JP2012000875A - Screen printing apparatus - Google Patents

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JP2012000875A JP2010138066A JP2010138066A JP2012000875A JP 2012000875 A JP2012000875 A JP 2012000875A JP 2010138066 A JP2010138066 A JP 2010138066A JP 2010138066 A JP2010138066 A JP 2010138066A JP 2012000875 A JP2012000875 A JP 2012000875A
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昭典 佐々木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printing apparatus which can measure a paste amount of resin-containing solvent paste of which viscosity is low and fluidity is high, and can respond to an optimized paste amount on a screen mask.SOLUTION: The screen printing apparatus 10 extracts the resin-containing solvent paste 15 supplied to a paste accumulating part 14 on a printed material 11 mounted below the screen mask 13 to print. The screen printing apparatus 10 includes a paste refilling unit 18 for refilling a quantitative value of the resin-containing solvent paste 15 in the paste accumulating part 14, a sensor 19 for measuring an amount of the resin-containing solvent paste 15 on the paste accumulating part 14, and a print continuing means 20 which alarms and stops the paste refilling unit 18 and a printer when it is determined that a measured value measured by the sensor 19 exceeds a previously set normal print limit value in comparison with the limit value, and continues printing after an operator checks and deals with the amount of the resin-containing solvent paste 15.

Description

本発明は、スクリーン印刷方式で印刷パターンを形成するのに用いられるスクリーン印刷装置に関し、より詳細には、例えば、半導体素子等の電子部品を収納するための電子部品収納用セラミックパッケージ等が多数個集合する多層構造の集合体基板を作製するために複数枚のセラミックグリーンシートのそれぞれに印刷パターンを形成するのに用いられるスクリーン印刷装置に関する。   The present invention relates to a screen printing apparatus used for forming a printing pattern by a screen printing method, and more specifically, for example, a large number of electronic component housing ceramic packages for housing electronic components such as semiconductor elements. The present invention relates to a screen printing apparatus used for forming a printing pattern on each of a plurality of ceramic green sheets in order to produce an aggregate substrate having a multilayer structure.

従来から電子部品収納用セラミックパッケージ等は、複数枚のそれぞれのセラミックグリーンシートにスクリーン印刷方式で、電気的に導通状態を形成するための導体ペーストを用いて導体配線パターン印刷や、スルーホール印刷等を行っている。そして、全てのセラミックグリーンシートは、重ね合わせて温度と圧力をかけて接合して積層体を形成し、これを焼成することで多層構造のパッケージ等に形成している。ここで、セラミックグリーンシート積層体は、通常、重ね合わせて接合する時の密着性をよくして層間からの剥がれを防止するためにセラミックグリーンシートの表面に樹脂入り溶剤ペーストをスプレー方式で吹き付けて塗布した後、重ね合わせて温度と圧力を掛けて接合して積層体を形成している。   Conventionally, ceramic packages for electronic component storage, etc. are printed on a plurality of ceramic green sheets by screen printing, using conductive paste to form an electrically conductive state, conductive wiring pattern printing, through-hole printing, etc. It is carried out. Then, all the ceramic green sheets are superposed and joined by applying temperature and pressure to form a laminated body, and this is fired to form a multilayer structure package or the like. Here, the ceramic green sheet laminate is usually sprayed with a resin paste on the surface of the ceramic green sheet by a spray method in order to improve adhesion when overlapping and joining and prevent peeling from the interlayer. After the application, the laminated body is formed by superimposing and joining by applying temperature and pressure.

しかしながら、セラミックグリーンシートは、樹脂入り溶剤ペーストを塗布することでそれぞれのセラミックグリーンシートの寸法が変化し、積層体の重ね合わせ精度が低下することとなっている。そこで、それぞれのセラミックグリーンシートは、外周部を金属製枠体に接合テープ等で貼り付けてセラミックグリーンシートの外周部を拘束させる、所謂、額縁方式を用いることで、温度や、溶剤等に対する拘束力を向上させている。この額縁方式のセラミックグリーンシートへの樹脂入り溶剤ペーストの塗布は、スプレー方式で吹き付けた場合には、金属枠を含めた全体に樹脂入り溶剤ペーストの溶剤が吹き付けられることとなり、溶剤によって上記の接合テープの接着強度が低下するので、セラミックグリーンシートの部分のみに樹脂入り溶剤ペーストが塗布できるスクリーン印刷方式で印刷して塗布する方法が用いられている。   However, when the ceramic green sheet is applied with a resin-containing solvent paste, the dimensions of each ceramic green sheet change, and the overlay accuracy of the laminate is reduced. Therefore, each ceramic green sheet is bound to the temperature, solvent, etc. by using a so-called frame method in which the outer periphery is bonded to a metal frame with a bonding tape or the like to restrain the outer periphery of the ceramic green sheet. Improve power. When the resin-containing solvent paste is applied to the frame-type ceramic green sheet by spraying, the solvent of the resin-containing solvent paste is sprayed on the entire surface including the metal frame. Since the adhesive strength of the tape is lowered, a method of printing by a screen printing method in which a resin paste containing a resin can be applied only to a ceramic green sheet portion is used.

スクリーン印刷方式のスクリーン印刷装置には、スクリーンマスク上にペーストを供給し、印刷が進むにつれて減少した分を適宜補充するペースト補充器を備えるものがある。しかし、ペーストの粘度が高粘度でスクリーンマスク上の流動性が低く、印刷毎の減少率が小さい導体ペーストのような場合には、スクリーンマスク上に大量のペースト供給が可能であるので、通常、ペースト補充器を用いないことが多い。逆に、ペーストの粘度が低粘度でスクリーンマスク上の流動性が高い樹脂入り溶剤ペーストのような場合には、スクリーンマスク上に大量のペースト供給が不可能であると共に、印刷パターン開口が大きく印刷毎の減少率が大きいので、ペースト補充器を用いて定量的にペーストを補充することが必要となっている。   Some screen printing apparatuses of the screen printing type include a paste replenisher that supplies paste onto a screen mask and appropriately replenishes the reduced amount as printing progresses. However, in the case of a conductive paste having a high paste viscosity, low fluidity on the screen mask, and a small reduction rate for each printing, a large amount of paste can be supplied on the screen mask. Often no paste refiller is used. Conversely, when the paste viscosity is low and the fluidity on the screen mask is high, it is impossible to supply a large amount of paste on the screen mask and the print pattern opening is large. Since the rate of decrease for each is large, it is necessary to replenish the paste quantitatively using a paste replenisher.

従来のスクリーン印刷装置には、スクリーンマスクを有するスクリーン印刷装置において、スクリーンマスク上のペースト不足エリアの面積をセンサで検出し、このペースト不足エリアの面積に基づきスクリーンマスク上にペーストを供給するペースト供給機構と、スクリーンマスク上に供給されたペーストをスクリーンマスク上に均一に塗布するスクレッパーと、スクリーンマスク上に塗布されたペーストをスクリーンマスクから絞り出してスクリーン印刷装置内に載置されたワークに印刷するスキージとを有するものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。   In the conventional screen printing apparatus, in the screen printing apparatus having a screen mask, the paste supply for detecting the area of the insufficient paste area on the screen mask with a sensor and supplying the paste on the screen mask based on the area of the insufficient paste area The mechanism, a scraper that uniformly applies the paste supplied on the screen mask onto the screen mask, and the paste applied on the screen mask is squeezed out of the screen mask and printed on the work placed in the screen printing apparatus. One having a squeegee has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

また、従来のスクリーン印刷装置には、スクリーンマスク上のある位置におけるインクあるいはペーストの有無を測定することによりインクあるいはペーストの量を判断する装置と、インクあるいはペーストの量があらかじめ設定された量よりも少なくなると、インクあるいはペーストの量を判断する装置からの信号を受けて、自動的に所定のインクあるいはペーストをスクリーンマスク上に追加供給する装置とを備えたものが提案されている(例えば、特許文献2参照)。   In addition, the conventional screen printing apparatus includes a device that determines the amount of ink or paste by measuring the presence or absence of ink or paste at a certain position on the screen mask, and the amount of ink or paste from a preset amount. If the amount of the ink or paste is reduced, a device having a device for automatically adding a predetermined ink or paste onto a screen mask in response to a signal from a device for determining the amount of ink or paste has been proposed (for example, Patent Document 2).

更に、従来のスクリーン印刷装置には、左スキージ及び右スキージとスクリーンマスクとのなす角度の間で、印刷中に回転しているペーストのスクリーンマスクからの高さを計測するペースト量計測検出手段をスキージホルダーに取り付け、ペースト量計測検出手段で計測した量が、印刷に最低限必要なペースト量付近までペーストが使用された時に、その事を警報、警告する警報警告制御部を備えるものが提案されている。また、各駆動部にペースト供給装置を取り付けて、印刷時に印刷ヘッド部と干渉しあわない待避位置の位置に待避させるものが提案されている(例えば、特許文献3参照)。   Further, the conventional screen printing apparatus includes paste amount measurement detecting means for measuring the height of the paste rotating during printing from the angle between the left squeegee and the right squeegee and the screen mask. It has been proposed to have an alarm / warning control unit that warns and warns when the paste is used up to the minimum amount of paste required for printing when the amount measured by the paste amount measurement detection means is attached to the squeegee holder. ing. In addition, a device has been proposed in which a paste supply device is attached to each drive unit so as to be retracted to a retracted position that does not interfere with the print head during printing (see, for example, Patent Document 3).

特開2001−315302号公報JP 2001-315302 A 特開昭60−126891号公報Japanese Patent Laid-Open No. 60-126871 特開平5−200975号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-200975

しかしながら、前述したような従来のスクリーン印刷装置は、次のような問題がある。
従来のスクリーン印刷装置は、所定印刷回数毎にペースト補充器で補充される樹脂入り溶剤ペースト量の設定が、予めオペレーターが補充時間や、補充圧力等の設定パラメーターを調整することで行っている。従って、オペレーターには、所定印刷回数の使用量に相当する補充量を正確に調整、設定することが求められるが、正確に調整、設定することが難しく、度々の再調整、再設定が必要となっている。そして、ペースト補充器からの補充量が少なくなっているのを見逃した場合には、印刷を繰り返すことで、スクリーンマスク上の樹脂入り溶剤ペーストが無くなって、印刷不良を発生させるという問題を抱えている。また、ペースト補充器からの補充量が多くなっているのを見逃した場合には、印刷を繰り返すことで、スクリーンマスク上の樹脂入り溶剤ペーストが溢れ、スクリーンマスクの外に樹脂入り溶剤ペーストが流れ出し被印刷物の品質に影響を与えるという問題を抱えている。この問題を解決するために、従来のスクリーン印刷装置では、所定印刷回数毎に印刷機から警報を発生させると共に、印刷を停止させ、このタイミングでオペレーターがスクリーンマスク上の樹脂入り溶剤ペーストの残量変化を確認して、ペースト補充器からの補充量の再調整を実施している。しかしながら、この方法においては、定期的に確認する前に、スクリーンマスク上の樹脂入り溶剤ペーストが無くなったり、逆に溢れたりすることがあるという問題がある。また、スクリーンマスク上の樹脂入り溶剤ペーストの残量変化を定期的に確認する周期を短縮することは、印刷機の運用上、作業効率が低下して現実的でないという問題がある。
However, the conventional screen printing apparatus as described above has the following problems.
In a conventional screen printing apparatus, the amount of solvent paste containing resin that is replenished by a paste replenisher every predetermined number of times of printing is set by an operator adjusting in advance setting parameters such as replenishment time and replenishment pressure. Therefore, the operator is required to accurately adjust and set the replenishment amount corresponding to the usage amount for the predetermined number of times of printing, but it is difficult to accurately adjust and set, and frequent readjustment and resetting are required. It has become. And if you miss that the replenishment amount from the paste replenisher has decreased, there is a problem that by repeating printing, the resin paste on the screen mask disappears, causing printing defects Yes. If you miss the amount of replenishment from the paste replenisher, repeat the printing to overflow the resin-containing solvent paste on the screen mask, and the resin-containing solvent paste flows out of the screen mask. It has the problem of affecting the quality of the substrate. In order to solve this problem, in the conventional screen printing apparatus, an alarm is generated from the printing machine every predetermined number of times of printing, and printing is stopped, and at this timing, the operator has the remaining amount of the solvent paste containing resin on the screen mask. After confirming the change, the replenishment amount from the paste refiller is readjusted. However, in this method, there is a problem that the solvent paste containing the resin on the screen mask may be lost or, on the contrary, may overflow before the periodic check. In addition, shortening the period for periodically checking the remaining amount of the resin-containing solvent paste on the screen mask has a problem that it is not practical because the working efficiency is lowered in the operation of the printing press.

また、特開2001−315302号公報や、特開昭60−126891号公報で開示されるようなスクリーン印刷装置は、ペースト不足エリアの面積をセンサで検出することや、ペーストの有無を測定することが、ペーストの粘度が高粘度でスクリーンマスク上の流動性が低く、印刷毎の減少率が小さいペーストの場合にスクリーンマスク上に大量のペースト供給ができ、そこに発生するペースト不足エリアを判断して、その面積をセンサで検出できる。しかしながら、ペースト不足エリアの面積をセンサで検出することや、ペーストの有無を測定することは、ペーストの粘度が低粘度でスクリーンマスク上の流動性が高い樹脂入り溶剤ペーストのような場合には、スクリーンマスク上に大量のペースト供給が不可能であり、そこに発生するペースト不足エリアや、ペーストの有無を判断できないので、ペースト不足エリアの面積をセンサで検出することができなくなっている。   In addition, the screen printing apparatus as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-315302 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-127891 detects the area of the paste shortage area with a sensor and measures the presence or absence of the paste. However, when the paste has a high viscosity, the flowability on the screen mask is low, and the rate of decrease for each printing is small, a large amount of paste can be supplied onto the screen mask, and the area where the paste is insufficient is determined. The area can be detected by a sensor. However, detecting the area of the paste shortage area with a sensor, or measuring the presence or absence of the paste, such as a resin-filled solvent paste with a low viscosity of the paste and high fluidity on the screen mask, It is impossible to supply a large amount of paste on the screen mask, and it is impossible to determine the area of the paste shortage area or the presence or absence of the paste.

更には、特開平5−200975号公報で開示されるようなスクリーン印刷装置は、スクリーンマスクとスキージとでなす角度の間で、印刷中に回転しているペーストの高さを検出することが、ペーストの粘度が高粘度でスクリーンマスク上の流動性が低く、印刷毎の減少率が小さいペーストの場合にスクリーンマスク上に大量のペースト供給ができ、そこで回転するペーストの高さを検出できる。しかしながら、スクリーンマスク上で回転するペーストの高さを検出することは、ペーストの粘度が低粘度でスクリーンマスク上の流動性が高い樹脂入り溶剤ペーストのような場合には、スクリーンマスク上に大量のペースト供給が不可能であり、そこに発生するペースト高さが低くて判断できないので、樹脂入り溶剤ペースト量を検出することができなくなっている。   Furthermore, the screen printing apparatus as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-200975 can detect the height of the rotating paste during printing between the angles formed by the screen mask and the squeegee, When the paste has a high viscosity, the flowability on the screen mask is low, and the rate of decrease in each printing is small, a large amount of paste can be supplied onto the screen mask, and the height of the rotating paste can be detected there. However, the detection of the height of the paste rotating on the screen mask means that the paste viscosity is low and the fluidity on the screen mask is high. Since the paste cannot be supplied and the height of the paste generated there cannot be determined because it is low, it is impossible to detect the amount of the resin-containing solvent paste.

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、スクリーンマスク上の粘度が低粘度で流動性が高い樹脂入り溶剤ペーストのペースト量を測定でき、スクリーンマスク上の最適化のペースト量に対処できるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and can measure the paste amount of a resin-containing solvent paste having a low viscosity on the screen mask and a high fluidity, resulting in an optimized paste amount on the screen mask. It is an object of the present invention to provide a screen printing apparatus that can cope with this.

前記目的に沿う本発明に係るスクリーン印刷装置は、中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物をスクリーンマスクの下方に載置させ、スクリーンマスク上の他方向外周部の樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度中央部を横断して一方向外周部に移動させ樹脂入り溶剤ペーストを印刷パターン開口を介して被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する樹脂入り溶剤ペーストの定量値を補充するペースト補充器と、スクリーンマスクの上方に設けられペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、センサで測定された樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定された正常印刷限界値と比較して測定値が正常印刷限界値を超えたと判定した場合に、警報を発すると共に、ペースト補充器及び印刷機を停止させ、ペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量をオペレーターが確認して対処し印刷を続行する印刷続行手段を有する。   The screen printing apparatus according to the present invention that meets the above-described object is provided with a scraper that crosses the central portion with a resin-containing solvent paste that is supplied to a paste reservoir in one outer peripheral portion on a screen mask in which a printing pattern opening is formed in the central portion. After moving to the outer peripheral part in the other direction, the substrate is placed under the screen mask, and the resin-containing solvent paste in the outer peripheral part in the other direction on the screen mask is crossed again in the central part with the squeegee, and the outer periphery in one direction. This is a screen printing device that moves to a part and extracts a resin-containing solvent paste onto a printing material through a printing pattern opening, and replenishes the paste reservoir with a fixed value of the resin-containing solvent paste that is adjusted by setting parameters. Measure the amount of solvent paste with resin on the paste reservoir provided above the paste refiller and screen mask. When the measured value of the solvent paste with resin measured by the sensor is compared with the normal printing limit value set in advance and the measured value is determined to exceed the normal printing limit value, an alarm is issued. The paste replenisher and the printing press are stopped, and an operator has a printing continuation means for confirming and dealing with the amount of solvent paste containing resin on the paste reservoir, and continuing printing.

また、前記目的に沿う本発明に係る他のスクリーン印刷装置は、中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物をスクリーンマスクの下方に載置させ、スクリーンマスク上の他方向外周部の樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度中央部を横断して一方向外周部に移動させ樹脂入り溶剤ペーストを印刷パターン開口を介して被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する樹脂入り溶剤ペーストの第1の定量値を補充するペースト補充器と、スクリーンマスクの上方に設けられペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、センサで測定された樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定された正常印刷限界値と比較して測定値が正常印刷限界値を超えたと判定した場合に、ペースト補充器から補充される樹脂入り溶剤ペーストの第1の定量値を予め設定された別の第2の定量値に変更させて補充させた後、再度元の第1の定量値に戻ってペースト補充器及び印刷機を停止させることなく印刷を続行する印刷続行手段を有する。   According to another aspect of the present invention, the screen printing apparatus according to the present invention uses a scraper to remove the resin-containing solvent paste supplied to the paste reservoir in the outer periphery in one direction on the screen mask in which the print pattern opening is formed in the center. After moving across the center to the outer periphery in the other direction, place the substrate under the screen mask and cross the center again with the squeegee of the solvent paste containing the resin on the outer periphery in the other direction on the screen mask. A screen printing apparatus that moves the resin paste in one direction and extracts the resin paste containing the resin on the substrate through the print pattern opening and prints it. A paste replenisher for replenishing the quantitative value of 1 and a solvent-containing solvent page on the paste reservoir provided above the screen mask. When the measured value of the resin-containing solvent paste amount measured with the sensor is compared with a preset normal printing limit value and it is determined that the measured value exceeds the normal printing limit value, The first quantitative value of the resin-containing solvent paste replenished from the paste replenisher is changed to another preset second quantitative value, and then replenished. Then, the paste returns to the original first quantitative value again. There is a printing continuation means for continuing printing without stopping the replenisher and the printing press.

更に、前記目的に沿う本発明に係る更に他のスクリーン印刷装置は、中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物をスクリーンマスクの下方に載置させ、スクリーンマスク上の他方向外周部の樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度中央部を横断して一方向外周部に移動させ樹脂入り溶剤ペーストを印刷パターン開口を介して被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する樹脂入り溶剤ペーストの定量値を補充するペースト補充器と、スクリーンマスクの上方に設けられペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、センサで測定された樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定されたペースト残量基準値と比較して測定値とペースト残量基準値の差分に所定係数を乗じた数値をペースト補充器の設定パラメーターの設定に反映させて毎回の樹脂入り溶剤ペーストの定量値を自動制御で変更させて印刷を続行する印刷続行手段を有する。   Furthermore, another screen printing apparatus according to the present invention that meets the above-mentioned object is a scraper for a resin-containing solvent paste supplied to a paste reservoir in one direction outer periphery on a screen mask in which a printing pattern opening is formed in the center. After moving to the outer peripheral part in the other direction across the central part, place the substrate under the screen mask and cross the central part again with the squeegee for the solvent paste containing resin on the outer peripheral part in the other direction on the screen mask. A screen printing device that moves the resin paste in one direction and extracts the resin paste containing the resin on the substrate through the printing pattern opening, and prints the resin paste containing the resin paste that is adjusted by the setting parameter in the paste reservoir. Paste replenisher for replenishing quantitative values, and resin-containing solvent pace above the paste reservoir provided above the screen mask It is equipped with a sensor that measures the amount, compares the measured value of the solvent paste with resin measured by the sensor with a preset paste remaining amount reference value, and multiplies the difference between the measured value and the paste remaining amount reference value by a predetermined coefficient. In this case, there is a printing continuation means for reflecting the numerical value in the setting parameter setting of the paste replenisher and changing the quantitative value of the resin paste with resin every time by automatic control to continue printing.

ここで、上記のそれぞれのスクリーン印刷装置は、センサで測定するペースト溜まり部に残された樹脂入り溶剤ペースト量の測定値がスクリーンマスクの印刷パターン開口幅両端の線上におけるそれぞれの樹脂入り溶剤ペーストの幅寸法であるのがよい。   Here, in each of the above screen printing apparatuses, the measured value of the amount of the resin-containing solvent paste remaining in the paste reservoir portion measured by the sensor indicates that the resin-containing solvent paste on the lines at both ends of the print pattern opening width of the screen mask. It should be a width dimension.

上記のスクリーン印刷装置は、中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物をスクリーンマスクの下方に載置させ、スクリーンマスク上の他方向外周部の樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度中央部を横断して一方向外周部に移動させ樹脂入り溶剤ペーストを印刷パターン開口を介して被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する樹脂入り溶剤ペーストの定量値を補充するペースト補充器と、スクリーンマスクの上方に設けられペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、センサで測定された樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定された正常印刷限界値と比較して測定値が正常印刷限界値を超えたと判定した場合に、警報を発すると共に、ペースト補充器及び印刷機を停止させ、ペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量をオペレーターが確認して対処し印刷を続行する印刷続行手段を有するので、スクリーンマスクの上方に設けられたセンサで、ペースト補充器から補充されて溜まっているペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定でき、この測定値を予め設定された正常印刷限界値と所定印刷回数に関係なく比較することによって、警報を発することができると共に、ペースト補充器及び印刷機を停止でき、オペレーターがペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を確認してペースト補充器から補充する樹脂入り溶剤ペーストの定量値を調整することで印刷を続行でき、印刷不良の発生を防止して、印刷品質の安定化を図ることできるスクリーン印刷装置を提供できる。   In the above screen printing apparatus, the resin-containing solvent paste supplied to the paste reservoir in the one-way outer periphery on the screen mask in which the print pattern opening is formed in the center is crossed by the scraper across the center and the outer periphery in the other direction. Then, the substrate is placed under the screen mask, and the resin-containing solvent paste on the outer periphery in the other direction on the screen mask is moved again to the outer periphery in one direction across the center with a squeegee. A screen printing apparatus for extracting and printing a solvent paste on a substrate through a printing pattern opening, and a paste replenisher for replenishing a quantitative value of a resin paste containing resin to be adjusted by setting parameters in a paste reservoir, and a screen The sensor is provided above the mask and measures the amount of solvent paste containing resin on the paste reservoir. When the measured value of the amount of solvent paste containing resin is compared with a preset normal printing limit value and it is determined that the measured value exceeds the normal printing limit value, an alarm is issued, and a paste replenisher and printing machine Since the operator has a print continuation means that checks the amount of solvent paste containing resin on the paste reservoir and takes measures to continue printing, it is replenished from the paste replenisher by the sensor provided above the screen mask. The amount of solvent-containing solvent paste on the accumulated paste reservoir can be measured, and by comparing this measured value with a preset normal printing limit value regardless of the predetermined number of printings, an alarm can be issued, The paste replenisher and printing machine can be stopped, and the operator can check the amount of solvent paste containing resin on the paste reservoir and replace the paste. Vessel can continue printing by adjusting a quantitative value of the resin-containing solvent paste replenished from, to prevent the occurrence of printing failure, it is possible to provide a screen printing apparatus which can be stabilized printing quality.

上記の他のスクリーン印刷装置は、中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物をスクリーンマスクの下方に載置させ、スクリーンマスク上の他方向外周部の樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度中央部を横断して一方向外周部に移動させ樹脂入り溶剤ペーストを印刷パターン開口を介して被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する樹脂入り溶剤ペーストの第1の定量値を補充するペースト補充器と、スクリーンマスクの上方に設けられペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、センサで測定された樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定された正常印刷限界値と比較して測定値が正常印刷限界値を超えたと判定した場合に、ペースト補充器から補充される樹脂入り溶剤ペーストの第1の定量値を予め設定された別の第2の定量値に変更させて補充させた後、再度元の第1の定量値に戻ってペースト補充器及び印刷機を停止させることなく印刷を続行する印刷続行手段を有するので、スクリーンマスクの上方に設けられたセンサで、ペースト補充器から補充されて溜まっているペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定でき、この測定値を予め設定された正常印刷限界値と比較して正常印刷限界値を超えた場合に、ペースト補充器から補充される樹脂入り溶剤ペーストを予め設定された別の定量値で補充させペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を安定化させた後、元の定量値に戻すことでペースト補充器及び印刷機を停止させることなく印刷を続行でき、長時間での印刷不良の発生を防止して、印刷品質の安定化を図ることができるスクリーン印刷装置を提供できる。   The other screen printing apparatus described above is configured so that the resin-containing solvent paste supplied to the paste reservoir in the outer periphery in one direction on the screen mask in which the print pattern opening is formed in the center is crossed by the scraper in the other direction. After moving to the outer periphery, the substrate is placed under the screen mask, and the resin-containing solvent paste on the outer periphery in the other direction on the screen mask is moved again across the center with the squeegee to the outer periphery in one direction. A screen printing apparatus for extracting and printing a resin-containing solvent paste on a substrate through a printing pattern opening, and replenishing a paste reservoir with a first quantitative value of a resin-containing solvent paste to be adjusted by setting parameters A replenisher and a sensor provided above the screen mask to measure the amount of resin paste in the resin on the paste reservoir Resin that is replenished from the paste replenisher when the measured value of the resin-containing solvent paste measured by the sensor is compared with a preset normal printing limit value and the measured value exceeds the normal printing limit value. After the first quantitative value of the solvent paste is changed to another preset second quantitative value and replenished, the original first quantitative value is restored and the paste replenisher and the printer are stopped. Since there is a printing continuation means that continues printing without any problems, the sensor provided above the screen mask can measure the amount of solvent paste containing resin on the paste reservoir that has been replenished from the paste replenisher. When the value exceeds the normal printing limit value compared with the preset normal printing limit value, the resin-filled solvent paste to be replenished from the paste replenisher with another preset quantitative value After refilling and stabilizing the amount of solvent paste containing resin on the paste reservoir, printing can be continued without stopping the paste replenisher and printing machine by returning to the original quantitative value. It is possible to provide a screen printing apparatus that can prevent the occurrence and stabilize the printing quality.

上記の更に他のスクリーン印刷装置は、中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物をスクリーンマスクの下方に載置させ、スクリーンマスク上の他方向外周部の樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度中央部を横断して一方向外周部に移動させ樹脂入り溶剤ペーストを印刷パターン開口を介して被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する樹脂入り溶剤ペーストの定量値を補充するペースト補充器と、スクリーンマスクの上方に設けられペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、センサで測定された樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定されたペースト残量基準値と比較して測定値とペースト残量基準値の差分に所定係数を乗じた数値をペースト補充器の設定パラメーターの設定に反映させて毎回の樹脂入り溶剤ペーストの定量値を自動制御で変更させて印刷を続行する印刷続行手段を有するので、スクリーンマスクの上方に設けられたセンサで、ペースト補充器から補充されて溜まっているペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト量を測定でき、この測定値を予め設定されたペースト残量基準値と所定印刷回数に関係なく比較し、予め設定されている計算式に基づき計算される数値にペースト補充器の設定パラメーターを自動制御して合わせ、人手を掛けずに樹脂入り溶剤ペーストの定量値を毎回変更させて補充することで印刷が続行でき、長時間での印刷不良の発生を防止して、印刷品質の安定化を図ることができるスクリーン印刷装置を提供できる。   Still another screen printing apparatus described above uses a scraper to cross the center with a resin-containing solvent paste supplied to a paste reservoir in one direction outer periphery on a screen mask in which a print pattern opening is formed in the center. After moving to the outer periphery in the direction, place the substrate under the screen mask, and move the resin paste in the outer periphery in the other direction on the screen mask again to the outer periphery in one direction across the center with a squeegee. Paste replenisher that replenishes a fixed value of resin-containing solvent paste that is adjusted by setting parameters in a paste reservoir, wherein the resin-containing solvent paste is extracted and printed on a substrate through a printing pattern opening. And a sensor that is provided above the screen mask and measures the amount of solvent paste containing resin on the paste reservoir. The measured value of the resin-containing solvent paste measured by the sensor is compared with the preset paste remaining amount reference value, and a value obtained by multiplying the difference between the measured value and the paste remaining amount reference value by a predetermined coefficient is set in the paste replenisher. Since it has a print continuation means that automatically changes the quantitative value of the solvent paste with resin to reflect the parameter settings and continues printing, it is replenished from the paste replenisher with the sensor provided above the screen mask. The amount of solvent-containing solvent paste on the accumulated paste reservoir can be measured, and this measured value is compared with a preset paste remaining amount reference value regardless of the predetermined number of printings. The paste replenisher setting parameters are automatically controlled to match the calculated values, and the quantitative value of the resin-containing solvent paste is changed each time without human intervention. Printing can continue by supplementing Te, to prevent the occurrence of printing failure with long, it can provide a screen printing apparatus capable of stabilizing the print quality.

特に、上記のそれぞれのスクリーン印刷装置は、センサで測定するペースト溜まり部に残された樹脂入り溶剤ペースト量の測定値がスクリーンマスクの印刷パターン開口幅両端の線上におけるそれぞれの樹脂入り溶剤ペーストの幅寸法であるので、ペースト溜まり部上の樹脂入り溶剤ペースト残量を樹脂入り溶剤ペーストの性状を生かして正確に測定し、適量な樹脂入り溶剤ペーストを補充ができ、被印刷物上に掠れや、滲み等の発生がない印刷ができるスクリーン印刷装置を提供できる。   In particular, in each of the above screen printing apparatuses, the measured value of the resin-containing solvent paste remaining in the paste reservoir portion measured by the sensor indicates the width of each resin-containing solvent paste on the line at both ends of the print pattern opening width of the screen mask. Because of the dimensions, the resin solvent paste remaining on the paste reservoir can be accurately measured by taking advantage of the properties of the resin solvent paste, and an appropriate amount of resin solvent paste can be replenished. It is possible to provide a screen printing apparatus that can perform printing without occurrence of the above.

(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係るスクリーン印刷装置、他のスクリーン印刷装置、及び更に他のスクリーン印刷装置の説明図である。(A), (B) is explanatory drawing of the screen printing apparatus which concerns on one embodiment of this invention, another screen printing apparatus, and another screen printing apparatus, respectively. 同スクリーン印刷装置の印刷続行手段の工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the process of the printing continuation means of the screen printing apparatus. 本発明の一実施の形態に係る他のスクリーン印刷装置の印刷続行手段の工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the process of the printing continuation means of the other screen printing apparatus which concerns on one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態に係る更に他のスクリーン印刷装置の印刷続行手段の工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the process of the printing continuation means of the further another screen printing apparatus which concerns on one embodiment of this invention.

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
図1(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係るスクリーン印刷装置10は、半導体素子等の電子部品を収納するための電子部品収納用セラミックパッケージ等が多数個集合する集合体基板を作製するためのセラミックグリーンシートのような被印刷物11に印刷パターンを形成するのに用いられている。このスクリーン印刷装置10では、中央部に印刷パターン開口12が形成されるスクリーンマスク13が用いられている。このスクリーンマスク13は、通常、金属製枠体にメッシュ状網を貼り付け、このメッシュ状膜にフォトリソ法で開口部がパターンとなるレジスト膜を形成することで作製されている。また、セラミックグリーンシートのような被印刷物11は、枠状金属板の開口部にセラミックグリーンシートを嵌め込んで、枠状金属板の開口部の内周部と、セラミックグリーンシートの外周部を接着テープ等で貼り合わせている。このスクリーン印刷装置10では、被印刷物11に印刷パターンを形成するために、先ず、スクリーンマスク13上の一方向外周部のペースト溜まり部14に供給される樹脂入り溶剤ペースト15をスクレッパー16で中央部を横断して他方向外周部に移動させている。これにより、樹脂入り溶剤ペースト15は、印刷パターン開口12上を含めたスクリーンマスク13上に薄く供給されながらスクリーンマスク13上の他方向外周部に移動させている。次に、スクリーン印刷装置10では、被印刷物11を載置させた印刷テーブルをスクリーンマスク13下方に隙間を設けて移動させて定置させている。そして、スクリーン印刷装置10では、スクリーンマスク13上の他方向外周部に供給された樹脂入り溶剤ペースト15をスキージ17でスクリーンマスク13を押圧しながら再度クリーンマスク13上の中央部を横断して元の一方向外周部に移動させ、樹脂入り溶剤ペースト15を印刷パターン開口12を介して被印刷物11上に抽出させて印刷するようになっている。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings to provide an understanding of the present invention.
As shown in FIGS. 1A and 1B, a screen printing apparatus 10 according to an embodiment of the present invention has a large number of ceramic packages for storing electronic components for storing electronic components such as semiconductor elements. It is used to form a printing pattern on a substrate 11 such as a ceramic green sheet for producing an aggregate substrate. In the screen printing apparatus 10, a screen mask 13 having a print pattern opening 12 formed at the center is used. The screen mask 13 is usually produced by attaching a mesh net to a metal frame and forming a resist film having a pattern of openings on the mesh film by photolithography. Further, the printed material 11 such as a ceramic green sheet is fitted with the ceramic green sheet in the opening of the frame-shaped metal plate, and the inner periphery of the opening of the frame-shaped metal plate is bonded to the outer periphery of the ceramic green sheet. Bonded with tape. In this screen printing apparatus 10, in order to form a printing pattern on the substrate 11, first, a resin-containing solvent paste 15 supplied to the paste reservoir 14 on the screen mask 13 in the one-way outer peripheral portion is centered by the scraper 16. Is moved to the outer periphery in the other direction. Thus, the resin-containing solvent paste 15 is moved to the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask 13 while being thinly supplied onto the screen mask 13 including the print pattern opening 12. Next, in the screen printing apparatus 10, the printing table on which the substrate 11 is placed is moved and placed below the screen mask 13 with a gap. In the screen printing apparatus 10, the resin-containing solvent paste 15 supplied to the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask 13 is again moved across the central portion on the clean mask 13 while pressing the screen mask 13 with the squeegee 17. The resin-containing solvent paste 15 is extracted onto the substrate 11 through the printing pattern openings 12 and printed.

上記のスクリーン印刷装置10に用いられるスクレッパー16と、スキージ17は、相対向させて設けられ、それぞれの上、下動が交互で反対に動くようになっている。すなわち、スクリーンマスク13上のペースト溜まり部14の樹脂入り溶剤ペースト15を一方向外周部から他方向外周部に移動させるときには、スクレッパー16が下降しており、スキージ17が上昇している。逆に、樹脂入り溶剤ペースト15を他方向外周部から一方向外周部に移動させて印刷を開始するときには、スクレッパー16が上昇しており、スキージ17が下降している。また、上記のスクリーン印刷装置10には、樹脂入り溶剤ペースト15の樹脂や、溶剤の含有量を、特に、限定するものが用いられるものではないが、例えば、2.5〜5%の接着樹脂と、残部が、例えば、ブタノール、ブチルセルソルブ、ブトキシエタノール、ターピネオール、テレピン油等の内の複数種の溶剤を含有する樹脂入り溶剤ペースト15を用いることができる。この樹脂入り溶剤ペースト15は、セラミックグリーンシートにスクリーン印刷方式で容易に樹脂入り溶剤ペースト15を印刷でき、セラミックグリーンシートを重ね合わせて接合する時の密着性をよくして層間からの剥がれを防止することができるセラミックグリーンシート積層体を形成することができる。   The scraper 16 and the squeegee 17 used in the screen printing apparatus 10 are provided so as to face each other, and the upward and downward movements of the scraper 16 and the squeegee 17 are alternately moved in opposite directions. That is, when the resin-containing solvent paste 15 in the paste reservoir 14 on the screen mask 13 is moved from the outer periphery in one direction to the outer periphery in the other direction, the scraper 16 is lowered and the squeegee 17 is raised. Conversely, when the resin-containing solvent paste 15 is moved from the outer peripheral portion in the other direction to the outer peripheral portion in one direction to start printing, the scraper 16 is raised and the squeegee 17 is lowered. Further, the screen printing apparatus 10 is not particularly limited to the resin paste 15 containing resin and the content of the solvent. For example, an adhesive resin of 2.5 to 5% is used. For example, a resin-containing solvent paste 15 containing a plurality of types of solvents such as butanol, butyl cellosolve, butoxyethanol, terpineol, and turpentine can be used as the balance. This resin-containing solvent paste 15 can be easily printed on a ceramic green sheet by a screen printing method, improves adhesion when the ceramic green sheets are stacked and joined, and prevents peeling from the interlayer. A ceramic green sheet laminate that can be formed can be formed.

上記のスクリーン印刷装置10は、ペースト溜まり部14に設定パラメーターで調整する樹脂入り溶剤ペースト15の定量値を補充するペースト補充器18を備えている。このペースト補充器18は、圧力タンクに収められた樹脂入り溶剤ペースト15をスクリーンマスク13の上方に設けられたノズルの先端からペースト溜まり部14に滴下している。また、スクリーン印刷装置10は、スクリーンマスク13の上方に設けられ、ペースト溜まり部14上の樹脂入り溶剤ペースト15量を測定するセンサ19を備えている。このセンサ19は、画像センサや、変位センサ等からなり、ペースト溜まり部14上の樹脂入り溶剤ペースト15残量の形状、例えば、幅、長さ、面積、高さ、体積等を測定し、残量を常時監視できるようになっている。なお、ペースト補充器18から補充される樹脂入り溶剤ペースト15の定量値は、1、又は複数回のスクリーン印刷毎に補充されるようになっている。   The screen printing apparatus 10 includes a paste replenisher 18 that replenishes the paste reservoir 14 with a fixed value of the resin-containing solvent paste 15 that is adjusted by setting parameters. The paste replenisher 18 drops a resin-containing solvent paste 15 contained in a pressure tank from the tip of a nozzle provided above the screen mask 13 to the paste reservoir 14. The screen printing apparatus 10 includes a sensor 19 that is provided above the screen mask 13 and measures the amount of the resin-containing solvent paste 15 on the paste reservoir 14. This sensor 19 is composed of an image sensor, a displacement sensor, etc., and measures the shape of the resin-containing solvent paste 15 remaining on the paste reservoir 14, such as width, length, area, height, volume, etc. The amount can be constantly monitored. The fixed value of the resin-containing solvent paste 15 replenished from the paste replenisher 18 is replenished every one or a plurality of screen printings.

そして、図2に示すように、スクリーン印刷装置10は、上記のペースト補充器18と、センサ19を備え、印刷を続行するための、後述する工程1から工程6までのような一連の印刷続行手段20を有している。この印刷続行手段20では、スクリーン印刷装置10の所定印刷回数、例えば、3回印刷毎にセンサ19で測定された樹脂入り溶剤ペースト15量の測定値を、予め設定された正常印刷限界値と比較している(工程1)。この印刷続行手段20では、スクリーン印刷装置10が上記の測定値を正常印刷限界値の上限値と、下限値の間にあると判定した場合には、印刷を継続している(工程2)。次に、印刷続行手段20では、樹脂入り溶剤ペースト15量の測定値に対して予め設定された正常印刷限界値との比較を繰り返す(工程3)なかで、測定値が正常印刷限界値の上限値、又は下限値を超えたと判定した場合(工程4)に、警報を発すると共に、ペースト補充器18と、印刷機の可動を停止させている(工程5)。そして、このスクリーン印刷装置10の印刷続行手段20では、オペレーターがペースト溜まり部14上の樹脂入り溶剤ペースト15の残量を確認し、樹脂入り溶剤ペースト15の滴下量をペースト補充器18の設定パラメーターで調整して対処して印刷を続行している(工程6)。   As shown in FIG. 2, the screen printing apparatus 10 includes the paste replenisher 18 and the sensor 19 described above, and continues a series of printing operations from Step 1 to Step 6 described later for continuing printing. Means 20 are provided. In this print continuation means 20, the measured value of the resin-containing solvent paste 15 amount measured by the sensor 19 every three printings, for example, every three printings of the screen printing apparatus 10 is compared with a preset normal printing limit value. (Step 1). When the screen printing apparatus 10 determines that the measured value is between the upper limit value and the lower limit value of the normal print limit value, the print continuation unit 20 continues printing (step 2). Next, the printing continuation means 20 repeats the comparison of the measured value of the resin-containing solvent paste 15 amount with the normal printing limit value set in advance (step 3), and the measured value is the upper limit of the normal printing limit value. When it is determined that the value or the lower limit is exceeded (step 4), an alarm is issued and the paste replenisher 18 and the printing press are stopped (step 5). In the printing continuation means 20 of the screen printing apparatus 10, the operator confirms the remaining amount of the resin-containing solvent paste 15 on the paste reservoir 14, and sets the amount of the resin-containing solvent paste 15 to be dropped by setting parameters of the paste replenisher 18. The printing is continued after adjusting and dealing with (Step 6).

本発明の一実施の形態に係る他のスクリーン印刷装置10aは、図1の示す、上記のスクリーン印刷装置10と同様に、セラミックグリーンシートのような被印刷物11に印刷パターンを形成するのに用いられている。このスクリーン印刷装置10aでは、上記のスクリーン印刷装置10の場合と同様に、中央部に印刷パターン開口12が形成されるスクリーンマスク13が用いられている。このスクリーンマスク13は、上記のスクリーン印刷装置10の場合と同様に、金属製枠体にメッシュ状網を貼り付け、このメッシュ状膜にフォトリソ法で開口部がパターンとなるレジスト膜を形成することで作製されている。また、セラミックグリーンシートのような被印刷物11は、上記のスクリーン印刷装置10の場合と同様に、枠状金属板の開口部にセラミックグリーンシートを嵌め込んで、枠状金属板の開口部の内周部と、セラミックグリーンシートの外周部を接着テープ等で貼り合わせている。そして、このスクリーン印刷装置10aでは、上記のスクリーン印刷装置10と同様に、被印刷物11に印刷パターンを形成するために、先ず、スクリーンマスク13上の一方向外周部のペースト溜まり部14に供給される樹脂入り溶剤ペースト15をスクレッパー16で中央部を横断して他方向外周部に移動させている。これにより、樹脂入り溶剤ペースト15は、印刷パターン開口12上を含めたスクリーンマスク13上に薄く供給されながらスクリーンマスク13上の他方向外周部に移動させている。次に、スクリーン印刷装置10aでは、上記のスクリーン印刷装置10と同様に、被印刷物11を載置させた印刷テーブルをスクリーンマスク13下方に隙間を設けて移動させて定置させている。そして、スクリーン印刷装置10aでは、上記のスクリーン印刷装置10と同様に、スクリーンマスク13上の他方向外周部に供給された樹脂入り溶剤ペースト15をスキージ17でスクリーンマスク13を押圧しながら再度クリーンマスク13上の中央部を横断して元の一方向外周部に移動させ、樹脂入り溶剤ペースト15を印刷パターン開口12を介して被印刷物11上に抽出させて印刷するようになっている。   Another screen printing apparatus 10a according to an embodiment of the present invention is used to form a printing pattern on a substrate 11 such as a ceramic green sheet, similar to the screen printing apparatus 10 shown in FIG. It has been. In the screen printing apparatus 10a, as in the case of the screen printing apparatus 10 described above, a screen mask 13 in which a printing pattern opening 12 is formed at the center is used. As in the case of the screen printing apparatus 10 described above, the screen mask 13 is formed by attaching a mesh net to a metal frame and forming a resist film having openings as a pattern on the mesh film by photolithography. It is made with. In addition, as in the case of the screen printing apparatus 10 described above, the substrate 11 such as a ceramic green sheet has a ceramic green sheet fitted into the opening of the frame-shaped metal plate, and the inside of the opening of the frame-shaped metal plate. The peripheral part and the outer peripheral part of the ceramic green sheet are bonded together with an adhesive tape or the like. In the screen printing apparatus 10 a, as in the case of the screen printing apparatus 10 described above, first, in order to form a print pattern on the printing material 11, the screen printing apparatus 10 a is first supplied to the paste reservoir 14 at the outer periphery in one direction on the screen mask 13. The resin-containing solvent paste 15 is moved by the scraper 16 across the central portion to the outer peripheral portion in the other direction. Thus, the resin-containing solvent paste 15 is moved to the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask 13 while being thinly supplied onto the screen mask 13 including the print pattern opening 12. Next, in the screen printing apparatus 10a, as in the screen printing apparatus 10 described above, the printing table on which the printing material 11 is placed is moved and placed below the screen mask 13 with a gap. In the screen printing apparatus 10 a, as in the screen printing apparatus 10, the resin-containing solvent paste 15 supplied to the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask 13 is again clean masked while pressing the screen mask 13 with the squeegee 17. 13 is moved to the outer peripheral part in one original direction across the central part, and the resin-containing solvent paste 15 is extracted and printed on the substrate 11 through the printing pattern openings 12.

また、スクリーン印刷装置10aは、スクリーン印刷装置10と同様の樹脂入り溶剤ペースト15や、スクレッパー16や、スキージ17等が用いられている。そして、スクリーン印刷装置10aは、スクリーン印刷装置10と同様に、セラミックグリーンシートに容易に樹脂入り溶剤ペースト15を印刷でき、セラミックグリーンシートを重ね合わせて接合する時の密着性をよくして層間からの剥がれを防止することができるセラミックグリーンシート積層体を形成することができるようになっている。   Further, the screen printing apparatus 10a uses a resin-containing solvent paste 15, a scraper 16, a squeegee 17, and the like similar to the screen printing apparatus 10. The screen printing apparatus 10a can easily print the resin paste 15 on the ceramic green sheet, like the screen printing apparatus 10, and improves the adhesion when the ceramic green sheets are overlapped and joined together. Thus, it is possible to form a ceramic green sheet laminate capable of preventing the peeling of the ceramic.

上記のスクリーン印刷装置10aは、スクリーン印刷装置10と同様に、ペースト溜まり部14に予め設定パラメーターで調整して設定できる樹脂入り溶剤ペースト15の第1、第2の定量値を補充するペースト補充器18を備えている。また、スクリーン印刷装置10aは、スクリーン印刷装置10と同様にスクリーンマスク13の上方に設けられ、ペースト溜まり部14上の樹脂入り溶剤ペースト15量を測定するセンサ19を備えている。   Similar to the screen printing apparatus 10, the screen printing apparatus 10 a described above is a paste replenisher that replenishes the first and second quantitative values of the resin-containing solvent paste 15 that can be adjusted and set in advance in the paste reservoir portion 14 with setting parameters. 18 is provided. Similarly to the screen printing apparatus 10, the screen printing apparatus 10 a includes a sensor 19 that is provided above the screen mask 13 and measures the amount of the resin-containing solvent paste 15 on the paste reservoir 14.

そして、図3に示すように、スクリーン印刷装置10aは、上記のペースト補充器18と、センサ19を備え、印刷を続行するための、後述する工程1から工程5までのような一連の印刷続行手段20aを有している。この印刷続行手段20aでは、スクリーン印刷装置10aの所定印刷回数、例えば、3回印刷毎にセンサ19で測定された樹脂入り溶剤ペースト15量の測定値を、予め設定された正常印刷限界値と比較している(工程1)。この印刷続行手段20aでは、センサ19で測定された樹脂入り溶剤ペースト15量の測定値が正常印刷限界値の上限値と、下限値の間にあると判定した場合には、樹脂入り溶剤ペースト15の第1の定量値の基で印刷を継続している(工程2)。次に、印刷続行手段20aでは、樹脂入り溶剤ペースト15量の測定値に対して予め設定された正常印刷限界値との比較を繰り返えしている(工程3)。そして、この印刷続行手段20aでは、この繰り返しのなかで、測定値が正常印刷限界値の上限値、又は下限値を超えたと判定した場合に、ペースト補充器18から補充される樹脂入り溶剤ペースト15の第1の定量値を、予め設定された別の第2の定量値に変更させている(工程4)。次に、印刷続行手段20aでは、第2の定量値に変更させて予め設定された1回、又は数回補充させた後、再度元の第1の定量値に戻ってペースト補充器18及び印刷機を停止させることなく印刷を続行している(工程5)。なお、上記の印刷続行手段20aでは、例えば、最初の第1の定量値で印刷を続け、そのときの正常印刷限界値を通常時の50%程度に設定しておき、この正常印刷限界値を超えたときの1回、又は数回を第1の定量値を2倍とする別の第2の定量値で運用し、再度元の第1の定量値に戻すというようにして印刷を続行することができる。   As shown in FIG. 3, the screen printing apparatus 10 a includes the paste replenisher 18 and the sensor 19, and continues a series of printing operations from Step 1 to Step 5 described later for continuing printing. Means 20a are provided. In the print continuation means 20a, the measured value of the resin-containing solvent paste 15 amount measured by the sensor 19 every time the printing is performed by the screen printing apparatus 10a, for example, every third printing, is compared with a preset normal printing limit value. (Step 1). In this printing continuation means 20a, when it is determined that the measured value of the resin-containing solvent paste 15 measured by the sensor 19 is between the upper limit value and the lower limit value of the normal printing limit value, the resin-containing solvent paste 15 The printing is continued based on the first quantitative value (step 2). Next, the printing continuation unit 20a repeats comparison of the measured value of the resin-containing solvent paste 15 amount with a preset normal printing limit value (step 3). In this print continuation means 20a, the resin-containing solvent paste 15 that is replenished from the paste replenisher 18 when it is determined that the measured value exceeds the upper limit value or the lower limit value of the normal printing limit value during this repetition. The first quantitative value is changed to another preset second quantitative value (step 4). Next, in the printing continuation means 20a, after changing to the second quantitative value and replenishing it once or several times, it is returned to the original first quantitative value again to return to the paste replenisher 18 and printing. Printing continues without stopping the machine (step 5). In the print continuation means 20a, for example, printing is continued with the first first quantitative value, the normal print limit value at that time is set to about 50% of the normal time, and this normal print limit value is set. When it exceeds, use once or several times with another second quantitative value that doubles the first quantitative value, and continue printing in such a way that it returns to the original first quantitative value again. be able to.

本発明の一実施の形態に係る更に他のスクリーン印刷装置10bは、図1の示す、上記のスクリーン印刷装置10、他のスクリーン印刷装置10aと同様に、セラミックグリーンシートのような被印刷物11に印刷パターンを形成するのに用いられている。このスクリーン印刷装置10bでは、上記のスクリーン印刷装置10、10aの場合と同様に、中央部に印刷パターン開口12が形成されるスクリーンマスク13が用いられている。このスクリーンマスク13は、上記のスクリーン印刷装置10、10aの場合と同様に、金属製枠体にメッシュ状網を貼り付け、このメッシュ状膜にフォトリソ法で開口部がパターンとなるレジスト膜を形成することで作製されている。また、セラミックグリーンシートのような被印刷物11は、上記のスクリーン印刷装置10、10aの場合と同様に、枠状金属板の開口部にセラミックグリーンシートを嵌め込んで、枠状金属板の開口部の内周部と、セラミックグリーンシートの外周部を接着テープ等で貼り合わせている。そして、このスクリーン印刷装置10bでは、上記のスクリーン印刷装置10、10aと同様に、被印刷物11に印刷パターンを形成するために、先ず、スクリーンマスク13上の一方向外周部のペースト溜まり部14に供給される樹脂入り溶剤ペースト15をスクレッパー16で中央部を横断して他方向外周部に移動させている。これにより、樹脂入り溶剤ペースト15は、印刷パターン開口12上を含めたスクリーンマスク13上に薄く供給されながらスクリーンマスク13上の他方向外周部に移動させている。次に、スクリーン印刷装置10bでは、上記のスクリーン印刷装置10、10aと同様に、被印刷物11を載置させた印刷テーブルをスクリーンマスク13下方に隙間を設けて移動させて定置させている。そして、スクリーン印刷装置10bでは、上記のスクリーン印刷装置10、10aと同様に、スクリーンマスク13上の他方向外周部に供給された樹脂入り溶剤ペースト15をスキージ17でスクリーンマスク13を押圧しながら再度クリーンマスク13上の中央部を横断して元の一方向外周部に移動させ、樹脂入り溶剤ペースト15を印刷パターン開口12を介して被印刷物11上に抽出させて印刷するようになっている。   Still another screen printing apparatus 10b according to an embodiment of the present invention is similar to the screen printing apparatus 10 and other screen printing apparatus 10a shown in FIG. Used to form printed patterns. In the screen printing apparatus 10b, as in the case of the screen printing apparatuses 10 and 10a described above, a screen mask 13 in which a printing pattern opening 12 is formed at the center is used. As in the case of the screen printing apparatuses 10 and 10a, the screen mask 13 is formed by attaching a mesh net to a metal frame and forming a resist film having a pattern of openings on the mesh film by photolithography. It is made by doing. Further, the substrate 11 such as a ceramic green sheet is fitted with a ceramic green sheet in the opening of the frame-shaped metal plate, as in the case of the screen printing apparatuses 10 and 10a, and the opening of the frame-shaped metal plate. The inner peripheral part of the ceramic and the outer peripheral part of the ceramic green sheet are bonded together with an adhesive tape or the like. In this screen printing apparatus 10b, as in the case of the screen printing apparatuses 10 and 10a, first, in order to form a printing pattern on the substrate 11, a paste reservoir 14 on the outer peripheral portion in one direction on the screen mask 13 is formed. The supplied resin-containing solvent paste 15 is moved by the scraper 16 across the central portion to the outer peripheral portion in the other direction. Thus, the resin-containing solvent paste 15 is moved to the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask 13 while being thinly supplied onto the screen mask 13 including the print pattern opening 12. Next, in the screen printing apparatus 10b, similarly to the screen printing apparatuses 10 and 10a described above, the printing table on which the printing material 11 is placed is moved and placed below the screen mask 13 with a gap. In the screen printing apparatus 10b, the resin-containing solvent paste 15 supplied to the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask 13 is pressed again with the squeegee 17 while pressing the screen mask 13 in the same manner as the screen printing apparatuses 10 and 10a. The resin-containing solvent paste 15 is extracted through the printing pattern opening 12 and printed on the substrate 11 by moving across the central portion on the clean mask 13 to the original outer peripheral portion in one direction.

また、スクリーン印刷装置10bは、スクリーン印刷装置10、他のスクリーン印刷装置10aと同様の樹脂入り溶剤ペースト15や、スクレッパー16や、スキージ17等が用いられている。そして、スクリーン印刷装置10bは、スクリーン印刷装置10、10aと同様に、セラミックグリーンシートに容易に樹脂入り溶剤ペースト15を印刷でき、セラミックグリーンシートを重ね合わせて接合する時の密着性をよくして層間からの剥がれを防止することができるセラミックグリーンシート積層体を形成することができるようになっている。   Further, the screen printing apparatus 10b uses the resin-containing solvent paste 15, the scraper 16, the squeegee 17, and the like similar to the screen printing apparatus 10 and the other screen printing apparatuses 10a. Then, the screen printing apparatus 10b can easily print the resin paste 15 on the ceramic green sheet, like the screen printing apparatuses 10 and 10a, and improve the adhesion when the ceramic green sheets are joined together. A ceramic green sheet laminate capable of preventing peeling from the layers can be formed.

上記のスクリーン印刷装置10bは、スクリーン印刷装置10、他のスクリーン印刷装置10aと同様に、ペースト溜まり部14に設定パラメーターで調整する樹脂入り溶剤ペースト15の定量値を補充するペースト補充器18を備えている。また、スクリーン印刷装置10bは、スクリーン印刷装置10、10aと同様にスクリーンマスク13の上方に設けられ、ペースト溜まり部14上の樹脂入り溶剤ペースト15量を測定するセンサ19を備えている。   Similar to the screen printing apparatus 10 and other screen printing apparatuses 10a, the screen printing apparatus 10b includes a paste replenisher 18 that replenishes the paste reservoir 14 with a fixed value of the resin paste 15 containing resin adjusted by setting parameters. ing. Further, the screen printing apparatus 10b includes a sensor 19 that is provided above the screen mask 13 and measures the amount of the resin-containing solvent paste 15 on the paste reservoir 14 similarly to the screen printing apparatuses 10 and 10a.

そして、図4に示すように、スクリーン印刷装置10bは、上記のペースト補充器18と、センサ19を備え、印刷を続行するための、後述する工程1から工程3までのような一連の印刷続行手段20bを有している。この印刷続行手段20bでは、スクリーン印刷装置10bの印刷毎にセンサ19で測定された樹脂入り溶剤ペースト15量の測定値を、予め設定されたペースト残量基準値と比較している(工程1)。そして、この印刷続行手段20bでは、測定値とペースト残量基準値の差分に所定係数を乗じた数値を算出している(工程2)。更に、印刷続行手段20bでは、この数値をペースト補充器18の設定パラメーターの設定に反映させて次の印刷時の樹脂入り溶剤ペースト15の定量値とするのを自動制御で毎回繰り返えして変更させて印刷を続行している(工程3)。   As shown in FIG. 4, the screen printing apparatus 10 b includes the paste replenisher 18 and the sensor 19, and continues a series of printing operations from Step 1 to Step 3 described below for continuing printing. Means 20b are provided. In this print continuation means 20b, the measured value of the resin-containing solvent paste 15 amount measured by the sensor 19 every time the screen printing apparatus 10b is printed is compared with a preset paste remaining amount reference value (step 1). . The print continuation unit 20b calculates a numerical value obtained by multiplying the difference between the measured value and the paste remaining amount reference value by a predetermined coefficient (step 2). Further, in the printing continuation means 20b, this numerical value is reflected in the setting parameter setting of the paste replenisher 18 to obtain the quantitative value of the resin-containing solvent paste 15 at the next printing each time by automatic control. Printing is continued with the change (step 3).

上記のスクリーン印刷装置10、他のスクリーン印刷装置10a、更に他のスクリーン印刷装置10bにおいては、センサ19で測定するペースト溜まり部14に残された樹脂入り溶剤ペースト15量の測定値がスクリーンマスク13の印刷パターン開口12幅両端の線上におけるそれぞれの樹脂入り溶剤ペースト15の幅寸法であるのがよい。なお、スクリーン印刷装置10、他のスクリーン印刷装置10aの正常と判断されるペースト溜まり部14に残された樹脂入り溶剤ペースト15量の測定値は、上記の幅寸法の両方が正常印刷限界値の上、下限値を含める間にあることが必要となっている。   In the screen printing device 10, the other screen printing device 10 a, and the other screen printing device 10 b, the measured value of the amount of the resin-containing solvent paste 15 remaining in the paste reservoir 14 measured by the sensor 19 is the screen mask 13. The width dimension of each of the resin-containing solvent pastes 15 on the line at both ends of the print pattern opening 12 is good. Note that the measured value of the amount of the resin-containing solvent paste 15 left in the paste reservoir 14 determined to be normal of the screen printing apparatus 10 and the other screen printing apparatus 10a is that both of the above width dimensions are normal printing limit values. It is necessary to be between the upper and lower limits.

本発明のスクリーン印刷装置は、セラミックグリーンシートの積層体を形成するためや、樹脂糊等を全面に塗布させるて用いる壁紙を形成するための樹脂入り溶剤ペーストをスクリーン印刷する装置として好適に用いることができる。   The screen printing apparatus of the present invention is preferably used as an apparatus for screen printing a resin-containing solvent paste for forming a laminate of ceramic green sheets or for forming a wallpaper used by applying resin glue or the like over the entire surface. Can do.

10、10a、10b:スクリーン印刷装置、11:被印刷物、12:印刷パターン開口、13:スクリーンマスク、14:ペースト溜まり部、15:樹脂入り溶剤ペースト、16:スクレッパー、17:スキージ、18:ペースト補充器、19:センサ、20、20a、20b:印刷続行手段   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 10a, 10b: Screen printing apparatus, 11: To-be-printed object, 12: Print pattern opening, 13: Screen mask, 14: Paste accumulation part, 15: Resin containing solvent paste, 16: Scraper, 17: Squeegee, 18: Paste Replenisher, 19: sensor, 20, 20a, 20b: printing continuation means

Claims (4)

中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで前記中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物を前記スクリーンマスクの下方に載置させ、前記スクリーンマスク上の前記他方向外周部の前記樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度前記中央部を横断して前記一方向外周部に移動させ前記樹脂入り溶剤ペーストを前記印刷パターン開口を介して前記被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する前記樹脂入り溶剤ペーストの定量値を補充するペースト補充器と、前記スクリーンマスクの上方に設けられ前記ペースト溜まり部上の前記樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、該センサで測定された前記樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定された正常印刷限界値と比較して前記測定値が前記正常印刷限界値を超えたと判定した場合に、警報を発すると共に、前記ペースト補充器及び印刷機を停止させ、前記ペースト溜まり部上の前記樹脂入り溶剤ペースト量をオペレーターが確認して対処し印刷を続行する印刷続行手段を有することを特徴とするスクリーン印刷装置。
After moving the resin-containing solvent paste supplied to the paste reservoir in one direction outer periphery on the screen mask in which the printing pattern opening is formed in the center, across the center with a scraper to the other direction outer periphery, A substrate to be printed is placed under the screen mask, and the resin-containing solvent paste on the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask is moved again across the central portion with a squeegee to the outer peripheral portion in one direction. A screen printing apparatus for extracting and printing a solvent paste containing the paste on the substrate through the printing pattern opening,
A paste replenisher for replenishing a quantitative value of the resin-containing solvent paste to be adjusted to the paste reservoir by setting parameters, and a sensor for measuring the amount of the resin-containing solvent paste on the paste reservoir provided above the screen mask When the measured value of the resin-containing solvent paste measured by the sensor is compared with a preset normal printing limit value and it is determined that the measured value exceeds the normal printing limit value, an alarm is provided. And printing continuation means for stopping printing, and stopping the paste replenisher and the printing machine, and an operator confirms and copes with the amount of the solvent paste containing resin on the paste reservoir, and continues printing. apparatus.
中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで前記中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物を前記スクリーンマスクの下方に載置させ、前記スクリーンマスク上の前記他方向外周部の前記樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度前記中央部を横断して前記一方向外周部に移動させ前記樹脂入り溶剤ペーストを前記印刷パターン開口を介して前記被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する前記樹脂入り溶剤ペーストの第1の定量値を補充するペースト補充器と、前記スクリーンマスクの上方に設けられ前記ペースト溜まり部上の前記樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、該センサで測定された前記樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定された正常印刷限界値と比較して前記測定値が前記正常印刷限界値を超えたと判定した場合に、前記ペースト補充器から補充される前記樹脂入り溶剤ペーストの前記第1の定量値を予め設定された別の第2の定量値に変更させて補充させた後、再度元の前記第1の定量値に戻って前記ペースト補充器及び印刷機を停止させることなく印刷を続行する印刷続行手段を有することを特徴とするスクリーン印刷装置。
After moving the resin-containing solvent paste supplied to the paste reservoir in one direction outer periphery on the screen mask in which the printing pattern opening is formed in the center, across the center with a scraper to the other direction outer periphery, A substrate to be printed is placed under the screen mask, and the resin-containing solvent paste on the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask is moved again across the central portion with a squeegee to the outer peripheral portion in one direction. A screen printing apparatus for extracting and printing a solvent paste containing the paste on the substrate through the printing pattern opening,
A paste replenisher for replenishing a first quantitative value of the resin-containing solvent paste to be adjusted to the paste reservoir with a setting parameter; and an amount of the resin-containing solvent paste on the paste reservoir provided above the screen mask. A sensor for measuring, and when the measured value of the resin-containing solvent paste measured by the sensor is compared with a preset normal printing limit value and it is determined that the measured value exceeds the normal printing limit value The first quantitative value of the resin-containing solvent paste to be replenished from the paste replenisher is changed to another preset second quantitative value and replenished, and then the original first quantitative value is again obtained. A screen printing apparatus comprising: a printing continuation unit that returns to the value and continues printing without stopping the paste replenisher and the printing press.
中央部に印刷パターン開口が形成されるスクリーンマスク上の一方向外周部のペースト溜まり部に供給される樹脂入り溶剤ペーストをスクレッパーで前記中央部を横断して他方向外周部に移動させた後、被印刷物を前記スクリーンマスクの下方に載置させ、前記スクリーンマスク上の前記他方向外周部の前記樹脂入り溶剤ペーストをスキージで再度前記中央部を横断して前記一方向外周部に移動させ前記樹脂入り溶剤ペーストを前記印刷パターン開口を介して前記被印刷物上に抽出させて印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記ペースト溜まり部に設定パラメーターで調整する前記樹脂入り溶剤ペーストの定量値を補充するペースト補充器と、前記スクリーンマスクの上方に設けられ前記ペースト溜まり部上の前記樹脂入り溶剤ペースト量を測定するセンサを備え、該センサで測定された前記樹脂入り溶剤ペースト量の測定値を予め設定されたペースト残量基準値と比較して前記測定値と前記ペースト残量基準値の差分に所定係数を乗じた数値を前記ペースト補充器の前記設定パラメーターの設定に反映させて毎回の前記樹脂入り溶剤ペーストの前記定量値を自動制御で変更させて印刷を続行する印刷続行手段を有することを特徴とするスクリーン印刷装置。
After moving the resin-containing solvent paste supplied to the paste reservoir in one direction outer periphery on the screen mask in which the printing pattern opening is formed in the center, across the center with a scraper to the other direction outer periphery, A substrate to be printed is placed under the screen mask, and the resin-containing solvent paste on the outer peripheral portion in the other direction on the screen mask is moved again across the central portion with a squeegee to the outer peripheral portion in one direction. A screen printing apparatus for extracting and printing a solvent paste containing the paste on the substrate through the printing pattern opening,
A paste replenisher for replenishing a quantitative value of the resin-containing solvent paste to be adjusted to the paste reservoir by setting parameters, and a sensor for measuring the amount of the resin-containing solvent paste on the paste reservoir provided above the screen mask The measured value of the resin-containing solvent paste amount measured by the sensor is compared with a preset paste remaining amount reference value, and a difference between the measured value and the paste remaining amount reference value is multiplied by a predetermined coefficient. A screen mark characterized by having a printing continuation means for reflecting the numerical value in the setting parameter setting of the paste replenisher and changing the quantitative value of the resin paste with resin every time by automatic control to continue printing. Printing device.
請求項1〜3のいずれか一項記載のスクリーン印刷装置において、前記センサで測定する前記ペースト溜まり部に残された前記樹脂入り溶剤ペースト量の前記測定値が前記スクリーンマスクの前記印刷パターン開口幅両端の線上におけるそれぞれの前記樹脂入り溶剤ペーストの幅寸法であることを特徴とするスクリーン印刷装置。   4. The screen printing apparatus according to claim 1, wherein the measured value of the amount of the resin-containing solvent paste remaining in the paste reservoir measured by the sensor is the print pattern opening width of the screen mask. 5. A screen printing apparatus having a width dimension of each of the resin-containing solvent pastes on the lines at both ends.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016185545A1 (en) * 2015-05-18 2016-11-24 ヤマハ発動機株式会社 Substrate work device and method for measuring remaining amount of viscous fluid in substrate work device

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016185545A1 (en) * 2015-05-18 2016-11-24 ヤマハ発動機株式会社 Substrate work device and method for measuring remaining amount of viscous fluid in substrate work device
TWI595815B (en) * 2015-05-18 2017-08-11 Yamaha Motor Co Ltd Substrate working device and viscous fluid residue in substrate working device
KR20170119327A (en) * 2015-05-18 2017-10-26 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 METHOD FOR MEASURING RESISTANCE OF VISUAL FLUID IN BOARD WORKING APPARATUS
JPWO2016185545A1 (en) * 2015-05-18 2017-11-02 ヤマハ発動機株式会社 Substrate working device and method for measuring residual amount of viscous fluid in substrate working device
CN107535055A (en) * 2015-05-18 2018-01-02 雅马哈发动机株式会社 Viscous fluid residue quantity measuring method in base board operation device and base board operation device
KR101986096B1 (en) 2015-05-18 2019-06-05 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 METHOD FOR MEASURING RESISTANCE OF VISUAL FLUID IN BOARD WORKING APPARATUS
CN107535055B (en) * 2015-05-18 2020-02-21 雅马哈发动机株式会社 Substrate working apparatus and method for measuring residual amount of viscous fluid in substrate working apparatus

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