JP6448007B2 - 高速応答・高感度乾湿応答センサー - Google Patents
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Description
ここで、前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線の少なくとも一方は複数本設けられ、前記第1の金属の細線と前記2の金属の細線とは互いに対向する方向から相手側に向かって伸びることにより、互いに平行に併走してよい。
また、前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線とが二重渦巻き状に配置されてよい。
また、前記絶縁性基板は表面に酸化シリコン膜を有するシリコン基板であってよい。
また、前記第1の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から選択されてよい。
また、前記第2の金属は銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロム、モリブデン、マンガン、マグネシウム及びこれらの合金からなる群から選択されてよい。
また、第1の金属の細線及び前記第2の金属の細線が並置されている領域を覆う網の目状部材を設けてよい。
また、第1の金属の細線及び前記第2の金属の細線が並置されている領域を覆う絶縁保護膜を設け、前記絶縁保護膜は前記細線の少なくとも一部を露出する溝状開口を有してよい。
また、更に第1の金属の細線と前記第2の金属の細線との間のギャップの少なくとも一部を露出する溝状開口部を有してよい。
また、前記絶縁性基板の、前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線との間のギャップに対応する位置の少なくとも一部を除去することにより、前記絶縁性基板の表裏を貫通する開口部を設けてよい。
本発明の他の側面によれば、一端に設置対象物体への取り付け部を有する取り付け部材に上記何れかの乾湿応答センサーが取り付けられ、前記設置対象物体から離間した位置に前記乾湿応答センサーを配置するようにした、離間位置接地用乾湿応答センサー組立体が与えられる。
本発明の更に他の側面によれば、複数の上記何れかの乾湿応答センサーを設け、前記乾湿応答センサー中の短絡し、または出力電流を発生しない乾湿応答センサーを切り離す、乾湿応答センサーシステムが与えられる。
ここで、前記乾湿応答センサーの切り離しは乾湿応答センサーを電気的に切り離すかまたは乾湿応答センサーの出力を使用しないことによってよい。
(1)電極の前面に網の目状物を設けることで、微粒子が電極に到達しないようにする。
(2)シリコン酸化物等の絶縁保護膜を電極前面に設けるとともに、各電極の細線の少なくとも一部(更には必要に応じて細線間のギャップの少なくとも一部も)を露出する微細な開口をこの絶縁保護膜に開設する。このように構成すれば、絶縁保護膜の微細な開口部の入口付近に導電性微粒子が付着しても、電極の細線は絶縁保護膜の厚みだけ奥に位置するので、微粒子が細線に直接接触して短絡が起こるのを防止できる。
(3)乾湿応答センサー自体は本発明に係る通常の構造のものを使用するが、そのようなセンサーを複数個近接させて配置し、カソード電極とアノード電極との間の短絡が検出されたり、あるいは他のセンサーから出力電流が検出されている間も出力電流が全く検出されないセンサーを測定系から排除する(電気的に切り離す、電気的な接続はそのままとするが、出力電流の測定値を使用しない等)等の、センサーシステムとしての対応も可能である。
0%RH:ドライヤにてセンサー表面を乾燥させた状態
38%RH:測定環境の湿度を市販の湿度計にて計測した値
100%RH:センサー表面に息を吹きかけ、センサー表面全体が曇った状態
Claims (12)
- 第1の金属の細線と、
前記第1の金属とは異なる第2の金属の細線と
を絶縁性基板上に並置した、乾湿応答センサーであって、
前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線との間の間隔は5nm以上、20μm未満の範囲であり、
前記第1の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から選択され、
前記第2の金属は銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロム、モリブデン、マンガン、マグネシウム及びこれらの合金からなる群から選択され、
前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線のペア数が50以上であり、
前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線の間を流れる電流値に基づいて前記第1 の金属の細線と前記第2の金属の細線の間に存在する液滴のサイズを判別するようにした、乾湿応答センサー。 - 第1の金属の細線と、
前記第1の金属とは異なる第2の金属の細線と
を絶縁性基板上に並置した、乾湿応答センサーであって、
前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線との間の間隔は5nm以上、20μm未 満の範囲であり、
前記第1の金属は金、白金、銀、チタン及びこれらの合金、並びに炭素からなる群から 選択され、
前記第2の金属は銀、銅、鉄、亜鉛、ニッケル、コバルト、アルミニウム、スズ、クロ ム、モリブデン、マンガン、マグネシウム及びこれらの合金からなる群から選択され、
前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線のペア数が50以上であり、
電流計測手段が前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線に電気的に接続された、 乾湿応答センサー。 - 前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線とは互いに対向する方向から相手側に向かって伸びることにより、互いに平行に併走する、請求項1または2に記載の乾湿応答センサー。
- 前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線とが二重渦巻き状に配置される、請求項1または2に記載の乾湿応答センサー。
- 前記絶縁性基板は表面に酸化シリコン膜を有するシリコン基板である、請求項1から4の何れかに記載の乾湿応答センサー。
- 前記第1の金属の細線及び前記第2の金属の細線が並置されている領域を覆う網の目状部材を設けた、請求項1から5の何れかに記載の乾湿応答センサー。
- 前記第1の金属の細線及び前記第2の金属の細線が並置されている領域を覆う絶縁保護膜を設け、
前記絶縁保護膜は前記細線の少なくとも一部を露出する溝状開口を有する、請求項1から5の何れかに記載の乾湿応答センサー。 - 更に前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線との間のギャップの少なくとも一部を露出する溝状開口を有する、請求項7に記載の乾湿応答センサー。
- 前記絶縁性基板の、前記第1の金属の細線と前記第2の金属の細線との間のギャップに対応する位置の少なくとも一部を除去することにより、前記絶縁性基板の表裏を貫通する開口部を設けた、請求項1から5の何れかに記載の乾湿応答センサー。
- 一端に設置対象物体への取り付け部を有する取り付け部材に請求項1から9の何れかに記載の乾湿応答センサーが取り付けられ、前記設置対象物体から離間した位置に前記乾湿応答センサーを配置するようにした、離間位置設置用乾湿応答センサー組立体。
- 請求項1から9の何れかに記載の乾湿応答センサーを複数設け、前記乾湿応答センサー中の短絡し、または出力電流を発生しない乾湿応答センサーを切り離す、乾湿応答センサーシステム。
- 前記乾湿応答センサーの切り離しは、乾湿応答センサーを電気的に切り離すかまたは乾湿応答センサーの出力を使用しないことによる、請求項11に記載の乾湿応答センサーシステム。
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