JP2001315060A

JP2001315060A - ドレッシング砥石及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001315060A
Application number: JP2000132189A
Authority: JP
Inventors: Yuji Kimoto; 裕司木本
Original assignee: Goei Seisakusyo Co Ltd
Current assignee: Goei Seisakusyo Co Ltd
Priority date: 2000-05-01
Filing date: 2000-05-01
Publication date: 2001-11-13

Abstract

(57)【要約】【課題】超砥粒が規則的に配列されたドレッシング砥
石及びその製造方法を提供する。【解決手段】平面台金１０に超砥粒１２が一層にかつ規
則的に配列して固着されたドレッシング砥石の製造方法
であって、前記平面台金１０にバインダー１１を塗布す
るバインダー塗布工程と、孔８が規則的に配列された薄
板３を吸入口に備えた吸入装置１により前記超砥粒１２
を前記薄板３の孔８に吸い付かせる配列工程と、規則配
列された前記超砥粒１２を前記バインダー１１を介して
前記平面台金１０上に付着させる付着工程と、銀ロウ粉
末又は自溶性Ｎｉ粉末を前記超砥粒１２が付着された平
面台金１０に散布する散布工程と、加熱処理して前記平
面台金１０に前記超砥粒１２を固着させる加熱工程とを
含むことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はシリコンウエハ等を
鏡面に仕上げる化学的機械的ポリッシング（ＣＭＰ）に
用いられる研磨パットのドレッシングに使用される砥石
に関し、特に作業性、耐久性に優れたドレッシング砥石
及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ドレッシング砥石には、電着超
砥粒砥石と、ロウ付超砥粒砥石とが知られている。図７
は従来例である超砥粒を説明する図であり、図７（ａ）
が電着超砥粒砥石の断面図、（ｂ）が従来のロウ付超砥
粒砥石の断面図である。

【０００３】電着超砥粒砥石は超砥粒を砥石の平面台金
（以下単に「台金」ともいう。）にメッキ技術を応用し
て固着したものであり、その製造方法は、次の通りであ
る。まず、台金をメッキ液に浸して陰極とし、その台金
に超砥粒を載せてメッキにより一層の超砥粒を仮固定す
る。その後台金に接していない浮いた超砥粒を除去し、
次いでメッキにより超砥粒を埋め込む。そして、超砥粒
の突き出し加工を研削、化学・電解エッチングにより行
い、超砥粒の突き出し量が粒径の５％〜３０％となった
ところで突き出し加工を終了して完成する。

【０００４】一方、ロウ付超砥粒砥石は、台金にペース
ト状のロウ材を塗布し、これに超砥粒を付着させ、その
後、加熱処理してロウ材を溶融し、その溶融ロウ材によ
り超砥粒を台金に固着することにより製造される。前記
工程により製造されたロウ付超砥粒砥石はロウ材が超砥
粒と濡れやすいため、超砥粒が台金に強固に固定され
る。そのため、電着超砥粒砥石に比べると超砥粒の脱落
がなく、寿命も長いという利点を有する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記工程によ
り製造された電着超砥粒砥石は、図７（ａ）に示すよう
に、台金１０上に超砥粒１２がメッキ１５により固定さ
れるが、超砥粒１２が集まった部分では浮き石１２ａが
発生することもあった。また、電着超砥粒砥石は基本的
に超砥粒を機械的に包み込んだだけであるので、超砥粒
の保持力も十分ではなかった。そのため、研磨ポリッシ
ングパットのドレッシングの際に超砥粒が脱落して、シ
リコンウエハを研磨するときにシリコンウエハを傷つけ
るという致命的な問題があった。その上、メッキ層が摩
耗することで砥粒が次々に脱落し、切れ味が低下してい
くため、寿命が短いという問題もあった。

【０００６】また、従来のロウ付超砥粒砥石では、図７
（ｂ）に示すように超砥粒１２が不規則あるいは数粒が
接触した状態で台金１０にロウ材１３で固着されるの
で、ロウ材１３が各超砥粒１２に均一に付着せず、ロウ
材１３が過剰に付着した砥粒やロウ材が不足した砥粒が
出てくる。最悪の場合、浮き石１２ａが発生し、ポリッ
シングパットのドレッシング中に浮き石１２ａの脱落が
生じ、シリコンウエハ等を傷つけ莫大な損害をもたらす
問題があった。

【０００７】本発明は前記問題点を解決すべくなされた
もので、超砥粒を規則的に配列させたドレッシング砥石
を簡易に製造する方法を提供することにある。また、他
の目的は、超砥粒の先端が均一にそろったドレッシング
砥石を提供することにある。さらに、他の目的は、ロウ
材の摩耗が少なく、寿命が長いドレッシング砥石を提供
することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため次のようにした。即ち、第１の態様としてド
レッシング砥石の製造方法は、平面台金に超砥粒が一層
にかつ規則的に配列して固着されたドレッシング砥石の
製造方法であって、前記平面台金にバインダーを塗布す
るバインダー塗布工程と、孔が規則的に配列された薄板
を吸入口に備えた吸入装置により前記超砥粒を前記薄板
の孔に吸い付かせる配列工程と、規則配列された前記超
砥粒を前記バインダーを介して前記平面台金上に付着さ
せる付着工程と、銀ロウ粉末又は自溶性Ｎｉ粉末を前記
超砥粒が付着された台金に散布する散布工程と、加熱処
理して前記平面台金に前記超砥粒を固着させる加熱工程
とを含むようにした。

【０００９】また、第２の態様として、ドレッシング砥
石の製造方法は、平面台金に超砥粒が一層にかつ規則的
に配列して固着されたドレッシング砥石の製造方法であ
って、前記平面台金にバインダーと銀ロウ粉末又はバイ
ンダーと自溶性Ｎｉ合金粉末を混合したペーストを塗布
するペースト塗布工程と、孔が規則的に配列された薄板
を吸入口に備えた吸入装置により前記超砥粒を前記薄板
の孔に吸い付かせる配列工程と、前記規則配列された超
砥粒を前記平面台金上に前記ペーストを介して付着させ
る付着工程と、加熱処理して前記平面台金に前記超砥粒
を固着させる加熱工程とを含むようにした。

【００１０】さらに、第３の態様としてドレッシング砥
石の製造方法は、平面台金に超砥粒が一層にかつ規則的
に配列して固着されたドレッシング砥石の製造方法であ
って、前記平面台金にバインダーを塗布するバインダー
塗布工程と、孔が規則的に配列された薄板を台金上に配
置し、前記薄板上で前記超砥粒を振動させて前記薄板の
孔に超砥粒を落下させて配列させると共に、規則配列さ
れた前記超砥粒を前記バインダーを介して前記平面台金
上に付着させる配列付着工程と、前記超砥粒のうち台金
に付着しない余分なものを除去する除去工程と、銀ロウ
粉末又は自溶性Ｎｉ粉末を前記超砥粒が付着された台金
に散布する散布工程と、加熱処理して前記平面台金に前
記超砥粒を固着させる加熱工程とを含むようにした。

【００１１】また、第４の態様としてドレッシング砥石
の製造方法は、平面台金に超砥粒が一層にかつ規則的に
配列して固着されたドレッシング砥石の製造方法であっ
て、前記平面台金にバインダーと銀ロウ粉末又はバイン
ダーと自溶性Ｎｉ合金粉末を混合したペーストを塗布す
るペースト塗布工程と、孔を有する薄板を平面台金上に
配置し、前記薄板上で前記超砥粒を振動させて前記薄板
の孔中に超砥粒を落下させて配列させると共に、規則配
列された前記超砥粒を前記バインダーを介して前記平面
台金上に付着させる配列付着工程と、前記超砥粒のうち
平面台金に付着しない余分なものを除去する除去工程
と、加熱処理して前記平面台金に前記超砥粒を固着させ
る加熱工程とを含むようにした。

【００１２】これらの製造方法によれば、予め薄板に所
望の配列の孔を配し、この孔を利用して超砥粒を配置す
ることで、ロウ付超砥粒砥石の利点を生かしつつ、容易
に砥粒が規則配列されたドレッシング砥石を得ることが
できる。また、これらの製造方法により得られたドレッ
シング砥石は一定間隔で超砥粒が固着されているため、
ロウ材が超砥粒に富士山状（円錐台状）に付着する。こ
れにより、超砥粒の突き出し量が安定するのでコンディ
ショニングが安定し、後処理としても均等にＮｉメッキ
をすることが可能になる。

【００１３】また、第５の態様としてドレッシング砥石
の製造方法は、第１又は第２の態様において、前記付着
工程の後、前記加熱工程の前に前記超砥粒先端を平板で
押さえつける調整工程を有するようにした。さらに、第
６の態様としてドレッシング砥石の製造方法は、第３又
は第４の態様において、前記除去工程の後、前記加熱工
程の前に前記超砥粒先端を平板で押さえつける調整工程
を有するようにした。

【００１４】このように平板で超砥粒先端を押さえつけ
ることにより、超砥粒の突き出し量をより安定させ、砥
粒先端の位置も揃わせることができる。

【００１５】また、第７の態様としてドレッシング砥石
の製造方法は、第１ないし第６の態様において、前記加
熱工程の後、前記超砥粒のうち前記超砥粒を固着した銀
ロウ又はＮｉ系自溶性合金から突出した部分にマスキン
グを施し、その後前記銀ロウ又はＮｉ系自溶性合金にＮ
ｉメッキをするメッキ工程を有するようにした。

【００１６】このようなドレッシング砥石の製造方法に
よれば、超砥粒の突き出し量が均一な砥石にＮｉメッキ
が施されているので、均等にＮｉメッキをすることがで
きる。特に超砥粒先端部をマスキングした後Ｎｉメッキ
をするので、超砥粒がＮｉメッキに覆われることもな
い。

【００１７】また、第８の態様として第１から第７の態
様のいずれか１つのドレッシング砥石の製造方法により
製造されたドレッシング砥石とした。この態様によれ
ば、超砥粒が規則的に配列され、超砥粒の突き出し量が
揃い、切削条件も適切となるため、ドレッシングが均一
に行え、砥石寿命も長いものとなる。

【００１８】また、第９の態様として第８の態様におい
てに記載の発明では、前記超砥粒の粒径が０．１ｍｍ以
上、０．３ｍｍ以下であるドレッシング砥石とした。

【００１９】このようにすることにより、超砥粒の突き
出し量がより安定し、砥粒先端の位置も揃うため、均一
なドレッシングをすることができる。

【００２０】また、第１０の態様として第８又は第９の
態様において、前記銀ロウ粉末又はＮｉ系自溶性合金粉
末の層の厚さが前記超砥粒の平均粒径の３０％以上、７
０％以下であるドレッシング砥石とした。

【００２１】このようにすることにより、銀ロウ粉末又
はＮｉ系自溶性合金粉末が超砥粒を適切に保持するた
め、超砥粒の脱落を防止しつつ研削効率を維持すること
ができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態につき適宜図
面を参酌しながら説明する。図１は第１の実施の形態に
係るドレッシング砥石のダイヤモンドの超砥粒の配列工
程を示す図であり、図２は薄板に配列された孔に各一個
のダイヤモンドの超砥粒が吸い付けられている状態を示
す断面拡大図である。

【００２３】第１の実施の形態に係るドレッシング砥石
はダイヤモンドの超砥粒を規則的に配列する方法に特徴
を有し、ダイヤモンドの超砥粒の配列は吸入装置を用い
て行われる。図１において、ダイヤモンドの超砥粒１２
（以下、単に「超砥粒」ともいう）の吸入装置１は開口
部が円形でカップ状の低圧室２と低圧室２の開口部に蓋
をするように取り付けられた薄板３と、吸引ポンプであ
るロータリー式真空ポンプ４と、低圧室２の底から低圧
室２の空気を吸引するべく低圧室２およびロータリー式
真空ポンプ４を連結するホース５と、ホース５の途中に
設けられた弁６と、低圧室２を大気圧に戻すリリーフバ
ルブ７とからなる。そして、薄板３には正方形格子の格
子点位置に直径０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍの範囲の孔、
例えば０．０９ｍｍの孔８がエッチングにより開けられ
ている。なお、ここで使用するダイヤモンドはその表面
に何も被覆されていない状態のものを使用する。

【００２４】前記吸入装置１を使用して、第１の実施の
形態のドレッシング砥石は次の方法により製造される。
まず、直径１００ｍｍのＳＵＳ製の円盤状の台金１０の
上面に、銀ロウ粉末の結合材であるバインダー１１を図
示しない刷毛により薄く塗布する（バインダー塗布工
程）。一方、弁６を開いたまま吸入装置１のロータリー
式真空ポンプ４を稼働させ、超砥粒１２の入った図示し
ないトレーに低圧室２の吸入口である薄板３を近づけ
る。前記超砥粒１２は孔８の直径より若干大きい粒径
０．１ｍｍ〜０．３ｍｍの範囲で揃えた超砥粒、例えば
０．１７ｍｍ〜０．１８ｍｍの粒径に揃えたものを使用
することで前記薄板３に配列された孔８を通過できず孔
８にとどまるので、図２に示すごとく各孔８に一つずつ
超砥粒１２が吸い付けられる（配列工程）。

【００２５】次に、超砥粒１２が吸い付けられた薄板３
を前記バインダー１１が塗布された台金１０の上方１ｍ
ｍ〜１０ｍｍの位置に移動させる。ここで、弁６を閉
じ、低圧室２に設けられたリリーフバルブ７を開けるこ
とで、超砥粒１２を台金１０上のバインダー１１表面に
落下させる（付着工程）。落下した超砥粒１２はバイン
ダー１１に付着するので、台金１０上に超砥粒１２が配
列した状態になる。ここで、必要に応じ超砥粒１２の配
列面を図示しない押さえ板により押さえつけても良い
（調整工程）。

【００２６】次に、超砥粒１２が配列された台金１０に
銀ロウ粉末を散布する（散布工程）。そして、真空又は
不活性雰囲気中で８００℃〜１１００℃の温度で加熱処
理すると、銀ロウ粉末が固まり、超砥粒１２は台金１０
に固着される（加熱工程）。なお、散布工程ではロウ付
後のロウ材１３の厚さが超砥粒１２の粒径の３０％〜７
０％になるように散布量を調整するのが望ましい。

【００２７】次に、超砥粒１２が固着された砥石の砥粒
面に、マスキングインクを付着させた図示しないゴム製
のローラーを転がして、マスキングインクを超砥粒１２
以外には付着させないようにして超砥粒１２の先端突き
出し部にのみマスキングを行う。その後、Ｎｉメッキを
施すことでマスキングされていない銀ロウの部分のみが
Ｎｉメッキされ（メッキ工程）、第１の実施の形態に係
るドレッシング砥石が完成する。

【００２８】このようにして製造されたドレッシング砥
石は、次のような特徴を有する。図４（ａ）はＮｉメッ
キを施す前の第１の実施の形態に係るドレッシング砥石
の断面図であり、（ｂ）は第１の実施の形態に係るドレ
ッシング砥石の断面図であり、（ｃ）はマスキングを施
すことなくＮｉメッキをした場合のドレッシング砥石の
断面図である。図４（ａ）に示すように、第１の実施の
形態に係るドレッシング砥石はダイヤモンドの超砥粒１
２が規則的に一定間隔をもって配列されているため、各
超砥粒１２には富士山状（円錐台状）にロウ材１３が付
着して超砥粒１２を固定している。このため、超砥粒１
２の脱落が無く、さらに切削屑の目詰まりもしにくい。
また、ロウ材１３は低硬度なため摩耗しやすいが、図４
（ｂ）に示すように第１の実施の形態に係るドレッシン
グ砥石ではＮｉメッキ１４が施されているために、ロウ
材１３の摩耗を最小限に抑え、砥石寿命が長いという特
徴を持つ。また、ロウ材１３だけで固定されているとき
と比べると、ダイヤモンド超砥粒１２の保持力も高い。

【００２９】また、マスキング後にＮｉメッキをした効
果について図４（ｂ）及び（ｃ）を参照しながら説明す
る。図４（ｃ）に示すように、マスキングをしないでＮ
ｉメッキ１４をした場合には、ダイヤモンドの超砥粒１
２の先端にまでＴｉＣやＣｒＣ等の炭化膜が生成され
る。そのため、Ｎｉメッキ１４を施すとメッキ部１４ａ
のようにダイヤモンドの突き出し部にまでかかってしま
う場合や、メッキ部１４ｂのようにダイヤモンドの超砥
粒の先端までＮｉメッキ１４がかぶってしまう場合があ
る。一方、図４（ｂ）に示すように、マスキングを施し
た後にＮｉメッキを行うと、ロウ材１３の露出している
部分のみＮｉメッキ１４が付着し、突き出し部は超砥粒
１２が露出したままになる。なお、マスキングは除去液
により除去することができる。

【００３０】また、超砥粒１２の配列間隔は、超砥粒１
２の直径をＤとし、隣接するダイヤモンド超砥粒１２の
間隔をＡとしたときに（図４（ｂ）参照）、Ｄ＜Ａ＜４Ｄを満たすように配列するのが望ましい。この理由は、Ａ
がＤより小さい場合には目詰まりしやすく、Ａが４Ｄよ
り大きい場合にはドレッシングの効率が低下するからで
ある。

【００３１】また、超砥粒１２の粒径は、０．１ｍｍ〜
０．３ｍｍの範囲としているが、この理由は０．１ｍｍ
より小さい場合にはドレッシングの能率が低下し、０．
３ｍｍより大きい場合には超砥粒１２が脱落しやすくな
るためである。

【００３２】また、銀ロウの厚さが超砥粒１２の粒径の
３０％〜７０％が望ましい理由は、３０％より薄い場合
には超砥粒１２が脱落しやすく、７０％よりも厚いと、
ドレッシングの能率が低下するからである。

【００３３】次に本発明の第２の実施の形態に係るドレ
ッシング砥石とその製造方法について説明する。図３は
第２の実施の形態に係るドレッシング砥石の製造工程を
示す図であり、（ａ）は孔にダイヤモンド超砥粒を振動
落下させた状態の薄板等の断面拡大図、（ｂ）は台金を
上下逆さまにして余分なダイヤモンド超砥粒を除去して
いる状態を示す断面拡大図、（ｃ）は薄板を外してダイ
ヤモンド超砥粒が台金上に規則的に配列された状態の断
面拡大図である。なお、第１の実施の形態と実質的に同
一な部分については同一の符号を付して説明を省略す
る。

【００３４】第２の実施の形態に係るドレッシング砥石
はダイヤモンドの超砥粒１２を規則的に配列する方法に
特徴を有し、超砥粒１２は孔８の配列された薄板３の孔
８を通すことにより配列される。以下にその製造方法に
ついて詳しく説明する。

【００３５】まず、直径１００ｍｍのＳＵＳ製の円盤状
の台金１０の上面に、予めバインダーと銀ロウ粉末を混
ぜ合わせたペースト１３ａを図示しない薄板状のスクリ
ーン板により薄く塗布しておく（ペースト塗布工程）。
このペースト１３ａをべとつかず、かつ乾燥しきらない
程度、例えば家庭用ドライヤーで５分程度乾燥した後、
ペースト１３ａの上に直径０．２５ｍｍの孔８がエッチ
ングにより規則的に開けられた薄板３を配置し、薄板３
の上に直径０．１７ｍｍ〜０．１８ｍｍのダイヤモンド
の超砥粒１２を散布する。

【００３６】その後、台金１０を振動させることにより
超砥粒１２を孔８の中へ落下させる。孔８は直径方向に
は１つの超砥粒１２しか入らないが、図３（ａ）のよう
に深さ方向には複数の超砥粒１２が入りうる。そこで、
満遍なく孔８に超砥粒１２が落ちたところで（配列付着
工程）台金１０を裏返せば、余分な超砥粒が落下して
（除去工程）、図３（ｂ）のように孔８内には各１つず
つの超砥粒１２が配列される。そして、薄板３を台金１
０から外せば、図３（ｃ）のように台金１０上に超砥粒
１２が一層のみ配列された状態となる。この後、第１の
実施の形態の場合と同様にして、加熱処理、マスキン
グ、Ｎｉメッキを施すことでドレッシング砥石が完成す
る。

【００３７】このようにすれば、比較的簡単な設備で超
砥粒１２が規則配列されたドレッシング砥石を製造する
ことができる。簡易な方法ではあるが、製造されたドレ
ッシング砥石は、前記第１の実施の形態に係るドレッシ
ング砥石と同様の特徴を有する。

【００３８】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明は前記発明の実施の形態により限定される
ものではない。即ち、ダイヤモンドの超砥粒を台金１０
上に配列する際に仮固定する材料についていえば、第１
の実施の形態ではバインダー１１を使用し、第２の実施
の形態ではペースト１３ａを使用したが、バインダー１
１とペースト１３ａとは自由に選択して使用することが
できる。但し、バインダー１１を使用した場合は後に銀
ロウ等の固着剤を散布する散布工程を設ける必要があ
る。

【００３９】また、ダイヤモンドの超砥粒を固定する材
料についていえば、第１の実施の形態では銀ロウ粉末を
使用したが、これに代えて自溶性Ｎｉ合金粉末を使用す
るのも良い。自溶性Ｎｉ合金粉末は高硬度なため、これ
を使用する場合は、後処理のＮｉメッキは必須ではない
が、Ｎｉメッキを施せば、ダイヤモンドの超砥粒の保持
力をより上げることができる。

【００４０】また、調整工程の工程順序についていえ
ば、調整工程は超砥粒１２が配列した後、固着される前
に行われればよいので、第１の実施の形態のように付着
工程の後、散布工程の前に調整工程を設けても良いし、
散布工程の後、加熱工程の前に設けても良い。

【００４１】次に、ダイヤモンドの超砥粒についていえ
ば、実施の形態で例示したダイヤモンド超砥粒に限られ
るものではなく、ＣＢＮ等、他の超砥粒にも応用するこ
とができる。また、超砥粒の大きさも前記実施の形態に
例示したものに限られるものではない。即ち、第１の実
施の形態のように吸引ポンプを使用して超砥粒を配列す
る場合には、超砥粒の粒径より若干小さい孔を開けた薄
板を使用すればよく、一方第２の実施の形態のように超
砥粒を振動落下させて配列する場合には、超砥粒の粒径
より若干大きい孔を開けた薄板を使用すれば良いのであ
って、必要に応じ薄板の孔を設定すれば、自由に超砥粒
の粒径を選択することができる。なお、超砥粒の粒径は
できるだけ揃っている方が良いことはいうまでもない
が、平均粒径を中心に±１０μｍ以内の粒径に揃えたも
のを使用するのが望ましい。

【００４２】また、超砥粒を配列する薄板についていえ
ば、前記第１、第２の実施の形態では、孔が開けられた
薄板を使用したが、薄板は超砥粒の配列として所望する
配列の孔を有すれば十分なので、例えば所望する配列の
網目を有する金網を使用することもできる。さらに、孔
は精度良くかつ薄板がゆがむことなく開けられていれば
十分であるので、その穿孔方法もエッチングに限られ
ず、レーザー等により開けても構わない。

【００４３】また、除去工程の方法についていえば、第
２の実施の形態のように台金を裏返して重力により落下
させる方法だけでなく、吸引する装置等で除去すること
もできる。

【００４４】また、超砥粒が固着される部分の形状につ
いていえば、図５（ａ）に示すように台金全面に円形に
固着させても良いが、図５（ｂ）のように花びら状に固
着したり、図５（ｃ）のように放射状に砥粒を固着させ
ない筋目部分を設けても良い。このように適度にダイヤ
モンド超砥粒を固着させない部分を設けることで、ドレ
ッシングの際に研磨剤の流出入や研磨屑の排出が容易に
なり、ドレッシングの速度と精度をより向上することが
できる。

【００４５】さらに、ダイヤモンド超砥粒の配列規則に
ついても特に限定はなく、図６（ａ）のように正方形の
頂点部分に位置するように格子状に配列しても良いし、
図６（ｂ）のように正三角形の頂点に位置するように配
列しても良い。

【００４６】

【発明の効果】以上詳述したとおり、本発明によれば、
超砥粒を簡易に規則的に配列させたドレッシング砥石を
製造することができる。また、この製造方法により得ら
れたドレッシング砥石は超砥粒の突き出し量が安定して
いるため、コンディショニングが安定しており、ドレッ
シングの際の目詰まりもなく、効率的かつ精度良くドレ
ッシング作業を行うことができる。また、請求項５又は
請求項６に記載の発明によれば、超砥粒の先端が揃っ
て、突き出し量も均一になるため、コンディショニング
を均一に安定して行うことができる。また、請求項７に
記載の発明のようにＮｉメッキを施せば、超砥粒が台金
に強固に固着できると共に、ロウ材の摩耗が防止でき、
ドレッシング砥石の寿命を延ばすことができる。また、
請求項９又は請求項１０に記載の発明によれば、超砥粒
をしっかり保持しつつ、突き出し量を確保することがで
きるので研削効率の向上を図ることができる。これらの
顕著な特徴により、本発明に係るドレッシング砥石はシ
リコンウエハなどを鏡面に仕上げる化学的機械的ポリッ
シング（ＣＭＰ）に好適に用いることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るドレッシン
グ砥石の超砥粒の配列工程を示す図である。

【図２】薄板に配列された孔に各一個の超砥粒が吸い
付けられている状態を示す断面拡大図である。

【図３】第２の実施の形態に係るドレッシング砥石の
超砥粒の製造工程を示す図であり、（ａ）は孔に超砥粒
を振動落下させた状態の薄板等の断面拡大図、（ｂ）は
台金を上下逆さまにして余分な超砥粒を除去している状
態の砥石の断面拡大図、（ｃ）は薄板を外して超砥粒が
台金上に規則的に配列された状態の砥石の断面拡大図で
ある。

【図４】（ａ）はＮｉメッキを施す前の第１の実施の
形態に係るドレッシング砥石の断面図であり、（ｂ）は
第１の実施の形態に係るドレッシング砥石の断面図であ
り、（ｃ）はマスキングを施すことなくＮｉメッキをし
た場合のドレッシング砥石の断面図である。

【図５】本発明のドレッシング砥石の砥粒面の平面図
である。

【図６】超砥粒の配列を示す図である。

【図７】（ａ）は電着超砥粒砥石の断面図、（ｂ）は
従来のロウ付超砥粒砥石の断面図である。

【符号の説明】

３…薄板８…孔１０…平面台金１１…バインダー１２…超砥粒１３…ロウ材１３ａ…ペースト１４…Ｎｉメッキ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｂ２４Ｄ 3/06 Ｂ２４Ｄ 3/06 ＣＨ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｍ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平面台金に超砥粒が一層にかつ規則的に配
列して固着されたドレッシング砥石の製造方法であっ
て、前記平面台金にバインダーを塗布するバインダー塗
布工程と、孔が規則的に配列された薄板を吸入口に備え
た吸入装置により前記超砥粒を前記薄板の孔に吸い付か
せる配列工程と、規則配列された前記超砥粒を前記バイ
ンダーを介して前記平面台金上に付着させる付着工程
と、銀ロウ粉末又は自溶性Ｎｉ粉末を前記超砥粒が付着
された平面台金に散布する散布工程と、加熱処理して前
記平面台金に前記超砥粒を固着させる加熱工程とを含む
ことを特徴とするドレッシング砥石の製造方法。
【請求項２】平面台金に超砥粒が一層にかつ規則的に配
列して固着されたドレッシング砥石の製造方法であっ
て、前記平面台金にバインダーと銀ロウ粉末又はバイン
ダーと自溶性Ｎｉ合金粉末を混合したペーストを塗布す
るペースト塗布工程と、孔が規則的に配列された薄板を
吸入口に備えた吸入装置により前記超砥粒を前記薄板の
孔に吸い付かせる配列工程と、前記規則配列された超砥
粒を前記平面台金上に前記ペーストを介して付着させる
付着工程と、加熱処理して前記平面台金に前記超砥粒を
固着させる加熱工程とを含むことを特徴とするドレッシ
ング砥石の製造方法。
【請求項３】平面台金に超砥粒が一層にかつ規則的に配
列して固着されたドレッシング砥石の製造方法であっ
て、前記平面台金にバインダーを塗布するバインダー塗
布工程と、孔が規則的に配列された薄板を平面台金上に
配置し、前記薄板上で前記超砥粒を振動させて前記薄板
の孔に超砥粒を落下させて配列させると共に、規則配列
された前記超砥粒を前記バインダーを介して前記平面台
金上に付着させる配列付着工程と、前記超砥粒のうち平
面台金に付着しない余分なものを除去する除去工程と、
銀ロウ粉末又は自溶性Ｎｉ粉末を前記超砥粒が付着され
た平面台金に散布する散布工程と、加熱処理して前記平
面台金に前記超砥粒を固着させる加熱工程とを含むこと
を特徴とするドレッシング砥石の製造方法。
【請求項４】平面台金に超砥粒が一層にかつ規則的に配
列して固着されたドレッシング砥石の製造方法であっ
て、前記平面台金にバインダーと銀ロウ粉末又はバイン
ダーと自溶性Ｎｉ合金粉末を混合したペーストを塗布す
るペースト塗布工程と、孔を有する薄板を平面台金上に
配置し、前記薄板上で前記超砥粒を振動させて前記薄板
の孔中に超砥粒を落下させて配列させると共に、規則配
列された前記超砥粒を前記バインダーを介して前記平面
台金上に付着させる配列付着工程と、前記超砥粒のうち
平面台金に付着しない余分なものを除去する除去工程
と、加熱処理して前記平面台金に前記超砥粒を固着させ
る加熱工程とを含むことを特徴とするドレッシング砥石
の製造方法。
【請求項５】前記付着工程の後、前記加熱工程の前に前
記超砥粒先端を平板で押さえつける調整工程を有するこ
とを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれか１つに
記載のドレッシング砥石の製造方法。
【請求項６】前記除去工程の後、前記加熱工程の前に前
記超砥粒先端を平板で押さえつける調整工程を有するこ
とを特徴とする請求項３又は請求項４のいずれか１つに
記載のドレッシング砥石の製造方法。
【請求項７】前記加熱工程の後、前記超砥粒のうち前記
超砥粒を固着した銀ロウ又はＮｉ系自溶性合金から突出
した部分にマスキングを施し、その後前記銀ロウ又はＮ
ｉ系自溶性合金にＮｉメッキをするメッキ工程を有する
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１つ
に記載のドレッシング砥石の製造方法。
【請求項８】請求項１から請求項７に記載のいずれか１
つのドレッシング砥石の製造方法により製造されたドレ
ッシング砥石。
【請求項９】前記超砥粒の粒径が０．１ｍｍ以上、０．
３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項８記載のドレ
ッシング砥石。
【請求項１０】前記銀ロウ粉末又はＮｉ系自溶性合金粉
末の層の厚さが前記超砥粒の平均粒径の３０％以上、７
０％以下であることを特徴とする請求項８又は請求項９
のいずれか１つに記載のドレッシング砥石。