JP6508764B2 - 白色光干渉計光学ヘッドを用いた非接触表面形状測定方法及び装置 - Google Patents
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Description
測定対象面への測定光に分割して、それぞれから反射してきた光の光路差により発生させた干渉縞画像を取得する白色光干渉計光学ヘッドを用い、該白色光干渉計光学ヘッドを測定対象面に対して垂直方向に走査しながら干渉縞画像を取得するようにした非接触表面形状測定方法において、前記白色光干渉計光学ヘッドをサーボモータにより走査方向に移動しつつ、その走査方向位置をエンコーダで検出し、該走査方向の所定位置間隔毎の空間サンプリングにより干渉縞画像を取得することにより、前記課題を解決するものである。
12…白色光源
16、16′…ビームスプリッタ
17…ハーフミラー
18、22…干渉対物レンズ
20…参照ミラー
26…カメラ
30…パソコン(PC)
30B…フレームグラバー
40…サーボモータ
42…直線型エンコーダ(スケール)
44…モーションコントローラ
W…測定ワーク
Claims (2)
- 白色光源から照射した光をビームスプリッタにより参照ミラーへの参照光と測定対象面への測定光に分割して、それぞれから反射してきた光の光路差により発生させた干渉縞画像を取得する白色光干渉計光学ヘッドを用い、
該白色光干渉計光学ヘッドを測定対象面に対して垂直方向に走査しながら干渉縞画像を取得するようにした非接触表面形状測定方法において、
前記白色光干渉計光学ヘッドをサーボモータにより走査方向に移動しつつ、その走査方向位置をエンコーダで検出し、
該走査方向の所定位置間隔毎の空間サンプリングにより干渉縞画像を取得することを特徴とする、白色光干渉計光学ヘッドを用いた非接触表面形状測定方法。 - 白色光源から照射した光をビームスプリッタにより参照ミラーへの参照光と測定対象面への測定光に分割して、それぞれから反射してきた光の光路差により発生させた干渉縞画像を取得する白色光干渉計光学ヘッドを用い、
該白色光干渉計光学ヘッドを測定対象面に対して垂直方向に走査しながら干渉縞画像を取得するようにされた非接触表面形状測定装置において、
前記白色光干渉計光学ヘッドを走査方向に移動するためのサーボモータと、
前記白色光干渉計光学ヘッドの走査方向位置を検出するためのエンコーダと、
該エンコーダから所定位置間隔毎に出力されるトリガ信号に基づく空間サンプリングにより前記白色光干渉計光学ヘッドに干渉縞画像の取得を指令するモーションコントローラと、
を備えたことを特徴とする、白色光干渉計光学ヘッドを用いた非接触表面形状測定装置。
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