JP6423672B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る基板処理装置100の全体構成を示す図である。この基板処理装置100は、半導体用途の基板Wを1枚ずつ処理する枚葉式の処理装置であり、円形のシリコンの基板Wに薬液および純水を用いた液処理を行ってから乾燥処理を行う。薬液としては、典型的にはSC1液(アンモニア水、過酸化水素水、水の混合液)、SC2液(塩酸、過酸化水素水、水の混合液)、DHF液(希フッ酸)などが用いられる。本明細書では、薬液と純水とを総称して「処理液」とする。なお、洗浄処理のみならず、成膜処理のためのフォトレジスト液などの塗布液、不要な膜を除去するための薬液、エッチングのための薬液(例えば、フッ酸)なども本発明の「処理液」に含まれる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態の基板処理装置の構成は第1実施形態と全く同じである。また、第2実施形態における基板Wの処理手順についても第1実施形態と同じであるが、第2実施形態では処理液吐出の有無を判定するときに複数回の判定処理を行っている。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。第3実施形態の基板処理装置の構成は第1実施形態と全く同じである。また、第3実施形態における基板Wの処理手順についても第1実施形態と同じであるが、第3実施形態ではカメラ70によって撮像された画像FAの異なる領域から2枚の基準画像を切り出して処理液吐出判定の妥当性を検証している。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、第1実施形態では、上面処理液ノズル30からの処理液の液流が形成されるべき領域の側方の領域の画像を基準画像SAとしていたが、これに限定されるものではなく、基準画像SAは基板Wの表面のうち上面処理液ノズル30からの処理液の液流が形成されるべき領域を除く任意の領域の画像とすることができる。
9 制御部
10 チャンバー
20 スピンチャック
30,60,65 上面処理液ノズル
33,63,68 ノズル基台
40 処理カップ
70 カメラ
71 照明部
91 画像取得部
92 判定部
93 記憶部
100 基板処理装置
PA 検査画像
SA 基準画像
W 基板
Claims (6)
- 基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部の周囲を取り囲むカップと、
処理液を吐出するノズルと、
前記基板保持部に保持された基板の上方の処理位置と前記カップよりも外側の待機位置との間で前記ノズルを移動させる駆動部と、
前記処理位置にて前記ノズルから処理液が吐出されたときに液流が形成されるべき領域を含む撮像領域を撮像する撮像部と、
前記ノズルが処理液吐出開始の指示を受けた後に前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した画像から、前記基板保持部に保持された基板の表面のうち前記液流が形成されるべき領域を含む検査画像と当該領域を除く第1基準画像とを切り出す画像取得部と、
前記第1基準画像と前記検査画像とを比較して前記ノズルからの処理液吐出を判定する判定部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
前記撮像部は、前記ノズルが処理液吐出開始の指示を受けた後に前記撮像領域を複数回撮像して複数の画像を取得し、
前記画像取得部は、前記複数の画像のそれぞれから前記第1基準画像および前記検査画像を切り出し、
前記判定部は、前記複数の画像のそれぞれについて前記画像取得部が切り出した前記第1基準画像と前記検査画像とを比較することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
前記画像取得部は、前記基板保持部に保持された基板の表面のうち前記液流が形成されるべき領域を除く領域であって前記第1基準画像とは異なる第2基準画像を前記撮像部が取得した画像からさらに切り出し、
前記判定部は、前記第1基準画像と前記第2基準画像とを比較して処理液吐出判定の妥当性を判定することを特徴とする基板処理装置。 - 基板保持部に新たな処理対象となる基板を保持する保持工程と、
前記基板保持部に新たな処理対象となる基板が保持された後、前記基板保持部の周囲を取り囲むカップよりも外側の待機位置から前記基板保持部に保持された基板の上方の処理位置に向けて処理液を吐出するノズルを移動させるノズル移動工程と、
前記処理位置にて前記ノズルから処理液が吐出されたときに液流が形成されるべき領域を含む撮像領域を前記ノズルが処理液吐出開始の指示を受けた後に撮像する撮像工程と、
前記撮像工程にて取得された画像から、前記基板保持部に保持された基板の表面のうち前記液流が形成されるべき領域を含む検査画像と当該領域を除く第1基準画像とを切り出す画像取得工程と、
前記第1基準画像と前記検査画像とを比較して前記ノズルからの処理液吐出を判定する判定工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項4記載の基板処理方法において、
前記撮像工程では、前記ノズルが処理液吐出開始の指示を受けた後に前記撮像領域を複数回撮像して複数の画像を取得し、
前記画像取得工程では、前記複数の画像のそれぞれから前記第1基準画像および前記検査画像を切り出し、
前記判定工程では、前記複数の画像のそれぞれについて前記画像取得工程にて切り出した前記第1基準画像と前記検査画像とを比較することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項4記載の基板処理方法において、
前記画像取得工程では、前記基板保持部に保持された基板の表面のうち前記液流が形成されるべき領域を除く領域であって前記第1基準画像とは異なる第2基準画像を前記撮像工程にて取得された画像からさらに切り出し、
前記判定工程では、前記第1基準画像と前記第2基準画像とを比較して処理液吐出判定の妥当性を判定することを特徴とする基板処理方法。
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