JP6451006B2 - 固定砥粒ソーワイヤおよびその製造方法 - Google Patents

Description

この発明は固定砥粒ソーワイヤおよびその製造方法に関する。

シリコン，サファイヤなどの高硬度の脆性材料のインゴットを薄く切断してウエハを製作するために，固定砥粒ソーワイヤが用いられている。固定砥粒ソーワイヤは，上記インゴットよりも高い硬度を持つダイヤモンドなどの細かい粉砕物を鋼線の表面に固定したものである。走行する固定砥粒ソーワイヤにシリコンなどのインゴットを押しつけることによって，インゴットが薄く切出されてウエハが製作される。

特許文献１は，圧縮空気によってスプレーノズルから芯線の外周面に向けて接着剤を噴射して塗布し，これにより多数の点状接着剤を芯線の外周面上に付着させる方法を記載する。芯線の外周面上に付着した点状接着部に砥粒が固着される。しかしながら，特許文献１の方法では，芯線の外周面上の全体にわたって接着剤が付着しないとしても，過不足なく点状接着剤を付着させるのは容易ではない。スプレーノズルから噴射させる接着剤の時間当たりの量や噴射時間に多大な配慮を払わなければ，芯線に付着する点状接着剤が不足したり，逆に過剰に点状接着剤を付着させてしまう可能性が高い。点状接着部に砥粒が固着されるので，点状接着剤が不足する場合には芯線に付着する砥粒が少なすぎることになり，逆に点状接着剤が過剰であれば芯線に付着する砥粒が多すぎることになる。芯線に付着する砥粒が少なすぎるとインゴットのスライシングに長い時間がかかってしまう。芯線に付着する砥粒が多すぎるとインゴットをスライシングするときに生じる切子の排出性が悪化し，スライシング製品（ウエハなど）の品質に悪影響を及ぼしかねない。

特許第４０７３３２８号公報

この発明は，適切な密度でかつ適切なパターンで砥粒が付着した固定砥粒ソーワイヤを提供することを目的とする。

この発明はまた，切削性の優れた固定砥粒ソーワイヤを提供することを目的とする。

この発明による固定砥粒ソーワイヤは，鋼線の表面に所定パターンで複数の点状接着液滴を接着させ，上記点状接着液滴に砥粒を付着させ，上記所定パターンで上記砥粒が付着した鋼線の表面に固着材を被覆させたものであることを特徴とする。上記砥粒には，たとえばダイヤモンド粉砕物を用いることができる。ダイヤモンド粉砕物を金属（たとえばニッケル）で被膜したもの（金属被膜ダイヤモンド粉砕物）を砥粒として用いてもよい。ダイヤモンド粉砕物と金属被膜ダイヤモンド粉砕物の両方を混在させることもできる。

この発明は固定砥粒ソーワイヤの製造方法も提供する。この発明による固定砥粒ソーワイヤの製造方法は，鋼線の表面に所定パターンで複数の点状接着液滴を接着し，上記点状接着液滴に砥粒を付着し，上記所定パターンで上記砥粒が付着した鋼線の表面に固着材を被覆することを特徴とする。

この発明によると，鋼線の表面に所定パターンで複数の点状接着液滴が接着しており，この点状接着液滴に砥粒が付着しているので，鋼線の表面には上記所定パターンで砥粒が付着している。鋼線の表面に多数の砥粒が比較的広い範囲にわたって凝集して付着した箇所や逆に砥粒が付着していない箇所が無い。適切な密度でかつ適切なパターンで砥粒が付着した，シリコン等のインゴットのスライシングに適する固定砥粒ソーワイヤが提供される。一実施態様では点状接着液滴の大きさ（広がり範囲）が砥粒の大きさ（平均径）以下であり，１つの点状接着液滴に１粒ないし数粒の砥粒が付着する。

所定パターンとはあらかじめ定められている規則的な配列であり，複数の点状接着液滴（砥粒）のそれぞれが隣り合う点状接着液滴（砥粒）と所定の間隔をあけて鋼線の表面に接着（付着）され，かつ点状接着液滴（砥粒）同士が所定の配置位置関係を保持していることを意味する。たとえば鋼線の表面において周方向にほぼ一列に複数の点状接着液滴（砥粒）が互いに間隔をあけて並んでいるパターン，鋼線の表面にらせん状に複数の点状接着液滴（砥粒）が互いに間隔をあけて並んでいるパターン，その他のパターンが含まれる。好ましくは上記点状接着液滴（砥粒）の所定パターンは上記鋼線の長手方向に繰返し現れる。

点状接着液滴（砥粒）の所定パターンは鋼線の表面に向けて点状接着液滴を噴出する液滴塗布装置によって制御され，点状接着液滴の鋼線の表面への噴出にはたとえば特許第３９７５２７２号公報に記載の超微細流体ジェット装置を用いることができる。たとえば複数のノズルを備える液滴塗布装置を用いて複数のノズルのそれぞれから点状接着液滴を一の鋼線の表面に向けて噴出させることで，点状接着液滴を所定パターンで鋼線の表面に向けて噴出することができる。複数のノズルのそれぞれからの点状接着液滴の噴出タイミングは同一とすることもできるし，互いに異ならせることもできる。鋼線に対するノズルの配置（配列）も任意に変更することができる。いずれにしても，液滴塗布装置は噴出する液滴を１粒単位で正確に制御することができ，鋼線の表面においてムラを生じさせることがないようにして点状接着液滴の接着位置（砥粒の付着位置）が制御され，これによって様々な所定パターンで点状接着液滴（砥粒）が鋼線の表面に接着される。

上記固着材は，点状接着液滴によって鋼線の表面に付着している複数の砥粒を，鋼線の表面に固定（固着）するためのものである。固着材としては，好ましくはニッケル等の金属が用いられ，この場合固着材はめっき層を構成する。たとえばニッケルめっき液が溜められためっき浴槽に砥粒が付着した鋼線を浸し，上記めっき浴槽に電流を通電することによって，電着によってニッケルめっきが鋼線の表面に被覆される。ニッケルめっきによって砥粒は鋼線の表面に強固に固定される。

金属被膜ダイヤモンド粉砕物を用いる場合，金属被膜ダイヤモンド粉砕物を被膜する金属と上記めっき層に用いられる金属とを同一のものとするのが好ましい。めっきが良好に析出されるので，ダイヤモンド粉砕物をより強固に鋼線の表面に固定することができる。

一実施態様では，上記点状接着液滴が紫外線硬化性樹脂である。点状接着液滴として紫外線硬化性樹脂を用いることで，紫外線を用いて点状接着液滴を硬化させることができる。固着材を鋼線に表面に被覆することによって鋼線の表面に砥粒を強固に固定する前段階において，鋼線の表面に砥粒を仮固定することができる。砥粒の脱落が抑制される。

一実施態様では，上記点状接着液滴の平均径（液滴の大きさ）が10μｍ以下である。特許第３９７５２７２号公報に記載の超微細流体ジェット装置が備えるノズル等を用いることで，鋼線の表面に平均径が10μｍ以下の点状接着液滴を接着することができる。シリコン等のインゴットをスライシングするための固定砥粒ソーワイヤは，その基材である鋼線に直径の太いものを用いると，カーフロスが大きくなってしまう。カーフロスを小さくとどめるにはできるだけ直径の小さい鋼線を用いるのが理想である。超微細流体ジェット装置は微少体積の流体を精度良く噴出することができるので，0.08mm〜0.25mm程度の直径の小さい鋼線を用いても，その表面に平均径が10μｍ以下の点状接着液滴を所定パターンで接着することができる。すなわち，この発明による固定砥粒ソーワイヤを構成する鋼線は一実施態様において0.08mm〜0.25mmの直径を持つ。

好ましくは，長手方向に隣り合う他の砥粒までの間隔が，上記砥粒の平均径の０．８倍以上，好ましくは１倍以上，より好ましくは１．５倍以上，特に好ましくは２．５倍以上とされる。シリコン等のインゴットをスライシングするときに発生する切子の良好な排出性を確保することができ，切削性が向上する。

固定砥粒ソーワイヤの製造装置を概略的に示す。 固定砥粒ソーワイヤの製造装置を概略的に示す。 液滴塗布装置と鋼線との位置関係を示す。 固定砥粒ソーワイヤの横断面図である。 固定砥粒ソーワイヤの片側縦断面図である。 （Ａ），（Ｂ）および（Ｃ）は液滴の接着パターンを示すもので，鋼線の表面の展開図である。 （Ａ）および（Ｂ）は液滴の接着パターンを示すもので，鋼線の表面の展開図である。 鋼線と鋼線に向けて液滴を噴出する液滴塗布装置のノズルとの位置関係を示している。 鋼線と鋼線に向けて液滴を噴出する液滴塗布装置のノズルとの位置関係を示している。 液滴の接着パターンを示すもので，液滴が接着している鋼線の斜視図である。 砥粒が付着している鋼線の拡大写真である。 ダイヤモンド粉砕物を砥粒として用いた固定砥粒ソーワイヤの一部拡大断面写真である。 ニッケルによってプレコーティングしたダイヤモンド粉砕物を砥粒として用いた固定砥粒ソーワイヤの一部拡大断面写真である。

図１および図２は固定砥粒ソーワイヤの製造装置（システム）を示している。

ワイヤ繰出装置10の繰出ボビン11に断面円形の鋼線１が巻き回されている。鋼線１はスチール製のもので，0.08mm以上0.25mm以下の直径を持つ。繰出ボビン11から繰出された鋼線１はダンサー機構12に進む。ダンサー機構12は，固定ロール12Ａ，ダンサーロール12Ｂおよび固定ロール12Ｃを含み，鋼線１はこれらのロール12Ａ，12Ｂ，12Ｃにかけられている。ダンサーロール12Ｂは上下方向に移動可能に支持されており，張力付与装置の一部を形成する。ダンサーロール12Ｂに負荷される回転トルクにより，鋼線１に加わる張力が制御される。

ダンサー機構12を経た鋼線１はキャプスタン機構13に進む。キャプスタン機構13は回転自在の２つのキャプスタンロール13Ａ，13Ｂを含み，鋼線１はこれらのロール13Ａ，13Ｂに複数回にわたってかけられている。キャプスタンロール13Ａ，13Ｂの少なくとも一方の回転がサーボ・モータ（図示略）によって制御される。キャプスタン機構13において鋼線１の繰出し速度が制御される。

キャプスタン機構13を経た鋼線１は，案内ロール14，15を経て洗浄装置20に進む。

洗浄装置20は，鋼線１の進行方向に間隔あけて並べられた２つの浸漬ロール24，25を備える浸漬槽22を含む。浸漬槽22には希塩酸水溶液23が溜められており，上記浸漬ロール24，25は希塩酸水溶液23中に浸かっている。洗浄装置20において，案内ロール21を経た鋼線１は浸漬槽22内の浸漬ロール24，25にかけられ，ここで希塩酸水溶液23に浸漬される。希塩酸水溶液23によって鋼線１の表面の酸化物が除去される。表面の酸化物が除去された鋼線１は案内ロール26を経て液滴塗布装置30に進む。

図３は，鋼線１の進行方向側から見た液滴塗布装置30のノズル31と鋼線１との配置関係を示している。

液滴塗布装置30は，走行する鋼線１の外側周囲において，先端を上記鋼線１に向けて，所定角度間隔をあけて配列された複数のノズル31と，上記複数のノズル31のそれぞれに独立に電圧を印加する制御装置32とを備え，上記制御装置32によって上記複数のノズル31のそれぞれに印加される電圧によって上記複数のノズル31内の流体を帯電させ，帯電した流体と上記鋼線１との間に働く静電力によって，上記流体の一部である液滴３を上記ノズル31の先端から上記鋼線１に向けて飛翔させるものである。上記ノズル31内には供給される流体が通る通路が形成されており，この流体通路がノズル31の先端開口につながっているのは言うまでもない。また，上記制御装置32によって加えられる電圧が与えられる電極（図示略）が上記ノズル31には設けられている。この実施例の液滴塗布装置30は微少体積の液滴３を噴出することが可能な６つのノズル31を備えており，６つのノズル31のいずれもが制御装置32に接続されている。各ノズル31に電圧が印加されることで，流体が帯電し，帯電した流体と導体である鋼線１との間に働く静電力によって，液滴３が液滴塗布装置30のノズル31の先端から鋼線１に向けて飛翔する。ノズル31の構造，ノズル31から鋼線１に向けて液滴３を飛翔させるための電圧値等については，たとえば特許第３９７５２７２号公報に記載のものを用いることができる。

図３においては，６つの先細のノズル31が，鋼線１の外周面の外方において隣り合うノズル31との間に等角度間隔をあけて設けられている。ノズル31は鋼線１に垂直に設けてもよいし，鋼線１に対して斜めに（たとえば鋼線１の走行方向に沿う方向にノズル31の先端が向くように，またはその逆を向くように）設けてもよい。いずれにしてもノズル31の先端は鋼線１の表面を向いている。走行する鋼線１に向けてノズル31のそれぞれから微少体積の液滴３が噴出し，噴出した液滴３は鋼線１の表面に着弾する。液滴塗布装置30から噴出される液滴３としては紫外線硬化特性を有する接着樹脂が用いられる。液滴塗布装置30から噴出された液滴３が鋼線１の表面に着弾すると，液滴３は鋼線１の表面においてわずかに広がり（飛び散り），その位置に接着（定着）する。鋼線１の表面に着弾した液滴３が鋼線１の表面から流れ落ちてしまうまたは鋼線１の表面に際限なく広がってしまうことはない。ノズル31の数は，４つ，５つ，８つその他の数としてもよい。

図１に戻って，液滴塗布装置30を経た鋼線１は砥粒付着装置40に進む。

砥粒付着装置40は砥粒堆積槽42を備えている。砥粒堆積槽42の内部に，平均径が８μｍ〜16μｍ程度のダイヤモンド粉砕物４が多数堆積されている。ダイヤモンド粉砕物４は，後述する工程を経て鋼線１の表面に固着されて，シリコンなどのインゴットから薄いウエハを切り出すための砥粒として用いられる。以下の説明では，ダイヤモンド粉砕物４を「砥粒４」と呼ぶ。

砥粒堆積槽42の内部にはさらに歯付き車41が回転自在に設けられている。歯付き車41が回転することで，砥粒堆積槽42に堆積されている砥粒４が掻き揚げられ，砥粒堆積槽42の内部に多数の砥粒４が浮遊する。多数の砥粒４が浮遊している砥粒堆積槽42内を表面に液滴３が接着した鋼線１が通過すると，鋼線１の表面の液滴３に砥粒４が付着する。着弾した液滴３の大きさと砥粒４の大きさとの関係は，液滴３の直径（仮想円相当直径）（平均径）が砥粒４の直径（仮想円相当直径）（平均径）の０．８倍以上であることが好ましく，２倍以下であることが好ましい。砥粒４に対してはみだす部分の少ない量の液滴３を用いることで，後述するめっきの析出を良好なものとすることができる。１つの液滴３に対して１粒ないし数粒の砥粒４が付着する。

液滴３によって表面に多数の砥粒４が付着した鋼線１は，次に紫外線照射装置50に進む。

紫外線照射装置50は，紫外線（ＵＶ）を出射するランプ51および反射ミラー52を含む。紫外線ランプ51から出射された紫外線および反射ミラー52によって反射された紫外線が鋼線１のほぼ全体に照射される。紫外線硬化性接着樹脂の液滴３はここで硬化する。鋼線１の表面に多数の砥粒４が仮固定される。

電気めっき装置60に進む。電気めっき装置60は，スルファミン酸ニッケル水溶液63が溜められた電気めっき槽62を備える。電気めっき槽62内には浸漬ロール64，65およびＮｉ（ニッケル）アノード66が設けられている。鋼線１は案内ロール61，浸漬ロール64，65，および案内ロール67にかけられ，電気めっき槽62に溜められたスルファミン酸ニッケル水溶液63に浸漬される。

案内ロール61，67をマイナス，Ｎｉアノード66をプラスとして，水溶液63に直流電流を通電する。たとえば８μｍの層厚のニッケルめっき層（固着材）が鋼線１の表面に積層（析出）されて被覆される。ニッケルめっき層によって，液滴３によって付着（仮固定）している多数の砥粒４が鋼線１の表面に強固に固定される。

図２を参照して，ニッケルめっきされた鋼線１は洗浄装置70に進む。洗浄装置70は水73が溜められた，浸漬ロール74，75を備える洗浄槽72を含む。ニッケルめっきされた鋼線１は，案内ロール71，浸漬ロール74，75，および案内ロール76にかけられており，洗浄層72に溜められた水73によって水洗いされる。

水洗いされた鋼線１は次に乾燥装置80に進む。乾燥装置80は，案内ロール81，82および電気ヒータ83を備える。乾燥装置80を通過するときに，電気ヒータ83からの熱によって水洗いされた鋼線１が乾かされる。

最後に，乾かされた鋼線１はワイヤ巻取り装置90に進む。ワイヤ繰出装置10と同様に，ワイヤ巻取り装置90も，案内ロール91，92，キャプスタンロール93Ａ，93Ｂを含むキャプスタン機構93，固定ロール94Ａ，94Ｃおよびダンサーロール94Ｂを含むダンサー機構94を備える。上述した工程を経た鋼線１が巻取ボビン95によって巻取られる。以下，巻取ボビン95によって巻取られる最終状態の鋼線１を，固定砥粒ソーワイヤ２と呼ぶ。

図４は固定砥粒ソーワイヤ２の横断面を模式的に示している。図５は固定砥粒ソーワイヤ２の片側縦断面を模式的に示している。

固定砥粒ソーワイヤ２は，鋼線（スチール単線）１と，鋼線１の表面に接着した液滴３と，液滴３に付着した砥粒４と，ニッケルめっき層６を含む。上述したように，鋼線１は0.08mm〜0.25mmの直径を持つ。液滴３は10μｍないしそれ以下の直径（広がり）を持つ。砥粒４は８μｍ〜16μｍの平均径を持つ。ニッケルめっき層６は砥粒４の平均径の70％程度の厚さを持つ。ニッケルめっき層６の層厚は砥粒４の全体が覆われてしまわない程度とするのが好ましい。６μｍ程度の層厚があれば砥粒４を鋼線１の表面に強固に固着することができる。ニッケルめっき層６を厚く積層しすぎないことで，固定砥粒ソーワイヤ２の使用初期段階の切削性がニッケルめっき層６によって低められてしまうことがなく，カーフロスも小さくすることができる。

液滴３（砥粒４）は，鋼線１の長手方向に隣り合う液滴３（他の砥粒４）との間の間隔を，砥粒４の直径に対して特定の倍率で離して鋼線１の表面に接着（付着）させることが好ましい。この離間間隔は，砥粒４の直径（仮想円相当直径）に対して０．８倍以上であることが好ましく，１倍以上であることがより好ましく，１．５倍以上であることがさらに好ましく，２倍以上であることがさらに好ましく，２．５倍以上であることが特に好ましい。上限は特にないが，５倍以下であることが実際的である。上述した離間距離を具体的な数値で示すと，おおよそ１０μｍ以上であることが好ましく，２０μｍ以上であることがより好ましく，３０μｍ以上であることがさらに好ましく，５０μｍ以上であることが特に好ましい。上限としては２００μｍ以下であることが実際的である。このように砥粒４を適当な距離で離間させて過剰に鋼線１の表面に接着しないようにすることで，固定砥粒ソーワイヤ２を用いてシリコン等のインゴットをスライシングするときに生じる切子を良好に外部に排出することができる。

図６（Ａ）〜図７（Ｂ）は鋼線１の表面の展開図を示すもので，鋼線１の表面に付着している液滴３の接着パターン（繰返しパターン）を示している。液滴３はそれぞれ鋼線１の長手方向に間隔をあけて並んで接着されている。上述した液滴塗布装置30の６つのノズル31のそれぞれからの液滴３の噴出タイミングを制御すること，または６つのノズル31の配置位置を調整することで，液滴３の鋼線１の表面における接着パターンを制御することができる。鋼線１の周方向にほぼ一列に液滴３を並べたパターン（図６（Ａ）），鋼線１にらせん状に液滴３を並べたパターン（図６（Ｂ）〜図７（Ｂ）），６つのノズル31のうちの３つのノズル31と残りの３つのノズル31の噴出タイミングを異ならせたパターン（図６（Ｃ）），６つのノズル31を２本ずつ組にして，３組のノズル31の噴出タイミングを異ならせたパターン（図７（Ｂ））など，様々なパターンで液滴３を鋼線１の表面に接着させることができる。液滴３には砥粒４が１粒ないし数粒ずつ付着するので，図６（Ａ）〜図７（Ｂ）に示す液滴３の接着パターンは，そのまま固定砥粒ソーワイヤ２における砥粒４の配置パターンを示す。

図８および図９は，鋼線１と，鋼線１に接着している液滴３と，鋼線１に向けて液滴３を噴出する６つのノズル31との位置関係を示している。

図８および図９に示す鋼線１の表面に接着されている液滴３の位置（接着パターン）はいずれも同じらせん状のパターンであるが，６つのノズル31の配置位置が，図８と図９とでは異なっている。

図８では，６つのノズル31が，鋼線１の一の横断面に沿って互いに等角度間隔をあけて配置されている。６つのノズル31のそれぞれから噴出される液滴３の噴出タイミングをずらすことで，走行する鋼線１の表面に液滴３がらせん状に接着される。

図９では，６つのノズル31が，鋼線１の外側周囲において互いに等角度間隔をあけて配置され，かつ鋼線１の長手方向にも位置を異ならせて（等間隔をあけて）設けられている。図９に示す態様では６つのノズル31から同時に液滴３を噴出することができる。ノズル31自体の配置によって，らせん状に並ぶ液滴３の鋼線１の表面への接着が実現される。

ノズル31の数，各ノズル31からの液滴３の噴出タイミング，および各ノズル31の配置位置を制御することで，鋼線１の表面に様々な密度かつパターンで液滴３を接着することができ，たとえば図１０に示すように，異なるらせん方向に並ぶ複数の液滴３の接着パターンを鋼線１の表面に実現することもできる。

図１１に複数の砥粒４が液滴３によって表面に付着している鋼線１の拡大写真を示す。

上述した実施例では，電気めっきによってニッケルめっき層６を鋼線１に積層する例を説明したが，電気めっきに代えて無電解めっきや溶融めっきを用いてもよい。また，上述した実施例ではダイヤモンド粉砕物を砥粒４として用いる例を説明したが，ニッケルによってプレコーティングしたダイヤモンド粉砕物（金属被膜ダイヤモンド粉砕物）を砥粒４として用いてもよい。特にめっき層（固着材）の金属と同じ金属によってダイヤモンド粉砕物をプレコーティングしておくことでダイヤモンド粉砕物の周囲にめっきが良好に析出されることになるので，ダイヤモンド粉砕物をより強固に鋼線１の表面に固定することができる。

図１２はダイヤモンド粉砕物を砥粒４として用いた固定砥粒ソーワイヤの一部拡大断面写真である。図１３はニッケルによってプレコーティングしたダイヤモンド粉砕物を砥粒４として用いた固定砥粒ソーワイヤの一部拡大断面写真である。なお，図１２および図１３に示す断面写真では，固定砥粒ソーワイヤの外縁を分かりやすくするための画像補正（エッジを明るくする補正）を行っている。

ダイヤモンド粉砕物とニッケルによってプレコーティングしたダイヤモンド粉砕物の両方を，鋼線１の表面に固定してもよい。上述した砥粒付着装置40の砥粒堆積層42（図１参照）に，ダイヤモンド粉砕物とニッケルによってプレコーティングしたダイヤモンド粉砕物を混在させておくことで，これらの両方を鋼線１の表面に固定することができる。

１ 鋼線
２ 固定砥粒ソーワイヤ
３ 液滴
４ ダイヤモンド粉砕物（砥粒）
６ ニッケルめっき層

Claims (14)

1. 鋼線の表面に任意の所定パターンで，紫外線硬化特性を有しかつ帯電特性を有する樹脂の複数の接着液滴が点状に接着されており，上記点状接着液滴に金属被膜付き砥粒が固定されており，上記所定パターンで上記金属被膜付き砥粒が固定した鋼線の表面が金属系固着材により被覆されている，
   固定砥粒ソーワイヤ。
2. 上記所定パターンが上記鋼線の長手方向に繰返し現れている，
   請求項１に記載の固定砥粒ソーワイヤ。
3. 上記点状接着液滴の平均径が10μｍ以下である，
   請求項１または２に記載の固定砥粒ソーワイヤ。
4. 長手方向に隣り合う他の砥粒までの間隔が，上記砥粒の平均径の０．８倍以上である，
   請求項１から３のいずれか一項に記載の固定砥粒ソーワイヤ。
5. 上記金属被膜付き砥粒が金属被膜ダイヤモンドである，請求項１から４のいずれか一項に記載の固定砥粒ソーワイヤ。
6. 上記金属系固着材がめっき層である，
   請求項１から５のいずれか一項に記載の固定砥粒ソーワイヤ。
7. 上記金属被膜付き砥粒の被膜に用いられる金属と上記めっき層に用いられる金属とが同一である，請求項６に記載の固定砥粒ソーワイヤ。
8. 鋼線の表面に任意の所定パターンで，紫外線硬化特性を有しかつ帯電特性を有する樹脂の複数の接着液滴を点状に接着し，
   上記点状接着液滴に金属被膜付き砥粒を固定し，
   上記所定パターンで上記金属被膜付き砥粒が固定した鋼線の表面に金属系固着材を被覆する，
   固定砥粒ソーワイヤの製造方法。
9. 上記所定パターンが上記鋼線の長手方向に繰返し現れている，
   請求項８に記載の固定砥粒ソーワイヤの製造方法。
10. 上記点状接着液滴の平均径が10μｍ以下である，
    請求項８または９に記載の固定砥粒ソーワイヤの製造方法。
11. 長手方向に隣り合う他の砥粒までの間隔が，上記砥粒の平均径の０．８倍以上である，
    請求項８から１０のいずれか一項に記載の固定砥粒ソーワイヤの製造方法。
12. 上記金属被膜付き砥粒が金属被膜ダイヤモンドである，請求項８から１１のいずれか一項に記載の固定砥粒ソーワイヤの製造方法。
13. 上記金属系固着材がめっき層である，
    請求項８から１２のいずれか一項に記載の固定砥粒ソーワイヤの製造方法。
14. 上記金属被膜付き砥粒の被膜に用いられる金属と上記めっき層に用いられる金属とが同一である，
    請求項１３に記載の固定砥粒ソーワイヤの製造方法。