JP6385571B2 - Substrate working device and method for measuring residual amount of viscous fluid in substrate working device - Google Patents

Substrate working device and method for measuring residual amount of viscous fluid in substrate working device Download PDF

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Description

この発明は、基板作業装置および基板作業装置における粘性流体残量測定方法に関し、特に、スキージ部を備える基板作業装置およびこの基板作業装置における粘性流体残量測定方法に関する。  The present invention relates to a substrate working device and a viscous fluid remaining amount measuring method in a substrate working device, and more particularly to a substrate working device having a squeegee unit and a viscous fluid remaining amount measuring method in the substrate working device.

従来、スキージ部を備える基板作業装置が知られている。このような基板作業装置は、たとえば、韓国公開特許第10−2013−0023603号公報に開示されている。  Conventionally, a substrate working apparatus including a squeegee unit is known. Such a substrate working apparatus is disclosed in, for example, Korean Patent No. 10-2013-0023603.

上記韓国公開特許第10−2013−0023603号公報には、上面に認識マークが設けられるフラックスプレートと、フラックスプレート上に設けられ、フラックスが貯留されるフラックスタンク(スキージ部)と、上方からフラックスタンク内のフラックス越しに認識マークを撮像する撮像部とを含むフラックス状態検出装置を備えるチップマウンタ(基板作業装置)が開示されている。このチップマウンタでは、撮像部による撮像結果に基づいて、フラックスの残量を段階的に認識するように構成されている。  The above Korean Patent No. 10-2013-0023603 discloses a flux plate having a recognition mark on the upper surface, a flux tank (squeegee part) provided on the flux plate and storing the flux, and a flux tank from above. A chip mounter (substrate working device) is disclosed that includes a flux state detection device including an imaging unit that images a recognition mark over the inner flux. This chip mounter is configured to recognize the remaining amount of flux in a stepwise manner based on the imaging result of the imaging unit.

韓国公開特許第10−2013−0023603号公報Korean Published Patent No. 10-2013-0023603

しかしながら、上記韓国公開特許第10−2013−0023603号公報のチップマウンタでは、フラックスの残量を段階的に認識するだけで、フラックスなどの粘性流体の残量を正確(定量的)に測定することができないという問題点がある。また、上記韓国公開特許第10−2013−0023603号公報のチップマウンタでは、フラックス越しに認識マークを撮像しているため、有色のフラックス(粘性流体)では、残量を測定することが困難であるという問題点もある。  However, the chip mounter disclosed in the above Korean Patent No. 10-2013-0023603 can accurately (quantitatively) measure the remaining amount of viscous fluid such as flux only by stepwise recognizing the remaining amount of flux. There is a problem that can not be. Further, in the chip mounter disclosed in the above Korean Patent No. 10-2013-0023603, since the recognition mark is imaged through the flux, it is difficult to measure the remaining amount with a colored flux (viscous fluid). There is also a problem.

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、粘性流体の残量を正確に測定することが可能で、かつ、有色の粘性流体であっても残量を測定することが可能な基板作業装置および基板作業装置における粘性流体残量測定方法を提供することである。  The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and one object of the present invention is to accurately measure the remaining amount of viscous fluid, and for a colored viscous fluid. The present invention is to provide a substrate working apparatus capable of measuring the remaining amount even if there is a viscous fluid remaining amount measuring method in the substrate working apparatus.

この発明の第1の局面による基板作業装置は、転写対象物に転写される粘性流体を掻き取りながらならすスキージ部と、スキージ部により掻き取られて、塊状となった粘性流体が存在する部分と粘性流体が存在しない部分とを含む所定領域を撮像する撮像部と、塊状となった粘性流体が形成されている間に撮像部により撮像された所定領域の撮像画像のうち粘性流体が存在する部分の大きさ、または粘性流体が存在しない部分の大きさの少なくとも一方に基づいて、粘性流体の残量を取得する制御部と、を備え、スキージ部は、粘性流体を貯留可能な枠形状を有しており、撮像部は、粘性流体が貯留される枠形状を有するスキージ部の内部において塊状となった粘性流体が存在する部分と粘性流体が存在しない部分とを含むスキージ部の内部の所定領域を上方から撮像するように構成されている。  A substrate working apparatus according to a first aspect of the present invention includes a squeegee unit that scrapes a viscous fluid transferred to an object to be transferred, a portion where a viscous fluid scraped by the squeegee unit and agglomerated is present. An imaging unit that captures a predetermined region including a portion where the viscous fluid does not exist, and a portion in which the viscous fluid exists in a captured image of the predetermined region captured by the imaging unit while the viscous fluid is formed in a lump And a control unit that acquires the remaining amount of viscous fluid based on at least one of the size of the portion where the viscous fluid does not exist, and the squeegee portion has a frame shape that can store the viscous fluid. The imaging unit includes an inner portion of the squeegee portion including a portion where the viscous fluid is agglomerated and a portion where the viscous fluid is not present in the squeegee portion having a frame shape in which the viscous fluid is stored. It is configured to image a predetermined region from above.

この発明の第1の局面による基板作業装置では、上記のように、撮像部により撮像された所定領域の撮像画像のうち粘性流体が存在する部分の大きさ、または粘性流体が存在しない部分の大きさの少なくとも一方に基づいて、粘性流体の残量を取得する制御部を設ける。これにより、塊状となった粘性流体が存在する部分の大きさと粘性流体が存在しない部分の大きさとが、粘性流体の残量と相関することを利用して、粘性流体の残量を正確(定量的)に測定することができる。また、塊状となった粘性流体が存在する部分と粘性流体が存在しない部分とを含む所定領域が撮像され、所定領域の撮像画像に基づいて残量が取得されるので、粘性流体越しに認識マークを撮像する構成と異なり、有色の粘性流体であっても、残量を容易に測定することができる。また、スキージ部は、粘性流体を貯留可能な枠形状を有しており、撮像部は、粘性流体が貯留される枠形状を有するスキージ部の内部において塊状となった粘性流体が存在する部分と粘性流体が存在しない部分とを含むスキージ部の内部の所定領域を上方から撮像するように構成されている。これにより、枠形状を有するスキージ部により、粘性流体を容易に塊状とすることができる。その結果、塊状となった粘性流体が存在する部分と粘性流体が存在しない部分とを容易に形成し、撮像部により撮像することができる。  In the substrate working apparatus according to the first aspect of the present invention, as described above, the size of the portion where the viscous fluid is present or the size of the portion where the viscous fluid is not present in the captured image of the predetermined region captured by the imaging unit. A control unit that acquires the remaining amount of viscous fluid is provided based on at least one of the above. This makes it possible to accurately (quantitatively) determine the remaining amount of viscous fluid by utilizing the fact that the size of the part where the viscous fluid is agglomerated and the size of the part where the viscous fluid does not exist correlate with the remaining amount of viscous fluid. Measurement). In addition, a predetermined area including a part where the viscous fluid is present in a lump and a part where the viscous fluid is not present is imaged, and the remaining amount is acquired based on the captured image of the predetermined area. Unlike the configuration for imaging the remaining amount, even if it is a colored viscous fluid, the remaining amount can be easily measured. Further, the squeegee unit has a frame shape capable of storing viscous fluid, and the imaging unit includes a portion where the viscous fluid in a lump exists inside the squeegee unit having a frame shape in which the viscous fluid is stored. A predetermined region inside the squeegee portion including a portion where no viscous fluid is present is configured to be imaged from above. Thereby, a viscous fluid can be easily made into a lump shape by the squeegee part which has a frame shape. As a result, it is possible to easily form a portion where the viscous fluid is present in a lump and a portion where the viscous fluid does not exist, and take an image by the imaging unit.

上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、制御部は、所定領域の撮像画像に基づいて、所定領域のうち粘性流体が存在する部分の面積または粘性流体が存在しない部分の面積の少なくとも一方を取得するととともに、取得された粘性流体が存在する部分の面積または粘性流体が存在しない部分の面積の少なくとも一方に基づいて、粘性流体の残量を取得するように構成されている。このように構成すれば、たとえば光センサによる点の測定結果に基づいて粘性流体の残量が取得される場合と異なり、粘性流体の残量が面積に基づいて取得されるので、スキージ部による掻き取り動作毎に塊状となった粘性流体の形状に多少ばらつきがあったとしても、粘性流体の残量を安定して正確(定量的)に測定することができる。  In the substrate working apparatus according to the first aspect described above, preferably, the control unit has at least the area of the portion where the viscous fluid is present or the area of the portion where the viscous fluid is not present in the predetermined region based on the captured image of the predetermined region. While acquiring one, it is comprised so that the residual amount of viscous fluid may be acquired based on at least one of the area of the part in which the acquired viscous fluid exists, or the area of the part in which no viscous fluid exists. According to this configuration, unlike the case where the remaining amount of viscous fluid is acquired based on, for example, the point measurement result by the optical sensor, the remaining amount of viscous fluid is acquired based on the area. Even if there is some variation in the shape of the viscous fluid that has become a lump for each taking operation, the remaining amount of the viscous fluid can be measured stably and accurately (quantitatively).

この場合、好ましくは、制御部は、所定領域の撮像画像を二値化処理することにより、所定領域の二値化画像を取得するとともに、取得された二値化画像に基づいて、所定領域のうち粘性流体が存在する部分の面積または粘性流体が存在しない部分の面積の少なくとも一方を取得するように構成されている。このように構成すれば、粘性流体が存在する部分の面積または粘性流体が存在しない部分の面積の少なくとも一方を容易に取得することができる。  In this case, preferably, the control unit obtains a binarized image of the predetermined region by binarizing the captured image of the predetermined region, and based on the acquired binarized image, Of these, at least one of the area of the portion where the viscous fluid exists or the area of the portion where the viscous fluid does not exist is obtained. If comprised in this way, at least one of the area of the part in which a viscous fluid exists, or the area of the part in which a viscous fluid does not exist can be acquired easily.

上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、粘性流体を供給する粘性流体供給部をさらに備え、制御部は、取得された粘性流体の残量が所定のしきい値以下であると判断される場合には、粘性流体供給部から粘性流体を供給する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、正確に測定された粘性流体の残量に基づいて粘性流体を供給することができるので、粘性流体を適量だけ供給することができる。その結果、粘性流体が不足しないように必要量以上に余分に粘性流体を供給する場合と異なり、粘性流体の使用量が増加することを抑制することができる。また、自動で粘性流体が供給されるので、粘性流体が不足し、転写対象物に粘性流体が十分に転写されないという不都合が生じることを抑制することができる。  The substrate working apparatus according to the first aspect preferably further includes a viscous fluid supply unit that supplies the viscous fluid, and the control unit determines that the remaining amount of the viscous fluid acquired is equal to or less than a predetermined threshold value. In such a case, control is performed to supply the viscous fluid from the viscous fluid supply unit. If comprised in this way, since a viscous fluid can be supplied based on the residual amount of the viscous fluid measured correctly, an appropriate amount of viscous fluid can be supplied. As a result, it is possible to suppress an increase in the amount of viscous fluid used, unlike when a viscous fluid is supplied in excess of a necessary amount so that the viscous fluid does not run out. In addition, since the viscous fluid is automatically supplied, it is possible to suppress the disadvantage that the viscous fluid is insufficient and the viscous fluid is not sufficiently transferred to the transfer object.

上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、基板に対して部品を実装するとともに、スキージ部に対して相対的に移動可能な実装ヘッド、をさらに備え、撮像部は、実装ヘッドと共にスキージ部に対して相対的に移動するように構成されている。このように構成すれば、実装ヘッドと撮像部とを共通の移動機構により移動させることができるので、粘性流体の残量を測定するための装置構成が複雑化することを抑制することができる。  The substrate working apparatus according to the first aspect described above preferably further includes a mounting head that mounts components on the substrate and is movable relative to the squeegee unit, and the imaging unit includes the squeegee together with the mounting head. It is comprised so that it may move relatively with respect to a part. If comprised in this way, since a mounting head and an imaging part can be moved by a common moving mechanism, it can suppress that the apparatus structure for measuring the residual amount of viscous fluid becomes complicated.

この場合、好ましくは、撮像部は、基板を認識するための基板認識マークを撮像する基板認識用撮像部を含む。このように構成すれば、基板認識用撮像部を、粘性流体の残量測定用の撮像部としても用いることができるので、粘性流体の残量を測定するための装置構成が複雑化することをより抑制することができる。  In this case, the imaging unit preferably includes a substrate recognition imaging unit that images a substrate recognition mark for recognizing the substrate. If comprised in this way, since the board | substrate recognition imaging part can be used also as an imaging part for the residual amount measurement of viscous fluid, the apparatus structure for measuring the residual quantity of viscous fluid becomes complicated. It can be suppressed more.

上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、転写対象物は、基板に実装される部品を含み、部品に転写される粘性流体の塗膜が形成される塗膜形成プレートをさらに備え、スキージ部は、塗膜形成プレートに対して相対的に移動して粘性流体を掻き取りながらならし、塗膜形成プレート上に、部品に転写される粘性流体の塗膜を形成するように構成されており、撮像部は、塗膜形成プレートの上方から、塗膜形成プレート上で塊状となった粘性流体が存在する部分と、粘性流体が存在しない部分とを含む所定領域を撮像するように構成されている。このように構成すれば、塗膜形成プレートに形成された粘性流体の塗膜が部品に対して転写される構成において、粘性流体の残量を正確(定量的)かつ確実に測定することができる。  In the substrate working apparatus according to the first aspect described above, preferably, the transfer object further includes a coating film forming plate on which a coating film of a viscous fluid transferred to the component is formed, including a component mounted on the substrate, The squeegee unit moves relative to the coating film forming plate and scrapes the viscous fluid to form a viscous fluid coating film transferred to the part on the coating film forming plate. The imaging unit is configured to image a predetermined area including a portion where the viscous fluid is agglomerated on the coating film forming plate and a portion where the viscous fluid is not present from above the coating film forming plate. Has been. If comprised in this way, in the structure by which the coating film of the viscous fluid formed in the coating-film formation plate is transcribe | transferred with respect to components, the residual amount of viscous fluid can be measured correctly (quantitatively) and reliably. .

上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、転写対象物は、部品が実装される基板を含み、基板に粘性流体を印刷により転写するための印刷パターンを有するマスクをさらに備え、スキージ部は、マスク上を移動して粘性流体を掻き取りながらならし、印刷パターンを介してマスク上の粘性流体を基板に転写するように構成されており、撮像部は、マスクの上方から、マスク上で塊状となった粘性流体が存在する部分と、粘性流体が存在しない部分とを含む所定領域を撮像するように構成されている。このように構成すれば、印刷パターンを介してはんだなどのマスク上の粘性流体が基板に対して転写される構成において、はんだなどの粘性流体の残量を正確(定量的)かつ確実に測定することができる。  In the substrate working apparatus according to the first aspect, preferably, the transfer object includes a substrate on which a component is mounted, and further includes a mask having a printing pattern for transferring the viscous fluid to the substrate by printing, and a squeegee unit. Is configured to move on the mask and scrape off the viscous fluid, and to transfer the viscous fluid on the mask to the substrate via the print pattern. A predetermined region including a portion where the viscous fluid that is agglomerated is present and a portion where the viscous fluid is not present is imaged. If comprised in this way, in the structure by which the viscous fluid on masks, such as a solder, is transcribe | transferred with respect to a board | substrate via a printing pattern, the residual amount of viscous fluid, such as a solder, is measured correctly (quantitatively) and reliably. be able to.

上記第1の局面による基板作業装置において、好ましくは、所定領域に対して光を照射可能な照明部をさらに備え、照明部は、粘性流体の種類に応じて、所定領域に照射する光の強度、所定領域に照射する光の角度、および所定領域に照射する光の波長の少なくともいずれかを変更可能に構成されている。このように構成すれば、粘性流体の種類に応じた適切な照明によって所定領域を撮像することができるので、塊状となった粘性流体が存在する部分と粘性流体が存在しない部分とを容易に区別して認識可能なように撮像することができる。その結果、粘性流体の残量をより正確に測定することができる。  The substrate working apparatus according to the first aspect preferably further includes an illuminating unit capable of irradiating light to the predetermined region, and the illuminating unit is an intensity of light irradiating the predetermined region according to the type of the viscous fluid. In addition, at least one of the angle of light applied to the predetermined area and the wavelength of light applied to the predetermined area can be changed. With this configuration, the predetermined area can be imaged with appropriate illumination according to the type of the viscous fluid, so that a portion where the viscous fluid is in a lump and a portion where the viscous fluid is not present can be easily distinguished. It is possible to take an image so that it can be recognized separately. As a result, the remaining amount of viscous fluid can be measured more accurately.

この発明の第2の局面による基板作業装置における粘性流体残量測定方法は、転写対象物に転写される粘性流体を、粘性流体を貯留可能な枠形状を有するスキージ部によって掻き取りながらならすステップと、スキージ部により掻き取られて、粘性流体が貯留される枠形状を有するスキージ部の内部において塊状となった粘性流体が存在する部分と、粘性流体が存在しない部分とを含むスキージ部の内部の所定領域を塊状となった粘性流体が形成されている間に撮像部により上方から撮像するステップと、撮像部により撮像された所定領域の撮像画像のうち粘性流体が存在する部分の大きさ、または粘性流体が存在しない部分の大きさの少なくとも一方に基づいて、粘性流体の残量を制御部により取得するステップと、を備える。  The method for measuring the remaining amount of viscous fluid in the substrate working apparatus according to the second aspect of the present invention includes the step of scraping off the viscous fluid transferred to the transfer object by the squeegee portion having a frame shape capable of storing the viscous fluid; The inside of the squeegee unit includes a portion where the viscous fluid is agglomerated inside the squeegee portion having a frame shape that is scraped off by the squeegee portion and stores the viscous fluid, and a portion where the viscous fluid is not present. The step of imaging from above by the imaging unit while the viscous fluid in the shape of the predetermined region is formed, and the size of the portion where the viscous fluid exists in the captured image of the predetermined region captured by the imaging unit, or Obtaining the remaining amount of viscous fluid by the control unit based on at least one of the sizes of the portions where the viscous fluid does not exist.

この発明の第2の局面による基板作業装置における粘性流体残量測定方法では、上記のように、撮像部により撮像された所定領域の撮像画像のうち粘性流体が存在する部分の大きさ、または粘性流体が存在しない部分の大きさの少なくとも一方に基づいて、粘性流体の残量を制御部により取得するステップを設ける。これにより、上記第1の局面による基板作業装置の場合と同様に、粘性流体の残量を正確に測定することができるとともに、有色の粘性流体であっても残量を測定することができる。  In the viscous fluid remaining amount measuring method in the substrate working apparatus according to the second aspect of the present invention, as described above, the size of the portion where the viscous fluid exists in the captured image of the predetermined region captured by the imaging unit, or the viscosity A step of obtaining the remaining amount of the viscous fluid by the control unit based on at least one of the sizes of the portions where no fluid exists is provided. As a result, as in the case of the substrate working apparatus according to the first aspect, the remaining amount of the viscous fluid can be accurately measured, and even the colored viscous fluid can be measured.

本発明によれば、上記のように、粘性流体の残量を正確に測定することが可能で、かつ、有色の粘性流体であっても残量を測定することが可能な基板作業装置および基板作業装置における粘性流体残量測定方法を提供することができる。  According to the present invention, as described above, the substrate working apparatus and the substrate capable of accurately measuring the remaining amount of the viscous fluid and capable of measuring the remaining amount even with a colored viscous fluid. A viscous fluid remaining amount measuring method in a working device can be provided.

本発明の第1実施形態による基板作業装置の全体構成を示した図である。It is the figure which showed the whole structure of the substrate working apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による基板作業装置の転写ユニットの全体構成を示した側面図である。It is the side view which showed the whole structure of the transfer unit of the substrate working apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による基板作業装置の転写ユニットの平面図である。It is a top view of the transfer unit of the substrate working apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による基板作業装置における所定領域の撮像画像および二値化処理後の所定領域の撮像画像を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the captured image of the predetermined area | region in the board | substrate working apparatus by 1st Embodiment of this invention, and the captured image of the predetermined area | region after a binarization process. 本発明の第1実施形態による基板作業装置における粘性流体残量と所定領域内の粘性流体が存在する部分の面積割合との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the viscous fluid residual amount in the board | substrate working apparatus by 1st Embodiment of this invention, and the area ratio of the part in which the viscous fluid in a predetermined area | region exists. 本発明の第1実施形態による基板作業装置における照明ありの場合の所定領域の撮像画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the captured image of the predetermined area | region in the case with illumination in the board | substrate working apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態による基板作業装置における照明変更の場合の所定領域の撮像画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the captured image of the predetermined area | region in the case of the illumination change in the board | substrate working apparatus by 1st Embodiment of this invention. 転写ユニットのスキージング動作(A)、塊状流体撮像動作(B)、および粘性流体転写動作(C)を示した模式図である。It is the schematic diagram which showed the squeezing operation | movement (A), the block fluid imaging operation | movement (B), and the viscous fluid transfer operation | movement (C) of a transfer unit. 本発明の第1実施形態による基板作業装置の粘性流体自動供給処理を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the viscous fluid automatic supply process of the substrate working apparatus by 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態による基板作業装置の全体構成を示した図である。It is the figure which showed the whole structure of the substrate working apparatus by 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。  DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments embodying the present invention will be described below with reference to the drawings.

[第1実施形態]
(基板作業装置の構成)
まず、図1〜図8を参照して、本発明の第1実施形態による基板作業装置100の構成について説明する。第1実施形態では、基板Pに部品31を実装する部品実装装置に本発明を適用した例について説明する。
[First Embodiment]
(Configuration of substrate working device)
First, with reference to FIGS. 1-8, the structure of the substrate working apparatus 100 by 1st Embodiment of this invention is demonstrated. In the first embodiment, an example in which the present invention is applied to a component mounting apparatus that mounts a component 31 on a substrate P will be described.

図1に示すように、基板作業装置100は、一対のコンベア2により基板PをX1方向側からX2方向側に搬送し、所定の実装作業位置Mにおいて基板Pに部品31を実装する部品実装装置である。なお、部品31は、特許請求の範囲の「転写対象物」の一例である。  As shown in FIG. 1, the substrate working apparatus 100 transports a substrate P from the X1 direction side to the X2 direction side by a pair of conveyors 2 and mounts a component 31 on the substrate P at a predetermined mounting work position M. It is. The component 31 is an example of the “transfer object” in the claims.

基板作業装置100は、基台1と、一対のコンベア2と、部品供給部3と、ヘッドユニット4と、支持部5と、一対のレール部6と、部品認識カメラ7と、転写ユニット8と、制御部9とを備えている。  The substrate working apparatus 100 includes a base 1, a pair of conveyors 2, a component supply unit 3, a head unit 4, a support unit 5, a pair of rail units 6, a component recognition camera 7, and a transfer unit 8. And a control unit 9.

一対のコンベア2は、基台1上に設置され、基板PをX方向に搬送するように構成されている。また、一対のコンベア2は、搬送中の基板Pを実装作業位置Mで停止させた状態で保持するように構成されている。また、一対のコンベア2は、Y方向に所定距離を隔てて互いに平行に配置されており、基板Pの寸法に合わせてY方向の間隔を調整可能に構成されている。  The pair of conveyors 2 is installed on the base 1 and configured to transport the substrate P in the X direction. Further, the pair of conveyors 2 are configured to hold the substrate P being conveyed in a state where it is stopped at the mounting work position M. The pair of conveyors 2 are arranged in parallel to each other at a predetermined distance in the Y direction, and are configured so that the distance in the Y direction can be adjusted according to the dimensions of the substrate P.

部品供給部3は、一対のコンベア2の両外側(Y1側およびY2側)の複数箇所に配置されている。また、部品供給部3には、複数のテープフィーダ3aが装着されている。  The component supply unit 3 is disposed at a plurality of locations on both outer sides (Y1 side and Y2 side) of the pair of conveyors 2. A plurality of tape feeders 3 a are attached to the component supply unit 3.

テープフィーダ3aは、複数の部品31を所定の間隔を隔てて保持したテープが巻き付けられたリール(図示せず)を保持している。テープフィーダ3aは、リールを回転させて部品31を保持するテープを送出することにより、テープフィーダ3aの先端から部品31を供給するように構成されている。ここで、部品31は、たとえば、IC、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの電子部品を示す概念である。  The tape feeder 3a holds a reel (not shown) around which a tape holding a plurality of components 31 at a predetermined interval is wound. The tape feeder 3a is configured to supply the component 31 from the tip of the tape feeder 3a by sending a tape that holds the component 31 by rotating the reel. Here, the component 31 is a concept indicating electronic components such as an IC, a transistor, a capacitor, and a resistor.

ヘッドユニット4は、一対のコンベア2および部品供給部3の上方位置に配置されており、ノズル41を下端に含む複数の実装ヘッド42と、基板認識カメラ43とを含んでいる。なお、基板認識カメラ43は、特許請求の範囲の「撮像部」および「基板認識用撮像部」の一例である。  The head unit 4 is disposed above the pair of conveyors 2 and the component supply unit 3, and includes a plurality of mounting heads 42 including nozzles 41 at the lower end and a board recognition camera 43. The substrate recognition camera 43 is an example of the “imaging unit” and the “substrate recognition imaging unit” in the claims.

ノズル41は、負圧発生機(図示せず)によりノズル41の先端部に発生された負圧によって、テープフィーダ3aから供給される部品31を吸着して保持し、基板Pに搭載(実装)するように構成されている。  The nozzle 41 sucks and holds the component 31 supplied from the tape feeder 3a by the negative pressure generated at the tip of the nozzle 41 by a negative pressure generator (not shown), and is mounted (mounted) on the substrate P. Is configured to do.

基板認識カメラ43は、基板Pの位置を認識するためのフィデューシャルマークFを撮像するように構成されている。フィデューシャルマークFの位置を撮像して認識することにより、基板Pの部品31の実装位置を正確に取得することが可能である。また、基板認識カメラ43には、複数の照明部43a(図2参照)が設けられている。照明部43aは、基板認識カメラ43によるフィデューシャルマークFの撮像および後述する所定領域A(図3参照)の撮像の際に、フィデューシャルマークFおよび所定領域Aに対して光を照射可能に構成されている。なお、フィデューシャルマークFは、特許請求の範囲の「基板認識マーク」の一例である。  The substrate recognition camera 43 is configured to image a fiducial mark F for recognizing the position of the substrate P. By imaging and recognizing the position of the fiducial mark F, it is possible to accurately acquire the mounting position of the component 31 on the board P. The board recognition camera 43 is provided with a plurality of illumination units 43a (see FIG. 2). The illumination unit 43a can irradiate the fiducial mark F and the predetermined area A with light when the substrate recognition camera 43 images the fiducial mark F and the predetermined area A (see FIG. 3) described later. It is configured. The fiducial mark F is an example of the “substrate recognition mark” in the claims.

支持部5は、モータ51を含んでいる。支持部5は、モータ51を駆動させることにより、ヘッドユニット4を支持部5に沿ってX方向に移動させるように構成されている。また、支持部5は、両端部が一対のレール部6により支持されている。  The support unit 5 includes a motor 51. The support unit 5 is configured to move the head unit 4 in the X direction along the support unit 5 by driving a motor 51. Further, both ends of the support portion 5 are supported by a pair of rail portions 6.

一対のレール部6は、基台1上に固定されている。X1側のレール部6は、モータ61を含んでいる。レール部6は、モータ61を駆動させることにより、支持部5を一対のレール部6に沿ってX方向と直交するY方向に移動させるように構成されている。ヘッドユニット4が支持部5に沿ってX方向に移動可能であるとともに、支持部5がレール部6に沿ってY方向に移動可能であることによって、ヘッドユニット4はXY方向に移動可能である。  The pair of rail portions 6 are fixed on the base 1. The rail portion 6 on the X1 side includes a motor 61. The rail portion 6 is configured to move the support portion 5 along the pair of rail portions 6 in the Y direction orthogonal to the X direction by driving the motor 61. The head unit 4 can move in the X direction along the support portion 5, and the support portion 5 can move in the Y direction along the rail portion 6, whereby the head unit 4 can move in the XY direction. .

部品認識カメラ7は、基台1の上面上に固定されている。部品認識カメラ7は、部品31の実装に先立って部品31の吸着状態(吸着姿勢)を認識するために、実装ヘッド42のノズル41に吸着された部品31を下側(Z2側)から撮像するように構成されている。これにより、実装ヘッド42のノズル41に吸着された部品31の吸着状態を取得することが可能である。  The component recognition camera 7 is fixed on the upper surface of the base 1. The component recognition camera 7 images the component 31 sucked by the nozzle 41 of the mounting head 42 from the lower side (Z2 side) in order to recognize the suction state (suction posture) of the component 31 prior to mounting the component 31. It is configured as follows. Thereby, it is possible to acquire the suction state of the component 31 sucked by the nozzle 41 of the mounting head 42.

転写ユニット8は、一対のコンベア2のY2側に配置されており、基板作業装置100に着脱可能に装着されている。また、転写ユニット8は、部品31に転写するための後述する粘性流体Lの塗膜Laを形成するように構成されている。  The transfer unit 8 is disposed on the Y2 side of the pair of conveyors 2 and is detachably attached to the substrate working apparatus 100. The transfer unit 8 is configured to form a coating film La of a viscous fluid L, which will be described later, for transferring to the component 31.

また、図2および図3に示すように、転写ユニット8は、粘性流体供給部81と、粘性流体タンク82と、塗膜形成プレート83と、プレート駆動機構84とを含んでいる。なお、粘性流体タンク82は、特許請求の範囲の「スキージ部」の一例である。また、図2および図8では、理解の容易のため、実装ヘッド42と、基板認識カメラ43との両方を一図で示している。このため、図2および図8における両者の位置関係は図1における両者の位置関係とは必ずしも対応しない。  As shown in FIGS. 2 and 3, the transfer unit 8 includes a viscous fluid supply unit 81, a viscous fluid tank 82, a coating film forming plate 83, and a plate driving mechanism 84. The viscous fluid tank 82 is an example of the “squeegee section” in the claims. 2 and 8, both the mounting head 42 and the board recognition camera 43 are shown in one figure for easy understanding. Therefore, the positional relationship between the two in FIG. 2 and FIG. 8 does not necessarily correspond to the positional relationship between both in FIG.

粘性流体供給部81は、粘性流体Lを粘性流体タンク82に供給するように構成されている。また、粘性流体供給部81は、本体部81aと、ピストン部81bと、蓋部81cと、供給路81dとを有している。  The viscous fluid supply unit 81 is configured to supply the viscous fluid L to the viscous fluid tank 82. Moreover, the viscous fluid supply part 81 has the main-body part 81a, the piston part 81b, the cover part 81c, and the supply path 81d.

本体部81aは、中空の略円筒形状を有し、内部にフラックスやはんだなどの粘性流体L(ハッチングにより示す)を貯留可能に構成されている。ピストン部81bは、本体部81aの内部に配置され、上下方向(Z方向)に摺動可能に本体部81aの内側面に嵌合されている。粘性流体Lは、本体部81aとピストン部81bとにより区画される本体部81aの内部空間に充填(貯留)される。蓋部81cは、本体部81aの上端部に配置されており、本体部81aを密閉するように構成されている。また、蓋部81cには、所定圧力のエア(空気)を本体部81a内部に供給するために、エアホースHの一端が接続されている。また、エアホースHの他端は、バルブ91に接続されている。バルブ91は、図示しない空圧源に接続され、所定圧力のエアを本体81a内部に供給する開状態と、エアを本体81a内部に供給しない閉状態とを切り替え可能に構成されている。供給路81dは、本体部81aの下端に配置されており、粘性流体タンク82の側面に接続されている。  The main body 81a has a hollow, substantially cylindrical shape, and is configured to store therein a viscous fluid L (shown by hatching) such as flux or solder. The piston part 81b is disposed inside the main body part 81a, and is fitted to the inner side surface of the main body part 81a so as to be slidable in the vertical direction (Z direction). The viscous fluid L is filled (stored) in the internal space of the main body 81a defined by the main body 81a and the piston 81b. The lid portion 81c is disposed at the upper end portion of the main body portion 81a and is configured to seal the main body portion 81a. In addition, one end of an air hose H is connected to the lid portion 81c in order to supply air (air) at a predetermined pressure into the main body portion 81a. The other end of the air hose H is connected to the valve 91. The valve 91 is connected to an air pressure source (not shown) and is configured to be switchable between an open state in which air of a predetermined pressure is supplied into the main body 81a and a closed state in which air is not supplied into the main body 81a. The supply path 81 d is disposed at the lower end of the main body 81 a and is connected to the side surface of the viscous fluid tank 82.

粘性流体供給部81は、バルブ91が「開状態」の場合には、エアホースHから蓋部81cを介して本体81a内部に所定圧力のエアが供給され、ピストン81bが下方向(Z2方向)に移動されることにより、供給路81dを介して粘性流体タンク82に対して本体81a内部に充填された粘性流体Lを圧送(供給)するように構成されている。また、粘性流体供給部81は、バルブ91が「閉状態」の場合には、ピストン81bが下方向(Z2方向)に移動されないため、供給路81dを介して粘性流体タンク82に対して本体81a内部に充填された粘性流体Lを圧送(供給)しないように構成されている。  When the valve 91 is in the “open state”, the viscous fluid supply unit 81 supplies air of a predetermined pressure from the air hose H to the inside of the main body 81a through the lid portion 81c, and the piston 81b moves downward (Z2 direction). By being moved, the viscous fluid L filled in the main body 81a is pumped (supplied) to the viscous fluid tank 82 via the supply path 81d. In addition, when the valve 91 is in the “closed state”, the viscous fluid supply unit 81 does not move the piston 81b downward (Z2 direction), and thus the main body 81a with respect to the viscous fluid tank 82 via the supply path 81d. The viscous fluid L filled inside is not pumped (supplied).

粘性流体タンク82は、上下が開口した中空の枠形状を有し、塗膜形成プレート83上に配置されることにより、粘性流体供給部81からの粘性流体Lを内部に貯留可能に構成されている。また、粘性流体タンク82は、図示しない固定機構により固定されており、移動しない。また、粘性流体タンク82は、図示しない付勢機構により塗膜形成プレート83に向けて付勢されるように構成されている。枠形状の粘性流体タンク82は、上部が開口しているため、基板認識カメラ43が粘性流体タンク82の内部空間を上方から撮像することが可能である。  The viscous fluid tank 82 has a hollow frame shape that is open at the top and bottom, and is arranged on the coating film forming plate 83 so that the viscous fluid L from the viscous fluid supply unit 81 can be stored therein. Yes. The viscous fluid tank 82 is fixed by a fixing mechanism (not shown) and does not move. The viscous fluid tank 82 is configured to be urged toward the coating film forming plate 83 by an urging mechanism (not shown). Since the upper part of the frame-shaped viscous fluid tank 82 is open, the substrate recognition camera 43 can image the internal space of the viscous fluid tank 82 from above.

塗膜形成プレート83は、平面視で(Z方向から見て)略矩形状を有し、プレート駆動機構84により長手方向(図2および図3の駆動方向)に移動可能に構成されている。また、塗膜形成プレート83の上面83aには、粘性流体Lの塗膜Laを形成するために、塗膜Laの膜厚t分だけ上面83aから下方に向けて凹む塗膜形成部83bが設けられている。  The coating film forming plate 83 has a substantially rectangular shape in plan view (viewed from the Z direction), and is configured to be movable in the longitudinal direction (the driving direction in FIGS. 2 and 3) by the plate driving mechanism 84. Further, in order to form the coating film La of the viscous fluid L on the upper surface 83a of the coating film forming plate 83, a coating film forming portion 83b that is recessed downward from the upper surface 83a by the film thickness t of the coating film La is provided. It has been.

そして、粘性流体タンク82は、内部に粘性流体Lが貯留された状態で、プレート駆動機構84により塗膜形成プレート83が駆動方向に移動されることにより、塗膜形成プレート83に対して相対的に移動して粘性流体Lを掻き取りながらならす(スキージングする)ように構成されている。これにより、粘性流体タンク82は、部品31に転写される粘性流体Lの塗膜Laを、塗膜形成プレート83の塗膜形成部83bに形成するように構成されている。  The viscous fluid tank 82 is moved relative to the coating film forming plate 83 by moving the coating film forming plate 83 in the driving direction by the plate driving mechanism 84 with the viscous fluid L stored therein. It is configured to smooth (squeeze) while scraping the viscous fluid L. Accordingly, the viscous fluid tank 82 is configured to form the coating film La of the viscous fluid L transferred to the component 31 on the coating film forming portion 83b of the coating film forming plate 83.

プレート駆動機構84は、たとえば、ボールねじ、ボールナットおよびモータなどからなる駆動機構とすることが可能であり、塗膜形成プレート83を駆動方向に移動させることが可能に構成されている。  The plate driving mechanism 84 can be, for example, a driving mechanism including a ball screw, a ball nut, a motor, and the like, and is configured to be able to move the coating film forming plate 83 in the driving direction.

制御部9は、CPUを含んでおり、ヘッドユニット4による実装動作、後述する転写ユニット8のスキージング動作、塊状流体撮像動作、粘性流体転写動作などの基板作業装置100の全体の動作を制御するように構成されている。  The control unit 9 includes a CPU, and controls the overall operation of the substrate working apparatus 100 such as a mounting operation by the head unit 4, a squeezing operation of the transfer unit 8 described later, a block fluid imaging operation, and a viscous fluid transfer operation. It is configured as follows.

(粘性流体の残量の取得)
次に、図3〜図5を参照して、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量の取得方法について説明する。
(Acquisition of remaining amount of viscous fluid)
Next, a method for acquiring the remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 will be described with reference to FIGS.

スキージング動作が行われると、粘性流体タンク82の内部の粘性流体Lは、転がり回転(ローリング)して、概略円柱状断面の塊(Lb)となる。図2および図3に示すように、基板認識カメラ43(図1参照)は、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量を測定するために、転写ユニット8の粘性流体タンク82により掻き取られて、塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分と、粘性流体L(Lb)が存在しない部分とを含む所定領域Aを撮像するように構成されている。  When the squeezing operation is performed, the viscous fluid L inside the viscous fluid tank 82 rolls (rotates) to become a lump (Lb) having a substantially cylindrical cross section. As shown in FIGS. 2 and 3, the substrate recognition camera 43 (see FIG. 1) is configured to measure the remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82. Thus, the predetermined area A including the portion where the viscous fluid L (Lb) is scraped and present as a lump and the portion where the viscous fluid L (Lb) does not exist is imaged.

この際、基板認識カメラ43は、塗膜形成プレート83および塊状となった粘性流体L(Lb)の上方から、粘性流体Lが貯留される枠形状を有する粘性流体タンク82の内部において、塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分と、粘性流体L(Lb)が存在しない部分とを含む所定領域Aを撮像するように構成されている。  At this time, the substrate recognition camera 43 is formed in a lump shape inside the viscous fluid tank 82 having a frame shape in which the viscous fluid L is stored from above the coating film forming plate 83 and the viscous fluid L (Lb) that has become a lump. The predetermined region A including a portion where the viscous fluid L (Lb) is present and a portion where the viscous fluid L (Lb) is not present is imaged.

ここで、第1実施形態では、図4および図5に示すように、制御部9は、基板認識カメラ43により撮像された所定領域Aの撮像画像B1のうち粘性流体L(Lb)が存在する部分C1の大きさ、および粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2の大きさに基づいて、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量を取得するように構成されている。  Here, in the first embodiment, as illustrated in FIGS. 4 and 5, the control unit 9 includes the viscous fluid L (Lb) in the captured image B <b> 1 of the predetermined area A captured by the board recognition camera 43. The remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 is acquired based on the size of the portion C1 and the size of the portion C2 where the viscous fluid L (Lb) does not exist.

具体的には、制御部9は、所定領域Aの撮像画像B1に基づいて、所定領域Aのうち粘性流体Lが存在する部分C1の面積、および粘性流体Lが存在しない部分C2の面積を取得するように構成されている。そして、制御部9は、取得された所定領域Aのうち粘性流体Lが存在する部分C1の面積、および粘性流体Lが存在しない部分C2の面積に基づいて、粘性流体Lの残量を取得するように構成されている。  Specifically, the control unit 9 acquires the area of the portion C1 where the viscous fluid L exists and the area of the portion C2 where the viscous fluid L does not exist based on the captured image B1 of the predetermined region A. Is configured to do. And the control part 9 acquires the residual amount of the viscous fluid L based on the area of the part C1 in which the viscous fluid L exists among the acquired predetermined area | regions A, and the area of the part C2 in which the viscous fluid L does not exist. It is configured as follows.

また、第1実施形態では、制御部9は、所定領域Aの撮像画像B1を二値化処理することにより、所定領域Aの二値化画像B2を取得するとともに、取得された二値化画像B2に基づいて、所定領域Aのうち粘性流体Lが存在する部分C1の面積、および粘性流体Lが存在しない部分C2の面積を取得するように構成されている。以下、これらの点について詳細に説明する。  In the first embodiment, the control unit 9 performs binarization processing on the captured image B1 of the predetermined area A, thereby acquiring the binarized image B2 of the predetermined area A and the acquired binarized image. Based on B2, the area of the portion C1 where the viscous fluid L exists in the predetermined region A and the area of the portion C2 where the viscous fluid L does not exist are obtained. Hereinafter, these points will be described in detail.

図4に示すように、まず、基板認識カメラ43により撮像された所定領域Aの撮像画像B1(図4の左側に示す二値化処理前の画像)が制御部9により取得される。この際、所定領域Aの撮像画像B1では、粘性流体L(Lb)が存在する部分C1では、粘性流体L(Lb)により光が拡散反射されるため、比較的暗めの画像が得られる。一方、粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2では、金属製の塗膜形成プレート83の上面83aにより光が正反射されるため、比較的明るめの画像が得られる。したがって、所定領域Aの撮像画像B1では、撮像画像のうち粘性流体L(Lb)が存在する部分C1と、撮像画像のうち粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2とを区別して認識することが可能である。  As shown in FIG. 4, first, the control unit 9 acquires a captured image B1 (image before the binarization process shown on the left side of FIG. 4) of the predetermined area A captured by the board recognition camera 43. At this time, in the captured image B1 of the predetermined area A, in the portion C1 where the viscous fluid L (Lb) exists, the light is diffusely reflected by the viscous fluid L (Lb), so that a relatively dark image is obtained. On the other hand, in the portion C2 where the viscous fluid L (Lb) does not exist, the light is regularly reflected by the upper surface 83a of the metal coating film forming plate 83, so that a relatively bright image is obtained. Therefore, in the captured image B1 of the predetermined area A, the portion C1 in which the viscous fluid L (Lb) exists in the captured image and the portion C2 in which the viscous fluid L (Lb) does not exist in the captured image are distinguished and recognized. Is possible.

そして、取得された所定領域Aの撮像画像B1に対して白と黒との二階調の画像に変換する二値化処理が制御部9により行われる。これにより、所定領域Aの撮像画像B1は、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在する部分C1(比較的暗めの画像部分)が黒で、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2(比較的明るめの部分)が白で表された所定領域Aの撮像画像(図4の右側に示す二値化処理後の画像、二値化画像)B2に変換される。  Then, the control unit 9 performs a binarization process for converting the acquired captured image B1 of the predetermined area A into a two-tone image of white and black. Thereby, in the captured image B1 of the predetermined area A, a portion C1 (a relatively dark image portion) where the viscous fluid L (Lb) exists in the predetermined area A is black, and the viscous fluid L (Lb in the predetermined area A is black). ) Does not exist is converted into a captured image (image after binarization, binarized image shown on the right side of FIG. 4) B2 of the predetermined area A represented in white. .

そして、取得された二値化画像B2に基づいて、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在する部分C1の面積(すなわち、黒の部分の面積)と、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2の面積(すなわち、白の部分の面積)とが制御部9により取得される。詳細には、二値化画像B2のうち黒の部分の画素数に基づいて、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在する部分C1の面積が取得され、二値化画像B2のうち白の部分の画素数に基づいて、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2の面積が取得される。  Then, based on the acquired binarized image B2, the area of the portion C1 where the viscous fluid L (Lb) exists in the predetermined region A (that is, the area of the black portion) and the viscous fluid of the predetermined region A The area of the portion C2 where L (Lb) does not exist (that is, the area of the white portion) is acquired by the control unit 9. Specifically, based on the number of pixels in the black portion of the binarized image B2, the area of the portion C1 where the viscous fluid L (Lb) exists in the predetermined region A is acquired, and the binarized image B2 Based on the number of pixels in the white portion, the area of the portion C2 in the predetermined region A where the viscous fluid L (Lb) does not exist is acquired.

そして、取得された粘性流体L(Lb)が存在する部分C1の面積および粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2の面積に基づいて、所定領域Aに対する粘性流体L(Lb)が存在する部分C1の面積割合(X%)、および所定領域Aに対する粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2の面積割合(Y=100−X%)が制御部9により取得される。  Then, based on the area of the portion C1 where the viscous fluid L (Lb) is obtained and the area of the portion C2 where the viscous fluid L (Lb) is not present, the portion where the viscous fluid L (Lb) is present for the predetermined region A The control unit 9 acquires the area ratio (X%) of C1 and the area ratio (Y = 100−X%) of the portion C2 where the viscous fluid L (Lb) does not exist with respect to the predetermined region A.

ここで、図5に示すように、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在する部分C1の面積割合と、粘性流体タンク82の内部の粘性流体Lの残量との間には、相関がある。このため、上記のように所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在する部分C1の面積割合を取得することにより、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量を取得することが可能である。なお、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2の面積割合と、粘性流体タンク82の内部の粘性流体Lの残量との間にも、同様に相関があるため、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在しない部分C2の面積割合を取得することにより、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量を取得してもよい。  Here, as shown in FIG. 5, between the area ratio of the portion C <b> 1 where the viscous fluid L (Lb) exists in the predetermined region A and the remaining amount of the viscous fluid L inside the viscous fluid tank 82, There is a correlation. For this reason, the remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 is acquired by acquiring the area ratio of the portion C1 where the viscous fluid L (Lb) exists in the predetermined region A as described above. It is possible. Since the area ratio of the portion C2 in the predetermined area A where the viscous fluid L (Lb) does not exist and the remaining amount of the viscous fluid L in the viscous fluid tank 82 are similarly correlated, The remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 may be acquired by acquiring the area ratio of the portion C2 where the viscous fluid L (Lb) does not exist in the region A.

したがって、制御部9は、予め設定された所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在する部分の面積割合と粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量との間の相関情報に基づいて、取得された粘性流体L(Lb)が存在する部分の面積割合から、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量を取得するように構成されている。  Therefore, the control unit 9 correlates the area ratio of the portion where the viscous fluid L (Lb) exists in the predetermined area A set in advance and the remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82. Based on the information, the remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 is acquired from the area ratio of the portion where the acquired viscous fluid L (Lb) exists.

また、第1実施形態では、制御部9は、取得された粘性流体Lの残量が、粘性流体Lを供給するか否かを判定するための所定のしきい値Th(図5参照)以下であるか否かを判断するように構成されている。なお、所定のしきい値Thは、図5に示すグラフに基づいて、ユーザにより予め設定される。  Moreover, in 1st Embodiment, the control part 9 is below predetermined threshold value Th (refer FIG. 5) for determining whether the residual amount of the acquired viscous fluid L supplies the viscous fluid L or not. It is comprised so that it may be judged whether it is. The predetermined threshold Th is preset by the user based on the graph shown in FIG.

そして、制御部9は、粘性流体Lの残量が所定のしきい値Th以下であると判断される場合には、粘性流体供給部81から粘性流体タンク82に対して粘性流体Lを所定量だけ供給する制御を行うように構成されている。  When the controller 9 determines that the remaining amount of the viscous fluid L is equal to or less than the predetermined threshold Th, the controller 9 supplies the viscous fluid L from the viscous fluid supply unit 81 to the viscous fluid tank 82 by a predetermined amount. It is configured to perform only the supply control.

また、制御部9は、粘性流体Lの残量が所定のしきい値Thよりも大きいと判断される場合には、粘性流体供給部81から粘性流体タンク82に対して粘性流体Lを供給しない制御を行うように構成されている。  Further, the control unit 9 does not supply the viscous fluid L from the viscous fluid supply unit 81 to the viscous fluid tank 82 when it is determined that the remaining amount of the viscous fluid L is larger than the predetermined threshold Th. It is configured to perform control.

(照明部の構成)
また、第1実施形態では、照明部43a(図2参照)は、粘性流体Lの種類に応じて、所定領域Aに照射する光の強度、所定領域Aに照射する光の角度、および所定領域Aに照射する光の波長を変更可能に構成されている。
(Configuration of lighting unit)
In the first embodiment, the illumination unit 43a (see FIG. 2) determines the intensity of light applied to the predetermined area A, the angle of light applied to the predetermined area A, and the predetermined area according to the type of the viscous fluid L. The wavelength of the light applied to A can be changed.

具体的には、照明部43aは、基板認識カメラ43のレンズ周辺に輪状に配置され、可視光を照射可能な内輪照明部と、内輪照明部の外側に輪状に配置され、可視光を照射可能な外輪照明部と、赤外光を照射可能な赤外照明部とを含んでいる。また、照明部43aは、内輪照明部、外輪照明部、および赤外照明部のそれぞれを、独立して発光させることが可能に構成されている。また、内輪照明部、外輪照明部および赤外照明部は、互いに異なる角度で、所定領域Aに光を照射可能に構成されている。  Specifically, the illumination unit 43a is arranged in a ring shape around the lens of the substrate recognition camera 43, and is arranged in a ring shape outside the inner ring illumination unit and capable of emitting visible light. An outer ring illumination unit and an infrared illumination unit capable of emitting infrared light. Moreover, the illumination part 43a is comprised so that each of an inner ring illumination part, an outer ring illumination part, and an infrared illumination part can be light-emitted independently. Further, the inner ring illumination unit, the outer ring illumination unit, and the infrared illumination unit are configured to be able to irradiate light onto the predetermined region A at mutually different angles.

したがって、照明部43aは、内輪照明部、外輪照明部、および赤外照明部のうち発光させる照明部の数を変更することにより、所定領域Aに照射する光の強度および光の角度を変更可能に構成されている。また、照明部43aは、内輪照明部および/または外輪照明部だけを発光させることにより、可視光を照射し、赤外照明部だけを発光させることにより、赤外光を照射することによって、所定領域Aに照射する光の波長を変更可能に構成されている。  Therefore, the illumination part 43a can change the intensity | strength of light and the angle of light which irradiate the predetermined area | region A by changing the number of the illumination parts made to light-emit among an inner ring | wheel illumination part, an outer ring illumination part, and an infrared illumination part. It is configured. The illumination unit 43a emits only visible light by emitting only the inner ring illumination unit and / or outer ring illumination unit, and emits infrared light by emitting only the infrared illumination unit. The wavelength of the light irradiating the area A can be changed.

図6では、フラックスおよびはんだの二種類の粘性流体について、照明部43aによる照明ありの場合(内輪照明部、外輪照明部、および赤外照明部の3つから光を照射する場合)の所定領域Aの撮像画像(二値化処理後の撮像画像)を示している。図6に示すように、粘性流体としてはんだが用いられる場合には、粘性流体Lの残量の多少に関わらず、粘性流体L(Lb)が存在する部分が黒で表され、粘性流体L(Lb)が存在しない部分が白で表されているため、両者を区別して認識することが可能である。  In FIG. 6, a predetermined region in the case where there is illumination by the illumination unit 43a (when light is irradiated from three of the inner ring illumination unit, the outer ring illumination unit, and the infrared illumination unit) with respect to two types of viscous fluids of flux and solder. A captured image of A (captured image after binarization processing) is shown. As shown in FIG. 6, when solder is used as the viscous fluid, the portion where the viscous fluid L (Lb) exists is represented in black regardless of the remaining amount of the viscous fluid L, and the viscous fluid L ( Since the portion where Lb) does not exist is represented in white, it is possible to recognize both of them separately.

一方、粘性流体としてフラックスが用いられる場合には、粘性流体Lの残量が少ないときには、両者を区別して認識することができるものの、粘性流体Lの残量が多いときには、粘性流体L(Lb)が存在する部分が白で表されるため、両者を区別して認識することが困難になる場合がある。  On the other hand, when a flux is used as the viscous fluid, when the remaining amount of the viscous fluid L is small, the two can be distinguished and recognized. However, when the remaining amount of the viscous fluid L is large, the viscous fluid L (Lb) Since the portion where there is a white is expressed in white, it may be difficult to distinguish and recognize both.

また、図7では、フラックスについて、照明部43aによる照明変更の場合(内輪照明部および赤外照明部の2つから光を照射する場合)の所定領域Aの撮像画像(二値化処理後の撮像画像)を示している。図7に示すように、照明部43aによる照明変更の場合には、粘性流体としてフラックスが用いられるときであっても、粘性流体Lの残量の多少に関わらず、粘性流体L(Lb)が存在する部分が黒で表され、粘性流体L(Lb)が存在しない部分が白で表されているため、両者を区別して認識することができる。このように、照明部43aは、粘性流体Lの種類に応じて、所定領域Aに照射する光の強度、所定領域Aに照射する光の角度、および所定領域Aに照射する光の波長を変更するように構成されている。  Further, in FIG. 7, regarding the flux, a captured image of the predetermined area A (after binarization processing) in the case of illumination change by the illumination unit 43a (when light is emitted from two of the inner ring illumination unit and the infrared illumination unit) Captured image). As shown in FIG. 7, in the case of changing the illumination by the illumination unit 43a, the viscous fluid L (Lb) is not affected by the amount of remaining viscous fluid L, even when flux is used as the viscous fluid. Since the existing part is represented in black and the part in which the viscous fluid L (Lb) does not exist is represented in white, the two can be distinguished and recognized. As described above, the illumination unit 43a changes the intensity of light applied to the predetermined area A, the angle of light applied to the predetermined area A, and the wavelength of light applied to the predetermined area A according to the type of the viscous fluid L. Is configured to do.

(転写ユニットに関する動作)
次に、図8を参照して、転写ユニットに関する動作として、スキージング動作、塊状流体撮像動作、および粘性流体転写動作について説明する。
(Operation related to transfer unit)
Next, a squeezing operation, a block fluid imaging operation, and a viscous fluid transfer operation will be described as operations related to the transfer unit with reference to FIG.

図8(A)に示すように、部品31に粘性流体Lを転写する前に、プレート駆動機構84により塗膜形成プレート83を駆動方向に往復移動させることにより、塗膜形成プレート83の塗膜形成部83bに、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lが充填される。同時に、粘性流体タンク82により粘性流体Lが掻き取られてならされる。この結果、図8(B)に示すように、塗膜形成プレート83の塗膜形成部83bに、部品31に対する粘性流体Lの転写に適した厚みtで粘性流体Lの塗膜Laが形成される。このスキージング動作は、部品31に粘性流体Lを転写する毎に行われる。  As shown in FIG. 8A, before the viscous fluid L is transferred to the component 31, the coating film forming plate 83 is reciprocated in the driving direction by the plate driving mechanism 84 to thereby apply the coating film on the coating film forming plate 83. The forming portion 83b is filled with the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82. At the same time, the viscous fluid L is scraped off by the viscous fluid tank 82. As a result, as shown in FIG. 8B, the coating film La of the viscous fluid L is formed on the coating film forming portion 83b of the coating film forming plate 83 with a thickness t suitable for the transfer of the viscous fluid L to the component 31. The This squeezing operation is performed every time the viscous fluid L is transferred to the component 31.

また、図8(B)に示すように、スキージング動作の際、粘性流体タンク82の内部では、ローリングと呼ばれる粘性流体Lの巻き込み現象が発生するため、スキージング後の粘性流体タンク82の内部には、塊状となった粘性流体L(Lb)が形成される。そして、塊状となった粘性流体L(Lb)が形成されている間に、塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分と、粘性流体L(Lb)が存在しない部分とを含む所定領域A(図3参照)がヘッドユニット4の基板認識カメラ43により撮像される。この際、粘性流体タンク82の内部の粘性流体Lの残量を正確に測定する観点から、塊状となった粘性流体L(Lb)の形状が崩れる前に基板認識カメラ43による撮像が行われることが好ましい。したがって、スキージング動作が終わる前に、基板認識カメラ43を、所定領域Aを撮像するための所定位置に待機させておくことが好ましい。  Further, as shown in FIG. 8B, during the squeegeeing operation, the viscous fluid L phenomenon called rolling occurs inside the viscous fluid tank 82, so that the inside of the viscous fluid tank 82 after squeezing occurs. Is formed into a viscous fluid L (Lb). And while the viscous fluid L (Lb) which became the lump is formed, the predetermined including the part where the viscous fluid L (Lb) becomes a lump and the part where the viscous fluid L (Lb) does not exist The area A (see FIG. 3) is imaged by the substrate recognition camera 43 of the head unit 4. At this time, from the viewpoint of accurately measuring the remaining amount of the viscous fluid L in the viscous fluid tank 82, imaging by the substrate recognition camera 43 is performed before the shape of the viscous fluid L (Lb) that has been lumped is lost. Is preferred. Therefore, before the squeezing operation is finished, it is preferable that the substrate recognition camera 43 is kept at a predetermined position for imaging the predetermined area A.

その後、図8(C)に示すように、ヘッドユニット4の実装ヘッド42が昇降することにより、実装ヘッド42に吸着された部品31に対して、塗膜形成プレート83に形成された塗膜状の粘性流体L(La)が転写される。なお、図8では、粘性流体転写動作に合わせて、部品31に転写される粘性流体Lの塗膜Laを形成するためのスキージング動作を行った例を示したが、これに限られず、塊状流体撮像動作に合わせて、塊状となった粘性流体Lの撮像のためのスキージング動作を行ってもよい。  Thereafter, as shown in FIG. 8C, the mounting head 42 of the head unit 4 moves up and down to form the coating film formed on the coating film forming plate 83 with respect to the component 31 adsorbed on the mounting head 42. The viscous fluid L (La) is transferred. In addition, although FIG. 8 showed the example which performed the squeegeeing operation | movement for forming the coating film La of the viscous fluid L transcribe | transferred to the components 31 according to viscous fluid transcription | transfer operation | movement, it is not restricted to this, lump shape In accordance with the fluid imaging operation, a squeezing operation may be performed for imaging the viscous fluid L that has become a lump.

(粘性流体自動供給処理)
次に、図9を参照して、基板作業装置100における転写ユニット8の粘性流体自動供給処理について、フローチャートに基づいて説明する。なお、基板作業装置100の動作は、制御部9により行われる。
(Viscous fluid automatic supply processing)
Next, with reference to FIG. 9, the viscous fluid automatic supply processing of the transfer unit 8 in the substrate working apparatus 100 will be described based on a flowchart. The operation of the substrate working apparatus 100 is performed by the control unit 9.

まず、図9に示すように、ステップS1において、プレート駆動機構84により塗膜形成プレート83が移動されることにより、粘性流体タンク82により粘性流体Lのスキージング動作が行われる。  First, as shown in FIG. 9, the squeezing operation of the viscous fluid L is performed by the viscous fluid tank 82 when the coating film forming plate 83 is moved by the plate driving mechanism 84 in step S <b> 1.

そして、ステップS2において、基板認識カメラ43により所定領域Aを撮像する撮像タイミングであるか否かが判断される。撮像タイミングとしては、たとえば、前回の塊状流体撮像動作からスキージング動作が所定回数行われた場合や、前回の塊状流体撮像動作から所定時間経過した場合、後述するステップS6の粘性流体供給動作が行われた場合などとすることが可能である。  In step S <b> 2, it is determined whether or not it is an imaging timing for imaging the predetermined area A by the substrate recognition camera 43. As the imaging timing, for example, when a squeezing operation is performed a predetermined number of times from the previous block fluid imaging operation, or when a predetermined time has elapsed from the previous block fluid imaging operation, the viscous fluid supply operation in step S6 described later is performed. It is possible to be a case where it is broken.

ステップS2において、撮像タイミングではないと判断される場合には、ステップS5に進み、粘性流体転写動作が行われる。なお、粘性流体転写動作が行われた後、実装ヘッド42に吸着されている部品31は、基板Pに実装される。  If it is determined in step S2 that it is not the imaging timing, the process proceeds to step S5, and a viscous fluid transfer operation is performed. Note that after the viscous fluid transfer operation is performed, the component 31 sucked by the mounting head 42 is mounted on the substrate P.

また、ステップS2において、撮像タイミングであると判断される場合には、ステップS3に進む。  If it is determined in step S2 that it is the imaging timing, the process proceeds to step S3.

そして、ステップS3において、塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分と、粘性流体L(Lb)が存在しない部分とを含む所定領域Aの撮像が基板認識カメラ43により行われる。  In step S <b> 3, the substrate recognition camera 43 captures an image of a predetermined area A including a portion where the viscous fluid L (Lb) is present and a portion where the viscous fluid L (Lb) is not present.

そして、ステップS4において、基板認識カメラ43による撮像画像に基づいて、粘性流体Lの残量が所定のしきい値Th以下であるか否かが判断される。粘性流体Lの残量が所定のしきい値Th以下ではないと判断される場合には、粘性流体タンク82に対する粘性流体Lの供給(補給)は必要ないと考えられるので、ステップS5に進み、粘性流体タンク82に対する粘性流体Lの供給が行われることなく、粘性流体転写動作が行われる。  In step S4, it is determined whether or not the remaining amount of the viscous fluid L is equal to or less than a predetermined threshold Th based on the image captured by the substrate recognition camera 43. If it is determined that the remaining amount of the viscous fluid L is not less than or equal to the predetermined threshold value Th, it is considered that supply (replenishment) of the viscous fluid L to the viscous fluid tank 82 is not necessary, so the process proceeds to step S5. The viscous fluid transfer operation is performed without supplying the viscous fluid L to the viscous fluid tank 82.

また、ステップS4において、粘性流体Lの残量が所定のしきい値Th以下であると判断される場合には、粘性流体タンク82に対する粘性流体Lの供給(補給)が必要であると考えられるので、ステップS6に進む。  In step S4, when it is determined that the remaining amount of the viscous fluid L is equal to or less than the predetermined threshold Th, it is considered that the viscous fluid L needs to be supplied (supplemented) to the viscous fluid tank 82. Therefore, it progresses to step S6.

そして、ステップS6において、粘性流体供給部81から粘性流体タンク82に対して粘性流体Lを所定量だけ供給する粘性流体供給動作が行われる。これにより、粘性流体Lの残量が所定のしきい値Th以下である場合には、粘性流体Lが粘性流体タンク82に自動で供給(補給)される。  In step S <b> 6, a viscous fluid supply operation for supplying a predetermined amount of the viscous fluid L from the viscous fluid supply unit 81 to the viscous fluid tank 82 is performed. Thereby, when the remaining amount of the viscous fluid L is equal to or less than the predetermined threshold Th, the viscous fluid L is automatically supplied (supplemented) to the viscous fluid tank 82.

また、粘性流体Lの残量が所定のしきい値Th以下であった場合には、前回のスキージング動作により塗膜形成プレート83に粘性流体Lの塗膜が正常に形成されていない可能性があるため、ステップS1に戻り、再び、スキージング動作が行われる。以上の動作が、実装ヘッド42に吸着されている部品31毎に順次実行される。  Further, when the remaining amount of the viscous fluid L is equal to or less than the predetermined threshold Th, there is a possibility that the coating film of the viscous fluid L is not normally formed on the coating film forming plate 83 by the previous squeezing operation. Therefore, the process returns to step S1 and the squeezing operation is performed again. The above operation is sequentially executed for each component 31 sucked by the mounting head 42.

(第1実施形態の効果)
第1実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effect of 1st Embodiment)
In the first embodiment, the following effects can be obtained.

第1実施形態では、上記のように、基板認識カメラ43により撮像された所定領域Aの撮像画像B1のうち粘性流体Lが存在する部分C1の大きさ、および粘性流体Lが存在しない部分C2の大きさに基づいて、粘性流体Lの残量を取得する制御部9を設ける。これにより、塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分C1の大きさと粘性流体Lが存在しない部分C2の大きさとが、粘性流体Lの残量と相関することを利用して、粘性流体Lの残量を正確(定量的)に測定することができる。また、塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分C1と粘性流体Lが存在しない部分C2とを含む所定領域Aが撮像され、所定領域Aの撮像画像B1に基づいて残量が取得されるので、粘性流体L越しに認識マークを撮像する構成と異なり、有色の粘性流体Lであっても、残量を容易に測定することができる。  In the first embodiment, as described above, the size of the portion C1 where the viscous fluid L exists and the portion C2 where the viscous fluid L does not exist in the captured image B1 of the predetermined area A captured by the board recognition camera 43. A control unit 9 that acquires the remaining amount of the viscous fluid L based on the size is provided. Thus, by utilizing the fact that the size of the portion C1 where the viscous fluid L (Lb) is present and the size of the portion C2 where the viscous fluid L does not exist correlates with the remaining amount of the viscous fluid L. The remaining amount of the fluid L can be measured accurately (quantitatively). In addition, the predetermined area A including the portion C1 where the viscous fluid L (Lb) is present and the portion C2 where the viscous fluid L does not exist is imaged, and the remaining amount is acquired based on the captured image B1 of the predetermined area A. Therefore, unlike the configuration in which the recognition mark is imaged through the viscous fluid L, the remaining amount can be easily measured even for the colored viscous fluid L.

また、第1実施形態では、所定領域Aの撮像画像B1に基づいて、所定領域Aのうち粘性流体Lが存在する部分C1の面積および粘性流体Lが存在しない部分C2の面積を取得するととともに、取得された粘性流体Lが存在する部分C1の面積および粘性流体Lが存在しない部分C2の面積に基づいて、粘性流体Lの残量を取得するように制御部9を構成する。これにより、たとえば光センサによる点の測定結果に基づいて粘性流体の残量が取得される場合と異なり、粘性流体Lの残量が面積に基づいて取得されるので、粘性流体タンク82による掻き取り動作毎に塊状となった粘性流体Lの形状に多少ばらつきがあったとしても、粘性流体Lの残量を安定して正確(定量的)に測定することができる。  Moreover, in 1st Embodiment, while acquiring the area of the part C1 in which the viscous fluid L exists in the predetermined area A, and the area of the part C2 in which the viscous fluid L does not exist based on the captured image B1 of the predetermined area A, The control unit 9 is configured to acquire the remaining amount of the viscous fluid L based on the acquired area of the portion C1 where the viscous fluid L exists and the area of the portion C2 where the viscous fluid L does not exist. Thus, unlike the case where the remaining amount of the viscous fluid is acquired based on, for example, the point measurement result by the optical sensor, the remaining amount of the viscous fluid L is acquired based on the area. Even if there is some variation in the shape of the viscous fluid L that becomes a lump for each operation, the remaining amount of the viscous fluid L can be measured stably and accurately (quantitatively).

また、第1実施形態では、所定領域Aの撮像画像B1を二値化処理することにより、所定領域Aの二値化画像B2を取得するとともに、取得された二値化画像B2に基づいて、所定領域Aのうち粘性流体Lが存在する部分C1の面積および粘性流体Lが存在しない部分C2の面積を取得するように制御部9を構成する。これにより、粘性流体Lが存在する部分C1の面積または粘性流体Lが存在しない部分C2の面積を容易に取得することができる。  Moreover, in 1st Embodiment, while binarizing the captured image B1 of the predetermined area A, the binarized image B2 of the predetermined area A is acquired, and based on the acquired binarized image B2, In the predetermined area A, the control unit 9 is configured to acquire the area of the portion C1 where the viscous fluid L exists and the area of the portion C2 where the viscous fluid L does not exist. Thereby, the area of the part C1 where the viscous fluid L exists or the area of the part C2 where the viscous fluid L does not exist can be easily acquired.

また、第1実施形態では、取得された粘性流体Lの残量が所定のしきい値Th以下であると判断される場合には、粘性流体供給部81から粘性流体Lを供給する制御を行うように制御部9を構成する。これにより、正確に測定された粘性流体Lの残量に基づいて粘性流体Lを供給することができるので、粘性流体Lを適量だけ供給することができる。その結果、粘性流体Lが不足しないように必要量以上に余分に粘性流体Lを供給する場合と異なり、粘性流体Lの使用量が増加することを抑制することができる。また、自動で粘性流体Lが供給されるので、粘性流体Lが不足し、転写対象物である部品31に粘性流体Lが十分に転写されないという不都合が生じることを抑制することができる。  In the first embodiment, when it is determined that the acquired remaining amount of the viscous fluid L is equal to or less than the predetermined threshold Th, control is performed to supply the viscous fluid L from the viscous fluid supply unit 81. The control unit 9 is configured as described above. As a result, the viscous fluid L can be supplied based on the accurately measured remaining amount of the viscous fluid L, so that an appropriate amount of the viscous fluid L can be supplied. As a result, it is possible to suppress an increase in the usage amount of the viscous fluid L, unlike when the viscous fluid L is supplied in excess of the necessary amount so that the viscous fluid L is not insufficient. In addition, since the viscous fluid L is automatically supplied, it is possible to suppress the disadvantage that the viscous fluid L is insufficient and the viscous fluid L is not sufficiently transferred to the component 31 that is the transfer target.

また、第1実施形態では、実装ヘッド42と共に粘性流体タンク82に対して相対的に移動するように基板認識カメラ43を構成する。これにより、実装ヘッド42と基板認識カメラ43とを共通の移動機構により移動させることができるので、粘性流体Lの残量を測定するための装置構成が複雑化することを抑制することができる。  In the first embodiment, the substrate recognition camera 43 is configured to move relative to the viscous fluid tank 82 together with the mounting head 42. Thereby, since the mounting head 42 and the board | substrate recognition camera 43 can be moved by a common moving mechanism, it can suppress that the apparatus structure for measuring the residual amount of the viscous fluid L becomes complicated.

また、第1実施形態では、粘性流体Lの残量測定用撮像部は、基板Pを認識するためのフィディーシャルマークFを撮像する基板認識カメラ43である。これにより、基板認識カメラ43を、粘性流体Lの残量測定用の撮像部としても用いることができるので、粘性流体Lの残量を測定するための装置構成が複雑化することをより抑制することができる。  Further, in the first embodiment, the imaging unit for measuring the remaining amount of the viscous fluid L is the substrate recognition camera 43 that images the fiducial mark F for recognizing the substrate P. Thereby, since the board | substrate recognition camera 43 can be used also as an imaging part for the residual amount measurement of the viscous fluid L, it suppresses more that the apparatus structure for measuring the residual amount of the viscous fluid L becomes complicated. be able to.

また、第1実施形態では、粘性流体Lが貯留される枠形状を有する粘性流体タンク82の内部において塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分C1と粘性流体Lが存在しない部分C2とを含む粘性流体タンク82の内部の所定領域Aを撮像するように基板認識カメラ43を構成する。これにより、枠形状を有する粘性流体タンク82により、粘性流体Lを容易に塊状とすることができる。その結果、塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分C1と粘性流体Lが存在しない部分C2とを容易に形成し、基板認識カメラ43により撮像することができる。  Moreover, in 1st Embodiment, the part C1 in which the viscous fluid L (Lb) aggregated in the inside of the viscous fluid tank 82 which has the frame shape where the viscous fluid L is stored exists, and the part C2 in which the viscous fluid L does not exist The substrate recognition camera 43 is configured to image a predetermined area A inside the viscous fluid tank 82 including Thereby, the viscous fluid L can be easily agglomerated by the viscous fluid tank 82 having a frame shape. As a result, a portion C1 where the viscous fluid L (Lb) in the form of a mass and a portion C2 where the viscous fluid L does not exist can be easily formed and imaged by the substrate recognition camera 43.

また、第1実施形態では、塗膜形成プレート83に対して相対的に移動して粘性流体Lを掻き取りながらならし、塗膜形成プレート83上に、部品31に転写される粘性流体Lの塗膜Laを形成するように粘性流体タンク82を構成する。そして、塗膜形成プレート83の上方から、塗膜形成プレート83上で塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分C1と、粘性流体Lが存在しない部分C2とを含む所定領域Aを撮像するように基板認識カメラ43を構成する。これにより、塗膜形成プレート83に形成された粘性流体Lの塗膜Laが部品31に対して転写される構成において、粘性流体Lの残量を正確(定量的)かつ確実に測定することができる。  In the first embodiment, the viscous fluid L is moved relative to the coating film forming plate 83 to scrape the viscous fluid L, and the viscous fluid L transferred to the component 31 is transferred onto the coating film forming plate 83. The viscous fluid tank 82 is configured to form the coating film La. Then, from above the coating film forming plate 83, a predetermined area A including a portion C1 where the viscous fluid L (Lb) which is agglomerated on the coating film forming plate 83 exists and a portion C2 where the viscous fluid L does not exist is formed. The substrate recognition camera 43 is configured to take an image. Thus, in the configuration in which the coating film La of the viscous fluid L formed on the coating film forming plate 83 is transferred to the component 31, the remaining amount of the viscous fluid L can be accurately (quantitatively) measured reliably. it can.

また、第1実施形態では、粘性流体Lの種類に応じて、所定領域Aに照射する光の強度を変更可能に照明部43aを構成する。これにより、粘性流体Lの種類に応じた適切な照明によって所定領域Aを撮像することができるので、塊状となった粘性流体L(Lb)が存在する部分C1と粘性流体Lが存在しない部分C2とを容易に区別して認識可能なように撮像することができる。その結果、粘性流体Lの残量をより正確に測定することができる。  Moreover, in 1st Embodiment, according to the kind of viscous fluid L, the illumination part 43a is comprised so that the intensity | strength of the light irradiated to the predetermined area | region A can be changed. Thereby, since the predetermined area A can be imaged by appropriate illumination according to the type of the viscous fluid L, the portion C1 in which the viscous fluid L (Lb) is formed and the portion C2 in which the viscous fluid L is not present. Can be easily distinguished and recognized. As a result, the remaining amount of the viscous fluid L can be measured more accurately.

[第2実施形態]
以下、図10を参照して、本発明の第2実施形態による基板作業装置200の構成について説明する。
[Second Embodiment]
Hereinafter, the configuration of the substrate working apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

この第2実施形態では、基板Pに部品31を実装する部品実装装置に本発明を適用した第1実施形態とは異なり、基板Pに対してはんだを印刷する印刷装置に本発明を適用した例について説明する。  In the second embodiment, unlike the first embodiment in which the present invention is applied to a component mounting apparatus that mounts the component 31 on the board P, an example in which the present invention is applied to a printing apparatus that prints solder on the board P. Will be described.

(基板作業装置の構成)
第2実施形態による基板作業装置200は、図10に示すように、はんだからなる粘性流体Lを印刷(転写)材料とし、所定の印刷パターンで開口部(図示せず)が形成されたマスクMを用いて、基板Pの表面に粘性流体Lをスクリーン印刷する印刷装置である。なお、基板Pは、特許請求の範囲の「転写対象物」の一例である。
(Configuration of substrate working device)
As shown in FIG. 10, the substrate working apparatus 200 according to the second embodiment uses a viscous fluid L made of solder as a printing (transfer) material, and a mask M in which openings (not shown) are formed in a predetermined printing pattern. Is used to screen-print the viscous fluid L on the surface of the substrate P. The substrate P is an example of the “transfer object” in the claims.

基板作業装置200は、基台101と、スキージ部121を含むスキージユニット102と、基板テーブル103とを備えている。スキージユニット102および基板テーブル103は、基台101上に配置されている。スキージユニット102は、スキージ部121をY方向に移動させることにより印刷動作を行うように構成されている。  The substrate working apparatus 200 includes a base 101, a squeegee unit 102 including a squeegee unit 121, and a substrate table 103. The squeegee unit 102 and the substrate table 103 are disposed on the base 101. The squeegee unit 102 is configured to perform a printing operation by moving the squeegee unit 121 in the Y direction.

また、基板作業装置200は、図10に示すように、粘性流体Lを撮像する粘性流体認識カメラ104と、基板作業装置200の全体を制御する制御部105とを備える。なお、粘性流体認識カメラ104は、特許請求の範囲の「撮像部」の一例である。  Further, as shown in FIG. 10, the substrate working apparatus 200 includes a viscous fluid recognition camera 104 that images the viscous fluid L, and a control unit 105 that controls the entire substrate working apparatus 200. The viscous fluid recognition camera 104 is an example of the “imaging unit” in the claims.

マスクMは、平面視で矩形形状を有し、外周部がフレーム106に取り付けられている。基板作業装置200は、図示しないマスク保持部によりフレーム106を保持している。  The mask M has a rectangular shape in plan view, and the outer peripheral portion is attached to the frame 106. The substrate working apparatus 200 holds the frame 106 by a mask holding unit (not shown).

スキージユニット102は、マスクMの上方に配置されている。スキージユニット102は、スキージ部121と、スキージY軸駆動機構122と、スキージZ軸駆動機構123と、スキージR軸駆動機構124と、粘性流体供給部125とを含んでいる。  The squeegee unit 102 is disposed above the mask M. The squeegee unit 102 includes a squeegee unit 121, a squeegee Y-axis drive mechanism 122, a squeegee Z-axis drive mechanism 123, a squeegee R-axis drive mechanism 124, and a viscous fluid supply unit 125.

スキージ部121は、ヘラ状形状を有し、Y方向に移動して粘性流体Lを掻き取るようにならすことによって、マスクM上の粘性流体Lを基板Pに転写(印刷)するように構成されている。この際、スキージ部121は、マスクMに上側(Z1方向側)から所定の印圧(荷重)をかけながら印刷方向(Y方向)に移動されることにより、粘性流体Lをローリング(回転)させながら転写(印刷)を行うように構成されている。  The squeegee unit 121 has a spatula shape and is configured to transfer (print) the viscous fluid L on the mask M onto the substrate P by moving in the Y direction and scraping the viscous fluid L. ing. At this time, the squeegee unit 121 rolls (rotates) the viscous fluid L by being moved in the printing direction (Y direction) while applying a predetermined printing pressure (load) to the mask M from the upper side (Z1 direction side). However, it is configured to perform transfer (printing).

スキージY軸駆動機構122は、Y軸モータ122aを含んでいる。スキージY軸駆動機構122は、Y軸モータ122aを駆動させることにより、スキージユニット102(スキージ部121)をY軸レールに沿ってY方向に移動させるように構成されている。スキージZ軸駆動機構123は、スキージR軸駆動機構124およびスキージ部121をZ方向に昇降させるように構成されている。スキージR軸駆動機構124は、スキージ部121を回動軸中心に回動させるように構成されている。粘性流体供給部125は、マスクMの上方に配置され、マスクMの上面上に粘性流体Lを供給する機能を有する。  The squeegee Y-axis drive mechanism 122 includes a Y-axis motor 122a. The squeegee Y-axis drive mechanism 122 is configured to move the squeegee unit 102 (squeegee unit 121) in the Y direction along the Y-axis rail by driving the Y-axis motor 122a. The squeegee Z-axis drive mechanism 123 is configured to raise and lower the squeegee R-axis drive mechanism 124 and the squeegee unit 121 in the Z direction. The squeegee R-axis drive mechanism 124 is configured to rotate the squeegee unit 121 about the rotation axis. The viscous fluid supply unit 125 is disposed above the mask M and has a function of supplying the viscous fluid L onto the upper surface of the mask M.

基板テーブル103は、マスクMの下方位置(Z2側位置)に配置されており、基台101上でY方向に往復移動可能に構成されている。基板テーブル103は、基板Pを所定の印刷位置に搬送して保持する動作や、印刷済みの基板Pを搬出する動作を行う。  The substrate table 103 is disposed below the mask M (Z2 side position) and is configured to be reciprocally movable in the Y direction on the base 101. The substrate table 103 performs an operation of transporting and holding the substrate P to a predetermined printing position and an operation of unloading the printed substrate P.

基板テーブル103は、一対のコンベア131と、クランプ部材(クランププレート)132と、Y軸移動機構133と、Z軸移動機構134と、図示しないX軸移動機構およびR軸移動機構とを含んでいる。  The substrate table 103 includes a pair of conveyors 131, a clamp member (clamp plate) 132, a Y-axis movement mechanism 133, a Z-axis movement mechanism 134, and an X-axis movement mechanism and an R-axis movement mechanism (not shown). .

一対のコンベア131は、上流側の装置から未印刷の基板Pを搬入し、基板Pを所定の印刷位置に搬送し、印刷済みの基板Pを下流側の装置へ搬出する機能を有している。一対のコンベア131は、Y方向に所定距離を隔てて互いに平行に配置されている。一対のコンベア131は、基板Pの搬送方向(X方向)に沿って延びるように設けられている。一対のコンベア131は、搬送する基板Pの幅(Y方向寸法)に対応させてY方向の間隔を調整可能に構成されている。  The pair of conveyors 131 has a function of carrying an unprinted substrate P from an upstream device, transporting the substrate P to a predetermined printing position, and carrying the printed substrate P to a downstream device. . The pair of conveyors 131 are arranged in parallel to each other at a predetermined distance in the Y direction. The pair of conveyors 131 are provided so as to extend along the transport direction (X direction) of the substrate P. The pair of conveyors 131 are configured so that the interval in the Y direction can be adjusted in accordance with the width (Y direction dimension) of the substrate P to be transported.

クランプ部材132は、一対のコンベア131の上側に隣接するように一対設けられており、基板Pの側端面を両側から挟み込む(クランプする)ことにより固定(保持)するように構成されている。  A pair of clamp members 132 are provided so as to be adjacent to the upper side of the pair of conveyors 131, and are configured to be fixed (held) by sandwiching (clamping) side end surfaces of the substrate P from both sides.

Y軸移動機構133は、Y軸モータ133aを含んでいる。Y軸移動機構133は、Y軸モータ133aを駆動させることにより、基板テーブル103をY軸レールに沿ってY方向に移動ささせるように構成されている。  The Y-axis moving mechanism 133 includes a Y-axis motor 133a. The Y-axis moving mechanism 133 is configured to move the substrate table 103 in the Y direction along the Y-axis rail by driving the Y-axis motor 133a.

Z軸移動機構134は、Z軸テーブル134aを含んでいる。Z軸移動機構134は、図示しないZ軸モータを駆動させることにより、Z軸テーブル134aをZ方向に移動(昇降)させるように構成されている。Z軸テーブル134a上には、基板昇降部135および一対のブラケット部材103bが設けられ、ブラケット部材103bの各上部にはコンベア131およびクランプ部材132が設けられている。  The Z-axis moving mechanism 134 includes a Z-axis table 134a. The Z-axis moving mechanism 134 is configured to move (lift) the Z-axis table 134a in the Z direction by driving a Z-axis motor (not shown). On the Z-axis table 134a, a substrate elevating part 135 and a pair of bracket members 103b are provided, and a conveyor 131 and a clamp member 132 are provided on each upper portion of the bracket member 103b.

基板昇降部135は、一対のコンベア131の間のY方向位置に配置されており、支持板135aをZ方向に移動(昇降)させるように構成されている。支持板135aには図示しないバックアップピンが配置される。基板昇降部135は、バックアップピンにより基板Pを支持するように構成されている。  The substrate elevating unit 135 is disposed at a position in the Y direction between the pair of conveyors 131 and is configured to move (elevate) the support plate 135a in the Z direction. A backup pin (not shown) is disposed on the support plate 135a. The substrate lifting / lowering unit 135 is configured to support the substrate P with backup pins.

なお、図示しないX軸移動機構は、基板PをX方向に移動させる機能を有し、同じく図示しないR軸移動機構は、基板Pを水平面内(XY面内)で回動させる機能を有する。これらのX軸移動機構、Y軸移動機構133およびR軸移動機構によってマスクMに対する基板Pの相対位置(水平面内の位置および傾き)が正確に位置決めされた状態で、Z軸移動機構134によって基板PがマスクMの下面に当接される。  An X-axis moving mechanism (not shown) has a function of moving the substrate P in the X direction, and an R-axis moving mechanism (not shown) has a function of rotating the substrate P in the horizontal plane (in the XY plane). With the X-axis moving mechanism, the Y-axis moving mechanism 133 and the R-axis moving mechanism accurately positioning the relative position (position and inclination in the horizontal plane) of the substrate P with respect to the mask M, the Z-axis moving mechanism 134 P contacts the lower surface of the mask M.

粘性流体認識カメラ104は、マスクMに対して相対的に移動可能に構成されている。なお、粘性流体認識カメラ104は、スキージユニット102の移動機構と共通の移動機構により、マスクMに対して相対的に移動してもよいし、専用の移動機構により、マスクMに対して相対的に移動してもよい。  The viscous fluid recognition camera 104 is configured to be movable relative to the mask M. The viscous fluid recognition camera 104 may move relative to the mask M by a movement mechanism common to the movement mechanism of the squeegee unit 102, or may move relative to the mask M by a dedicated movement mechanism. You may move on.

ここで、第2実施形態では、粘性流体認識カメラ104は、マスクM上の粘性流体Lの残量を測定するために、スキージユニット102のスキージ部121により掻き取られて、塊状となった粘性流体Lが存在する部分と、粘性流体Lが存在しない部分とを含む所定領域を撮像するように構成されている。この際、粘性流体認識カメラ104は、マスクMの情報から、マスク上で塊状となった粘性流体Lが存在する部分と、粘性流体Lが存在しない部分とを含む所定領域を撮像するように構成されている。  Here, in the second embodiment, the viscous fluid recognition camera 104 is scraped off by the squeegee unit 121 of the squeegee unit 102 in order to measure the remaining amount of the viscous fluid L on the mask M, and becomes a blocky viscosity. A predetermined region including a portion where the fluid L exists and a portion where the viscous fluid L does not exist is imaged. At this time, the viscous fluid recognition camera 104 is configured to take an image of a predetermined region including a portion where the viscous fluid L is agglomerated on the mask and a portion where the viscous fluid L is not present from the information of the mask M. Has been.

この場合にも、上記第1実施形態と同様に、所定領域の撮像画像では、粘性流体Lが存在する部分では、粘性流体Lにより光が拡散反射されるため、比較的暗めの画像が得られる。一方、粘性流体Lが存在しない部分では、マスクMの上面により光が正反射されるため、比較的明るめの画像が得られる。これにより、撮像画像のうち粘性流体Lが存在する部分と、撮像画像のうち粘性流体Lが存在しない部分とを区別して認識することが可能である。  Also in this case, as in the first embodiment, in the captured image of the predetermined region, light is diffusely reflected by the viscous fluid L in a portion where the viscous fluid L exists, so that a relatively dark image is obtained. . On the other hand, in the part where the viscous fluid L does not exist, the light is regularly reflected by the upper surface of the mask M, so that a relatively bright image is obtained. Thereby, it is possible to distinguish and recognize a portion where the viscous fluid L exists in the captured image and a portion where the viscous fluid L does not exist in the captured image.

そして、制御部105は、上記第1実施形態と同様に、粘性流体認識カメラ4により撮像された所定領域の撮像画像を取得するとともに、取得された所定領域の撮像画像に基づいて、粘性流体Lの残量を取得するように構成されている。すなわち、所定領域の撮像画像を二値化処理し、二値化処理された撮像画像から粘性流体Lが存在する部分の面積割合を取得し、取得された粘性流体Lが存在する部分の面積割合からマスクM上の粘性流体Lの残量を取得するように構成されている。  And the control part 105 acquires the picked-up image of the predetermined area | region imaged with the viscous fluid recognition camera 4 similarly to the said 1st Embodiment, Based on the acquired picked-up image of the predetermined area | region, the viscous fluid L It is configured to acquire the remaining amount. That is, the captured image of the predetermined area is binarized, the area ratio of the portion where the viscous fluid L exists is acquired from the binarized captured image, and the area ratio of the portion where the acquired viscous fluid L exists To obtain the remaining amount of the viscous fluid L on the mask M.

また、制御部105は、取得された粘性流体Lの残量が、粘性流体Lを供給するか否かを判定するための所定のしきい値以下であるか否かを判断するとともに、粘性流体Lの残量が所定のしきい値以下であると判断される場合には、粘性流体供給部125からマスクMに対して粘性流体Lを所定量だけ供給する制御を行うように構成されている。  Further, the control unit 105 determines whether or not the acquired remaining amount of the viscous fluid L is equal to or less than a predetermined threshold value for determining whether or not to supply the viscous fluid L, and the viscous fluid L When it is determined that the remaining amount of L is equal to or less than a predetermined threshold value, control is performed to supply a predetermined amount of the viscous fluid L from the viscous fluid supply unit 125 to the mask M. .

なお、第2実施形態のその他の構成は、上記第1実施形態と同様である。  In addition, the other structure of 2nd Embodiment is the same as that of the said 1st Embodiment.

第2実施形態では、以下のような効果を得ることができる。  In the second embodiment, the following effects can be obtained.

(第2実施形態の効果)
第2実施形態では、上記のように、粘性流体認識カメラ104により撮像された所定領域の撮像画像のうち粘性流体Lが存在する部分の大きさ、および粘性流体Lが存在しない部分の大きさに基づいて、粘性流体Lの残量を取得する制御部105を設ける。これにより、上記第1実施形態と同様に、粘性流体Lの残量を正確(定量的)に測定することができるとともに、有色の粘性流体Lであっても、残量を容易に測定することができる。
(Effect of 2nd Embodiment)
In the second embodiment, the size of the portion where the viscous fluid L exists and the size of the portion where the viscous fluid L does not exist in the captured image of the predetermined area captured by the viscous fluid recognition camera 104 as described above. Based on this, a control unit 105 that acquires the remaining amount of the viscous fluid L is provided. As a result, the remaining amount of the viscous fluid L can be accurately (quantitatively) measured as in the first embodiment, and the remaining amount can be easily measured even for the colored viscous fluid L. Can do.

また、第2実施形態では、マスクM上を移動して粘性流体Lを掻き取りながらならし、印刷パターンを介してマスクM上の粘性流体Lを基板に転写するようにスキージ部121を構成する。そして、マスクMの上方から、マスクM上で塊状となった粘性流体Lが存在する部分と、粘性流体Lが存在しない部分とを含む所定領域を撮像するように粘性流体認識カメラ104を構成する。これにより、印刷パターンを介してはんだなどのマスクM上の粘性流体Lが基板Pに対して転写される構成において、はんだなどの粘性流体Lの残量を正確(定量的)かつ確実に測定することができる。  In the second embodiment, the squeegee unit 121 is configured to move on the mask M to scrape the viscous fluid L and transfer the viscous fluid L on the mask M to the substrate via the print pattern. . Then, the viscous fluid recognition camera 104 is configured so as to image a predetermined region including a portion where the viscous fluid L is agglomerated on the mask M and a portion where the viscous fluid L is not present from above the mask M. . Accordingly, in the configuration in which the viscous fluid L on the mask M such as solder is transferred to the substrate P via the printing pattern, the remaining amount of the viscous fluid L such as solder is accurately (quantitatively) measured reliably. be able to.

なお、第2実施形態のその他の効果は、上記第1実施形態と同様である。  The remaining effects of the second embodiment are similar to those of the aforementioned first embodiment.

[変形例]
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
[Modification]
The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description of the embodiment but by the scope of claims for patent, and further includes all modifications (modifications) within the meaning and scope equivalent to the scope of claims for patent.

たとえば、上記第1および第2実施形態では、粘性流体が存在する部分の大きさおよび粘性流体が存在しない部分の大きさとして、それぞれの面積を用いた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、粘性流体が存在する部分の大きさおよび粘性流体が存在しない部分の大きさとして、面積以外の大きさが用いられてもよい。たとえば、図4に示す撮像画像のうち幅方向(粘性流体Lが存在する部分が延びる方向)と直交する方向の長さが用いられてもよい。  For example, in the first and second embodiments, the example in which the respective areas are used as the size of the portion where the viscous fluid exists and the size of the portion where the viscous fluid does not exist has been described. Not limited. In the present invention, a size other than the area may be used as the size of the portion where the viscous fluid exists and the size of the portion where the viscous fluid does not exist. For example, the length in the direction orthogonal to the width direction (the direction in which the portion where the viscous fluid L exists) in the captured image shown in FIG. 4 may be used.

また、上記第1および第2実施形態では、粘性流体が存在する部分の大きさおよび粘性流体が存在しない部分の大きさの両方に基づいて、粘性流体の残量を取得した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、粘性流体が存在する部分の大きさおよび粘性流体が存在しない部分の大きさの少なくとも一方に基づいて、粘性流体の残量を取得してもよい。  In the first and second embodiments, the example in which the remaining amount of the viscous fluid is acquired based on both the size of the portion where the viscous fluid exists and the size of the portion where the viscous fluid does not exist is shown. The present invention is not limited to this. In the present invention, the remaining amount of viscous fluid may be acquired based on at least one of the size of the portion where the viscous fluid exists and the size of the portion where the viscous fluid does not exist.

また、上記第1および第2実施形態では、所定領域の撮像画像を二値化処理して、粘性流体が存在する部分の大きさおよび粘性流体が存在しない部分の大きさを取得した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、所定領域の撮像画像を二値化処理することなく、粘性流体が存在する部分の大きさおよび粘性流体が存在しない部分の大きさを取得してもよい。  In the first and second embodiments, an example is shown in which a captured image of a predetermined region is binarized to obtain the size of a portion where the viscous fluid exists and the size of the portion where the viscous fluid does not exist. However, the present invention is not limited to this. In the present invention, the size of the portion where the viscous fluid exists and the size of the portion where the viscous fluid does not exist may be acquired without binarizing the captured image of the predetermined region.

また、上記第1実施形態では、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在する部分の面積割合と粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量との間の相関情報に基づいて、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量を取得した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在しない部分の面積割合、所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在する部分の面積、および所定領域Aのうち粘性流体L(Lb)が存在しない部分の面積の少なくともいずれか1つと粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量との間の相関情報を予め取得しておき、この相関情報に基づいて、粘性流体タンク82に貯留されている粘性流体Lの残量を取得してもよい。  In the first embodiment, the correlation information between the area ratio of the portion where the viscous fluid L (Lb) exists in the predetermined region A and the remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 is obtained. Although the example which acquired the residual amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 based on this was shown, this invention is not limited to this. In the present invention, the area ratio of the portion where the viscous fluid L (Lb) does not exist in the predetermined region A, the area of the portion where the viscous fluid L (Lb) exists in the predetermined region A, and the viscous fluid L of the predetermined region A. Correlation information between at least one of the areas where (Lb) does not exist and the remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 is acquired in advance, and based on this correlation information, The remaining amount of the viscous fluid L stored in the viscous fluid tank 82 may be acquired.

また、上記第1実施形態では、本発明の撮像部として、基板認識カメラ43を用いた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、本発明の撮像部を、基板認識カメラ43と別個に設けてもよい。  Moreover, although the example which used the board | substrate recognition camera 43 was shown as said 1st Embodiment as an imaging part of this invention, this invention is not limited to this. In the present invention, the imaging unit of the present invention may be provided separately from the board recognition camera 43.

また、上記第1実施形態では、本発明のスキージ部として、枠形状を有する粘性流体タンク82を用いた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、本発明のスキージ部として、枠形状以外の形状を有するスキージ部を用いてもよい。たとえば、上記第2実施形態のスキージ部121と同様にヘラ状形状を有するスキージ部を用いてもよい。  Moreover, in the said 1st Embodiment, although the example using the viscous fluid tank 82 which has a frame shape was shown as a squeegee part of this invention, this invention is not limited to this. In this invention, you may use the squeegee part which has shapes other than a frame shape as a squeegee part of this invention. For example, a squeegee portion having a spatula shape may be used similarly to the squeegee portion 121 of the second embodiment.

また、上記第1実施形態では、粘性流体タンク82を固定し、塗膜形成プレート83を移動させることにより、粘性流体タンク82が塗膜形成プレート83に対して相対的に移動して粘性流体Lを掻き取りながらならした例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、塗膜形成プレート83を固定し、粘性流体タンク82を移動させることにより、粘性流体タンク82が塗膜形成プレート83に対して相対的に移動して粘性流体Lを掻き取りながらならしてもよい。  In the first embodiment, the viscous fluid tank 82 is fixed and the coating film forming plate 83 is moved, so that the viscous fluid tank 82 moves relative to the coating film forming plate 83 and the viscous fluid L Although an example in which scraping is performed is shown, the present invention is not limited to this. In the present invention, by fixing the coating film forming plate 83 and moving the viscous fluid tank 82, the viscous fluid tank 82 moves relative to the coating film forming plate 83 and scrapes the viscous fluid L. May be.

また、上記第1実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、たとえば、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型(イベントドリブン型)の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。  Moreover, in the said 1st Embodiment, although the process of the control part demonstrated using the flow drive type flow which processes a process in order along a process flow for convenience of explanation, for example, processing operation of a control part is referred to as an event. You may carry out by the event drive type (event driven type) process which performs a process in a unit. In this case, it may be performed by a complete event drive type or a combination of event drive and flow drive.

9 制御部
31 部品(転写対象物)
42 実装ヘッド
43 基板認識カメラ(撮像部)
43a 照明部
81、125 粘性流体供給部
82 粘性流体タンク(スキージ部)
83 塗膜形成プレート
100、200 基板作業装置
104 粘性流体認識カメラ(撮像部)
105 制御部
121 スキージ部
A 所定領域
B1 所定領域の撮像画像
B2 二値化画像
C1 粘性流体が存在する部分
C2 粘性流体が存在しない部分
F フィデューシャルマーク(基板認識マーク)
L 粘性流体
M マスク
P 基板(転写対象物)
Th 所定のしきい値
9 Control part 31 Parts (Transfer object)
42 Mounting head 43 Board recognition camera (imaging part)
43a Illumination unit 81, 125 Viscous fluid supply unit 82 Viscous fluid tank (squeegee unit)
83 Coating film forming plate 100, 200 Substrate working device 104 Viscous fluid recognition camera (imaging unit)
105 Control Unit 121 Squeegee Unit A Predetermined Area B1 Image Captured in Predetermined Area B2 Binary Image C1 Part Where Viscous Fluid Exists C2 Part No Viscous Fluid F F Fiducial Mark (Substrate Recognition Mark)
L Viscous fluid M Mask P Substrate (transfer object)
Th Predetermined threshold

Claims (10)

転写対象物に転写される粘性流体を掻き取りながらならすスキージ部と、
前記スキージ部により掻き取られて、塊状となった前記粘性流体が存在する部分と前記粘性流体が存在しない部分とを含む所定領域を撮像する撮像部と、
塊状となった前記粘性流体が形成されている間に前記撮像部により撮像された前記所定領域の撮像画像のうち前記粘性流体が存在する部分の大きさ、または前記粘性流体が存在しない部分の大きさの少なくとも一方に基づいて、前記粘性流体の残量を取得する制御部と、を備え、
前記スキージ部は、前記粘性流体を貯留可能な枠形状を有しており、
前記撮像部は、前記粘性流体が貯留される前記枠形状を有する前記スキージ部の内部において塊状となった前記粘性流体が存在する部分と前記粘性流体が存在しない部分とを含む前記スキージ部の内部の所定領域を上方から撮像するように構成されている、基板作業装置。
A squeegee section for smoothing the viscous fluid transferred to the transfer object;
An imaging unit that captures a predetermined region including a portion where the viscous fluid is scraped off by the squeegee unit and the viscous fluid is present and a portion where the viscous fluid is not present;
The size of the portion where the viscous fluid is present or the size of the portion where the viscous fluid is not present in the captured image of the predetermined area captured by the imaging unit while the viscous fluid in a lump is formed. A controller that acquires the remaining amount of the viscous fluid based on at least one of the above,
The squeegee portion has a frame shape capable of storing the viscous fluid,
The imaging unit includes an inner portion of the squeegee portion including a portion where the viscous fluid is agglomerated and a portion where the viscous fluid is not present inside the squeegee portion having the frame shape in which the viscous fluid is stored. A substrate working apparatus configured to take an image of the predetermined area from above.
前記制御部は、前記所定領域の撮像画像に基づいて、前記所定領域のうち前記粘性流体が存在する部分の面積または前記粘性流体が存在しない部分の面積の少なくとも一方を取得するととともに、取得された前記粘性流体が存在する部分の面積または前記粘性流体が存在しない部分の面積の少なくとも一方に基づいて、前記粘性流体の残量を取得するように構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。  The control unit acquires and acquires at least one of an area of the predetermined region where the viscous fluid exists or an area of the portion where the viscous fluid does not exist in the predetermined region based on the captured image of the predetermined region. The substrate operation according to claim 1, wherein the remaining amount of the viscous fluid is acquired based on at least one of an area of the portion where the viscous fluid exists or an area of the portion where the viscous fluid does not exist. apparatus. 前記制御部は、前記所定領域の撮像画像を二値化処理することにより、前記所定領域の二値化画像を取得するとともに、取得された前記二値化画像に基づいて、前記所定領域のうち前記粘性流体が存在する部分の面積または前記粘性流体が存在しない部分の面積の少なくとも一方を取得するように構成されている、請求項2に記載の基板作業装置。  The control unit obtains a binarized image of the predetermined area by performing binarization processing on the captured image of the predetermined area, and based on the acquired binarized image, The substrate working apparatus according to claim 2, wherein at least one of an area of a portion where the viscous fluid exists or an area of a portion where the viscous fluid does not exist is acquired. 前記粘性流体を供給する粘性流体供給部をさらに備え、
前記制御部は、取得された前記粘性流体の残量が所定のしきい値以下であると判断される場合には、前記粘性流体供給部から前記粘性流体を供給する制御を行うように構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
A viscous fluid supply unit for supplying the viscous fluid;
The control unit is configured to perform control to supply the viscous fluid from the viscous fluid supply unit when it is determined that the acquired remaining amount of the viscous fluid is equal to or less than a predetermined threshold value. The substrate working apparatus according to claim 1.
基板に対して部品を実装するとともに、前記スキージ部に対して相対的に移動可能な実装ヘッド、をさらに備え、
前記撮像部は、前記実装ヘッドと共に前記スキージ部に対して相対的に移動するように構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
A mounting head that mounts components on the board and is relatively movable with respect to the squeegee unit,
The substrate working apparatus according to claim 1, wherein the imaging unit is configured to move relative to the squeegee unit together with the mounting head.
前記撮像部は、前記基板を認識するための基板認識マークを撮像する基板認識用撮像部を含む、請求項5に記載の基板作業装置。  The substrate working apparatus according to claim 5, wherein the imaging unit includes a substrate recognition imaging unit that images a substrate recognition mark for recognizing the substrate. 前記転写対象物は、基板に実装される部品を含み、
前記部品に転写される前記粘性流体の塗膜が形成される塗膜形成プレートをさらに備え、
前記スキージ部は、前記塗膜形成プレートに対して相対的に移動して粘性流体を掻き取りながらならし、前記塗膜形成プレート上に、前記部品に転写される前記粘性流体の塗膜を形成するように構成されており、
前記撮像部は、前記塗膜形成プレートの上方から、前記塗膜形成プレート上で塊状となった前記粘性流体が存在する部分と、前記粘性流体が存在しない部分とを含む前記所定領域を撮像するように構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
The transfer object includes a component mounted on a substrate,
A coating film forming plate on which a coating film of the viscous fluid transferred to the component is formed;
The squeegee section moves relative to the coating film forming plate to scrape the viscous fluid, and forms a coating film of the viscous fluid transferred to the component on the coating film forming plate. Is configured to
The imaging unit images from the upper side of the coating film forming plate the predetermined area including a portion where the viscous fluid is agglomerated on the coating film forming plate and a portion where the viscous fluid is not present. The board | substrate working apparatus of Claim 1 comprised as follows.
前記転写対象物は、部品が実装される基板を含み、
前記基板に前記粘性流体を印刷により転写するための印刷パターンを有するマスクをさらに備え、
前記スキージ部は、前記マスク上を移動して粘性流体を掻き取りながらならし、前記印刷パターンを介して前記マスク上の前記粘性流体を前記基板に転写するように構成されており、
前記撮像部は、前記マスクの上方から、前記マスク上で塊状となった前記粘性流体が存在する部分と、前記粘性流体が存在しない部分とを含む前記所定領域を撮像するように構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
The transfer object includes a substrate on which a component is mounted,
A mask having a printed pattern for transferring the viscous fluid to the substrate by printing;
The squeegee unit is configured to move on the mask and scrape the viscous fluid, and to transfer the viscous fluid on the mask to the substrate via the printing pattern.
The imaging unit is configured to take an image of the predetermined region including a portion where the viscous fluid is formed in a lump on the mask and a portion where the viscous fluid is not present from above the mask. The substrate working apparatus according to claim 1.
前記所定領域に対して光を照射可能な照明部をさらに備え、
前記照明部は、前記粘性流体の種類に応じて、前記所定領域に照射する光の強度、前記所定領域に照射する光の角度、および前記所定領域に照射する光の波長の少なくともいずれかを変更可能に構成されている、請求項1に記載の基板作業装置。
An illumination unit capable of irradiating the predetermined area with light;
The illumination unit changes at least one of the intensity of light applied to the predetermined area, the angle of light applied to the predetermined area, and the wavelength of light applied to the predetermined area according to the type of the viscous fluid. The board | substrate working apparatus of Claim 1 comprised so that it was possible.
転写対象物に転写される粘性流体を、前記粘性流体を貯留可能な枠形状を有するスキージ部によって掻き取りながらならすステップと、
前記スキージ部により掻き取られて、前記粘性流体が貯留される前記枠形状を有する前記スキージ部の内部において塊状となった前記粘性流体が存在する部分と、前記粘性流体が存在しない部分とを含む前記スキージ部の内部の所定領域を、塊状となった前記粘性流体が形成されている間に撮像部により上方から撮像するステップと、
前記撮像部により撮像された前記所定領域の撮像画像のうち前記粘性流体が存在する部分の大きさ、または前記粘性流体が存在しない部分の大きさの少なくとも一方に基づいて、前記粘性流体の残量を制御部により取得するステップと、を備える、基板作業装置における粘性流体残量測定方法。
Scraping the viscous fluid transferred to the transfer object while scraping it with a squeegee portion having a frame shape capable of storing the viscous fluid;
A portion where the viscous fluid is agglomerated inside the squeegee portion having the frame shape in which the viscous fluid is stored by being scraped off by the squeegee portion; and a portion where the viscous fluid is not present Imaging a predetermined region inside the squeegee part from above while the viscous fluid in a lump is formed;
The remaining amount of the viscous fluid based on at least one of the size of the portion where the viscous fluid is present or the size of the portion where the viscous fluid is not present in the captured image of the predetermined area captured by the imaging unit A viscous fluid remaining amount measuring method in a substrate working apparatus, comprising:
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