JP6430071B1 - 多モード干渉型合分波器、および、これを用いた光学素子 - Google Patents
多モード干渉型合分波器、および、これを用いた光学素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6430071B1 JP6430071B1 JP2018516082A JP2018516082A JP6430071B1 JP 6430071 B1 JP6430071 B1 JP 6430071B1 JP 2018516082 A JP2018516082 A JP 2018516082A JP 2018516082 A JP2018516082 A JP 2018516082A JP 6430071 B1 JP6430071 B1 JP 6430071B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single mode
- waveguide
- mode waveguide
- light
- multimode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 10
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 7
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 31
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 238000013461 design Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1228—Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/125—Bends, branchings or intersections
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/015—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction
- G02F1/025—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on semiconductor elements having potential barriers, e.g. having a PN or PIN junction in an optical waveguide structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/026—Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12083—Constructional arrangements
- G02B2006/12104—Mirror; Reflectors or the like
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12133—Functions
- G02B2006/12164—Multiplexing; Demultiplexing
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2808—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using a mixing element which evenly distributes an input signal over a number of outputs
- G02B6/2813—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using a mixing element which evenly distributes an input signal over a number of outputs based on multimode interference effect, i.e. self-imaging
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
Description
以下、本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器について説明する。
図1は、本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器の構成を概略的に例示する平面図である。図1に例示されるように、本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器では、多モード導波路1と、シングルモード導波路2aと、シングルモード導波路2bと、シングルモード導波路2cと、不要光用シングルモード導波路5とを備える。また、多モード導波路1のシングルモード導波路2bと対向する位置には、反射面4が配置される。
シングルモード導波路から多モード導波路1に入射された光は、多モード導波路1の側端部において反射または干渉しながら伝搬し、最終的に2箇所で結像する。
図1に例示された構成では、多モード導波路1の2つの側端部のうち、シングルモード導波路3が接続されていた接続部30から遠い位置の側端部10bに、不要光用シングルモード導波路5が接続されている。
本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器について説明する。以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図7は、本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器の構成を概略的に例示する平面図である。本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器では、多モード導波路1と、シングルモード導波路2aと、シングルモード導波路2bと、シングルモード導波路2cと、不要光用シングルモード導波路5bと、不要光用シングルモード導波路5bの先端に接続される吸収用シングルモード導波路6とを備える。多モード導波路1のシングルモード導波路2bと対向する位置には、反射面4が配置される。
本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器、および、これを用いた光学素子としてのMZ変調器について説明する。以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図9は、本実施の形態に関するMZ変調器の構成を概略的に例示する平面図である。図9においては、図1に例示された多モード干渉型合分波器を備え、MZ干渉計の2本のアーム部に電極が形成されたMZ変調器が例示される。
本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器、および、これを用いた光学素子としての2波長集積変調器について説明する。以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図11は、本実施の形態に関する2波長集積変調器の構成を概略的に例示する平面図である。光通信システムの大容量化に対応するため、2波長集積変調器を、波長多重信号を送信可能な変調器付きの光源として用いることができる。
図15は、本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器の構成を概略的に例示する平面図である。本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器では、多モード導波路1と、シングルモード導波路102aと、シングルモード導波路2bと、シングルモード導波路2cと、不要光用シングルモード導波路105とを備える。多モード導波路1のシングルモード導波路2bと対向する位置には、反射面4が配置される。
図16は、本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器の構成を概略的に例示する平面図である。本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器では、多モード導波路1と、シングルモード導波路102aと、シングルモード導波路2bと、シングルモード導波路2cと、不要光用シングルモード導波路105とを備える。多モード導波路1のシングルモード導波路2bと対向する位置には、反射面4aが配置される。
図18は、本実施の形態に関する多モード干渉型合分波器の構成を概略的に例示する平面図である。上記の各実施の形態では、基本設計は2×2多モード干渉型合分波器とされていたが、入力側および出力側のシングルモード導波路の本数を増やしてN×Nとしてもよい。たとえば、本実施の形態に例示されるように、4×4多モード干渉型合分波器であってもよい。
次に、以上に記載された実施の形態によって生じる効果を例示する。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態に例示された具体的な構成に基づいて当該効果が記載されるが、同様の効果が生じる範囲で、本願明細書に例示される他の具体的な構成と置き換えられてもよい。
以上に記載された実施の形態では、反射面4のX軸方向に対する角度は45°とされたが、反射面の角度はこの場合に限られるものではない。
Claims (8)
- 第1の端部と、前記第1の端部の反対側の端部である第2の端部と、互いに対向する第1の側端部および第2の側端部とを有する多モード導波路と、
前記多モード導波路の前記第1の端部に接続される、第1のシングルモード導波路と、
前記多モード導波路の前記第2の端部において、前記第1のシングルモード導波路と対向する位置に接続される、第2のシングルモード導波路と、
前記多モード導波路の前記第2の端部において、前記第2のシングルモード導波路が接続される位置よりも前記第1の側端部に近い位置に接続される、第3のシングルモード導波路と、
前記多モード導波路において、前記第3のシングルモード導波路と対向する位置に配置される反射面と、
前記第1の側端部または前記第2の側端部に接続される、不要光用の第4のシングルモード導波路とを備え、
前記第1の端部と前記第2の端部とを結ぶ方向を第1の方向とし、
前記第1の方向と交差する方向を第2の方向とし、
前記第1の側端部と前記第2の側端部とは、前記第2の方向において互いに対向し、
前記第2のシングルモード導波路または前記第3のシングルモード導波路から入射された不要光が、前記反射面において反射され、その後、前記第4のシングルモード導波路の第1の接続部において結像し、
前記第1の接続部は、前記第1の側端部における接続部または前記第2の側端部における接続部である、
多モード干渉型合分波器。 - 前記第4のシングルモード導波路は、前記第2の側端部に接続され、
前記反射面が、前記第1の側端部に近づくにつれて前記第2の端部に近づく傾斜面である、
請求項1に記載の多モード干渉型合分波器。 - 前記第4のシングルモード導波路は、前記第1の側端部に接続され、
前記反射面が、前記第1の側端部に近づくにつれて前記第2の端部から遠ざかる傾斜面である、
請求項1に記載の多モード干渉型合分波器。 - 前記第2のシングルモード導波路または前記第3のシングルモード導波路から入射された光が前記反射面において反射する点を反射点とし、
前記第1の方向に沿う方向における、前記反射点と前記第1の端部との間の距離を第1の距離とし、
前記反射点と前記第1の接続部との間の距離を第2の距離とする場合、
前記第1の距離と前記第2の距離とが等しい、
請求項1から請求項3のうちのいずれか1項に記載の多モード干渉型合分波器。 - 前記第4のシングルモード導波路の長手方向に沿う軸線が前記反射点を通る、
請求項4に記載の多モード干渉型合分波器。 - 前記第1のシングルモード導波路および前記第4のシングルモード導波路のうちの少なくとも1つが、テーパー形状を有する、
請求項1から請求項5のうちのいずれか1項に記載の多モード干渉型合分波器。 - 複数の前記第3のシングルモード導波路と、
それぞれの前記第3のシングルモード導波路に対応する複数の前記第4のシングルモード導波路とを備え、
それぞれの前記第3のシングルモード導波路から前記多モード導波路へ垂直に入射した光が、前記反射面において反射され、対応する前記第4のシングルモード導波路に達するまでの経路長を、それぞれ、長さA、長さB、長さCおよび長さDとする場合、多モード導波路の長さLが、
請求項1から請求項6のうちのいずれか1項に記載の多モード干渉型合分波器。 - 請求項1から請求項7のうちのいずれか1項に記載された多モード干渉型合分波器を少なくとも1つ備える、
光学素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017104359 | 2017-05-26 | ||
JP2017104359 | 2017-05-26 | ||
PCT/JP2017/043383 WO2018216249A1 (ja) | 2017-05-26 | 2017-12-04 | 多モード干渉型合分波器、および、これを用いた光学素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6430071B1 true JP6430071B1 (ja) | 2018-11-28 |
JPWO2018216249A1 JPWO2018216249A1 (ja) | 2019-06-27 |
Family
ID=64395398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018516082A Active JP6430071B1 (ja) | 2017-05-26 | 2017-12-04 | 多モード干渉型合分波器、および、これを用いた光学素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10983272B2 (ja) |
JP (1) | JP6430071B1 (ja) |
CN (1) | CN110637244B (ja) |
WO (1) | WO2018216249A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6716029B1 (ja) * | 2018-10-10 | 2020-07-01 | 三菱電機株式会社 | 多モード干渉型光導波路デバイス及び光集積回路 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11822126B2 (en) | 2022-03-08 | 2023-11-21 | Cisco Technology, Inc. | Single mode and multi-mode waveguide crossings |
GB2619065A (en) * | 2022-05-26 | 2023-11-29 | Axenic Ltd | An optical structure |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04346301A (ja) * | 1991-05-24 | 1992-12-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光合分岐器 |
WO2005116704A1 (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 光分岐光導波路 |
JP2006323135A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多モード干渉型光導波路 |
JP2010256707A (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体光素子とその製造方法 |
WO2011065014A1 (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-03 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 光導波路デバイスおよびモジュール |
JP2012527010A (ja) * | 2009-05-13 | 2012-11-01 | シンチューン エービー | 反射率の小さな光導波路 |
JP2013130638A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 光デバイス |
JP2014202936A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 三菱電機株式会社 | 光導波路および光集積素子 |
US20160011370A1 (en) * | 2014-07-14 | 2016-01-14 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical waveguide element |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5005775B2 (ja) * | 2010-01-12 | 2012-08-22 | 日本電信電話株式会社 | 多モード干渉型光導波路の製造方法 |
CN102879924A (zh) * | 2012-09-28 | 2013-01-16 | 江苏大学 | 多模干涉马赫-曾德尔全光开关 |
-
2017
- 2017-12-04 WO PCT/JP2017/043383 patent/WO2018216249A1/ja active Application Filing
- 2017-12-04 US US16/499,754 patent/US10983272B2/en active Active
- 2017-12-04 CN CN201780090461.4A patent/CN110637244B/zh active Active
- 2017-12-04 JP JP2018516082A patent/JP6430071B1/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04346301A (ja) * | 1991-05-24 | 1992-12-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光合分岐器 |
WO2005116704A1 (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 光分岐光導波路 |
JP2006323135A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 多モード干渉型光導波路 |
JP2010256707A (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体光素子とその製造方法 |
JP2012527010A (ja) * | 2009-05-13 | 2012-11-01 | シンチューン エービー | 反射率の小さな光導波路 |
WO2011065014A1 (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-03 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 光導波路デバイスおよびモジュール |
JP2013130638A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 光デバイス |
JP2014202936A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | 三菱電機株式会社 | 光導波路および光集積素子 |
US20160011370A1 (en) * | 2014-07-14 | 2016-01-14 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical waveguide element |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6716029B1 (ja) * | 2018-10-10 | 2020-07-01 | 三菱電機株式会社 | 多モード干渉型光導波路デバイス及び光集積回路 |
US11971579B2 (en) | 2018-10-10 | 2024-04-30 | Mitsubishi Electric Corporation | Multi-mode interferometric optical waveguide device and photonic integrated circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018216249A1 (ja) | 2018-11-29 |
CN110637244B (zh) | 2020-11-06 |
US10983272B2 (en) | 2021-04-20 |
JPWO2018216249A1 (ja) | 2019-06-27 |
US20200264369A1 (en) | 2020-08-20 |
CN110637244A (zh) | 2019-12-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6276840B2 (ja) | 偏波回転回路 | |
JP6430071B1 (ja) | 多モード干渉型合分波器、および、これを用いた光学素子 | |
JP5304158B2 (ja) | 光共振器及び波長可変レーザ | |
JP2014110257A (ja) | 光学装置 | |
JP4308712B2 (ja) | 光デバイス | |
JP2012098472A (ja) | 光変調器 | |
JP6393221B2 (ja) | 光送信器および光送信装置 | |
CN112789536B (zh) | 多模干涉型光波导器件和光集成电路 | |
KR100927657B1 (ko) | 포토닉스 소자 | |
JP2007094336A (ja) | 光半導体素子および光半導体素子の製造方法 | |
JP2013137360A (ja) | 光合分波素子およびマッハツェンダ型光変調器 | |
JP4728746B2 (ja) | マルチモード干渉カプラ、これを用いた光半導体素子およびマルチモード干渉カプラの設計方法 | |
JP5751008B2 (ja) | 光合分波器および光合分波方法 | |
JP4946346B2 (ja) | 光導波路デバイスおよびその伝送損失の調整方法 | |
JP2021162640A (ja) | 光変調器 | |
JP6109002B2 (ja) | 光導波素子 | |
JP2014191088A (ja) | 光波長フィルタ | |
KR20020008455A (ko) | 광분배기와 파장분할다중화모듈을 위한 저손실다중모드간섭계 | |
JP2023040871A (ja) | 光導波路素子および光集積回路 | |
KR100766084B1 (ko) | 양자점을 포함하는 반도체 레이저 구조물 | |
JP4408083B2 (ja) | 光合分波素子およびそれを用いた光回路 | |
JP2006215102A (ja) | Y分岐光導波路 | |
JP2005292365A (ja) | 導波路型光合分波器 | |
JP2009251176A (ja) | 光信号処理回路 | |
JPH1090536A (ja) | 光導波路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180327 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180327 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20180327 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20180517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181030 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6430071 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |