JP6447817B2 - 成形方法及び成形品 - Google Patents
成形方法及び成形品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6447817B2 JP6447817B2 JP2015034801A JP2015034801A JP6447817B2 JP 6447817 B2 JP6447817 B2 JP 6447817B2 JP 2015034801 A JP2015034801 A JP 2015034801A JP 2015034801 A JP2015034801 A JP 2015034801A JP 6447817 B2 JP6447817 B2 JP 6447817B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- base material
- curable resin
- substrate
- energy curable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
前記型の転写面には、複数の凹凸と、突起とが形成され、相対移動方向における前記突起の高さは、前記凹凸の最大深さよりも大きくなっており、
前記型と前記基材との間に前記エネルギー硬化性樹脂を供給し、更に前記型と前記基材とを前記相対移動方向に沿って接近させた際に、前記突起が前記エネルギー硬化性樹脂に接した後に、前記複数の凹凸が前記硬化性樹脂に接し、それにより前記型と前記基材との間で生じる前記エネルギー硬化性樹脂の流動を制御し、
型の転写面における表面エネルギーは、前記エネルギー硬化性樹脂が付着する前記基材の表面エネルギーよりも小さい。
B 第2の処理部
C 第3の処理部
D 第4の処理部
AC アクチュエータ
CP カム板
CPa カム面
CPb 低部
CPc 登り斜面
CPd 高部
CPe 下り斜面
CR 搬送部
DC1 第1の円盤
DC1a 円形開口
DC2 第2の円盤
DC2a 円形開口
SP 支持部
DSP ディスペンサ
FW フォロワ
MD1 型部材
MD1a 転写面
MD1b 矩形平面
MD1c、MD3b ラインアンドスペース構造
MD1d 突起
MD2 基材保持部材
MD3 可撓型
OE 光学素子
OPS 光源
PL 光硬化性樹脂
RB ロボット
SFT 回転軸
SH 遮蔽部
ST 基材
Claims (4)
- 接近又は離間するように相対移動可能な型と基材との間にエネルギー硬化性樹脂を供給して、成形品を成形する成形方法であって、
前記型の転写面には、複数の凹凸と、突起とが形成され、相対移動方向における前記突起の高さは、前記凹凸の最大深さよりも大きくなっており、
前記型と前記基材との間に前記エネルギー硬化性樹脂を供給し、更に前記型と前記基材とを前記相対移動方向に沿って接近させた際に、前記突起が前記エネルギー硬化性樹脂に接した後に、前記複数の凹凸が前記硬化性樹脂に接し、それにより前記型と前記基材との間で生じる前記エネルギー硬化性樹脂の流動を制御し、
型の転写面における表面エネルギーは、前記エネルギー硬化性樹脂が付着する前記基材の表面エネルギーよりも小さい成形方法。 - 前記エネルギー硬化性樹脂に最初に接する前記突起の部位は、尖っている請求項1に記載の成形方法。
- 前記突起は、前記相対移動方向における高さが1μm以上,前記相対移動方向に直交する最大幅が1μm以上である請求項1又は2に記載の成形方法。
- 前記凹凸は周期的な繰り返し構造である請求項1〜3のいずれかに記載の成形方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015034801A JP6447817B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 成形方法及び成形品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015034801A JP6447817B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 成形方法及び成形品 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016155307A JP2016155307A (ja) | 2016-09-01 |
JP6447817B2 true JP6447817B2 (ja) | 2019-01-09 |
Family
ID=56824761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015034801A Expired - Fee Related JP6447817B2 (ja) | 2015-02-25 | 2015-02-25 | 成形方法及び成形品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6447817B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102140802B1 (ko) * | 2018-05-03 | 2020-08-04 | 노을 주식회사 | 패치의 자세를 제어하기 위한 방법 및 장치 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56167419A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-23 | Toppan Printing Co Ltd | Manufacturing device for high-density information recording carrier |
JP4854383B2 (ja) * | 2006-05-15 | 2012-01-18 | アピックヤマダ株式会社 | インプリント方法およびナノ・インプリント装置 |
JP2007326330A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | 複合型光学素子の成形用型および複合型光学素子 |
JP5411557B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2014-02-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 微細構造転写装置 |
JP2012230272A (ja) * | 2011-04-27 | 2012-11-22 | Taika:Kk | スタンパ及びそれを用いる光学シートの製造方法 |
JPWO2013146487A1 (ja) * | 2012-03-30 | 2015-12-10 | コニカミノルタ株式会社 | レンズアレイ、レンズアレイの製造方法及び光学素子の製造方法 |
JP6198016B2 (ja) * | 2013-02-05 | 2017-09-20 | コニカミノルタ株式会社 | 光学部材の製造方法、および、レンズの製造方法 |
-
2015
- 2015-02-25 JP JP2015034801A patent/JP6447817B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016155307A (ja) | 2016-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5478854B2 (ja) | システム | |
WO2006109425A1 (ja) | 光造形方法 | |
JP2004322641A (ja) | エンボス加工装置 | |
JP6032492B2 (ja) | 微細パターン形成方法、及び微細パターン形成装置 | |
KR20070118024A (ko) | 가공장치 및 디바이스 제조방법 | |
JP2004327994A (ja) | 任意のサイズのコンプライアント媒体上に高解像度の3次元インプリントパターンを複製する方法 | |
US11009661B2 (en) | Methods and apparatuses for casting polymer products | |
JP5661666B2 (ja) | パターン形成装置及び半導体装置の製造方法 | |
KR20160080265A (ko) | 마이크로 디바이스의 전사장치, 마이크로 디바이스의 전사방법, 및 그 전사장치의 제조방법 | |
JP2014120604A (ja) | インプリント装置、デバイス製造方法及びインプリント装置に用いられる型 | |
JP2012056093A (ja) | 原版、及びそれを用いた物品の製造方法 | |
JP6921353B2 (ja) | レプリカ原盤 | |
JP2019531921A (ja) | マイクロパターンおよび/またはナノパターンをエンボス加工するための装置および方法 | |
WO2007023724A1 (ja) | 光造形装置および光造形方法 | |
JP6343814B2 (ja) | モールド、インプリント装置及びインプリント方法 | |
JP6447817B2 (ja) | 成形方法及び成形品 | |
JP2013000944A (ja) | 光学シート及びその製造方法 | |
JP5559574B2 (ja) | 転写方法 | |
JP7324257B2 (ja) | インプリントリソグラフィプロセスにおける光学層の構成 | |
JP6671010B2 (ja) | インプリント方法およびインプリント装置 | |
WO2014175059A1 (ja) | 光学素子の製造方法及び光学素子の製造装置 | |
JP2013022807A (ja) | 微細構造転写装置及びスタンパ移送方法 | |
JP2008036817A (ja) | 複合型光学素子の製造方法 | |
JP6380913B2 (ja) | 光学素子の製造方法 | |
JP5768300B2 (ja) | スタンプ作製方法及びスタンプ作製装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6447817 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |