JPH04346301A - 光合分岐器 - Google Patents
光合分岐器Info
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- JPH04346301A JPH04346301A JP12005091A JP12005091A JPH04346301A JP H04346301 A JPH04346301 A JP H04346301A JP 12005091 A JP12005091 A JP 12005091A JP 12005091 A JP12005091 A JP 12005091A JP H04346301 A JPH04346301 A JP H04346301A
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、小型、集積化可能な光
合分岐器に関する。
合分岐器に関する。
【０００２】
【従来の技術】光回路の小型化、高集積化を行なうため
にはコンパクトな光合分岐器が必要である。従来、小型
の光合分岐器としては図４に示す構成のものが知られて
いる。図４において、１は上下・左右の２方向の光閉じ
こめ構造を有する信号光導波路、２は上下方向のみの閉
じこめ構造を有する信号光導波路（２次元伝搬領域）、
３ａ−３ｇは上下・左右２方向の閉じこめ構造を有する
分岐導波路を示す。また、図５は図４におけるＥ−Ｅ線
断面図であり、４はＡｌ０．６Ｇａ０．４Ａｓ クラッ
ド層、５はＡｌ０．２Ｇａ０．８Ａｓ コア、６はＧａ
Ａｓ基板である。なお、図４のＦ−Ｆ線及びＧ−Ｇ線断
面も導波路幅が異なることを除けば図５に示したものと
同様である。
にはコンパクトな光合分岐器が必要である。従来、小型
の光合分岐器としては図４に示す構成のものが知られて
いる。図４において、１は上下・左右の２方向の光閉じ
こめ構造を有する信号光導波路、２は上下方向のみの閉
じこめ構造を有する信号光導波路（２次元伝搬領域）、
３ａ−３ｇは上下・左右２方向の閉じこめ構造を有する
分岐導波路を示す。また、図５は図４におけるＥ−Ｅ線
断面図であり、４はＡｌ０．６Ｇａ０．４Ａｓ クラッ
ド層、５はＡｌ０．２Ｇａ０．８Ａｓ コア、６はＧａ
Ａｓ基板である。なお、図４のＦ−Ｆ線及びＧ−Ｇ線断
面も導波路幅が異なることを除けば図５に示したものと
同様である。
【０００３】ここでこの光合分岐器の動作原理について
説明する。導波路１から２次元伝搬領域２に入射した信
号光は、左右方向の光閉じこめ構造が存在しないため横
方向電界分布はガウスビームとなって広がりながら伝搬
する。このときのビームの広がり角θはθ＝ ｔａｎ−
１（λ／πω０ ） で与えられる。ここでλは導波路中での信号光波長、ω
０ は導波路１と２次元伝搬領域２との界面におけるビ
ームウェストの半径である。いまω０ ＝１μｍ、λ＝
０．４μｍとすると、θは約７．３度となる。したがっ
て、空間伝搬領域の長さが１（μｍ）とすると空間伝搬
領域の終端におけるビーム直径は２１・ｔａｎ θ＝０
．２５６１（μｍ）となり、この範囲にある出力導波路
には信号光が分岐して行くことになる。もし出力導波路
３の導波路間隔をｄμｍ、導波路本数をｎ本とすると、
必要な２次元伝搬領域の長さｌは、 ｌ＝ｄ×ｎ／２／ｔａｎ θ＝３．９ｎｄ （μｍ）
で与えられる。ｎ＝７本、ｄ＝２００μｍの場合、１＝
５．５ｍｍ必要となる。また、このときの光合分岐回路
の幅は約１．５ｍｍである。さらに、ｎ＝１０本の場合
の２次元伝搬領域の長さｌは７．８ｍｍとなる。
説明する。導波路１から２次元伝搬領域２に入射した信
号光は、左右方向の光閉じこめ構造が存在しないため横
方向電界分布はガウスビームとなって広がりながら伝搬
する。このときのビームの広がり角θはθ＝ ｔａｎ−
１（λ／πω０ ） で与えられる。ここでλは導波路中での信号光波長、ω
０ は導波路１と２次元伝搬領域２との界面におけるビ
ームウェストの半径である。いまω０ ＝１μｍ、λ＝
０．４μｍとすると、θは約７．３度となる。したがっ
て、空間伝搬領域の長さが１（μｍ）とすると空間伝搬
領域の終端におけるビーム直径は２１・ｔａｎ θ＝０
．２５６１（μｍ）となり、この範囲にある出力導波路
には信号光が分岐して行くことになる。もし出力導波路
３の導波路間隔をｄμｍ、導波路本数をｎ本とすると、
必要な２次元伝搬領域の長さｌは、 ｌ＝ｄ×ｎ／２／ｔａｎ θ＝３．９ｎｄ （μｍ）
で与えられる。ｎ＝７本、ｄ＝２００μｍの場合、１＝
５．５ｍｍ必要となる。また、このときの光合分岐回路
の幅は約１．５ｍｍである。さらに、ｎ＝１０本の場合
の２次元伝搬領域の長さｌは７．８ｍｍとなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光合分岐器
とファイバとの接続を行うためには出力導波路間隔を２
００μｍ程度に広げなければならないが、前述したよう
な構成の光合分岐器では空間伝搬領域の終端におけるビ
ーム直径を大きくするために素子長を増大しなければな
らないという問題がある。また、分岐数が増大すると、
素子長も大幅に増大してしまうという問題もある。
とファイバとの接続を行うためには出力導波路間隔を２
００μｍ程度に広げなければならないが、前述したよう
な構成の光合分岐器では空間伝搬領域の終端におけるビ
ーム直径を大きくするために素子長を増大しなければな
らないという問題がある。また、分岐数が増大すると、
素子長も大幅に増大してしまうという問題もある。
【０００５】本発明はこのよう事情に鑑み、製作が容易
で、小型，低損失な光合分岐器を提供することを目的と
する。
で、小型，低損失な光合分岐器を提供することを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の光合分岐器は、上下・左右の２方向の光閉じこめ構
造を有する第１の光導波路と、この第１の光導波路に結
合し左右方向の光閉じこめ構造を有しない第２の光導波
路と、この第２の光導波路に結合し上下・左右方向の光
閉じこめ構造を有する複数の光導波路とからなる一入力
多出力若しくは多入力一出力タイプの光合分岐器におい
て、上記第２の光導波路に、上下・左右の２方向の光閉
じこめ構造を有すると共に幅広の多モード導波領域を接
続し、且つ該多モード導波領域の側壁に該多モード導波
領域の幅方向の一部と交差する全反射ミラーを導波方向
に亘って複数個形成すると共に該全反射ミラーでの反射
により分岐した光パワーの一部を伝搬する複数の分岐導
波路を設けたことを特徴とする。
明の光合分岐器は、上下・左右の２方向の光閉じこめ構
造を有する第１の光導波路と、この第１の光導波路に結
合し左右方向の光閉じこめ構造を有しない第２の光導波
路と、この第２の光導波路に結合し上下・左右方向の光
閉じこめ構造を有する複数の光導波路とからなる一入力
多出力若しくは多入力一出力タイプの光合分岐器におい
て、上記第２の光導波路に、上下・左右の２方向の光閉
じこめ構造を有すると共に幅広の多モード導波領域を接
続し、且つ該多モード導波領域の側壁に該多モード導波
領域の幅方向の一部と交差する全反射ミラーを導波方向
に亘って複数個形成すると共に該全反射ミラーでの反射
により分岐した光パワーの一部を伝搬する複数の分岐導
波路を設けたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】前記構成の光合分岐器では、例えば第１の光導
波路から入力された光は第２の光導波路を左右方向に広
がりながら伝搬して多モード導波領域に入る。多モード
導波領域を伝搬する光はこの側壁に導波方向に亘って複
数設けられている全反射ミラーで反射され、複数の分岐
導波路に分岐される。また、光合波の場合も光の伝搬が
逆なだけで同様である。したがって、かかる光合分岐器
では分岐導波路間の距離、及び分岐数は多モード導波領
域の長さを大きくすることにより対応できる。
波路から入力された光は第２の光導波路を左右方向に広
がりながら伝搬して多モード導波領域に入る。多モード
導波領域を伝搬する光はこの側壁に導波方向に亘って複
数設けられている全反射ミラーで反射され、複数の分岐
導波路に分岐される。また、光合波の場合も光の伝搬が
逆なだけで同様である。したがって、かかる光合分岐器
では分岐導波路間の距離、及び分岐数は多モード導波領
域の長さを大きくすることにより対応できる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【０００９】図１には一実施例に係る光合分岐器の構成
を示す。同図に示すように、光合分岐器１０は１×７の
合分岐回路であり、１１は上下・左右の２方向の光閉じ
込め構造を有する光導波路、１２は上下方向のみの閉じ
こめ構造を有する信号導波路（２次元伝搬領域）、１３
は上下・左右方向の２方向の光閉じこめ構造を有する導
波路幅の広い多モード導波領域である。ここで、光導波
路１１の構造は、Ａ−Ａ線断面を示す図２に示すように
、Ａｌ０．６Ｇａ０．４Ａｓクラッド層１４、Ａｌ０．
２Ｇａ０．８Ａｓ コア１５及びＧａＡｓ基板１６から
なる。
を示す。同図に示すように、光合分岐器１０は１×７の
合分岐回路であり、１１は上下・左右の２方向の光閉じ
込め構造を有する光導波路、１２は上下方向のみの閉じ
こめ構造を有する信号導波路（２次元伝搬領域）、１３
は上下・左右方向の２方向の光閉じこめ構造を有する導
波路幅の広い多モード導波領域である。ここで、光導波
路１１の構造は、Ａ−Ａ線断面を示す図２に示すように
、Ａｌ０．６Ｇａ０．４Ａｓクラッド層１４、Ａｌ０．
２Ｇａ０．８Ａｓ コア１５及びＧａＡｓ基板１６から
なる。
【００１０】信号導波路１２の途中には全反射ミラー１
７が設けられており、その伝搬方向を９０度変えている
。すなわち全反射ミラー１７の法線と信号導波路１２の
光の伝搬方向とのなす角度は４５度となっている。かか
る信号導波領域１２の一端の幅方向中央に光導波路１１
が結合しており、この光導波路１１から信号導波領域１
２に入った光は徐々に左右方向に広がりながら伝搬され
、該信号導波領域１２の他端では伝搬光が幅いっぱいま
で広がるようになっている。そして、信号導波領域１２
の他端には幅が同一の多モード導波領域１３が結合して
おり、伝搬光はそのまま伝搬する。
７が設けられており、その伝搬方向を９０度変えている
。すなわち全反射ミラー１７の法線と信号導波路１２の
光の伝搬方向とのなす角度は４５度となっている。かか
る信号導波領域１２の一端の幅方向中央に光導波路１１
が結合しており、この光導波路１１から信号導波領域１
２に入った光は徐々に左右方向に広がりながら伝搬され
、該信号導波領域１２の他端では伝搬光が幅いっぱいま
で広がるようになっている。そして、信号導波領域１２
の他端には幅が同一の多モード導波領域１３が結合して
おり、伝搬光はそのまま伝搬する。
【００１１】多モード導波領域１３の一方側の側壁には
それぞれ多モード導波領域１３の幅方向の一部と交差す
る複数（７つ）の全反射ミラー１８ａ〜１８ｇが該多モ
ード導波領域１３の導波方向に亘って形成されている。 また、多モード導波領域１３の他方側の側壁の各全反射
ミラー１８ａ〜１８ｇと対応する位置には、上下・左右
方向の２方向の閉じこめ構造を有する分岐導波路１９ａ
〜１９ｇが結合している。ここで、全反射ミラー１８ａ
〜１８ｇの法線と多モード導波領域１３とのなす角は４
５度であり、多モード導波領域１３を伝搬する信号光の
うち各全反射ミラー１８ａ〜１８ｇに対応する部分はそ
れぞれ全反射されてその伝搬方向が９０度変化し、他方
側の側壁に設けられた分岐導波路１９ａ〜１９ｇに結合
するようになっている。
それぞれ多モード導波領域１３の幅方向の一部と交差す
る複数（７つ）の全反射ミラー１８ａ〜１８ｇが該多モ
ード導波領域１３の導波方向に亘って形成されている。 また、多モード導波領域１３の他方側の側壁の各全反射
ミラー１８ａ〜１８ｇと対応する位置には、上下・左右
方向の２方向の閉じこめ構造を有する分岐導波路１９ａ
〜１９ｇが結合している。ここで、全反射ミラー１８ａ
〜１８ｇの法線と多モード導波領域１３とのなす角は４
５度であり、多モード導波領域１３を伝搬する信号光の
うち各全反射ミラー１８ａ〜１８ｇに対応する部分はそ
れぞれ全反射されてその伝搬方向が９０度変化し、他方
側の側壁に設けられた分岐導波路１９ａ〜１９ｇに結合
するようになっている。
【００１２】全反射ミラー１８ａ〜１８ｇはＢ−Ｂ線断
面を表す図３に示すように、導波路の側壁をコア１５よ
りも深くエッチングして溝２０ａ〜２０ｇを設けること
により形成したものである。これら全反射ミラー１８ａ
〜１８ｇの法線と信号光の光軸とのなす角は４５度であ
り、全反射の条件である約１８度を越えている。なお、
全反射ミラー１７も同様に溝２１を設けることにより形
成されている。
面を表す図３に示すように、導波路の側壁をコア１５よ
りも深くエッチングして溝２０ａ〜２０ｇを設けること
により形成したものである。これら全反射ミラー１８ａ
〜１８ｇの法線と信号光の光軸とのなす角は４５度であ
り、全反射の条件である約１８度を越えている。なお、
全反射ミラー１７も同様に溝２１を設けることにより形
成されている。
【００１３】光導波路１１及び信号光導波路１９ａ〜１
９ｇは、共に道路路幅が２μｍで、基本モードのみが伝
搬可能なシングルモード導波路である。なお、信号光導
波路１９ａ〜１９ｇの例えばＣ−Ｃ線断面の構造は図２
と同様である。また、多モード導波領域１２は、導波路
幅が１４μｍであることを除けば光導波路１１と同様な
構造であり、Ｄ−Ｄ線断面は、幅の違いを除けば図２と
同様である。
９ｇは、共に道路路幅が２μｍで、基本モードのみが伝
搬可能なシングルモード導波路である。なお、信号光導
波路１９ａ〜１９ｇの例えばＣ−Ｃ線断面の構造は図２
と同様である。また、多モード導波領域１２は、導波路
幅が１４μｍであることを除けば光導波路１１と同様な
構造であり、Ｄ−Ｄ線断面は、幅の違いを除けば図２と
同様である。
【００１４】ここで、図１の構成の光合分岐器１０の光
分岐動作について説明する。光導波路１１から入射した
信号光は２次元伝搬領域１２で広がりながら伝搬する。 ここでは全反射ミラー１７を用いて信号光の伝搬方向を
変えているが、これは入力信号光と出力信号光の伝搬方
向を一致させるためのもので分岐動作自体に影響は及ば
さない。この２次元伝搬領域１２ではビーム径は出力導
波路間隔に関係なく出力導波路である分岐導波路１９ａ
〜１９ｇの幅の導波路本数倍、すなわち２×７＝１４μ
ｍまで広げればよく長さは５４μｍでよい。２次元伝搬
領域１２を５４μｍ伝搬した信号光は、導波路幅１４μ
ｍの多モード領域１３に入射する。多モード領域１３の
入口では信号光ビーム直径は５４μｍまで広がっており
、多モード導波路１３は均一に励振される。多モード導
波路１３を伝搬する信号光の一部は全反射ミラー１８ａ
〜１８ｇにより伝搬方向を９０度変化させられ分岐導波
路１９ａ〜１９ｇに結合する。その結果、信号光は７つ
の全反射ミラー１８ａ〜１８ｇにより７分割され、７本
の分岐導波路１９ａ〜１９ｇに分岐される。なお、光合
波の動作は信号光が逆行するだけで基本的に同一である
ので省略する。
分岐動作について説明する。光導波路１１から入射した
信号光は２次元伝搬領域１２で広がりながら伝搬する。 ここでは全反射ミラー１７を用いて信号光の伝搬方向を
変えているが、これは入力信号光と出力信号光の伝搬方
向を一致させるためのもので分岐動作自体に影響は及ば
さない。この２次元伝搬領域１２ではビーム径は出力導
波路間隔に関係なく出力導波路である分岐導波路１９ａ
〜１９ｇの幅の導波路本数倍、すなわち２×７＝１４μ
ｍまで広げればよく長さは５４μｍでよい。２次元伝搬
領域１２を５４μｍ伝搬した信号光は、導波路幅１４μ
ｍの多モード領域１３に入射する。多モード領域１３の
入口では信号光ビーム直径は５４μｍまで広がっており
、多モード導波路１３は均一に励振される。多モード導
波路１３を伝搬する信号光の一部は全反射ミラー１８ａ
〜１８ｇにより伝搬方向を９０度変化させられ分岐導波
路１９ａ〜１９ｇに結合する。その結果、信号光は７つ
の全反射ミラー１８ａ〜１８ｇにより７分割され、７本
の分岐導波路１９ａ〜１９ｇに分岐される。なお、光合
波の動作は信号光が逆行するだけで基本的に同一である
ので省略する。
【００１５】この構成の光合分岐器１０に波長１．３μ
ｍの信号光を導波路１１から入射したところ、分岐導波
路１９ａ〜１９ｇから信号光が取り出され、光信号を７
本に分岐する事が出来た。また、逆に、光を分岐導波路
１９ａ〜１９ｇから入射したところ、光導波路１１から
信号光が取り出され、光信号を合波する事が出来た。本
構成の光合分岐器１０は、入出力導波路１１、１９ａ〜
１９ｇを除いて長さ３０μｍ、幅１．５ｍｍと、従来例
と比較して１／１００以下に小型化され、過剰分岐損失
の５ｄＢ程度以下と低損失なものである。
ｍの信号光を導波路１１から入射したところ、分岐導波
路１９ａ〜１９ｇから信号光が取り出され、光信号を７
本に分岐する事が出来た。また、逆に、光を分岐導波路
１９ａ〜１９ｇから入射したところ、光導波路１１から
信号光が取り出され、光信号を合波する事が出来た。本
構成の光合分岐器１０は、入出力導波路１１、１９ａ〜
１９ｇを除いて長さ３０μｍ、幅１．５ｍｍと、従来例
と比較して１／１００以下に小型化され、過剰分岐損失
の５ｄＢ程度以下と低損失なものである。
【００１６】以上１×７の光合分岐器について説明して
きたが、これが１×Ｎ（Ｎ＝２、３、４・・・）の場合
についても同様な効果が得られることは言うまでもない
。例えば１×１０ならば本発明の構成によれば素子長は
４０μｍと従来例と比べて約１／２００に小型化できる
。また、ここではシングルモード導波路を用いた光合分
岐器について説明したが、この構造がマルチモード導波
路に対して導入されても同様な効果が期待できることは
言うまでもない。さらに、以上実施例では、半導体を用
いた光合分岐回路について説明してきたが、信号光の光
軸とミラーの法線とのなす角が全反射角をこえていれば
、石英・ニオブ酸リチウム等あらゆる材料を用いた場合
でも同様な効果が期待できる。なお、この場合の全反射
角は、石英の場合で約４２度ニオブ酸リチウムの場合で
約２７度となる。
きたが、これが１×Ｎ（Ｎ＝２、３、４・・・）の場合
についても同様な効果が得られることは言うまでもない
。例えば１×１０ならば本発明の構成によれば素子長は
４０μｍと従来例と比べて約１／２００に小型化できる
。また、ここではシングルモード導波路を用いた光合分
岐器について説明したが、この構造がマルチモード導波
路に対して導入されても同様な効果が期待できることは
言うまでもない。さらに、以上実施例では、半導体を用
いた光合分岐回路について説明してきたが、信号光の光
軸とミラーの法線とのなす角が全反射角をこえていれば
、石英・ニオブ酸リチウム等あらゆる材料を用いた場合
でも同様な効果が期待できる。なお、この場合の全反射
角は、石英の場合で約４２度ニオブ酸リチウムの場合で
約２７度となる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光合
分岐器は、２次元伝搬領域及びこれに結合する多モード
領域、並びに多モード領域の側壁に形成された全反射ミ
ラーとで構成されるため、素子長が出力導波路間隔によ
らず、小型な光合分岐器が実現でき、また、過剰分岐損
失が小さく且つ出力導波路間隔に依存せず、しかも、分
岐数が増大しても素子長の増加が導波路幅程度と極めて
小さいという効果を奏するものである。
分岐器は、２次元伝搬領域及びこれに結合する多モード
領域、並びに多モード領域の側壁に形成された全反射ミ
ラーとで構成されるため、素子長が出力導波路間隔によ
らず、小型な光合分岐器が実現でき、また、過剰分岐損
失が小さく且つ出力導波路間隔に依存せず、しかも、分
岐数が増大しても素子長の増加が導波路幅程度と極めて
小さいという効果を奏するものである。
【図１】一実施例に係る光合分岐器の構成図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】従来技術に係る光合分岐器の構成図である。
【図５】図４のＥ−Ｅ線断面図である。
１０ 光合分岐器
１１ 光導波路
１２ 信号導波路（２次元伝搬領域）１３ 多モー
ド導波領域 １４ ＡｌＧａＡｓクラッド １５ ＡｌＧａＡｓコア １６ ＧａＡｓ基板 １７，１８ａ，１８ｂ 全反射ミラー１９ａ〜１９ｇ
分岐導波路 ２０ａ〜２０ｇ，２１ 溝
ド導波領域 １４ ＡｌＧａＡｓクラッド １５ ＡｌＧａＡｓコア １６ ＧａＡｓ基板 １７，１８ａ，１８ｂ 全反射ミラー１９ａ〜１９ｇ
分岐導波路 ２０ａ〜２０ｇ，２１ 溝
Claims (3)
- 【請求項１】 上下・左右の２方向の光閉じこめ構造
を有する第１の光導波路と、この第１の光導波路に結合
し左右方向の光閉じこめ構造を有しない第２の光導波路
と、この第２の光導波路に結合し上下・左右方向の光閉
じこめ構造を有する複数の光導波路とからなる一入力多
出力若しくは多入力一出力タイプの光合分岐器において
、上記第２の光導波路に、上下・左右の２方向の光閉じ
こめ構造を有すると共に幅広の多モード導波領域を接続
し、且つ該多モード導波領域の側壁に該多モード導波領
域の幅方向の一部と交差する全反射ミラーを導波方向に
亘って複数個形成すると共に該全反射ミラーでの反射に
より分岐した光パワーの一部を伝搬する複数の分岐導波
路を設けたことを特徴とする光合分岐器。 - 【請求項２】 請求項１において、第１の光導波路が
、基本モードのみを伝搬可能な光導波路であることを特
徴とする光合分岐器。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、分岐された
信号光が結合する複数の分岐導波路が、基本モードのみ
を伝搬可能な光導波路であることを特徴とする光合分岐
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12005091A JPH04346301A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 光合分岐器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12005091A JPH04346301A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 光合分岐器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04346301A true JPH04346301A (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=14776655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12005091A Withdrawn JPH04346301A (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 光合分岐器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04346301A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-05-24 JP JP12005091A patent/JPH04346301A/ja not_active Withdrawn
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| JP6716029B1 (ja) * | 2018-10-10 | 2020-07-01 | 三菱電機株式会社 | 多モード干渉型光導波路デバイス及び光集積回路 |
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