JP6398137B2 - 地震計 - Google Patents
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 108
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 6
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 claims description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Description
前記加速度センサを振動させる振動器を備え、
前記振動器が振動した際に前記加速度センサから出力される加速度データを取得し、前記振動器の振動により得られる本来の振動波と前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波とを比較して機器障害を判定する判定部をさらに備え、
前記加速度センサは、互いに直交する三つの計測軸に沿う加速度を計測可能に構成され、前記振動器は、前記三つの計測軸のいずれの方向にも前記加速度センサを振動させるように配置され、
前記振動器は、前記加速度センサが配置される基板上に実装されると共に、少なくとも直交する二軸方向に振動し、該振動する方向の一方は前記加速度センサの計測軸のうち一つの計測軸と同方向または該一つの計測軸に対し傾斜し、前記振動する方向の他方は前記加速度センサの計測軸のうち前記一つの計測軸と直交する二つの計測軸に対し傾斜するように配置されることを特徴として構成されている。
前記加速度センサを振動させる振動器を備え、
前記振動器が振動した際に前記加速度センサから出力される加速度データを取得し、前記振動器の振動により得られる本来の振動波と前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波とを比較して機器障害を判定する判定部をさらに備え、
前記判定部は、前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波の波形パターンがランダムである場合には、回路故障による機器障害が発生していると判定することを特徴として構成されている。
前記加速度センサを振動させる振動器を備え、
前記振動器が振動した際に前記加速度センサから出力される加速度データを取得し、前記振動器の振動により得られる本来の振動波と前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波とを比較して機器障害を判定する判定部をさらに備え、
前記判定部は、前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波から振動周波数ピーク遷移による高調波及び低調波が検出される場合には、機器障害は発生していないと判定することを特徴として構成されている。また、請求項7の発明に係る地震計は、前記振動器を駆動するための電源または電流源が設けられ、該電源または電流源は、前記加速度センサを動作させる装置電源から絶縁されていることを特徴として構成されている。
2 固定面部
3 固定部
4 入出力口
10 基板
11 加速度センサ
11a X軸センサ
11b Y軸センサ
11c Z軸センサ
12 基準電圧源
13 AD変換器
14 振動器
14a 基部
14b 回転軸
14c 錘部
20 CPU
21 メモリ
22 入出力部
23 LANネットワーク
24 電源または電流源
25 リレー
26 前置アンプ
Claims (7)
- 揺れによる加速度を計測し該計測した加速度データを出力する加速度センサを有する地震計において、
前記加速度センサを振動させる振動器を備え、
前記振動器が振動した際に前記加速度センサから出力される加速度データを取得し、前記振動器の振動により得られる本来の振動波と前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波とを比較して機器障害を判定する判定部をさらに備え、
前記加速度センサは、互いに直交する三つの計測軸に沿う加速度を計測可能に構成され、前記振動器は、前記三つの計測軸のいずれの方向にも前記加速度センサを振動させるように配置され、
前記振動器は、前記加速度センサが配置される基板上に実装されると共に、少なくとも直交する二軸方向に振動し、該振動する方向の一方は前記加速度センサの計測軸のうち一つの計測軸と同方向または該一つの計測軸に対し傾斜し、前記振動する方向の他方は前記加速度センサの計測軸のうち前記一つの計測軸と直交する二つの計測軸に対し傾斜するように配置されることを特徴とする地震計。 - 前記判定部は、前記加速度データから得られる振動波の振幅及び周波数に基づき機器障害を判定することを特徴とする請求項1に記載の地震計。
- 前記振動器は振動数が可変となるように構成されてなることを特徴とする請求項1または2に記載の地震計。
- 前記判定部は、前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波の振幅が、前記振動器の振動により得られる本来の振動波の振幅と比べて所定以下の場合は、センサ感度の劣化による機器障害が発生していると判定することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の地震計。
- 揺れによる加速度を計測し該計測した加速度データを出力する加速度センサを有する地震計において、
前記加速度センサを振動させる振動器を備え、
前記振動器が振動した際に前記加速度センサから出力される加速度データを取得し、前記振動器の振動により得られる本来の振動波と前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波とを比較して機器障害を判定する判定部をさらに備え、
前記判定部は、前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波の波形パターンがランダムである場合には、回路故障による機器障害が発生していると判定することを特徴とする地震計。 - 揺れによる加速度を計測し該計測した加速度データを出力する加速度センサを有する地震計において、
前記加速度センサを振動させる振動器を備え、
前記振動器が振動した際に前記加速度センサから出力される加速度データを取得し、前記振動器の振動により得られる本来の振動波と前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波とを比較して機器障害を判定する判定部をさらに備え、
前記判定部は、前記加速度センサから取得した加速度データに基づく振動波から振動周波数ピーク遷移による高調波及び低調波が検出される場合には、機器障害は発生していないと判定することを特徴とする地震計。 - 前記振動器を駆動するための電源または電流源が設けられ、該電源または電流源は、前記加速度センサを動作させる装置電源から絶縁されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の地震計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013263360A JP6398137B2 (ja) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | 地震計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013263360A JP6398137B2 (ja) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | 地震計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015118065A JP2015118065A (ja) | 2015-06-25 |
JP6398137B2 true JP6398137B2 (ja) | 2018-10-03 |
Family
ID=53530903
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013263360A Active JP6398137B2 (ja) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | 地震計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6398137B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106840241B (zh) * | 2017-01-07 | 2019-06-28 | 广州博冠光电技术有限公司 | 一种内置mems六轴传感器产品的校准方法及校准系统 |
KR101872958B1 (ko) | 2017-06-30 | 2018-07-02 | 주식회사 대경산전 | 수배전반용 지진감지 시스템 |
CN107765295B (zh) * | 2017-11-22 | 2023-07-28 | 中国地震局地震预测研究所 | 由四个测量单元组成的高可靠地震仪 |
JP7480016B2 (ja) | 2020-10-22 | 2024-05-09 | 日東工業株式会社 | 高圧受電設備の振動検出システム |
CN116164699B (zh) | 2023-04-26 | 2023-06-27 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种行星地震仪的主动源方位角自动识别方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5313967A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-08 | Oki Electric Ind Co Ltd | Measuring method for characteristic of vibration gauge |
JPS5744876A (en) * | 1980-08-29 | 1982-03-13 | Nec Corp | Maintenance and controlling system for seismometer |
JPS5855877A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-02 | Fujitsu Ltd | 地震テレメ−タ観測処理システム |
JPH0535337Y2 (ja) * | 1987-06-26 | 1993-09-08 | ||
JPH09222484A (ja) * | 1996-02-16 | 1997-08-26 | Toshiba Corp | 地震観測装置 |
JPH1151759A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-26 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 簡易感震装置 |
JPH11271139A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-05 | Rion Co Ltd | 振動計測装置 |
JP4914773B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2012-04-11 | カルソニックカンセイ株式会社 | 衝突判断装置 |
WO2012018118A1 (ja) * | 2010-08-05 | 2012-02-09 | 曙ブレーキ工業株式会社 | 擬似鉱石及びこれを利用した解析システム |
JP5852390B2 (ja) * | 2011-01-25 | 2016-02-03 | 日本電波工業株式会社 | 振動検出装置 |
JP6018791B2 (ja) * | 2012-04-27 | 2016-11-02 | ヒースト株式会社 | ゲート制御装置 |
-
2013
- 2013-12-20 JP JP2013263360A patent/JP6398137B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015118065A (ja) | 2015-06-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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A977 | Report on retrieval |
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|
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|
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