JP6448419B2 - 炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法 - Google Patents
炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6448419B2 JP6448419B2 JP2015045782A JP2015045782A JP6448419B2 JP 6448419 B2 JP6448419 B2 JP 6448419B2 JP 2015045782 A JP2015045782 A JP 2015045782A JP 2015045782 A JP2015045782 A JP 2015045782A JP 6448419 B2 JP6448419 B2 JP 6448419B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- buffer layer
- silicon carbide
- carbide single
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 90
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 80
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 79
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 48
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 44
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 31
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 22
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 20
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 7
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 6
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 3
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 132
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 42
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 19
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 5
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 5
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 5
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 5
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 5
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 5
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000004854 X-ray topography Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 3
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
(1)原子濃度が1×1018/cm3以上5×1019/cm3未満となるように窒素がドープされたN型の炭化珪素単結晶基板の表面に、原子濃度が5×1017/cm3以上1×1018/cm3未満となるように窒素がドープされたN型炭化珪素単結晶エピタキシャル膜からなるバッファ層を形成した後、該バッファ層に対して、P型不純物の原子濃度が5×1016/cm3以上1×1018/cm3未満となるようにアルミニウム及び/又はホウ素からなる不純物原子をイオン注入して、イオン注入後のバッファ層の上に炭化珪素単結晶膜をエピタキシャル成長させることを特徴とする炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法、
(2)バッファ層にイオン注入する不純物原子の原子濃度が、バッファ層にドープされている窒素濃度の1%以上20%以下であること特徴とする(1)に記載の炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法、
(3)原子濃度が5×1017/cm3以上1×1020/cm3未満となるようにアルミニウム及び/又はホウ素がドープされたP型の炭化珪素単結晶基板の表面に、原子濃度が5×1017/cm3以上1×1018/cm3未満となるようにアルミニウム及び/又はホウ素がドープされたP型の炭化珪素単結晶エピタキシャル膜からなるバッファ層を形成した後、該バッファ層に対して、N型不純物の原子濃度が5×1016/cm3以上1×1018/cm3未満となるように窒素及び/又はリンからなる不純物原子をイオン注入して、イオン注入後のバッファ層の上に炭化珪素単結晶膜をエピタキシャル成長させることを特徴とする炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法、
(4)バッファ層にイオン注入する不純物原子の原子濃度が、バッファ層にドープされているアルミニウムとホウ素の合計濃度の1%以上20%以下であること特徴とする(3)に記載の炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法、
(5)イオン注入後のバッファ層における不純物原子の原子濃度の総計が1×1018/cm3未満であること特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載の炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法、
(6)前記炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハのポリタイプが、4H、6H、又は15Rであることを特徴とする(1)〜(5)のいずれかに記載の炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法、
である。
本発明では、所定の原子濃度を有するように窒素がドープされたN型の炭化珪素単結晶基板の表面に、原子濃度が5×1017/cm3以上1×1018/cm3未満となるように窒素がドープされたN型炭化珪素単結晶エピタキシャル膜からなるバッファ層を形成した後、該バッファ層に原子濃度5×1016/cm3以上1×1018/cm3未満のアルミニウム又はホウ素からなる不純物原子をイオン注入して、イオン注入後のバッファ層の上に炭化珪素単結晶膜をエピタキシャル成長させる。同様に、所定の原子濃度を有するようにアルミニウム及び/又はホウ素がドープされたP型の炭化珪素単結晶基板の表面に、原子濃度が5×1017/cm3以上1×1018/cm3未満となるようにアルミニウム及び/又はホウ素がドープされたP型の炭化珪素単結晶エピタキシャル膜からなるバッファ層を形成した後、該バッファ層に原子濃度5×1016/cm3以上1×1018/cm3未満の窒素又はリンからなる不純物原子をイオン注入して、イオン注入後のバッファ層の上に炭化珪素単結晶膜をエピタキシャル成長させる。
種結晶を用いる昇華再結晶法により、4H型ポリタイプからなるN型SiC単結晶インゴットを成長させた。このインゴットを切断及び研磨することにより、直径100mm、厚さ350μmのSiC単結晶基板を準備した。ここで、この基板のオフ角度は<11-20>方向へ4度とした。また、基板中の窒素濃度は約8×1018/cm3であった。また、同じインゴットから同様に作製した4度オフ基板を別途、500℃で2minの溶融KOHエッチングを行い、基底面転位密度を評価したところ、約3500個/cm2であった。
先ず、3.0slmの水素キャリアガス中で、1530℃の温度で90minのバッファ層成長を行った。このときの原料ガス供給量は、SiH4:0.6sccm、C3H8:0.5sccm、N2:6×10−1sccmである。成長完了後にCVD装置から取り出し、得られたSiC単結晶エピタキシャル膜について膜厚をFTIR法により、また窒素濃度をCapacitance-Voltage(C-V)法によりそれぞれ評価したところ、膜厚は5μm、窒素濃度は7.9×1017/cm3であった。
次に、比較例1について説明する。実施例1と同様な昇華再結晶法によるSiC単結晶成長により作製したSiC単結晶インゴットより100mm口径の窒素ドープN型4H型ウェハを作製し、ほぼ同様な条件でバッファ層を形成したところ、膜厚は5μm、窒素濃度は1×1018/cm3であった。次いで、イオン注入は行わずに、引き続きN型エピタキシャル成長を行った。その際、実施例1と同じ条件で成膜した。
実施例1と同様に、種結晶を用いる昇華再結晶法により、4H型ポリタイプからなるAlドープP型SiC単結晶インゴットを成長させ、このインゴットから、直径100mm、厚さ350μmのP型SiC単結晶基板を準備した。基板中のAl濃度は7〜9×1018/cm3であった。また、同じインゴットから作製した4度オフ基板を別途、500℃で2minの溶融KOHエッチングを行い、基底面転位密度を評価したところ、約5000個/cm2であった。
実施例1とほぼ同様な方法により、直径100mm、厚さ420μmの窒素ドープN型SiC単結晶基板を準備した。ここで、この基板のオフ角度は<11-20>方向へ4度とした。基板中の窒素濃度は5〜8×1018/cm3であった。また、同じインゴットから作製した4度オフ基板を別途、500℃で2minの溶融KOHエッチングを行い、基底面転位密度を評価したところ、約4200個/cm2であった。
Claims (4)
- 原子濃度が1×1018/cm3以上5×1019/cm3未満となるように窒素がドープされた直径100mm以上のN型の炭化珪素単結晶基板の表面に、バッファ層における窒素の原子濃度が5×1017/cm3以上1×1018/cm3未満となるように窒素がドープされたN型炭化珪素単結晶エピタキシャル膜からなるバッファ層を形成した後、該バッファ層に対して、P型不純物の原子濃度がバッファ層にドープされている窒素濃度の1%以上20%以下となるようにアルミニウム及び/又はホウ素からなる不純物原子をイオン注入して、イオン注入後のバッファ層の上に炭化珪素単結晶膜をエピタキシャル成長させることを特徴とする炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法。
- 原子濃度が5×1017/cm3以上1×1020/cm3未満となるようにアルミニウム及び/又はホウ素がドープされた直径100mm以上のP型の炭化珪素単結晶基板の表面に、バッファ層におけるアルミニウム及び/又はホウ素の原子濃度が5×1017/cm3以上1×1018/cm3未満となるようにアルミニウム及び/又はホウ素がドープされたP型の炭化珪素単結晶エピタキシャル膜からなるバッファ層を形成した後、該バッファ層に対して、N型不純物の原子濃度が該バッファ層にドープされているアルミニウムとホウ素の合計濃度の1%以上20%以下となるように窒素及び/又はリンからなる不純物原子をイオン注入して、イオン注入後のバッファ層の上に炭化珪素単結晶膜をエピタキシャル成長させることを特徴とする炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法。
- イオン注入後のバッファ層における不純物原子の原子濃度の総計が1×1018/cm3未満であること特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法。
- 前記炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハのポリタイプが、4H、6H、又は15Rであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015045782A JP6448419B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | 炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015045782A JP6448419B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | 炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016166101A JP2016166101A (ja) | 2016-09-15 |
JP6448419B2 true JP6448419B2 (ja) | 2019-01-09 |
Family
ID=56897923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015045782A Active JP6448419B2 (ja) | 2015-03-09 | 2015-03-09 | 炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6448419B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018123148A1 (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP6904774B2 (ja) * | 2017-04-28 | 2021-07-21 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素エピタキシャルウェハ、炭化珪素絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ及びこれらの製造方法 |
JP7415558B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2024-01-17 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP7352058B2 (ja) * | 2017-11-01 | 2023-09-28 | セントラル硝子株式会社 | 炭化ケイ素単結晶の製造方法 |
KR102610826B1 (ko) * | 2018-08-14 | 2023-12-07 | 주식회사 엘엑스세미콘 | 에피택셜 웨이퍼 및 그 제조 방법 |
JP2021014378A (ja) * | 2019-07-11 | 2021-02-12 | 富士電機株式会社 | 多層構造体、多層構造体の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
CN114525489B (zh) * | 2022-01-25 | 2023-04-25 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种硅基碳化硅薄膜材料制备方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6419414B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2018-11-07 | 株式会社東芝 | SiCエピタキシャルウェハおよび半導体装置 |
-
2015
- 2015-03-09 JP JP2015045782A patent/JP6448419B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016166101A (ja) | 2016-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6448419B2 (ja) | 炭化珪素単結晶エピタキシャルウェハの製造方法 | |
JP6351874B2 (ja) | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素半導体装置 | |
JP3854508B2 (ja) | SiCウエハ、SiC半導体デバイス、およびSiCウエハの製造方法 | |
JP5458509B2 (ja) | 炭化珪素半導体基板 | |
WO2017073749A1 (ja) | エピタキシャルウェハの製造方法、エピタキシャルウェハ、半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
KR100877771B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼 및 그 제조방법 | |
US8367510B2 (en) | Process for producing silicon carbide semiconductor device | |
KR100887384B1 (ko) | 고주파 다이오드 및 그 제조방법 | |
JP4879507B2 (ja) | バイポーラ型半導体装置の順方向電圧回復方法、積層欠陥縮小方法およびバイポーラ型半導体装置 | |
JP2016063190A (ja) | 炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法、炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素半導体装置 | |
JP2018052749A (ja) | n型SiC単結晶基板及びその製造方法、並びにSiCエピタキシャルウェハ | |
JP4442366B2 (ja) | エピタキシャルSiC膜とその製造方法およびSiC半導体デバイス | |
JP6597493B2 (ja) | pn接合シリコンウェーハの製造方法 | |
WO2008015766A1 (en) | Method for recovering forward voltage of bipolar semiconductor device, method for reducing lamination defect and bipolar semiconductor device | |
JP6913729B2 (ja) | pn接合シリコンウェーハ | |
JP5921089B2 (ja) | エピタキシャルウエハの製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP6500378B2 (ja) | 貼合せSiCウェーハの製造方法及び貼合せSiCウェーハ | |
JP6673183B2 (ja) | pn接合シリコンウェーハの製造方法 | |
JP2011023502A (ja) | 炭化珪素半導体素子及びその製造方法並びに炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 | |
JP2007027630A (ja) | バイポーラ型半導体装置およびその製造方法 | |
JP6665771B2 (ja) | pn接合シリコンウェーハの製造方法およびpn接合シリコンウェーハ | |
JP2018203587A (ja) | 窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板 | |
JP5157026B2 (ja) | 半導体膜の製造方法、半導体装置の製造方法、電子機器の製造方法、半導体膜、半導体装置および電子機器 | |
JP2016127201A (ja) | 炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法および炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
WO2008015765A1 (fr) | Dispositif a semi-conducteurs bipolaire et son procédé de production |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171106 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20180228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180606 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180619 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180621 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20180628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6448419 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |