JP6443256B2 - センサ装置 - Google Patents

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Description

本発明は、センサ装置に関する。
従来、操舵トルクを検出するトルクセンサが知られている。例えば特許文献1では、20℃のときのトルク信号および80℃のときのトルク信号に基づき、トルク信号の温度特性を補正している。
特許第3551052号
特許文献1では、経年劣化や部品の精度ばらつきなどが考慮されていないため、適切にトルク信号を補正できない虞がある。
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、検出値を適切に補正可能なセンサ装置を提供することにある。
本発明のセンサ装置は、センサ部と、制御部と、を備える。センサ部は、検出対象に関する物理量を検出する複数のセンサ素子、および、センサ素子の検出値に応じたセンサ信号を含む出力信号を生成して出力する出力回路を有する。制御部は、センサ部から出力信号を取得する。
本発明の第一の態様のセンサ部または制御部は、演算可能条件を満たしたとき、検出値に応じた値である2つの検出値相当値の減算値に基づき、オフセット誤差を補正するオフセット補正値を演算する補正値演算部を有する。御部は、オフセット補正値で補正された検出値相当値を用いた演算を行う制御演算部を有する。
本発明の第二の態様のセンサ部または制御部は、演算可能条件を満たしたとき、検出値に応じた値である2つの検出値相当値を用いた除算値に基づき、ゲイン誤差を補正するゲイン補正値を演算する補正値演算部を有する。制御部は、ゲイン補正値で補正された検出値相当値を用いた演算を行う制御演算部を有する。
本発明では、経年劣化や部品の精度ばらつきに応じたオフセット補正値およびゲイン補正値の少なくとも一方が演算される。これにより、制御演算部は、適切に補正された検出値相当値を用いた演算を行うことができる。
本発明の第1実施形態による電動パワーステアリング装置を示す概略構成図である。 本発明の第1実施形態によるセンサ装置を示すブロック図である。 本発明の第1実施形態による出力信号を説明するタイムチャートである。 本発明の第1実施形態によるオフセット補正値演算処理を説明するフローチャートである。 本発明の第2実施形態によるオフセット補正値演算処理を説明するフローチャートである。 本発明の第3実施形態によるゲイン補正値演算処理を説明するフローチャートである。 本発明の第4実施形態によるセンサ装置を示すブロック図である。
以下、本発明によるセンサ装置を図面に基づいて説明する。以下、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態を図1〜図4に示す。
図1に示すように、センサ装置1は、センサ部10、および、制御部としてのECU40等を備え、例えば車両のステアリング操作を補助するための電動パワーステアリング装置80に適用される。
電動パワーステアリング装置80を備えたステアリングシステム90の全体構成を図1に示す。
操舵部材としてのステアリングホイール91は、ステアリングシャフト92と接続される。ステアリングシャフト92は、第1の軸としての入力軸921および第2の軸としての出力軸922を有する。入力軸921は、ステアリングホイール91と接続される。入力軸921と出力軸922との間には、ステアリングシャフト92に加わるトルクを検出するトルクセンサ83が設けられる。出力軸922の入力軸921と反対側の先端には、ピニオンギア96が設けられる。ピニオンギア96はラック軸97に噛み合っている。ラック軸97の両端には、タイロッド等を介して一対の車輪98が連結される。
運転者がステアリングホイール91を回転させると、ステアリングホイール91に接続されたステアリングシャフト92が回転する。ステアリングシャフト92の回転運動は、ピニオンギア96によってラック軸97の直線運動に変換され、ラック軸97の変位量に応じた角度に一対の車輪98が操舵される。
電動パワーステアリング装置80は、運転者によるステアリングホイール91の操舵を補助する補助トルクを出力するモータ81、動力伝達部である減速ギア82、トルクセンサ83、および、ECU40等を備える。図1では、モータ81とECU40とが別体となっているが、一体としてもよい。
減速ギア82は、モータ81の回転を減速してステアリングシャフト92に伝達する。すなわち本実施形態の電動パワーステアリング装置80は、所謂「コラムアシストタイプ」であるが、モータ81の回転をラック軸97に伝える所謂「ラックアシストタイプ」としてもよい。換言すると、本実施形態では、ステアリングシャフト92が「駆動対象」に対応するが、ラック軸97を「駆動対象」としてもよい、ということである。
ECU40の詳細については、後述する。
トルクセンサ83は、ステアリングシャフト92に設けられ、入力軸921と出力軸922との捩れ角に基づき、操舵トルクTsを検出する。トルクセンサ83は、図示しないトーションバー、集磁部831、および、センサ部10等を有する。トーションバーは、入力軸921と出力軸922とを回転軸上にて同軸に連結し、ステアリングシャフト92に加わるトルクを捩れ変位に変換する。集磁部831は、多極磁石、磁気ヨーク、および、集磁リング等を有し、トーションバーの捩れ変位量および捩れ変位方向に応じて、磁束密度が変化するように構成される。トルクセンサ83の一般的な構成は周知であるため、構成詳細の図示を省略する。
図2に示すように、センサ部10は、第1信号生成部11および第2信号生成部12等を有する。
第1信号生成部11は、メインセンサ素子111、サブセンサ素子112、A/D変換回路113、114、および、出力回路115を有する。
第2信号生成部12は、メインセンサ素子121、サブセンサ素子122、A/D変換回路123、124、および、出力回路125を有する。
110番台で付番する第1信号生成部11に係る構成と、120番台で付番する第2信号生成部12に係る構成とは、下1桁が同じであれば、同様の構成であるものとする。以下、第1信号生成部11の構成を中心に説明し、第2信号生成部12については、説明を適宜省略する。
メインセンサ素子111およびサブセンサ素子112は、集磁部831の磁束を検出する磁気検出素子である。本実施形態のセンサ素子111、112は、ホール素子である。本実施形態では、第1出力信号Sd1に含まれる信号順を区別すべく、「メイン」、「サブ」としているが、メインセンサ素子111とサブセンサ素子112とは、実質的には同様である。
A/D変換回路113は、メインセンサ素子111の検出値をA/D変換する。A/D変換回路114は、サブセンサ素子112の検出値をA/D変換する。第1信号生成部11のメインセンサ素子111の検出値のA/D変換値を第1メイン検出値D50、サブセンサ素子112の検出値のA/D変換値を第1サブ検出値D55とする。また、第2信号生成部12のメインセンサ素子121の検出値のA/D変換値を第2メイン検出値D60、サブセンサ素子122の検出値のA/D変換値を第2サブ検出値D65とする。
出力回路115は、第1メイン検出値D50および第1サブ検出値D55に基づき、第1出力信号Sd1を生成する。
出力回路125は、第2メイン検出値D60および第2サブ検出値D65に基づき、第2出力信号Sd2を生成する。
出力信号Sd1、Sd2は、デジタル通信の一種であるSENT(Single Edge Nibble Transmission)通信により、所定の周期でセンサ部10からECU40に出力される。また、センサ素子111、112、121、122の検出値は、出力信号Sd1、Sd2の信号周期Ps(図3参照。)よりも短い周期で更新されるものとし、最新の検出値を用いて出力信号Sd1、Sd2が生成される。
出力信号Sd1、Sd2のセンサ部10からECU40への出力タイミングは、同時であってもよいし、異なっていてもよい。例えば、出力信号Sd1、Sd2の出力タイミングを、信号周期Psの半周期分ずらすことで、ECU40にて出力信号Sd1、Sd2が交互に、信号周期Psの半周期ごとに取得される。これにより、見かけ上の通信速度を向上することができる。
第1信号生成部11および第2信号生成部12は、封止部13で封止される。封止部13には、通信端子131、132が形成される。通信端子131は第1通信線31によりECU40の信号取得端子401と接続され、通信端子132は第2通信線32によりECU40の信号取得端子402と接続される。第1通信線31は第1出力信号Sd1の出力に用いられ、第2通信線32は第2出力信号Sd2の出力に用いられる。
出力信号Sd1、Sd2の詳細は後述する。
ECU40は、マイコン等を主体として構成され、各種演算処理を行う。ECU40における各処理は、予め記憶されたプログラムをCPUで実行することによるソフトウェア処理であってもよいし、専用の電子回路によるハードウェア処理であってもよい。
ECU40は、図示しないレギュレータを有する。レギュレータは、図示しないバッテリから供給される電圧を所定の電圧に調整する。調整された電圧は、ECU40内部にて用いられる他、センサ部10に供給される。また、センサ部10は、ECU40を経由してグランドと接続される。
ECU40は、機能ブロックとして、信号取得部41、補正値演算部42、および、制御演算部43を有する。
信号取得部41は、センサ部10から出力信号Sd1、Sd2を取得する。
補正値演算部42は、出力信号Sd1、Sd2に含まれるセンサ信号に基づく値である検出値相当値に基づき、オフセット補正値A1およびゲイン補正値B1の少なくとも一方を演算する。本実施形態では、補正値演算部42は、オフセット補正値A1を演算する。補正値演算部42には、ハンドル舵角θh、モータ81の電気角θe、操舵トルクTs、車速V、および、ヨーレートγ等が入力される。ハンドル舵角θh、電気角θe、操舵トルクTs、車速V、および、ヨーレートγは、それぞれ、いずれも図示しないハンドル角センサ、回転角センサ、車速センサ、ヨーレートセンサから、直接、あるいは、CAN(Controller Area Network)等を経由して取得される。また、補正値演算部42は、制御演算部43にて演算される操舵トルクTsを取得する。
制御演算部43は、後述の第1信号値D8および第2信号値D9をオフセット補正値A1で補正し、補正された第1信号値D8および第2信号値D9を用いて操舵トルクTsを演算する。演算された操舵トルクTsは、モータ81の駆動制御に用いられる。詳細には、制御演算部43は、操舵トルクTsに基づいてトルク指令値を演算する。ECU40は、トルク指令値に基づき、例えばフィードバック処理等の周知の方法により、モータ81の駆動を制御する。
第1出力信号Sd1の通信フレームを図3に基づいて説明する。
図3に示すように、第1出力信号Sd1には、同期信号、ステータス信号、センサ信号(本実施形態ではメイン信号およびサブ信号)、CRC信号、および、ポーズ信号が含まれ、これらの信号がこの順で一連の信号として出力される。図中に示す各信号のビット数等は、一例であって、通信規格等に応じて適宜設定される。SENT通信では、各パルスの立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間幅でデータが表現される。また、本実施形態では、同期信号の出力開始から、次の同期信号が出力されるまでの期間を、信号周期Psとする。
同期信号は、センサ部10とECU40のクロックを同期させるための信号であり、本実施形態では56tickとする。本実施形態では、同期信号の長さに基づいて補正係数が演算され、当該補正係数を用いて各信号が補正される。
ステータス信号には、更新カウンタ信号が含まれる。更新カウンタ信号は、例えば2ビットであれば、00→01→10→11→00→01・・・と、出力信号Sd1の生成ごとに更新されていく。ここで、更新カウンタが最大値(ここでは「11」)となった場合、+1することで、最小値(ここでは「00」)に戻るものとする。更新カウンタの情報を送信することで、ECU40では、検出値が前回と変わらないために同じデータが送信されているのか、データ固着異常が生じているのかを判別することができる。
メイン信号は第1メイン検出値D50に基づく信号であり、サブ信号は第1サブ検出値D55に基づく信号である。メイン信号およびサブ信号は、いずれも3nibble(=12bit)である。本実施形態では、出力信号Sd1をSENT通信によりECU40に出力すべく、メイン信号およびサブ信号をニブル信号としている。なお、メイン信号およびサブ信号は、それぞれ1nibble以上であればよく、通信仕様に応じて取り決める。
本実施形態では、メイン信号とサブ信号とは、一方を検出値の増加に伴って増加する正信号とし、他方を検出値の増加に伴って減少する反転信号とし、共に正常である場合、加算した値が所定の加算値となるようにする。本実施形態では、メイン信号を正信号、サブ信号を反転信号とする。なお、図3では、簡略化のため、メイン信号とサブ信号とを同様に記載している。本実施形態では、メイン信号が示す値とサブ信号が示す値との和が所定の加算値と異なる場合、データ異常であると判定する。これにより、メイン信号とサブ信号とに基づき、データ異常を検出可能である。
CRC信号は、通信エラーを検出するための巡回冗長検査信号であって、メイン信号およびサブ信号に基づいて算出される長さの信号である。
ポーズ信号は、次の同期信号を出力するまでの期間に出力される信号である。
第2出力信号Sd2には、同期信号、ステータス信号、メイン信号、サブ信号、CRC信号、および、ポーズ信号が含まれ、これらの信号がこの順で一連のデジタル信号として出力される。第2出力信号Sd2では、メイン信号が第2メイン検出値D60に基づく信号であり、サブ信号が第2サブ検出値D65に基づく信号である。
第2出力信号Sd2の通信フレームの詳細は、第1出力信号Sd1と同様であるので、説明を省略する。
以下、第1出力信号Sd1のメイン信号が示す値を第1メイン信号値D80、サブ信号を正信号換算した値を第1サブ信号値D85とする。また、第2出力信号Sd2のメイン信号が示す値を第2メイン信号値D90、サブ信号を正信号換算した値を第2サブ信号値D95とする。なお、サブ信号値D85、D95は、正信号換算せず、サブ信号が示す値そのものとしてもよい。
第1メイン信号値D80、第1サブ信号値D85、第2メイン信号値D90、および、第2サブ信号値D95は、操舵トルクTsがゼロのときに、所定のゼロトルク値Q0となるように設定される。
本実施形態では、図示しないイグニッションスイッチがオンされ、電動パワーステアリング装置80が起動された際、補正値演算部42は、オフセット誤差を補正するオフセット補正値A1を演算する。オフセット補正値A1の演算には、第1出力信号Sd1のセンサ信号に基づく値である第1信号値D8、および、第2出力信号Sd2のセンサ信号に基づく値である第2信号値D9を用いる。本実施形態では、第1メイン信号値D80および第1サブ信号値D85の平均値を第1信号値D8とし、第2メイン信号値D90および第2サブ信号値D95の平均値を第2信号値D9とする。本実施形態では、第1信号値D8および第2信号値D9が「検出値相当値」に対応する。
図2では、補正値演算部42が信号値D8、D9を取得するように記載しているが、補正値演算部42が、第1メイン信号値D80、第1サブ信号値D85、第2メイン信号値D90および第2サブ信号値D95を取得して平均値を演算するようにしてもよい。
本実施形態のオフセット補正値演算処理を図4に示すフローチャートに基づいて説明する。オフセット補正演算処理は、電動パワーステアリング装置80の起動時に、ECU40にて実行される。
最初のステップS101では、補正値演算部42は、正常に補正値演算ができるか否かを判断する。以下、「ステップS101」の「ステップ」を省略し、単に記号「S」と記す。他のステップも同様である。本実施形態では、電動パワーステアリング装置80に故障が生じていない場合、および、出力信号Sd1、Sd2に信号異常がない場合、正常に補正値演算ができるものとする。電動パワーステアリング装置80の故障判定処理および信号異常判定処理は、別途に実行される。信号異常には、更新カウンタに基づいて検出されるデータ固着異常、データ信号に基づいて検出されるデータ異常、および、CRC信号に基づいて検出される通信異常等が含まれる。
正常に補正値演算ができないと判断された場合(S101:NO)、すなわち電動パワーステアリング装置80に故障が生じている、または、信号異常が生じている場合、以下の処理を行わない。正常に補正値演算ができると判断された場合(S101:YES)、すなわち電動パワーステアリング装置80に故障が生じておらず、かつ、出力信号Sd1、Sd2が正常である場合、S102へ移行する。
S102では、補正値演算部42は、ステアリングホイール91が中立位置にあるか否かを判断する。ステアリングホイール91の中立位置とは、車両が直進するときの位置である。中立位置にあるか否かは、ハンドル舵角θh、モータ81の回転角速度ωm、および、操舵トルクTsに基づいて判定される。回転角速度ωmは、電気角θeから演算される。本実施形態では、ハンドル舵角θhが舵角判定閾値θth未満、回転角速度ωmが角速度判定閾値ωth未満、かつ、操舵トルクTsがトルク判定閾値Tth1未満のとき、ハンドル舵角θh、回転角速度ωm、および、操舵トルクTsがゼロであるとみなし、ステアリングホイール91が中立位置であると判定する。判定閾値θth、ωth、Tth1は、演算誤差等を考慮し、θh、ωm、Tsがゼロとみなせる程度の値に設定される。また、モータ81の回転角速度ωmに替えて、ステアリングホイール91の操舵角速度ωhを用いてもよい。
ステアリングホイール91が中立位置ではないと判断された場合(S102:NO)、以下の処理を行わない。ステアリングホイール91が中立位置にあると判断された場合(S102:YES)、S103へ移行する。
本実施形態では、S101およびS102で肯定判断された場合、「演算可能条件を満たす」ものとする。
S103では、補正値演算部42は、オフセット補正値A1を演算する。オフセット補正値A1を演算する。オフセット補正値A1は、第1信号値D8と第2信号値D9との差分値を2で除した値とする(式(1)参照)。
A1=(D8−D9)/2 ・・・(1)
S104では、補正値演算部42は、オフセット補正値A1の制限処理を行う。以下、今回演算されたオフセット補正値を今回値A1(k)、前回演算にて制御演算部43に出力されたオフセット補正値を前回値A1(k−1)とする。
今回値A1(k)の絶対値がオフセット補正上限値Acより大きい場合、オフセット補正値A1を、オフセット補正上限値Acまたは前回値A1(k−1)とする。なお、オフセット補正値A1をオフセット補正上限値Acとする場合、正負は今回値A1(k)に準じる。
また、今回値A1(k)と前回値A1(k−1)との差の絶対値が、オフセット差分閾値Adより大きい場合、オフセット補正値A1を、前回値A1(k−1)とする。
S105では、補正値演算部42は、演算されたオフセット補正値A1を制御演算部43に出力する。制御演算部43は、補正値演算部42からオフセット補正値A1を取得し、演算に用いるオフセット補正値A1を最新の値に更新する。
制御演算部43では、オフセット補正値A1を用いて、第1信号値D8および第2信号値D9を補正し、第1補正後信号値D8_aおよび第2補正後信号値D9_aを演算する(式(2−1)、(2−2)参照)。
D8_a=D8−A1 ・・・(2−1)
D9_a=D9−A1 ・・・(2−2)
S101またはS102で否定判断された場合、今回の電動パワーステアリング装置80の起動時には、オフセット補正値A1の演算が行われないので、制御演算部43は、前回値A1(k−1)または初期値を用いて信号値D8、D9のオフセット補正を行う。
制御演算部43は、第1補正後信号値D8_aまたは第2補正後信号値D9_a、もしくは、第1補正後信号値D8_aおよび第2補正後信号値D9_aの平均値等の演算値に基づき、操舵トルクTsを演算する。
本実施形態では、ECU40が2つの信号値D8、D9を利用可能である。補正値演算部42は、2つの信号値D8、D9を用い、比較的簡易な演算にてオフセット補正値A1を算出することができる。これにより、初期補正を省略することができる。本実施形態では、補正値演算部42は、電動パワーステアリング装置80の起動時にオフセット補正値A1の演算を行うので、経年劣化や部品の精度ばらつきに応じた適切なオフセット補正値A1を演算することができる。制御演算部43は、演算されたオフセット補正値A1を用いて信号値D8、D9を補正した補正後信号値D8_a、D9_aを用いることで、操舵トルクTsを精度よく演算することができる。
以上詳述したように、センサ装置1は、センサ部10と、ECU40と、を備える。
センサ部10は、複数のセンサ素子111、112、121、122、および、出力回路115、125を有する。センサ素子111、112、121、122は、検出対象に関する物理量である集磁部831の磁束を検出する。出力回路115は、センサ素子111、112の検出値に応じたセンサ信号を含む第1出力信号Sd1を生成して出力する。出力回路125は、センサ素子121、122の検出値に応じたセンサ信号を含む第2出力信号Sd2を生成して出力する。
ECU40は、センサ部10から出力信号Sd1、Sd2を取得する。
ECU40は、演算可能条件を満たしたとき、検出値に応じた値である複数の信号値D8、D9に基づき、オフセット誤差を補正するオフセット補正値A1を演算する補正値演算部42を有する。
また、ECU40は、オフセット補正値A1で補正された信号値D8、D9である補正後信号値D8_a、D9_aを用いた演算を行う制御演算部43を有する。本実施形態では、制御演算部43は、補正後信号値D8_a、D9_aを用い、操舵トルクTsを演算する。
本実施形態では、経年劣化や部品の精度ばらつきに応じたオフセット補正値A1が演算される。これにより、制御演算部43は、適切に補正された信号値D8、D9を用いた演算を行うことができる。また、製造時に行われる初期補正を省略することができる。
オフセット補正値A1は、2つの信号値D8、D9の減算値に基づいて演算される。これにより、補正値演算部42は、比較的簡単な演算にてオフセット補正値A1を演算可能である。
補正値演算部42は、ECU40に設けられる。これにより、演算可能条件判定に係る情報のセンサ部10側への送信を省略することができる。
出力回路115、125は、デジタル通信により出力信号Sd1、Sd2をECU40に出力する。デジタル通信とすることで、アナログ通信と比較し、A/D変換またはD/A変換に伴う誤差や、通信時のノイズの影響を低減することができる。これにより、制御演算部43における演算精度が向上する。
センサ素子111、112、121、122は、集磁部831の磁束の変化を検出する磁気検出素子である。本実施形態では、センサ素子111、112、121、122は、操舵トルクTsに応じて変化する磁束を検出するものであって、電動パワーステアリング装置80のトルクセンサ83に用いられる。制御演算部43は、補正された信号値D8、D9を用いて操舵トルクTsを演算する。
これにより、センサ装置1は、操舵トルクTsを適切に検出することができる。
オフセット誤差等の影響により演算される操舵トルクTsにずれが生じると、操舵トルクTsに基づいて制御される補助トルクにもずれが生じ、運転者に違和感を与える虞がある。そのため、トルクセンサ83では、他のセンサ(例えば回転角センサ等)と比較し、より精度のよい誤差補正が求められる。本実施形態では、制御演算部43は、経年劣化や部品の精度ばらつきに応じたオフセット補正値A1によって補正された信号値D8、D9を用い、操舵トルクTsを適切に演算することができる。すなわち、本実施形態のセンサ装置1は、トルクセンサ83に好適に適用される。これにより、本実施形態の電動パワーステアリング装置80は、適切に演算される操舵トルクTsに基づき、補助トルクを適切に出力することができる。
補正値演算部42は、電動パワーステアリング装置80が起動されたときであって、ステアリングホイール91が中立位置にあるとき、オフセット補正値A1の演算に係る演算可能条件を満たしているとみなし、オフセット補正値A1を演算する。これにより、オフセット補正値A1を適切に演算することができる。
補正値演算部42は、演算されたオフセット補正値A1の絶対値がオフセット補正上限値Acより大きい場合、または、今回値A1(k)と前回値A1(k−1)との差の絶対値がオフセット差分閾値Adより大きい場合、演算されたオフセット補正値A1(k)を制限する。これにより、オフセット補正値A1が急変したり、過大になったりするのを回避することができる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態を図5に基づいて説明する。
本実施形態は、オフセット補正値演算処理が上記実施形態と異なっているので、この点を中心に説明する。上記実施形態では、電動パワーステアリング装置80の起動時にオフセット補正値を演算するが、本実施形態では、車両走行中にオフセット補正値を演算する。
本実施形態によるオフセット補正値演算処理を、図5に示すフローチャートに基づいて説明する。この処理は、車両走行中に、ECU40にて実行される。
S201では、図4中のS101と同様、補正値演算部42は、正常に補正値演算ができるか否かを判断する。例えば、モータ81が2つの巻線組を有し、巻線組ごとにインバータが設けられている場合、一方の系統が故障したとしても、他方の系統にてモータ81の駆動を継続可能である。すなわち、電動パワーステアリング装置80に故障が生じていたとしても、片系統駆動等のバックアップ制御により、電動パワーステアリング装置80の駆動が継続されている場合がある。ただし、バックアップ制御時には、オフセット補正値A1を適切に演算できない虞があるので、正常に補正値演算ができないとみなし、補正値演算を行わないものとする。信号異常については、上記実施形態と同様である。
正常に補正値演算ができないと判断された場合(S201:NO)、以下の処理を行わない。正常に補正値演算ができると判断された場合(S201:YES)、S202へ移行する。
S202では、補正値演算部42は、車両直進中か否かを判断する。直進中か否かは、本実施形態では、第1実施形態での中立位置の判定条件に加え、車速Vが、車速判定閾値Vthより大きく、かつ、ヨーレートγがヨーレート判定閾値γth未満のとき、車両直進中と判定する。ヨーレート判定閾値γthは、ヨーレートγをゼロとみなせる程度であって、演算誤差等を考慮し、ゼロに近い値に設定される。車速判定閾値Vthは、車両がある程度の速度での走行中であることを判定すべく、適宜設定される。車両直進中ではないと判断された場合(S202:NO)、この判断処理を繰り返す。換言すると、車両直進中ではない場合、オフセット補正値A1に係る演算を行わず、車両直進中となるまで待機する。車両直進中であると判断された場合(S202:YES)、S203へ移行する。
本実施形態では、S201およびS202で肯定判断された場合、「演算可能条件を満たす」ものとする。
S203では、補正値演算部42は、仮オフセット補正値A1_tを演算する(式(3)参照。)。
A1_t=(D8−D9)/2 ・・・(3)
仮オフセット補正値A1_tは、図示しない記憶部に格納しておく。なお、S203で演算された仮オフセット補正値A1_tは上書きせず、少なくともS206に移行するまでの間、演算毎の値が保持されるものとする。
S204では、補正値演算部42は、オフセット補正カウンタのカウント値Caをインクリメントする。
S205では、補正値演算部42は、カウント値Caが補正可能閾値na以上であるか否かを判断する。カウント値Caが補正可能閾値na未満であると判断された場合(S205:NO)、試行数が不足しているとみなし、S202に戻る。カウント値Caが補正可能閾値na以上であると判断された場合(S205:YES)、S206へ移行する。
S206では、補正値演算部42は、オフセット補正値A1を演算する。本実施形態では、試行数na回分の仮オフセット補正値A1_tの平均値を、オフセット補正値A1とする。また、カウント値Caをゼロクリアするとともに、記憶されている仮オフセット補正値A1_tを消去する。
S207、S208の処理は、図4中のS104、S105の処理と同様である。また、オフセット補正値A1による信号値D8、D9の補正等についても、上記実施形態と同様である。
本実施形態では、補正値演算部42は、走行中であって、車両直進中であるとき、オフセット補正値の演算に係る演算可能条件を満たしているとみなし、オフセット補正値A1を演算する。これにより、時々刻々と変化する温度等に応じてオフセット補正値A1が演算されるので、より適切に信号値D8、D9を補正できる。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
(第3実施形態)
本発明の第2実施形態を図6に基づいて説明する。
本実施形態では、補正値演算部42にて、ゲイン補正値B1を演算する。オフセット補正値A1は、第1実施形態のように電動パワーステアリング装置80の起動時に演算してもよいし、第2実施形態のように走行中に演算してもよいし、予め設定された値を用いてもよい。
本実施形態によるゲイン補正値演算処理を、図6に示すフローチャートに基づいて説明する。この処理は、電動パワーステアリング装置80の起動中に、ECU40にて実行される。
S301の処理は、図5中のS201の処理と同様である。
S302では、補正値演算部42は、操舵トルクTsの絶対値が、ゲイン演算可能閾値Tth2より大きいか否かを判断する。操舵トルクTsが小さいと、ゲイン補正に係る誤差が大きくなるので、ゲイン演算可能閾値Tth2は、ゲイン補正に係る誤差を許容できる程度の値に設定される。操舵トルクTsの絶対値がゲイン演算可能閾値Tth2以下であると判断された場合(S302:NO)、この判断処理を繰り返す。換言すると、操舵トルクTsが小さい場合、ゲイン補正値B1に係る演算を行わず、操舵トルクTsがゲイン演算可能閾値Tth2を超えるまで待機する。操舵トルクTsの絶対値がゲイン演算可能閾値Tth2より大きいと判断された場合(S302:YES)、S303へ移行する。
本実施形態では、S301およびS302で肯定判断された場合、「演算可能条件を満たす」ものとする。
S303では、補正値演算部42は、仮ゲイン補正値B1_tを演算する。仮ゲイン補正値B1_tは、式(4)で演算される。
B1_t=(D8−Q0)/(D9−Q0) ・・・(4)
演算された仮ゲイン補正値B1_tは、図示しない記憶部に格納しておく。なお、S303で演算された仮ゲイン補正値B1_tは、上書きせず、少なくともS306に移行するまでの間、演算毎の値が保持されるものとする。
S304では、補正値演算部42は、ゲイン補正カウンタのカウント値Cbをインクリメントする。
S305では、補正値演算部42は、カウント値Cbが補正可能閾値nb以上であるか否かを判断する。補正可能閾値nbは、第2実施形態のカウント値Caに係る補正可能閾値naと同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい。カウント値Cbが補正可能閾値nb未満であると判断された場合(S305:NO)、試行数が不足しているとみなし、S302に戻る。カウント値Cbが補正可能閾値nb以上であると判断された場合(S305:YES)、S306へ移行する。
S306では、補正値演算部42は、ゲイン補正値B1を演算する。本実施形態では、nb回分の仮ゲイン補正値B1_tの平均値を、ゲイン補正値B1とする。また、カウント値Cbをゼロクリアするとともに、記憶されている仮ゲイン補正値B1_tを消去する。
S307では、補正値演算部42は、ゲイン補正値B1の制限処理を行う。以下、今回演算されたゲイン補正値を今回値B1(k)、前回演算にて制御演算部43に出力されたゲイン補正値を前回値B1(n−1)とする。
今回値B1(k)の絶対値がゲイン補正上限値Bcより大きい場合、ゲイン補正値B1を、ゲイン補正上限値Bcまたは前回値B1(k−1)とする。なお、ゲイン補正値B1をゲイン補正上限値Bcとする場合、正負は今回値B1(k)に準じる。
また、今回値B1(k)と前回値B1(k−1)との差の絶対値が、ゲイン差分閾値Bdより大きい場合、ゲイン補正値B1を、前回値B1(k−1)とする。
S308では、補正値演算部42は、演算されたゲイン補正値B1を制御演算部43に出力する。制御演算部43は、補正値演算部42からゲイン補正値B1を取得し、演算に用いるゲイン補正値B1を最新の値に更新する。制御演算部43では、ゲイン補正値B1を用いて、第1信号値D8および第2信号値D9を補正し、第1補正後信号値D8_aおよび第2補正後信号値D9_aを演算する(式(5−1)、(5−2)参照)。
D8_a=(D8−A1)/B1 ・・・(5−1)
D9_a=(D9−A1)/B1 ・・・(5−2)
また、制御演算部43は、補正後信号値D8_a、D9_aの少なくとも一方を用いて、トルク演算を行う。
本実施形態の補正値演算部42は、演算可能条件を満たしたとき、検出値に応じた値である複数の信号値D8、D9に基づき、ゲイン誤差を補正するゲイン補正値B1を演算する。制御演算部43は、オフセット補正値A1およびゲイン補正値B1で補正された信号値D8、D9を用いた演算を行う。本実施形態では、制御演算部43は、オフセット補正値A1およびゲイン補正値B1で補正された信号値D8、D9を用い、操舵トルクTsを演算する。
本実施形態では、経年劣化や部品の精度ばらつきに応じたゲイン補正値B1が演算される。これにより、制御演算部43は、適切に補正された信号値D8、D9を用いた演算を行うことができる。また、製造時に行われる初期補正を省略することができる。
ゲイン補正値B1は、2つの信号値D8、D9を用いた除算値に基づいて演算される。詳細には、ゲイン補正値B1は、信号値D8、D9のそれぞれからゼロトルク値Q0を減算した値の除算値である。これにより、比較的簡単な演算にてゲイン補正値B1を演算可能である。
補正値演算部42は、操舵トルクTsがゲイン演算可能閾値Tth2より大きい場合、ゲイン補正値B1の演算に係る演算可能条件を満たしているとみなし、ゲイン補正値B1を演算する。これにより、時々刻々と変化する温度等に応じてゲイン補正値B1が演算されるので、より適切に信号値D8、D9を補正できる。
補正値演算部は、演算されたゲイン補正値B1の絶対値がゲイン補正上限値Bcより大きい場合、または、今回値B1(n)と前回値B1(n−1)との差の絶対値がゲイン差分閾値Bdより大きい場合、演算されたゲイン補正値B1を制限する。これにより、ゲイン補正値B1が急変したり、過大になったりするのを回避することができる。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態を図7に基づいて説明する。
図7に示すように、本実施形態のセンサ装置2は、センサ部20、および、制御部としてのECU45を有する。
センサ部20は、第1信号生成部11および第2信号生成部12に加え、補正値演算部21を有する。また、ECU45は、上記実施形態と同様の信号取得部41および制御演算部43を有しており、補正値演算部42が省略されている。
補正値演算部21は、オフセット補正値A1およびゲイン補正値B1の少なくとも一方を演算する。すなわち、本実施形態では、補正値A1、B1の演算を、センサ部20にて行っている。図7では、補正値演算部21を、信号生成部11、12とは別途に記載しているが、第1信号生成部11または第2信号生成部12の一方に設けられ、他方から補正値A1、B1の演算に必要な情報を取得するように構成してもよい。
本実施形態では、第1メイン検出値D50および第1サブ検出値D55の平均値を第1検出値D5とし、第2メイン検出値D60および第2サブ検出値D65の平均値を第2検出値D6とする。
補正値演算部21は、第1検出値D5および第2検出値D6に基づき、オフセット補正値A1およびゲイン補正値B1の少なくとも一方を演算する。
本実施形態では、第1検出値D5および第2検出値D6が「検出値相当値」に対応する。また、上記実施形態の第1信号値D8に替えて第1検出値D5を用い、第2信号値D9に替えて第2検出値D6を用いることで、上記実施形態と同様にオフセット補正値A1およびゲイン補正値B1を演算可能である。
補正値A1、B1の演算において、演算可能条件を満たすか否かは、ECU45から判定に用いる各パラメータを取得し、補正値演算部21にて判断してもよい。また、ECU45にて演算可能条件を満たすか否かを判断し、ECU45から演算可能条件を満たす旨の信号が取得されたとき、補正値A1、B1の演算を行うようにしてもよい。
また、例えば、ECU45からの電圧供給開始時を、電動パワーステアリング装置80の起動時とみなし、第1実施形態のように、オフセット補正値A1を演算してもよい。また例えば、ECU45から電圧が供給されているとき、演算可能条件を満たすものとし、センサ部10の起動中に常時、オフセット補正値A1やゲイン補正値B1を演算するようにしてもよい。
演算された補正値A1、B1は、出力回路115、125に出力される。出力回路115は、第1メイン検出値D50および第1サブ検出値D55を補正値A1、B1で補正し、補正された値を用いて第1出力信号Sd1を生成する。また、出力回路125は、第2メイン検出値D60および第2サブ検出値D65を補正値A1、B1で補正し、補正された値を用いて第2出力信号Sd2を生成する。
ECU45に出力される出力信号Sd1、Sd2のセンサ信号は、センサ部20にてオフセット誤差およびゲイン誤差の少なくとも一方が補正された値に基づいて生成されている。これにより、制御演算部43は、オフセット誤差またはゲイン誤差の補正を行うことなく、センサ信号が示す値を演算に用いることができる。なお、補正値A1、B1で補正された検出値D50、D55を含む出力信号Sd1のセンサ信号を用いた演算、および、補正値A1、B1で補正された検出値D60、D65を含む出力信号Sd2のセンサ信号を用いた演算は、「オフセット補正値またはゲイン補正値の少なくとも一方で補正された検出値相当値を用いた演算」の概念に含まれるものとする。
本実施形態では、補正値演算部21は、センサ部20に設けられる。これにより、ECU45の演算負荷を低減することができる。
また、上記実施形態と同様の効果を奏する。
(他の実施形態)
(ア)信号値、検出値
第1実施形態〜第3実施形態では、第1メイン信号値および第1サブ信号値の平均値を第1信号値とし、第2メイン信号値および第2サブ信号値の平均値を第2信号値とする。他の実施形態では、第1信号値は、第1メイン信号値および第1サブ信号値を用いた平均値以外の演算値であってもよいし、第1メイン信号または第1サブ信号であってもよい。例えば、メイン信号とサブ信号とが反転されており、サブ信号値を正信号換算しない場合、第1メイン信号値と第1サブ信号値との平均値に替えて、第1メイン信号値から第1サブ信号値を減算した減算値を用いてもよい。同様に、第2信号値は、第2メイン信号および第2サブ信号を用いた平均値以外の演算値であってもよいし、第2メイン信号または第2サブ信号であってもよい。
また、例えば補正値演算部における補正値演算には、検出値相当値としてメイン信号値とサブ信号値との平均値を用い、制御演算部におけるトルク演算には、検出値相当値としてメイン信号値またはサブ信号値を用いる、といった具合に、補正値演算に用いる検出値相当値と、トルク演算に用いる検出値相当値とは、異なっていてもよい。また、トルク演算において、第1信号値または第2信号値の一方を用い、他方を用いなくてもよい。
第4実施形態では、第1メイン検出値および第1サブ検出値の平均値を第1検出値とし、第2メイン検出値および第2サブ検出値の平均値を第2検出値とする。他の実施形態では、第1検出値は、第1メイン検出値および第1サブ検出値の平均値以外の演算値であってもよいし、第1メイン検出値または第1サブ検出値であってもよい。同様に、第2検出値は、第2メイン検出値および第2サブ検出値の平均値以外の演算値であってもよいし、第2メイン検出値または第2サブ検出値であってもよい。
(イ)補正値演算部
上記実施形態では、補正値演算部は、第1信号生成部に係る検出値相当値、および、第2信号生成部に係る検出値相当値に基づき、オフセット補正値またはゲイン補正値を演算する。他の実施形態では、補正値演算部は、同一の信号出力部に設けられる複数のセンサ素子に係る検出値相当値を用い、オフセット補正値またはゲイン補正値を演算してもよい。この場合、信号生成部ごとに補正値演算部を設けてもよい。
上記実施形態では、補正値演算部は、2つの検出値相当値の差を2で除した値をオフセット補正値とする。他の実施形態では、例えば、第2のセンサ素子の検出値相当値から第1のセンサ素子の検出値相当値を減算した減算値そのものをオフセット補正値とし、第1のセンサ素子の検出値相当値を常に真とし、第2のセンサ素子の検出値相当値をオフセット補正値で補正するようにしてもよい。このような補正方法は、例えば、第1のセンサ素子と比較し、第2のセンサ素子の検出精度が低い、あるいは、第2のセンサ素子が構造的に誤差の大きい箇所(すなわち検出中心から外れた箇所)に配置されている場合に有効である。
第2実施形態では、補正値演算部は、複数の仮オフセット補正値の平均値を制限前のオフセット補正値とする。他の実施形態では、補正値演算部は、図5中のS204およびS205の処理を省略し、仮オフセット補正値を制限前のオフセット補正値としてもよい。第3実施形態におけるゲイン補正値の演算についても同様に、補正値演算部は、図6中のS304およびS305の処理を省略し、仮ゲイン補正値を制限前のゲイン補正値としてもよい。
上記実施形態では、補正値演算部は、オフセット補正値またはゲイン補正値の絶対値が補正上限値より大きい場合、または、今回値と前回値との差の絶対値が差分閾値より大きい場合、オフセット補正値またはゲイン補正値を制限する。他の実施形態では、図4中のS105、図5中のS207、または、図6中のS307を省略し、オフセット補正値またはゲイン補正値の制限処理を省略してもよい。また、上限値の制限、または、前回値との差分による制限の一方を省略してもよい。
第1実施形態では、電動パワーステアリング装置の起動ごとに、オフセット補正値演算処理が行われる。他の実施形態では、電動パワーステアリング装置が所定回数起動されるごとに、オフセット補正値演算処理を行ってもよい。
第4実施形態では、センサ部内の出力回路にて検出値を補正し、補正された値を用いて出力信号を生成する。他の実施形態では、補正値と検出値とを別々に出力信号に含めるようにし、制御部にて補正値による補正を行うようにしてもよい。
(ウ)演算可能条件
第1実施形態では、電動パワーステアリング装置の起動時であって、操舵部材が中立位置にあるとき、オフセット補正値の演算に係る演算可能条件を満たすものとする。他の実施形態では、図4中のS101またはS102にて否定判断された場合、所定の待機期間(例えば、数秒間)は、S101またはS102の判断処理を繰り返し、待機期間中に演算可能条件を満たせば、S103以降の処理を行い、オフセット補正値を演算するようにしてもよい。この場合、電動パワーステアリング装置の起動から待機期間終了までの期間を、「電動パワーステアリング装置の起動時」とみなすものとする。
第2実施形態では、補正値演算部は、ハンドル舵角、モータまたは操舵部材の回転角速度、操舵トルク、車速、および、ヨーレートに基づいて直進判定する。他の実施形態では、補正値演算部は、車速およびヨーレートの少なくとも一方を用いずに直進判定してもよい。なお、補正値演算部は、演算に用いないパラメータの取得を適宜省略してもよい。また、操舵部材の中立判定や直進判定は、上記実施形態の判定方法に限らず、どのように判定してもよい。
(エ)センサ部
上記実施形態では、出力回路は、所定の周期で出力信号を制御部に出力する。他の実施形態では、制御部からセンサ部へ要求信号を出力し、出力回路は、要求信号が検出されると、出力信号を制御部に出力するようにしてもよい。要求信号を用いる場合も、上記実施形態と同様、出力信号の出力タイミングは、複数の信号生成部間で同時であってもよいし、異なっていてもよい。
上記実施形態では、出力回路は、SENT通信により出力信号を制御部に出力される。他の実施形態では、出力回路は、SENT通信以外の方式のデジタル通信により出力信号を制御部に出力してもよい。また他の実施形態では、出力回路は、アナログ通信により出力信号を制御部に出力してもよい。
上記実施形態では、メイン信号を正信号とし、サブ信号を反転信号とする。他の実施形態では、メイン信号を反転信号とし、サブ信号と正信号としてもよいし、メイン信号およびサブ信号とが反転されず、同様の信号であってもよい。
上記実施形態では、センサ部は、2つのセンサ素子を含む2つの信号生成部を有しており、センサ部には計4つのセンサ素子が設けられる。他の実施形態では、センサ部に設けられるセンサ素子は、2以上のいくつとしてもよい。例えば、センサ部に、1つのセンサ素子を含む信号生成部が2以上設けてもよいし、複数のセンサ素子を含む信号生成部が1以上設けてもよい。また、上記実施形態では、2つの信号生成部が封止部にて1つのパッケージとなっている。他の実施形態では、封止部が信号生成部ごとに設けられ、複数のパッケージとしてもよい。
上記実施形態のセンサ素子は、ホール素子である。他の実施形態では、センサ素子は、ホール素子以外の磁気検出素子であってもよいし、磁気以外の物理量を検出するものであってもよい。
上記実施形態では、センサ部は、操舵トルクを検出するトルクセンサに用いられる。他の実施形態では、センサ部は、操舵トルク以外のトルク、回転角、ストローク、加重、圧力等、どのような物理量を検出するものであってもよい。
(オ)センサ装置
上記実施形態では、センサ装置は、電動パワーステアリング装置に適用される。他の実施形態では、センサ装置は、電動パワーステアリング装置以外の車載装置に適用してもよいし、車両に搭載されない装置に適用してもよい。
以上、本発明は、上記実施形態になんら限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施可能である。
1、2・・・センサ装置
10、20・・・センサ部
21・・・補正値演算部
40、45・・・ECU(制御部)
41・・・信号取得部
42・・・補正値演算部
43・・・制御演算部
111、112、121、122・・・センサ素子
115、125・・・回路部
831・・・集磁部(検出対象)

Claims (14)

  1. 検出対象(831)に関する物理量を検出する複数のセンサ素子(111、112、121、122)、および、前記センサ素子の検出値に応じたセンサ信号を含む出力信号を生成して出力する出力回路(115、125)を有するセンサ部(10、20)と、
    前記センサ部から前記出力信号を取得する制御部(40、45)と、
    を備え、
    前記センサ部または前記制御部は、演算可能条件を満たしたとき、前記検出値に応じた値である2つの検出値相当値の減算値に基づき、オフセット誤差を補正するオフセット補正値を演算する補正値演算部(21、42)を有し、
    前記制御部は、前記オフセット補正値で補正された前記検出値相当値を用いた演算を行う制御演算部(43)を有することを特徴とするセンサ装置。
  2. 前記センサ素子は、前記検出対象の磁束の変化を検出する磁気検出素子であることを特徴とする請求項に記載のセンサ装置。
  3. 前記センサ素子は、操舵トルクに応じて変化する磁束を検出するものであって、電動パワーステアリング装置(80)のトルクセンサ(83)に用いられ、
    前記制御演算部は、補正された前記検出値相当値を用いて操舵トルクを演算することを特徴とする請求項に記載のセンサ装置。
  4. 前記補正値演算部は、前記電動パワーステアリング装置が起動されたときであって、操舵部材(91)が中立位置にあるとき、前記オフセット補正値の演算に係る前記演算可能条件を満たしているとみなし、前記オフセット補正値を演算することを特徴とする請求項に記載のセンサ装置。
  5. 前記補正値演算部は、車両直進中であるとき、前記オフセット補正値の演算に係る前記演算可能条件を満たしているとみなし、前記オフセット補正値を演算することを特徴とする請求項に記載のセンサ装置。
  6. 前記補正値演算部は、演算された前記オフセット補正値の絶対値がオフセット補正上限値より大きい場合、または、今回値と前回値との差の絶対値がオフセット差分閾値より大きい場合、演算された前記オフセット補正値を制限することを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載のセンサ装置。
  7. 検出対象(831)に関する物理量を検出する複数のセンサ素子(111、112、121、122)、および、前記センサ素子の検出値に応じたセンサ信号を含む出力信号を生成して出力する出力回路(115、125)を有するセンサ部(10、20)と、
    前記センサ部から前記出力信号を取得する制御部(40、45)と、
    を備え、
    前記センサ部または前記制御部は、演算可能条件を満たしたとき、前記検出値に応じた値である2つの検出値相当値を用いた除算値に基づき、ゲイン誤差を補正するゲイン補正値を演算する補正値演算部(21、42)を有し、
    前記制御部は、前記ゲイン補正値で補正された前記検出値相当値を用いた演算を行う制御演算部(43)を有することを特徴とするセンサ装置。
  8. 検出対象(831)に関する物理量を検出する複数のセンサ素子(111、112、121、122)、および、前記センサ素子の検出値に応じたセンサ信号を含む出力信号を生成して出力する出力回路(115、125)を有するセンサ部(10、20)と、
    前記センサ部から前記出力信号を取得する制御部(40、45)と、
    を備え、
    前記センサ部または前記制御部は、演算可能条件を満たしたとき、前記検出値に応じた値である複数の検出値相当値に基づき、ゲイン誤差を補正するゲイン補正値を演算する補正値演算部(21、42)を有し、
    前記制御部は、前記ゲイン補正値で補正された前記検出値相当値を用いた演算を行う制御演算部(43)を有し、
    前記補正値演算部は、演算された前記ゲイン補正値の絶対値がゲイン補正上限値より大きい場合、または、前回値と今回値との差の絶対値がゲイン差分閾値より大きい場合、演算された前記ゲイン補正値を制限することを特徴とするセンサ装置。
  9. 前記センサ素子は、前記検出対象の磁束の変化を検出する磁気検出素子であることを特徴とする請求項7または8に記載のセンサ装置。
  10. 前記センサ素子は、操舵トルクに応じて変化する磁束を検出するものであって、電動パワーステアリング装置(80)のトルクセンサ(83)に用いられ、
    前記制御演算部は、補正された前記検出値相当値を用いて操舵トルクを演算することを特徴とする請求項に記載のセンサ装置。
  11. 検出対象(831)の磁束の変化を検出する磁気検出素子である複数のセンサ素子(111、112、121、122)、および、前記センサ素子の検出値に応じたセンサ信号を含む出力信号を生成して出力する出力回路(115、125)を有するセンサ部(10、20)と、
    前記センサ部から前記出力信号を取得する制御部(40、45)と、
    を備え、
    前記センサ部または前記制御部は、演算可能条件を満たしたとき、前記検出値に応じた値である複数の検出値相当値に基づき、ゲイン誤差を補正するゲイン補正値を演算する補正値演算部(21、42)を有し、
    前記制御部は、前記ゲイン補正値で補正された前記検出値相当値を用いた演算を行う制御演算部(43)を有し、
    前記センサ素子は、操舵トルクに応じて変化する磁束を検出するものであって、電動パワーステアリング装置(80)のトルクセンサ(83)に用いられ、
    前記制御演算部は、補正された前記検出値相当値を用いて操舵トルクを演算し、
    前記補正値演算部は、操舵トルクがゲイン演算可能閾値より大きい場合、前記ゲイン補正値の演算に係る前記演算可能条件を満たしているとみなし、前記ゲイン補正値を演算することを特徴とするセンサ装置。
  12. 前記補正値演算部(42)は、前記制御部(40)に設けられることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載のセンサ装置。
  13. 前記補正値演算部(21)は、前記センサ部(20)に設けられることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載のセンサ装置。
  14. 前記出力回路は、デジタル通信により前記出力信号を前記制御部に出力することを特徴とする請求項1〜13のいずれか一項に記載のセンサ装置。
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