JP6422342B2 - 酸化物超電導薄膜 - Google Patents
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Description
<1>基材上に形成された、希土類元素、Ba、Cu、およびOからなるRE系超電導体を主成分として含有する超電導層を含む酸化物超電導薄膜であって、前記RE系超電導体は、CuO鎖を有し、当該CuO鎖はCu欠損部を有する、酸化物超電導薄膜。
<2>前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO単鎖を有し、前記Cu欠損部は前記CuO単鎖のCuが連続欠損して形成された線状欠陥である、<1>に記載の酸化物超電導薄膜。
<3>前記Cu欠損部は前記CuO単鎖のCuが鎖方向に連続欠損して形成された線状欠陥である、<2>に記載の酸化物超電導薄膜。
<4>前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO単鎖を有し、前記Cu欠損部は、前記CuO単鎖のCuが前記RE系超電導体の結晶構造におけるb軸方向に連続欠損して形成されており、前記RE系超電導体は、前記結晶構造におけるa軸方向に前記Cu欠損部を複数有し、前記a軸方向において前記複数のCu欠損部の間にCuを有している、<1>又は<2>に記載の酸化物超電導薄膜。
<5>前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO二重鎖を有し、前記Cu欠損部は、前記CuO二重鎖における二つのCuO鎖のうち、少なくとも1つのCuO鎖のCuが鎖方向に連続欠損して形成されている、<1>に記載の酸化物超電導薄膜。
<6>前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO単鎖とCuO二重鎖とを有し、前記Cu欠損部は、前記CuO単鎖と前記CuO二重鎖とを構成する複数のCuO鎖のうち少なくとも1つのCuO鎖のCuが鎖方向に連続欠損して形成されている、<1>に記載の酸化物超電導薄膜。
<7>前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO二重鎖を有し、当該CuO二重鎖を構成するCuO鎖のうち、一方のCuO鎖においてOが欠損している、<1>〜<6>のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜。
また、図2(c)は、CuO二重鎖を有するRE系超電導体の結晶構造であって、CuO二重鎖27における1本のCuO鎖27aのCuが一部欠損し、空の格子点からなるCu欠損部(21a’,21b’)が形成されている。なお、CuO二重鎖27におけるCuO鎖27a,27bの両方がCu欠損部を有していてもよく、図2(b)と同様に、CuO鎖27aが21a’,21b’のCu欠損部を有している場合には、CuO鎖27aのCu欠損部に対応するCuO鎖27bのCu(21α,21β)が欠損していてもよい。
例えば、図2(a)におけるCuO単鎖26のCu(21a,21b)のCu(21a)のみが欠損してCu欠損部(21a’)とし、Cu(21b)は欠損させずにそのままの状態としてもよい。また、図2(c)においても、CuO二重鎖27におけるCuO鎖27a,27bにおいて、Cu(21a)のみが欠損してCu欠損部(21a’)としてもよく、Cu(21a,21β)のみが欠損してCu欠損部(21a’,21β’)としてもよい。これらのCu欠損部は、近接するCuが連続して欠損しておらず、点状欠陥を形成している。
以上のように、Cu欠損部は点状欠陥でも線状欠陥でもよい。しかし、Cu欠損部が点状欠陥である場合、例えば、5T程度の高磁場における量子化磁束のピン止め力が不十分であることがあるので、高磁場応用に用いる際にはCu欠損部は線状欠陥であることが好ましい。
本実施形態においては、超電導層内に通常のYBCO(Y−123)やその超格子構造体(単なる積層欠陥や変調構造を含む)等が混在した酸化物超電導薄膜を備えた薄膜型超電導素子を作製する。
ただし、製造上の制御容易性という理由から、CuO鎖でのCuの欠損部分は、図2(b)のように、1本のCuO単鎖26のCu(21a,21b)が鎖方向(b軸方向)に連続して欠損して形成されている(21a’,21b’)ことが好ましい。
ただし、製造上の制御容易性という理由から、CuO鎖でのCuの欠損部分は、図2(c)のように、1本のCuO鎖27aのCuが鎖方向(b軸方向)に連続して欠損して形成されている(21a’,21b’)ことが好ましい。また、CuO二重鎖27におけるCuO鎖27a,27bの両方においてCu欠損部を有していてもよく、CuO鎖27aのCu欠損の部分(21a’,21b’)に対応するCuO鎖27bのCu(21α,21β)が欠損していてもよい。
超電導層内に通常のYBCO(Y−123)やその超格子構造体(単なる積層欠陥や変調構造を含む)等が混在した酸化物超電導薄膜を備えた薄膜型超電導素子を、上記(薄膜型超電導素子の製造)で示したのと同様の工程で作製した。
ここで、それぞれの白抜き矢印が示すCu欠損部は、紙面に垂直な方向に複数個のCuが欠損していることを示している。紙面に垂直な方向にCuが1個だけ欠損している場合には、TEM写真では、薄くCuが観察されるが、図4のTEM写真における白抜き矢印が示すCu欠損部では、Cuが観察されていないことから、上述のようにCu欠損部は紙面に垂直な方向に複数個のCuが欠損して形成されており、線状欠陥であるといえる。
なお、ここでは、特開平07−206437号公報に示されているようなCuO2面でのCu欠損は観察されていない。
特に、発生磁場が5T以上のような高磁場応用に利用する場合には、CuO鎖中のCu欠損箇所数としては、好ましくは15000箇所/μm2以上、更に好ましくは20000箇所/μm2以上である。一方、超電導層内における欠損量が多すぎると、臨界温度Tcの低下が生じてしまうことから、CuO鎖中のCu欠損箇所数は50000箇所/μm2以下であることが好ましい。
超電導層内に通常のYBCO(Y−123)やその超格子構造体(単なる積層欠陥や変調構造を含む)等が混在した酸化物超電導薄膜を備えた薄膜型超電導素子を、CeO2中間層の形成までは上記(薄膜型超電導素子の製造)で示したのと同様の工程を行い、その後下記の工程を行うことで作製した。
2012年11月2日に出願された日本国特許出願2012-243004号の開示は、その全体が参照により本明細書に取り込まれる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、および技術規格は、個々の文献、特許出願、および技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
11 基板
12 中間層
13 超電導層
14 安定化層
20 RE系超電導体
21 Cu
22 RE
24 CuO2面
26 CuO単鎖
27 CuO二重鎖
Claims (7)
- 基材上に形成され、希土類元素、Ba、Cu、およびOのみで構成されたRE系超電導体からなる超電導層を含む酸化物超電導薄膜であって、前記RE系超電導体は、CuO鎖を有し、当該CuO鎖はCu欠損部を有し、前記Cu欠損部は、点状欠陥または線状欠陥を形成し、前記CuO鎖中のCu欠損箇所数は、15000箇所/μm 2 以上50000箇所/μm 2 以下であり、前記RE系超電導体は、単相でピニングセンターが導入されている、酸化物超電導薄膜。
- 前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO単鎖を有し、前記Cu欠損部は前記CuO単鎖のCuが連続欠損して形成された線状欠陥である、請求項1に記載の酸化物超電導薄膜。
- 前記Cu欠損部は前記CuO単鎖のCuが鎖方向に連続欠損して形成された線状欠陥である、請求項2に記載の酸化物超電導薄膜。
- 前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO単鎖を有し、前記Cu欠損部は、前記CuO単鎖のCuが前記RE系超電導体の結晶構造におけるb軸方向に連続欠損して形成されており、前記RE系超電導体は、前記結晶構造におけるa軸方向に前記Cu欠損部を複数有し、前記a軸方向において前記複数のCu欠損部の間にCuを有している、請求項1又は2に記載の酸化物超電導薄膜。
- 前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO二重鎖を有し、前記Cu欠損部は、前記CuO二重鎖における二つのCuO鎖のうち、少なくとも1つのCuO鎖のCuが鎖方向に連続欠損して形成されている、請求項1に記載の酸化物超電導薄膜。
- 前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO単鎖とCuO二重鎖とを有し、前記Cu欠損部は、前記CuO単鎖と前記CuO二重鎖とを構成する複数のCuO鎖のうち少なくとも1つのCuO鎖のCuが鎖方向に連続欠損して形成されている、請求項1に記載の酸化物超電導薄膜。
- 前記RE系超電導体は、前記CuO鎖としてCuO二重鎖を有し、当該CuO二重鎖を構成するCuO鎖のうち、一方のCuO鎖においてOが欠損している、請求項1〜6のいずれか1項に記載の酸化物超電導薄膜。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012243004 | 2012-11-02 | ||
JP2012243004 | 2012-11-02 | ||
PCT/JP2013/079313 WO2014069481A1 (ja) | 2012-11-02 | 2013-10-29 | 酸化物超電導薄膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014069481A1 JPWO2014069481A1 (ja) | 2016-09-08 |
JP6422342B2 true JP6422342B2 (ja) | 2018-11-14 |
Family
ID=50627383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014544533A Active JP6422342B2 (ja) | 2012-11-02 | 2013-10-29 | 酸化物超電導薄膜 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9812233B2 (ja) |
JP (1) | JP6422342B2 (ja) |
CN (1) | CN104737243B (ja) |
WO (1) | WO2014069481A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6606030B2 (ja) * | 2016-07-15 | 2019-11-13 | 株式会社日立製作所 | 製造装置、製造システム、及び製造方法 |
CN112233850A (zh) * | 2020-09-11 | 2021-01-15 | 上海大学 | 改善高温超导涂层导体微结构及其载流能力的方法 |
KR102568339B1 (ko) * | 2021-10-26 | 2023-08-21 | 한국원자력연구원 | 전자선 조사를 이용한 이붕소마그네슘 초전도체의 임계전류밀도 향상 구조 및 방법 |
WO2023194229A1 (en) | 2022-04-04 | 2023-10-12 | Renaissance Fusion | Method for manufacturing superconducting coils and device |
EP4257723A1 (en) | 2022-04-04 | 2023-10-11 | Renaissance Fusion | Uniform coating of a surface |
WO2023194230A1 (en) | 2022-04-04 | 2023-10-12 | Renaissance Fusion | Superconducting energy storage device |
EP4258515A1 (en) | 2022-04-04 | 2023-10-11 | Renaissance Fusion | Superconducting energy storage device |
EP4258298A1 (en) | 2022-04-04 | 2023-10-11 | Renaissance Fusion | Method for manufacturing superconducting coils and device |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01208319A (ja) | 1988-02-12 | 1989-08-22 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 酸化物超伝導材料 |
US5128316A (en) | 1990-06-04 | 1992-07-07 | Eastman Kodak Company | Articles containing a cubic perovskite crystal structure |
JPH06115935A (ja) | 1992-10-02 | 1994-04-26 | Toray Ind Inc | 超電導体およびその製造方法 |
JPH07330332A (ja) | 1994-06-06 | 1995-12-19 | Sony Corp | 超電導体およびその製造方法 |
US6083885A (en) * | 1997-01-14 | 2000-07-04 | Weinstein; Roy | Method of forming textured high-temperature superconductors |
JP3023780B1 (ja) * | 1998-09-14 | 2000-03-21 | 工業技術院長 | Cu系高温超伝導材料 |
JP4713012B2 (ja) * | 2000-10-31 | 2011-06-29 | 財団法人国際超電導産業技術研究センター | テープ状酸化物超電導体 |
JP4495426B2 (ja) * | 2003-08-29 | 2010-07-07 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 超伝導膜およびその製造方法 |
JP4690246B2 (ja) * | 2006-05-19 | 2011-06-01 | 住友電気工業株式会社 | 超電導薄膜材料およびその製造方法 |
JP5244337B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2013-07-24 | 公益財団法人国際超電導産業技術研究センター | テープ状酸化物超電導体 |
JP2012066960A (ja) | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Okayama Univ | 鉄系超伝導体及びその製造方法 |
CN102173452B (zh) * | 2011-03-04 | 2012-12-26 | 北京工业大学 | 一种单一材料ZrO2纳米点、制备方法及应用 |
-
2013
- 2013-10-29 JP JP2014544533A patent/JP6422342B2/ja active Active
- 2013-10-29 US US14/438,572 patent/US9812233B2/en active Active
- 2013-10-29 CN CN201380054871.5A patent/CN104737243B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-10-29 WO PCT/JP2013/079313 patent/WO2014069481A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9812233B2 (en) | 2017-11-07 |
JPWO2014069481A1 (ja) | 2016-09-08 |
CN104737243A (zh) | 2015-06-24 |
CN104737243B (zh) | 2017-07-28 |
US20150287502A1 (en) | 2015-10-08 |
WO2014069481A1 (ja) | 2014-05-08 |
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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