JP6391155B2 - 絶対角測定装置及び絶対角測定方法 - Google Patents
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Description
等周波数間隔多波長レーザー光源と、
前記等周波数間隔多波長レーザー光源から照射されるレーザー光をコリメートしてコリメート光束を生成するコリメート部と、
前記コリメート光束を入射する回折格子と、
前記回折格子からの1次回折光束を集光する集光レンズと、
前記集光レンズの後方焦点距離位置に配置した受光素子と、
を有する。ここで、前記等周波数間隔多波長レーザー光源はフェムト秒レーザーであってもよい。
図1は、本発明にかかる第一の実施形態で用いる光学系の概略図である。本光学系は、フェムト秒レーザー光源1と、フェムト秒レーザー光源1から照射されるフェムト秒レーザー光2をコリメートしてコリメート光束3を生成するコリメート部4と、コリメート光束3を照射する回折格子5と、回折格子5から発生した1次回折光束群6を集光する集光レンズ7と、集光レンズ7の後方焦点面16(図4参照)に配置した受光素子8と、フェムト秒レーザー光源1のレーザー発振を安定化するための周波数標準9と、被測定物10からなる。回折格子5は、被測定物10に搭載される。
2 フェムト秒レーザー光
3 コリメート光束
4 コリメート部
5 回折格子
6 1次回折光束群
7 集光レンズ
8 受光素子
9 周波数標準
10 被測定物
11 パルス状のレーザー出力
12 等間隔ピーク群
13 不等間隔ピーク群
14 格子間隔g
15 後方焦点距離f
16 後方焦点面
17 集光スポット群
18 姿勢角θ
19 相対進行方向を姿勢角θだけ変えた1次回折光束群
20 相対位置を変えた集光スポット群
21 受光素子の受光面
22 アイソレータ
23 ファブリ・ペローエタロン
24 エタロンが無い場合のコリメート光束のパルス周期T0
25 エタロンがある場合のコリメート光束のパルス周期T
26 受光面A
27 受光面B
28 受光素子
29 回折角φA
30 回折角φB
Claims (7)
- 等周波数間隔多波長レーザー光源と、
前記等周波数間隔多波長レーザー光源から照射されるレーザー光をコリメートしてコリメート光束を生成するコリメート部と、
前記コリメート光束を入射する回折格子と、
前記回折格子からの1次回折光束を集光する集光レンズと、
前記集光レンズの後方焦点距離位置に配置した受光素子と、
を有することを特徴とする光学式の絶対角測定装置。 - 前記等周波数間隔多波長レーザー光源はフェムト秒レーザーであることを特徴とする、請求項1記載の絶対角測定装置。
- 前記コリメート光束は、ファブリ・ペローエタロンを用いて周波数間隔を拡大したことを特徴とする、請求項1または2に記載の絶対角測定装置。
- 前記受光素子は、光電変換により得られる電流を独立して出力することができる少なくとも2つ以上の受光面を有することを特徴とする、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の絶対角測定装置。
- 前記コリメート光束の進行方向を連続的に変化させて前記回折格子への前記レーザー光束の入射を可能とするレーザー走査部を有することを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の絶対角測定装置。
- 前記受光素子は、前記集光レンズの光軸に対して垂直方向に振動する機構を有することを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の絶対角測定装置。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の絶対角測定装置を用いて、前記回折格子を搭載した測定対象物の絶対姿勢角を測定することを特徴とする絶対角測定方法。
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JP2007309710A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Enshu Ltd | 微細周期性溝の観測方法とその観測装置、微細周期性溝の加工観測方法とその加工観測装置 |
JP5371295B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | 電磁波の分析装置 |
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