4コイル層の第3導体は前記第4絶縁層を貫通する、請求項11に記載のコイル部品。 - 前記本体部の磁性物質は、前記コイル部の上部及び下部を覆うとともに、前記コイル部の中心部に形成された貫通孔を満たす、請求項1から13のいずれか1項に記載のコイル部品。
- 前記電極部は、
前記本体部の第1面を少なくとも覆って、前記第1面で前記コイル部の第1引出端子と電気的に接続された第1電極と、
前記本体部の第2面を少なくとも覆って、前記第2面で前記コイル部の第2引出端子と電気的に接続された第2電極と、を含み、
前記第1面及び第2面は互いに向かい合う、請求項1から14のいずれか1項に記載のコイル部品。 - 磁性物質を含む本体部の内部にコイル部が配置され、前記本体部上に前記コイル部と電気的に接続された電極部が配置されたコイル部品の製造方法であって、
前記コイル部を形成する段階は、
支持部材と、前記支持部材の両面上にそれぞれ配置された一つ以上の金属層と、を含む基板を準備する段階と、
前記金属層上にそれぞれ絶縁層を形成する段階と、
前記絶縁層にそれぞれ平面スパイラル状のパターンを形成する段階と、
前記絶縁層の平面スパイラル状のパターンを介して露出した前記金属層上に、それぞれ第1めっき層を形成する段階と、
前記第1めっき層上にそれぞれ樹脂層を形成する段階と、
前記樹脂層にそれぞれ前記第1めっき層と接続されるビアを形成する段階と、
それぞれの前記ビアの少なくとも一つにバンプを形成する段階と、
前記支持部材から前記金属層の少なくとも一つをそれぞれ分離する段階と、
それぞれの前記ビアが互いに接続されるように前記樹脂層を整合積層することで、それぞれの前記第1めっき層を前記バンプを介して電気的に接続する段階と、
それぞれの前記絶縁層に残存する金属層を除去する段階と、
前記金属層が除去されて露出した前記第1めっき層上に、それぞれ第2めっき層を形成する段階と、を含み、
前記バンプを介して接続されたそれぞれの第1めっき層と、それぞれの前記第1めっき層と接続されたそれぞれの第2めっき層とが電気的に接続されて、水平及び垂直方向に互いに隣接した複数のコイルターン数を有する一つのコイルを形成する、コイル部品の製造方法。 - それぞれの前記第1めっき層は、線幅が互いに異なる第1及び第3導体を含み、
それぞれの前記第2めっき層は、前記第3導体と接続された第2導体を含み、
前記第1及び第2導体の線幅が前記第3導体の線幅より広い、請求項16に記載のコイル部品の製造方法。 - 磁性物質を含む本体部と、
前記本体部内に配置されたコイル部と、
前記本体部上に配置され、前記コイル部と電気的に接続された電極部と、を含み、
前記コイル部は、
第1及び第2導体が積層方向に積層された第1コイル層と、
第1導体及び第2導体が前記積層方向に積層された第2コイル層と、を含み、 前記第1コイル層の前記第1及び第2導体はそれぞれ、平面スパイラル状を有し、0.8〜1.5のアスペクト比を有し、
前記第2コイル層の前記第1及び第2導体はそれぞれ、平面スパイラル状を有し、0.8〜1.5のアスペクト比を有し、
前記第1及び第2コイル層は前記積層方向に積層され、
前記コイル部は、前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第1導体が内蔵された絶縁層を含み、
前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第2導体は、前記積層方向を基準として前記絶縁層の上面の上側に延在するか、下面の下側に延在する、コイル部品。 - 前記第1コイル層の平面スパイラル状のパターンの端部は、前記第2コイル層の平面スパイラル状のパターンの端部と電気的に接続されて一つのコイルを形成する、請求項18に記載のコイル部品。
- 前記コイル部は、前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第2導体の表面上に配置された絶縁膜をさらに含む、請求項18に記載のコイル部品。
- 前記第1コイル層は、前記積層方向に前記第1コイル層の前記第2導体上に積層された第3導体をさらに含み、
前記第2コイル層は、前記積層方向に前記第2コイル層の前記第2導体上に積層された第3導体をさらに含み、
前記第1コイル層の前記第3導体は、平面スパイラル状を有し、0.8〜1.5のアスペクト比を有し、
前記第2コイル層の前記第3導体は、平面スパイラル状を有し、0.8〜1.5のアスペクト比を有する、請求項18に記載のコイル部品。 - 前記コイル部は、前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第1及び第2導体が内蔵される一つ以上の絶縁層を含み、
前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第3導体は、前記積層方向を基準として前記一つ以上の絶縁層の上面の上側に延在するか、下面の下側に延在する、請求項21に記載のコイル部品。 - 磁性物質を含む本体部と、
前記本体部内に配置されたコイル部と、
前記本体部上に配置され、前記コイル部と電気的に接続された電極部と、を含み、
前記コイル部は、
第1導体、第2導体、及び第3導体が積層方向に積層され、前記第1導体と前記第2導体との間には絶縁層が配置され、前記第3導体が前記絶縁層を介して延在し、前記第1及び第2導体と電気的に接続された第1コイル層と、
第1導体、第2導体、及び第3導体が前記積層方向に積層され、前記第1導体と前記第2導体との間には絶縁層が配置され、前記第3導体が前記絶縁層を介して延在して前記第1及び第2導体と電気的に接続された第2コイル層と、
前記第1コイル層は、前記積層方向に前記第1コイル層の前記第2導体上に積層された第4導体をさらに含み、
前記第2コイル層は、前記積層方向に前記第2コイル層の前記第2導体上に積層された第4導体をさらに含み、
前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第4導体と前記本体部との間に配置された絶縁膜を含み、
前記コイル部は、前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第1及び第2導体が内蔵される一つ以上の絶縁層を含み、
前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第4導体は、前記積層方向を基準として前記一つ以上の絶縁層の上面の上側に延在するか、下面の下側に延在する、コイル部品。 - 前記第1コイル層の前記第1導体、第2導体、及び第3導体はそれぞれ、平面スパイラル状を有し、
前記第2コイル層の前記第1導体、第2導体、及び第3導体はそれぞれ、平面スパイラル状を有する、請求項23に記載のコイル部品。 - 前記絶縁膜は、それぞれ前記磁性物質を含む本体部と一方側で接しており、前記第1及び第2コイル層のうち一つの前記第4導体と他方側で接する、請求項23または24に記載のコイル部品。
- 前記第1コイル層の前記第3導体は、前記第1コイル層の前記絶縁層に形成された平面スパイラル状の開口部を介して延在し、
前記第2コイル層の前記第3導体は、前記第2コイル層の前記絶縁層に形成された平面スパイラル状の開口部を介して延在する、請求項23から25のいずれか1項に記載のコイル部品。 - 前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第1導体は、平面スパイラル状を有し、
前記第1及び第2コイル層それぞれの前記絶縁層は、前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第1導体の平面スパイラル状を有する隣接した巻線の間に延在する、請求項23から26のいずれか一項に記載のコイル部品。 - 前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第1導体は、平面スパイラル状を有し、
前記第1及び第2コイル層それぞれの前記絶縁層は、前記第1及び第2コイル層それぞれの前記第1導体の平面スパイラル状を有する隣接した巻線の間に延在する、請求項27に記載のコイル部品。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7074505B2 (ja) | 2018-03-05 | 2022-05-24 | Ntn株式会社 | 軸受装置 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170112522A (ko) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 주식회사 모다이노칩 | 코일 패턴 및 그 형성 방법, 이를 구비하는 칩 소자 |
KR101883070B1 (ko) | 2016-10-25 | 2018-07-27 | 삼성전기주식회사 | 인덕터 |
KR101862503B1 (ko) * | 2017-01-06 | 2018-05-29 | 삼성전기주식회사 | 인덕터 및 그의 제조방법 |
JP6658681B2 (ja) * | 2017-06-22 | 2020-03-04 | 株式会社村田製作所 | 積層インダクタの製造方法および積層インダクタ |
KR102029548B1 (ko) * | 2017-12-07 | 2019-10-07 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
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KR102464311B1 (ko) * | 2018-03-20 | 2022-11-08 | 삼성전기주식회사 | 인덕터 및 그 제조방법 |
KR102029586B1 (ko) * | 2018-05-28 | 2019-10-07 | 삼성전기주식회사 | 코일 전자부품 |
KR102102710B1 (ko) * | 2018-07-18 | 2020-04-21 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 및 그 제조방법 |
KR102306712B1 (ko) * | 2018-07-18 | 2021-09-30 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 및 그 제조방법 |
US11167375B2 (en) | 2018-08-10 | 2021-11-09 | The Research Foundation For The State University Of New York | Additive manufacturing processes and additively manufactured products |
KR102067250B1 (ko) * | 2018-08-13 | 2020-01-16 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
KR102138886B1 (ko) * | 2018-09-06 | 2020-07-28 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
KR102130678B1 (ko) * | 2019-04-16 | 2020-07-06 | 삼성전기주식회사 | 코일 전자 부품 |
JP7283225B2 (ja) * | 2019-05-21 | 2023-05-30 | Tdk株式会社 | コイル部品 |
KR20210019844A (ko) * | 2019-08-13 | 2021-02-23 | 엘지이노텍 주식회사 | 손떨림 보정을 위한 코일 부재 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
WO2021075789A1 (ko) * | 2019-10-16 | 2021-04-22 | 엘지이노텍 주식회사 | 손떨림 보정을 위한 코일 부재 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
US20210375540A1 (en) * | 2020-05-28 | 2021-12-02 | Texas Instruments Incorporated | Integrated magnetic device with laminate embedded magnetic core |
KR20220074412A (ko) * | 2020-11-27 | 2022-06-03 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
KR20220081138A (ko) * | 2020-12-08 | 2022-06-15 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61124117A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリントコイルの製造方法 |
JP3867523B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2007-01-10 | 株式会社デンソー | プリント基板およびその製造方法 |
JP4523232B2 (ja) * | 2003-01-22 | 2010-08-11 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | プリントコイルの製造方法及びプリント配線板の製造方法 |
JP4191506B2 (ja) | 2003-02-21 | 2008-12-03 | Tdk株式会社 | 高密度インダクタおよびその製造方法 |
US6996892B1 (en) | 2005-03-24 | 2006-02-14 | Rf Micro Devices, Inc. | Circuit board embedded inductor |
JP4054030B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2008-02-27 | Tdk株式会社 | コイル部品及びその製造方法。 |
JP2006332147A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | コイル導電体およびその製造方法並びにそれを用いたコイル部品の製造方法 |
JP2007227730A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップコイル |
JP2009010268A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 平面コイルおよびその製造方法 |
JP2009117546A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 平面コイル及びその製造方法 |
KR101072784B1 (ko) | 2009-05-01 | 2011-10-14 | (주)창성 | 자성시트를 이용한 적층형 인덕터 및 그 제조방법 |
JP5131260B2 (ja) | 2009-09-29 | 2013-01-30 | 株式会社村田製作所 | 積層型コイル装置 |
JP5839535B2 (ja) * | 2010-10-20 | 2016-01-06 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 平面コイル及びアクチュエータ |
US9236171B2 (en) | 2010-10-21 | 2016-01-12 | Tdk Corporation | Coil component and method for producing same |
ITTO20110295A1 (it) * | 2011-04-01 | 2012-10-02 | St Microelectronics Srl | Dispositivo ad induttore integrato ad elevato valore di induttanza, in particolare per l'uso come antenna in un sistema di identificazione a radiofrequenza |
KR101853135B1 (ko) | 2011-10-27 | 2018-05-02 | 삼성전기주식회사 | 적층형 파워인덕터 및 이의 제조 방법 |
US8539666B2 (en) * | 2011-11-10 | 2013-09-24 | Harris Corporation | Method for making an electrical inductor and related inductor devices |
JP5873316B2 (ja) * | 2011-12-14 | 2016-03-01 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 平面コイル、平面コイルの製造方法 |
JP5929401B2 (ja) * | 2012-03-26 | 2016-06-08 | Tdk株式会社 | 平面コイル素子 |
KR101397488B1 (ko) * | 2012-07-04 | 2014-05-20 | 티디케이가부시기가이샤 | 코일 부품 및 그의 제조 방법 |
JP5737313B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2015-06-17 | Tdk株式会社 | 電子部品及びその製造方法 |
KR101973410B1 (ko) | 2013-08-14 | 2019-09-02 | 삼성전기주식회사 | 박막 인덕터용 코일 유닛, 박막 인덕터용 코일 유닛의 제조방법, 박막 인덕터 및 박막 인덕터의 제조방법 |
KR101598256B1 (ko) * | 2013-12-04 | 2016-03-07 | 삼성전기주식회사 | 칩 전자부품 및 그 제조방법 |
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