JP6467874B2 - ウエブ加工装置 - Google Patents

Description

本発明はロールツーロール方式で樹脂フィルムのウエブを搬送して加工することでタッチセンサーフィルムを製造するウエブ加工装置に関する。

近年、携帯電話機や、携帯情報端末、カーナビゲーションシステムを始め、様々な電子機器の操作部にタッチパネル型入力装置（以下、タッチセンサー又は単にセンサーと記す）が採用されている。タッチセンサーは、液晶表示装置、有機ＥＬ装置等の表示用パネルの表示面上に、指先やペン先の接触位置を検出する入力装置として貼り合わせて使用されるものである。

タッチセンサーのうち投影型の静電容量方式のタッチセンサーは、特許文献１のように、一方向に伸びるストライプ状の金属配線と、それから絶縁させて垂直方向に伸びるストライプ状の金属配線を、透明フィルムの両面に敷設している構造のタッチセンサーが多く用いられている。

このタッチセンサーの製造方法としては、透明フィルムの両面に導電層（金属層）を形成した後、感光性レジスト層の形成（ドライフィルムのラミネート）、露光マスクのパターンの露光、現像というフォトリソグラフィ処理によってエッチング用レジストパターンを形成する。そして、そのエッチング用レジストパターンをマスクとした導電層のエッチングによって配線パターンを形成する方法などがある。

このタッチセンサーを製造する方法の１つに、タッチセンサー用の透明フィルムを枚葉状のフィルムにして、その枚葉フィルムを搬送して加工してタッチセンサーを製造する方法がある。

タッチセンサーの他の製造方法として、特許文献２では、生産性を高めるために、表裏面または、表裏面のいずれかに金属層を有する帯状のフィルム基材に対して、ロールツーロール方式で、その金属層上にドライフィルムタイプの感光性レジストをラミネートし、そのドライフィルムタイプの感光性レジストをパターン状に露光し、現像処理を行うことでエッチング用レジストパターンを形成する。そして、エッチング用レジストパターンから露出した金属層をエッチングすることで配線パターン（センサー配線）を形成するタッチセンサーフィルムの製造技術が提案されている。

特許文献３には、タッチセンサーフィルムを製造する方法において、樹脂のフィルム基材（ウエブ）をロールツーロール方式で搬送して加工するウエブ加工装置では、ウエブ蛇行修正機構を用いてウエブの蛇行を修正することが記載されている。

また、タッチセンサーフィルムの配線を形成する工程では、まず、感光性レジスト（ドライフィルムタイプのレジスト）をラミネートするなどしてウエブの片面または両面に形成した金属層の上に、感光性レジストの層を形成した後、露光工程に搬送し、配線パターンとなるパターンを形成した露光マスクを使って感光性レジストの露光が行なわれ、現像工程に送られる。

次に、現像工程では現像用液槽に浸漬する、または、現像液をスプレーする方法で感光性レジストを現像してエッチング用レジストパターンを形成する処理が行なわれる。

次に、このエッチング用レジストパターンが形成されたウエブは、エッチング工程に送られ、エッチング液に浸漬する、または、エッチング液をスプレーする方法で金属層をエッチングして配線パターンを形成する処理が行なわれる。

次に、エッチング後はウエブからエッチング用レジストパターンに形成した感光性レジストを剥離するため剥離工程に送られ、剥離液に浸漬する、または、剥離液をスプレーする方法で剥離する処理が行なわれる。

上記した現像工程、エッチング工程、剥離工程で行なわれる処理（ウエット処理）では、エッチング用レジストパターン形成では現像液で、エッチング工程ではエッチング液で、剥離工程では剥離液で処理された後、それぞれ、水洗工程にて、水（純水）を使った水洗処理を行なわれている。この水洗処理の後、水切りと呼ばれる簡易的な処理でウエブ上に残った水を除去しているので、水が完全に取りきれないことが多い。

そして、ウエット処理されたウエブは、ウエット処理を終えて出てきた直後に、ウエブ蛇行修正機構でウエブの蛇行を修正している。

特表平９−５１１２８６号公報 特開２０１４−１０８１４号公報 特開平５−２７０７１０号公報

ここで、ウエット処理を終えて出てきた直後のウエブを直ぐにウエブ蛇行修正機構に通し、蛇行を修正する時に、ウエブ上にウエット処理プロセスの最後の工程である水洗工程で使用した水が残り、ウエブ蛇行修正機構のガイドロールに搬送されるとフィルム基材とウエブ蛇行修正機構のガイドロールの間に水の層を形成する。

その水の層がウエブ蛇行修正機構のガイドロールとフィルム基材の摩擦力を低下させてしまうので、ウエブ蛇行修正機構がフィルム基材の搬送のコントロールができなくなり、その結果、同調不良・搬送不良を引き起こしている。その同調不良・搬送不良が発生してウエブがガイドロールから外れると、装置を停止せざるを得なくなり、さらには、外れてしまったウエブは、製品不良となるので生産性が低下してしまうという問題があった。

また、タッチセンサーフィルムに形成する配線パターンは、タッチセンサーでは遮光物となるため、出来るだけ線幅を細くすることが望ましい。しかし、線幅を細くすると、微細なスクラッチ傷によっても配線パターンが損傷して製品が不良になり易いので、製造工程においてタッチセンサーフィルムに生じるスクラッチ傷も問題となっていた。

上記したウエブ蛇行修正機構のガイドロールに、エチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）を使用する場合は、当初は撥水性があるＥＰＤＭゴムが時間の経過とともに表面に微細なクラックが生じて劣化するという問題点がある。そのＥＰＤＭゴムのガイドロールの劣化は、一部に生じたものであっても、その部分のウエブとガイドロールとの摩擦力が低下し、その結果、ＥＰＣ装置の同調不良・搬送不良を引き起こすといった問題があった。

本発明の課題は以上の問題を解決し、ロールツーロール方式のウエブ加工装置でウエブを搬送する際に、ウエット処理プロセス直後に設置したウエブ蛇行修正機構が、水の付着したウエブを扱ったとしても同調不良を起こさないようにすること、さらにその効果を持続させることを課題とする。

本発明は、上記の課題を解決するために少なくとも、フィルム基材巻き出しロールから透明な帯状フィルム基材の両面に金属層２が形成されたウエブを供給する機構と、複数の搬送ローラを前記ウエブの搬送方向に配列して前記ウエブを搬送する搬送系と、前記ウエブの両面に感光性レジストをラミネートするラミネート機構と、前記感光性レジストを露光機構と、露光後の感光性レジストを現像する現像機構と、前記感光性レジストから露出した金属層をエッチングするエッチング機構と、エッチング後感光性レジストパターンを剥離する剥離機構と、乾燥機構と、巻き取り機構とを有し、前記現像機構、前記エッチング機構および前記剥離機構が有する搬送ローラの前記ウエブに接する部分が水に対する後退接触角９０度以上１１５度以下の材質であるウエブ加工装置であって、前記現像機構とエッチング機構の間にウエブ蛇行修正機構を備えることを特徴とするウエブ加工装置である。

本発明は、これにより、ウエブの蛇行を適切に修正でき、ウエブ蛇行修正機構が良好に同調でき良好なウエブの搬送ができる。

また、本発明は、前記蛇行修正機構を前記エッチング機構の直後に備えることを特徴とする請求項１に記載のウエブ加工装置である。

本発明によれば、ウエブ蛇行修正機構が搬送ローラに水が付着した状態であっても、ウエブの蛇行を適切に修正できて、ウエブ蛇行修正機構が良好に同調するウエブの搬送が可能となるので、ウエブが搬送系から外れて製品が不良となることや装置停止となることを防止できて、生産性が向上するという効果がある。

本発明実施形態のウエブ加工装置の概略図である。 本発明実施形態の変形例１のウエブ加工装置で用いるウエブ蛇行修正機構の概略図である。 本発明の実施形態のタッチセンサーフィルムの製造工程を示すウエブの断面図である（その１）。 本発明の実施形態のタッチセンサーフィルムの製造工程を示すウエブの断面図である（その２）。 本発明の実施例のウエブ加工装置のウエブ蛇行修正機構のガイドロールの材料と、製造されたタッチセンサーフィルムの品質を示す図である。

以下、本発明の実施形態のロールツーロール方式のウエブ加工装置１００を用いて、帯状フィルム基材１の両面に金属層２が形成されて成るウエブ１０を加工してタッチセンサーフィルムを製造する方法について図を用いて説明する。

本実施形態のウエブ加工装置１００にはウエブ蛇行修正機構２００が組み込まれている。そして、そのウエブ蛇行修正機構２００に撥水性のガイドロールを用いている。

（製造装置）
図１に、タッチセンサーフィルムを製造するために用いるロールツーロール方式のウエブ加工装置１００を示す。そのウエブ加工装置１００内にウエブ蛇行修正機構２００を組み込んでウエブ１０を加工する。図２に、変形例１のウエブ蛇行修正機構２００の側面図を示す。

図２は 図１に示した、ウエブ加工装置１００内に設置したウエブ蛇行修正機構２００の変形例の１つを示したものである。

ウエブ加工装置１００は、供給工程１で、フィルム基材巻き出しロール１０１から透明な帯状フィルム基材１の両面に金属層２が形成されたウエブ１０を供給する。そして、ウエブ１０を搬送ローラで搬送しながら加工して帯状フィルム基材１の両面に配線パターン５を形成してタッチセンサーフィルムを完成させる。最後に、巻き取り工程９で、巻き取りロール１２４でタッチセンサーフィルムが完成したウエブ１０をロール状に巻き取る。図１の記号ａからｆの位置のウエブ１０の断面の拡大概略図を図３（ａ）から図４（ｆ）に示す。

図１のウエブ加工装置１００の機構は、フィルム基材巻き出しロール１０１から透明な帯状フィルム基材１の両面に金属層２が形成されたウエブ１０を供給する供給工程１を分担する機構部分と、そのウエブ１０の両面にドライフィルムタイプの感光性レジスト３をラミネートするラミネート工程２と、そのドライフィルムタイプの感光性レジスト３の露光工程３と、エッチング用レジストパターンを形成する現像工程４を分担する機構部分を有する。

その現像工程４の次に、ウエブ１０を側面から見て「コ」の字形状に迂回させつつ蛇行位置を修正するウエブ蛇行修正機構２００を用いたウエブ１０の蛇行位置修正工程５がある。

その後に、金属層２のエッチング工程６と、エッチング用レジストパターンの剥離工程７と、乾燥工程８と巻き取り工程９を分担する機構部分を有する。

このウエブ加工装置１００は、工程間のウエブ１０の搬送速度を調整する必要に応じて、ウエブ１０の搬送速度を調整するアキュームレータを、例えば、アキュームレータ１０３、１０５を配設して、折り返し搬送ローラを上下に配置した構成にしてウエブ１０を折り返して搬送する。

（製造方法）
以下で、ウエブ１０を加工してタッチセンサーフィルムを製造する製造方法について、ウエブ加工装置１００の各機構部分による製造工程を詳細に説明する。

（工程１）
供給工程１は、フィルム基材巻き出しロール１０１の巻き芯に巻かれたロール状のウエブ１０で、図３（ａ）のように透明な帯状フィルム基材１の両面に金属層２が形成されたウエブ１０を繰り出す。

（帯状フィルム基材）
本実施形態でタッチセンサーフィルムを製造するために用いる帯状フィルム基材１の厚さには特に制限はないが、透過率の維持及び取り扱い性の観点から、５〜２００μｍであることが好ましく、３０〜１５０μｍであることが更に好ましい。

帯状フィルム基材１は、少なくとも長手方向に１ｍ以上の長さを有し、長手方向にフィルム基材巻き出しロール１０１に巻かれたロール状の帯状フィルム基材１である。その帯状フィルム基材１の両面に金属層２が積層された、断面が図３（ａ）のようなウエブ１０をフィルム基材巻き出しロール１０１から繰り出して加工する。

（工程２）
ラミネート工程２では、ドライフィルムラミネート装置１０２を用いて、断面が図３（ｂ）のように、両面に金属層２が形成された透明な帯状フィルム基材１の両面にドライフィルムタイプの感光性レジスト３をラミネートしてウエブ１０とする。

まず、ドライフィルムラミネート装置１０２のドライフィルム送り出しロール１０２ａから支持フィルム３ａとドライフィルムタイプの感光性レジスト３を送り出し、フィルム加圧ロール１０２ｂでドライフィルムタイプの感光性レジスト３をウエブ１０の面に押し当ててウエブ１０の両面にドライフィルムタイプの感光性レジスト３をラミネートする。

そして、ドライフィルムタイプの感光性レジスト３をラミネートした残りの支持フィルム３ａだけを支持フィルム巻取りロール１０２ｃで巻き取る。

（工程３）
露光工程３では、図４（ｃ）に示す様に、ウエブ１０に設置したドライフィルムタイプの感光性レジスト３に、タッチパネルのセンサー配線パターンを有する露光マスク１０４を介してドライフィルムタイプの感光性レジスト３に紫外線を露光する。

露光に用いる光源としては例えば、可視光線、紫外線等の光、電子線、Ｘ線等の放射線等が挙げられる。ここで、紫外線を用いる場合は、紫外線ランプや、水銀ランプのｇ線、水銀ランプのｉ線等も用いることができる。

露光工程３での露光マスク１０４のパターンの露光速度とその前工程のラミネート工程２のウエブ１０の搬送速度を調整するために、アキュームレータ１０３を配設する。

露光工程３での露光マスク１０４のパターンの露光速度と現像工程４のウエブ１０の搬送速度を調整するために、アキュームレータ１０５を配設する。

アキュームレータ１０３、１０５は必要に応じて配設することが可能であり、また、その他の工程間に、必要に応じてアキュームレータを配設することが可能である。

（工程４）
現像工程４では、ウエブ１０を現像処理装置１０６に搬入する。そして、現像処理装置１０６のスプレーノズル１０７から現像液をウエブ１０にスプレーして現像を行なう。

ドライフィルムタイプの感光性レジスト３を現像した後、折り返し搬送ローラ１０７ａでウエブ１０を下向きに折り返し水洗処理ユニット１０８内に搬入して水洗することで、図４（ｄ）に示す様なエッチング用レジストパターン４を形成する。

次に、水洗処理ユニット１０８中の折り返し搬送ローラ１０９でウエブ１０を上向きに折り返して、ウエブ１０を水洗処理ユニット１０８の外まで、即ち、現像処理装置１０６の外まで引き上げる。

現像処理装置１０６において、水洗処理ユニット１０８で水洗した後に水切り処理を行うが、その水が完全には取りきれない。本発明では、その水が付着したウエブ１０を搬送
する搬送ローラは、それがウエブ１０に接する部分を、水に対する後退接触角が９０度以上１１５度以下の撥水性材料で構成する。

この現像処理装置１０６において、水洗処理ユニット１０８以降の処理ユニットは、ウエブ１０を水洗した後のウエット処理をするウエット処理ユニットである。本発明では、そのウエット処理ユニット内の搬送ローラを、それがウエブ１０に接する部分を、水に対する後退接触角が９０度以上１１５度以下の撥水性材料で構成する。これは、現像処理装置１０６に限らず、このようにウエット処理をするウエット処理ユニットでは、同様に搬送ロータに撥水性を持たせる。

（変形例１）
工程４で現像を行う方法としては、以上で記載した、スプレーノズル１０７から現像液をウエブ１０にスプレーする方法以外に、変形例１として、現像液に浸漬する方法を使っても、ドライフィルムタイプの感光性レジスト３の現像が可能である。

（工程５）
次に、引き上げられたウエブ１０は、蛇行位置修正工程５のウエブ蛇行修正機構２００に通し、水洗処理ユニット１０８で取りきれなかった水が付着しているウエブ１０の蛇行を修正する。

（ウエブ蛇行修正機構）
ウエブ蛇行修正機構２００は、エッジ位置検出器１１２を有し、そのエッジ位置検出器１１２が、ウエブ１０のエッジ位置を検出することでウエブ１０の蛇行を検出し、修正（エッジポジションコントロール、以下ＥＰＣ）する。

そして、ウエブ蛇行修正機構２００は、図１の折り返し搬送ローラ１０９と上側のＥＰＣ用第１ガイドロール１１０との上下一対のガイドロール、及び、上側のＥＰＣ用第２ガイドロール１１１と折り返し搬送ローラ１１３ａとの上下一対のガイドロール用いて、ウエブ１０を側面から見て「コ」の字形状に迂回させつつ、上に持ち上げたウエブ１０の面を支えるＥＰＣ用第１ガイドロール１１０とＥＰＣ用第２ガイドロール１１１を用いてウエブ１０の蛇行を修正する。

すなわち、ウエブ蛇行修正機構２００は、エッジ位置検出器１１２のエッジ位置検出信号に基づいて、「コ」の字形状で上側に迂回させたウエブ１０を下から支えるＥＰＣ用第１ガイドロール１１０とＥＰＣ用第２ガイドロール１１１を制御してウエブ１０の蛇行を修正する。

このウエブ蛇行修正機構２００の、ウエブ１０を下から支えるＥＰＣ用第１ガイドロール１１０とＥＰＣ用第２ガイドロール１１１は、水に対する後退接触角が９０度以上１１５度以下の撥水性材料で構成する。

注意すべきは、従来のＥＰＤＭゴムの場合は、使用当初は後退接触角がこの範囲内にあっても、時間の経過とともに後退接触角がこの範囲から外れ、長期間使用すると、後退接触角が４０度以下にまで劣化することである。

ウエブ蛇行修正機構２００のこのＥＰＣ用第１ガイドロール１１０とＥＰＣ用第２ガイドロール１１１を、水に対する後退接触角が９０度以上１１５度以下の撥水性材料で構成して、しかも撥水性を長期間維持する材料としては、シリコーンゴムを用いる事ができる。また、フッ素樹脂も撥水性に優れているのでガイドロール用材料として望ましい。更に、超高分子量ポリエチレン樹脂を用いてガイドロールを作成することでガイドロールに長期間安定した撥水性を持たせることができる。

ウエブ蛇行修正機構２００によるウエブ１０の蛇行の修正方式は、上に持ち上げたウエブ１０に接するＥＰＣ用第２ガイドロール１１１の回転軸の向きを変えてウエブ１０の蛇行を修正する方式と、ウエブ１０の面に接する上側のガイドロール１１１を、ウエブ１０の幅方向、すなわちロールの回転軸方向に動かしてウエブ１０を幅方向に動かしてのその蛇行を修正する方式とがある。

いずれの方式であっても、ＥＰＣ用第１ガイドロール１１０とＥＰＣ用第２ガイドロール１１１とウエブ１０の間の摩擦力を利用して、蛇行したウエブ１０をガイドロールの動きに合わせて搬送方向に直交するウエブ１０の幅方向に移動させることでウエブ１０の蛇行を修正する。

（ウエブ蛇行修正機構の別の形態）
また、図１のウエブ蛇行修正機構２００の別の実施形態として、図２のようなウエブ蛇行修正機構２００を用いることができる。

すなわち、現像工程４の後に、ＥＰＣ用第１補助ガイドロール１１０ｂでウエブ１０を下に折り返してＥＰＣ用第１ガイドロール１１０ａに導く。

そして、そのウエブ１０をＥＰＣ用第１ガイドロール１１０ａで水平方向に折り返し、そのウエブ１０をＥＰＣ用第２ガイドロール１１１ａで上に折り返してＥＰＣ用第２補助ガイドロール１１１ｂに導く。

そして、ＥＰＣ用第２補助ガイドロール１１１ｂでウエブ１０を水平方向に折り返して搬送することも可能である。

ここで、上記したウエブ蛇行修正機構２００について、ＥＰＣ用第１補助ガイドロール１１０ｂからＥＰＣ用第２補助ガイドロール１１１ｂまでのガイドロールを、水に対する後退接触角が９０度以上１１５度以下の撥水性材料とする。

これにより、水が付着したウエブ１０とガイドロールとの間の摩擦力が確保できるので、蛇行を適切に修正できて、ウエブ１０とウエブ蛇行修正機構２００が良好に同調したウエブ１０の搬送ができる効果がある。

（工程６）
エッチング処理工程６では、先ず、ＥＰＣ用第２ガイドロール１１１でウエブ１０を下向きに折り返し、ウエブ１０の搬送方向を、折り返し搬送ローラ１１３ａで水平方向に方向転換してウエブ１０をエッチング装置１１３に搬入する。

そして、エッチング装置１１３のスプレーノズル１１４からエッチング液をウエブ１０にスプレーしてエッチングを行なう。これにより、図４（ｅ）に示す様にエッチング用レジストパターン４から露出している金属層２の部分を除去する。

エッチング後には、折り返し搬送ローラ１１４ａでウエブ１０を下向きに折り返し水洗処理ユニット１１５内に搬入して水洗し、次に、水洗処理ユニット１１５中の折り返し搬送ローラ１１５ａでウエブ１０を上向きに折り返して、ウエブ１０を水洗処理ユニット１１５の外まで、即ち、エッチング装置１１３の外まで引き上げる。

エッチング装置１１３の水洗処理ユニット１１５以降の処理ユニットは、水洗した後の水が完全には取りきれていないウエブ１０を扱うウエット処理を行うウエット処理ユニッ
トである。そのため、そのウエット処理ユニットに用いる搬送ローラは、それがウエブ１０に接する部分を、水に対する後退接触角が９０度以上１１５度以下の撥水性材料で構成する。

（変形例２）
工程６でエッチングを行なう方法としては、以上で記載した、スプレーノズル１１４からエッチング液をウエブ１０にスプレーする方法以外に、変形例２として、エッチング液に浸漬する方法で金属層２の図示しない配線パターンを形成することも可能である。

（工程７）
次に、図４（ｅ）に示す金属層２の上にあるエッチング用レジストパターン４を剥離する。まず、折り返し搬送ローラ１１６でウエブ１０を下向きに折り返して、剥離装置１１７に搬入し、剥離処理槽１１８内の剥離液に浸漬する。

ウエブ１０を剥離液に浸漬した後、剥離液中の折り返し搬送ローラ１１８ａでウエブ１０を上向きに折り返してウエブ１０を剥離処理槽１１８の外まで引き上げる。

次に、折り返し搬送ローラ１１９でウエブ１０を下向きに折り返して、水洗処理ユニット１２０にウエブ１０を搬入して水洗処理することで、図４（ｆ）のように、剥離液と剥離したエッチング用レジストパターン４を除去する。

そして、剥離後のウエブ１０は、水洗処理ユニット１２０中の折り返し搬送ローラ１２１でウエブ１０を上向きに折り返し水洗処理ユニット１２０の外に引き出し、次に折り返し搬送ローラ１２２でウエブ１０を水平方向に折り返して乾燥処理装置１２３に搬送する。

剥離装置１１７の水洗処理ユニット１２０以降の処理ユニットは、水洗した後の水が完全には取りきれていないウエブ１０を扱うウエット処理を行うウエット処理ユニットである。そのため、そのウエット処理ユニットに用いる搬送ローラは、それがウエブ１０に接する部分を、水に対する後退接触角が９０度以上１１５度以下の撥水性材料で構成する。

（工程８）
次の乾燥工程８では、乾燥処理装置１２３でウエブ１０を水平方向に搬送しつつ約６０℃に加温したクリーンエアをウエブ１０に吹きつけ、付着している水分を除去してタッチセンサーフィルムを製造する。

乾燥処理装置１２３も、水洗した後の水が完全には取りきれていないウエブ１０を扱うウエット処理を行うウエット処理ユニットであるので、それに用いる搬送ローラも、水に対する後退接触角が９０度以上１１５度以下の撥水性材料で構成することが望ましい。

こうして、透明な帯状フィルム基材１の両面に配線パターン５を有するタッチセンサーフィルムを製造する。

（工程９）
巻き取り工程９は、タッチセンサーフィルムを完成させたウエブ１０を、巻き取りロール１２４の巻き芯にロール状に巻き取り保管する。

上記したウエブ蛇行修正機構２００を組み込んだロールツーロール方式のウエブ加工装置１００を用いて、ウエブ１０を搬送した実施例を以下、説明する。

＜実施例１＞
実施例１は、ウエブ蛇行修正機構２００のガイドロールに、超高分子量ポリエチレン樹脂の厚さ２５μｍで幅が６００ｍｍのフィルムで、水に対する後退接触角が１００度の超高分子量ポリエチレン樹脂製フィルムを巻き付けた。そのウエブ蛇行修正機構２００を用いたウエブ加工装置１００で、タッチセンサーフィルムを製造した。

実施例１では、ウエブ蛇行修正機構２００に装着したガイドロールをある程度使用した後に、ウエブ加工装置１００がウエブ１０を搬送する速度を以下の５種類に変えてサンプルを製造した。すなわち、ウエブ１０の搬送速度を、１ｍ／分、２ｍ／分、５ｍ／分、１０ｍ／分、１５ｍ／分の５種類の速度で搬送し、水が付着したウエブ１０をウエブ蛇行修正機構２００に通してサンプルを製造した。

＜実施例２＞
実施例２は、ウエブ蛇行修正機構２００のガイドロールに、超高分子量ポリエチレン樹脂の厚さ２５μｍで幅が６００ｍｍのフィルムで、水に対する後退接触角が１１５度の超高分子量ポリエチレン樹脂フィルムを巻き付けた。そのウエブ蛇行修正機構２００を用いたウエブ加工装置１００で、タッチセンサーフィルムを製造した。

実施例２でも、ウエブ蛇行修正機構２００に装着したガイドロールをある程度使用した後に、ウエブ加工装置１００のウエブ１０の搬送速度を実施例１と同じ５種類にして、水が付着したウエブ１０をウエブ蛇行修正機構２００に通してサンプルを製造した。

また、今回は超高分子量ポリエチレン樹脂のフィルムを搬送で使用しているロールに巻き付けることでガイドロールとしたが、超高分子量ポリエチレン樹脂のブロックを切削によりロール形状に加工する方法でロールを作り、ベアリングや軸となる棒状の部材を組み付けることでガイドロールとすることも可能である。

次に、上記したウエブ蛇行修正機構２００を組み込んだロールツーロール方式のウエブ加工装置１００を用いて、ウエブ１０を搬送した比較例を以下、説明する。

＜比較例１＞
比較例１は、ウエブ蛇行修正機構２００のガイドロールに、水に対する後退接触角が９０度あるエチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）を用いた。そのウエブ蛇行修正機構２００を用いたウエブ加工装置１００で、タッチセンサーフィルムを製造した。

比較例１でも、ウエブ蛇行修正機構２００に装着したガイドロールをある程度使用した後に、ウエブ加工装置１００のウエブ１０の搬送速度を実施例１と同じ５種類にして、水が付着したウエブ１０をウエブ蛇行修正機構２００に通してサンプルを製造した。

＜比較例２＞
比較例２は、ウエブ蛇行修正機構２００のガイドロールに、水に対する後退接触角が１１０度あるエチレン−プロピレン−ジエンゴム（ＥＰＤＭ）を筒状にしたスリーブを従来から使用している搬送ローラに被せて用いた。そのウエブ蛇行修正機構２００を備えたウエブ加工装置１００を用いて、タッチセンサーフィルムを製造した。

比較例２においても、ウエブ蛇行修正機構２００に装着したガイドロールをある程度使用した後に、ウエブ加工装置１００のウエブ１０の搬送速度を実施例１と同じ５種類にして、水が付着したウエブ１０をウエブ蛇行修正機構２００に通してサンプルを製造した。

なお、以上で説明した実施例１、２および、比較例１、２の全ての搬送において、ウエブ蛇行修正機構２００に通したウエブ１０には水が付着していた。

（スクラッチ傷評価）
図５に、実施例１、２と比較例１、２とで製造したタッチセンサーフィルムのサンプルの品質を、そのタッチセンサーフィルムの表面のスクラッチ傷の有無で評価した結果を示す。図５の表において、品質評価欄は、丸印は、タッチセンサーフィルムにスクラッチ傷を生じることなく品質が良好と判断された場合を示し、×印は、スクラッチ傷を生じて品質が不良と判断された場合を示す。

実施例１と実施例２は、ウエブ１０の搬送速度を、１ｍ／分、２ｍ／分、５ｍ／分、１０ｍ／分、１５ｍ／分の５種類に変えてタッチセンサーフィルムを製造したものであり、その結果は、全ての条件で、ウエブ１０の巻き取り物の端面がそろっていた。また、巻き取ったウエブ１０の表面を観察してスクラッチ傷が無いことを確認した。

比較例１では、ウエブ１０の搬送速度が、１ｍ／分、２ｍ／分の場合、巻き取ったウエブ１０の表面を観察すると表面にスクラッチ傷が発生していなかったが、ウエブ１０の搬送速度が、５ｍ／分、１０ｍ／分、１５ｍ／分の場合には、巻き取ったウエブ１０の表面を観察するとスクラッチ傷が発生していた。

比較例２では、ウエブ１０の搬送速度が、１ｍ／分、２ｍ／分、５ｍ／分の場合、巻き取ったウエブ１０の表面を観察すると表面にスクラッチ傷が発生していなかったが、ウエブ１０の搬送速度が、１０ｍ／分、１５ｍ／分の場合には、巻き取ったウエブ１０の表面を観察するとスクラッチ傷が発生していた。

また、比較例１、２の全ての条件で、ウエブ１０の巻き取り物の端面は、実施例１、２に比べて波打った状態となっていて、ウエブ１０の表面にはシワになっていた部分も見られた。

なお、本発明の実施形態ではウエブ蛇行修正機構２００を設置する箇所として、現像工程４の後の工程の直後としたが、これに限定されるものではなく、水の付着したウエブ１０が搬送されてくるエッチング処理工程６などの直後にウエブ蛇行修正機構２００を設置することで、上記した効果を得ることができる。

１・・・帯状フィルム基材
２・・・金属層
３・・・ドライフィルムタイプの感光性レジスト
３ａ・・・支持フィルム
４・・・エッチング用レジストパターン
５・・・配線パターン
１０・・・ウエブ
１００・・・ウエブ加工装置
１０１・・・フィルム基材巻き出しロール
１０２・・・ドライフィルムラミネート装置
１０２ａ・・・ドライフィルム送り出しロール
１０２ｂ・・・フィルム加圧ロール
１０２ｃ・・・支持フィルム巻取りロール
１０３、１０５・・・アキュームレータ
１０４・・・露光マスク
１０６・・・現像処理装置
１０７・・・スプレーノズル
１０７ａ・・・折り返し搬送ローラ
１０８・・・水洗処理ユニット
１０９・・・折り返し搬送ローラ
１１０、１１０ａ・・・ＥＰＣ用第１ガイドロール
１１０ｂ・・・ＥＰＣ用第１補助ガイドロール
１１１、１１１ａ・・・ＥＰＣ用第２ガイドロール
１１１ｂ・・・ＥＰＣ用第２補助ガイドロール
１１２・・・エッジ位置検出器
１１３・・・エッチング装置
１１３ａ・・・折り返し搬送ローラ
１１４・・・スプレーノズル
１１４ａ・・・折り返し搬送ローラ
１１５・・・水洗処理ユニット
１１５ａ、１１６・・・折り返し搬送ローラ
１１７・・・剥離装置
１１８・・・剥離処理槽
１１８ａ、１１９・・・折り返し搬送ローラ
１２０・・・水洗処理ユニット
１２１、１２２・・・折り返し搬送ローラ
１２３・・・乾燥処理装置
１２４・・・巻き取りロール
２００・・・ウエブ蛇行修正機構

Claims (2)

1. 少なくとも、
   フィルム基材巻き出しロールから透明な帯状フィルム基材の両面に金属層２が形成されたウエブを供給する機構と、
   複数の搬送ローラを前記ウエブの搬送方向に配列して前記ウエブを搬送する搬送系と、
   前記ウエブの両面に感光性レジストをラミネートするラミネート機構と、
   前記感光性レジストを露光機構と、
   露光後の感光性レジストを現像する現像機構と、
   前記感光性レジストから露出した金属層をエッチングするエッチング機構と、
   エッチング後感光性レジストパターンを剥離する剥離機構と、
   乾燥機構と、
   巻き取り機構とを有し、
   前記現像機構、前記エッチング機構および前記剥離機構が有する搬送ローラの前記ウエブに接する部分が水に対する後退接触角９０度以上１１５度以下の材質であるウエブ加工装置であって、
   前記現像機構とエッチング機構の間にウエブ蛇行修正機構を備えることを特徴とするウエブ加工装置。
2. 前記蛇行修正機構を前記エッチング機構の直後に備えることを特徴とする請求項１に記載のウエブ加工装置。

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