JP6367515B1 - 蛍光体素子および照明装置 - Google Patents
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Abstract
Description
支持基板、
励起光を光導波路伝搬し、蛍光を発生する蛍光体からなる光導波路であって、前記光導波路が、前記励起光および前記蛍光を出射する出射側端面、前記出射側端面と反対側の対向端面、底面、この底面に対向する上面、および一対の側面を有している光導波路、
前記光導波路の前記底面を被覆する底面側クラッド層、
前記光導波路の前記上面を被覆する上面側クラッド層、
前記光導波路の一対の前記側面をそれぞれ被覆する側面側クラッド層、
前記上面側クラッド層を被覆する上面側反射膜、
前記側面側クラッド層をそれぞれ被覆する側面側反射膜、および
前記支持基板と前記底面側クラッド層との間に設けられている底面側反射膜を備えていることを特徴とする。
前記光導波路から白色光が放射することを特徴とする、照明装置に係るものである。
蛍光体素子1の支持基板2には突起8が複数設けられており、突起8の間に溝9が設けられている。そして、突起8上には、底面側反射膜4A、接合層3、底面側クラッド層5A、光学材料からなる光導波路6が設けられている。
蛍光体は励起光から蛍光に変換するときに変換損失に伴う発熱が起こり、この発熱により蛍光体自身の温度が上昇すると、変換効率の低下に至り、励起光量と蛍光量のバランスが変化して色むらの原因となる。また、反射膜に吸収されて反射膜が発熱し、これによって蛍光体の温度が上昇して同様に光特性が変化する場合がある。
7の例で全反射条件を満足できなかった蛍光Fは、クラッド層との界面で全反射するようになり、光導波路伝搬し反射膜による吸収が起こらないので、出射光量は一層増加する。
本例では、蛍光体12からあらゆる方向へと蛍光が放射されるが、このうち真横に放射された光は、側面6c(6d)によって反射される。このとき、側面6c(6d)が法線Mに対して傾斜していることから、蛍光は底面へと向かって反射され、底面で更に反射される。このように多重反射を繰り返すうちに、蛍光は、上面、底面、側面で反射されることになり、側面間で反復することはない。ここで、光導波路の幅と厚さとの少なくとも一方を前述のように出射側端面と対向端面との間で変化させていると、蛍光の出射側端面への出射が促進されることになる。このように傾斜した場合、側面で反射した蛍光は、反射した光を上・底面側に反射する光に向きを変えることができる。このことから厚みを変化した構造と組み合わせることによって、蛍光体内で発生する蛍光すべてに対して、出射側端面に光導波路伝搬光として高効率に出射することができ、同じく光導波路伝搬する励起光とミキシングして高効率に白色光を取り出すことが可能となる。
蛍光体ガラスの場合は、ベースとなるガラス中に希土類元素イオンを分散したものである。
青色レーザーと蛍光体により黄色の蛍光を発生し、白色光を得る方法
青色レーザーと蛍光体により赤色と緑色の蛍光を発生し白色光を得る方法
また青色レーザーや紫外レーザーから蛍光体により赤色、青色、緑色の蛍光を発生し白色光を得る方法
青色レーザーや紫外レーザーから蛍光体により青色と黄色の蛍光を発生し白色光を得る方法
(実施例A1の蛍光体素子の作製)
図1〜図3に示すような形態の蛍光体素子1を作製した。
具体的には、厚み1mm、4インチウエハーの窒化アルミニウムからなる放熱基板上にスパッタリングにてAl2O3からなる剥離防止膜(図示せず)を0.2μm、Alからなる反射膜4Aを0.5μm成膜した。次に、Al2O3からなる接合層3を0.3μm成膜した。また、CeをドープしたYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)多結晶からなる厚み300μm、4インチ蛍光体ウエハー上にAl2O3からなるクラッド層5Aを厚さ0.3μm成膜した。さらに、両者をAl2O3層同士でイオンガンによる常温直接接合にて貼り合わせを行った。
成膜後、複合ウエハーをダイシングにて幅200μm、#4000のブレードにて光導波路長1mmのバー状に切断し、入射側の端面については、IBS(Ion-beam Sputter Coater)成膜装置にて励起光である450nm帯では無反射、蛍光である560nm帯では全反射となる誘電体多層膜を成膜した。
最後に、成膜後の切断で使用したブレードを使用して幅0.8mmにチップ切断をして、蛍光体素子を作製した。
図1、図2および図6に示すような蛍光体素子31を作製した。
具体的には、実施例A1と同様にして窒化アルミニウムからなる放熱基板に多結晶蛍光体板を貼り合わせし、複合基板を作製した。
図2、図3および図9に示すような蛍光体素子41を作製した。具体的には、実施例A2と同様にして作製した。
ただし、切削加工によるリッジ導波路形成工程では、リッジ上面部の幅Wが100μm、傾斜角度βが20°になるようにブレードを選定して切削加工を実施した。その他のプロセスは実施例A2と同じとした。
薄板加工後、実施例A1と同様にクラッド層、反射膜、保護膜(図示せず)を成膜し、バー切断、端面成膜、チップ切断を実施し、蛍光体素子を作製した。
実施例A1と同様にして、図11、図2、図3に示す形態の蛍光体素子41を作製した。
ただし、図11に示すように、光導波路の側面側、上面側には、反射膜を設けなかった。
実施例1と同様にして、図1、図2、図3に示す形態の蛍光体素子を作製した。ただし、本例では、クラッド層を設けず、光導波路の上面、底面、側面上にそれぞれ反射膜を直接形成した。
チップ化した各素子は、出力3WのGaN系青色レーザー光源を使用して照明光の評価を行った。各例の蛍光体素子の評価結果を表1に示す。
平均出力は、全光束の時間平均を表す。全光束測定は,積分球(球形光束計)を使用して、被測定光源と全光束が値付けられた標準光源とを同じ位置で点灯し、その比較によって行う。詳細には、JISC7801にて規定されている方法を用いて測定を行った。
温度変化―40℃から80℃での環境下で、500サイクル試験を実施して、後述のように照明光の色ムラ変動を評価した。この試験においては、光源である半導体レーザーには温度変動がない状態とし、蛍光体のみに温度変化がおこる条件下で測定した。
出力した光を輝度分布測定装置を用いて色度図で評価を行った。そして、色度図において、中央値x:0.3447±0.005、y:0.3553±0.005の範囲にある場合は「色ムラなし」とし、この範囲外の場合には「色ムラあり」とした。
実施例A2の蛍光体素子において、入射部の蛍光体厚みと導波路幅を固定して傾斜角θ1、θ2を、0°、5°、10°、13°、15°、20°にした各素子の色ムラを測定した。この結果を表2に示す。
また、実験Bと同様にして、厚み方向の傾斜角αを0°、5°、10°、13°、15°、20°に変化させた。この場合も、実験Bと同じ角度で、色ムラ面内分布有りが発生した。
例えば、厚み1mm、4インチウエハーの窒化アルミニウムからなる放熱基板上にスパッタリングにてAl2O3からなる剥離防止膜、Ta2O5からなる接合層を成膜して、一方、多結晶蛍光体ウエハー上にAl2O3からなるクラッド層、Alからなる反射膜、Al2O3からなる剥離防止膜、Ta2O5からなる接合層を成膜して、両者をTa2O 5層同士でイオンガンによる常温直接接合にて貼り合わせを行った構造を使用してもよい。
実施例A2において、図9に示す傾斜角度βを変更した素子を作製した。
ただし、切削加工によるリッジ導波路形成工程では、リッジ上面部の幅Wを100μmとし、傾斜角度βは、0°から60°に変更したものをブレードを選定して切削加工を実施した。その他のプロセスは実施例A2と同じとした。
Claims (13)
- 支持基板、
励起光を光導波路伝搬し、蛍光を発生する蛍光体からなる光導波路であって、前記光導波路が、前記励起光および前記蛍光を出射する出射側端面、前記出射側端面と反対側の対向端面、底面、この底面に対向する上面、および一対の側面を有している光導波路、
前記光導波路の前記底面を被覆する底面側クラッド層、
前記光導波路の前記上面を被覆する上面側クラッド層、
前記光導波路の一対の前記側面をそれぞれ被覆する側面側クラッド層、
前記上面側クラッド層を被覆する上面側反射膜、
前記側面側クラッド層をそれぞれ被覆する側面側反射膜、および
前記支持基板と前記底面側クラッド層との間に設けられている底面側反射膜を備えていることを特徴とする、蛍光体素子。 - 前記支持基板に、側壁面と底壁面とを有する溝が形成されており、前記側壁面と前記底壁面とを被覆する凹部側クラッド層と、この凹部側クラッド層上に設けられた凹部側反射膜を備えており、前記凹部側クラッド層と前記側面側クラッド層とが連続しており、前記凹部側反射膜と前記側面側反射膜とが連続していることを特徴とする、請求項1記載の素子。
- 前記光導波路の前記上面の幅が、前記対向端面から前記出射側端面へと向かって大きくなっていることを特徴とする、請求項1または2記載の素子。
- 前記光導波路の長手方向に対する前記一対の前記側面のうち少なくとも一方の傾斜角度が2°以上、13°以下であることを特徴とする、請求項3記載の素子。
- 前記光導波路の厚さが、前記対向端面から前記出射側端面へと向かって大きくなっていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の素子。
- 前記光導波路の長手方向に対する前記上面または前記底面の傾斜角度が2°以上、13°以下であることを特徴とする、請求項5記載の素子。
- 前記光導波路の幅が、前記上面から前記底面へと向かって変化していることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一つの請求項に記載の素子。
- 前記底面の法線に対する前記一対の側面のうち少なくとも一方の傾斜角度が10°以上、50°以下であることを特徴とする、請求項7記載の素子。
- 前記蛍光を反射する反射部が前記対向端面に設けられていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一つの請求項に記載の素子。
- 前記対向端面が、前記励起光を入射させるための入射面であることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一つの請求項に記載の素子。
- 前記出射側端面が、前記励起光を入射させるための入射面であることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか一つの請求項に記載の素子。
- 前記支持基板と前記底面側反射膜との間に設けられた剥離防止層を備えていることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一つの請求項に記載の素子。
- 励起光を発振する光源および蛍光体素子を備える照明装置であって、
前記蛍光体素子が、請求項1〜12のいずれか一つの請求項に記載の蛍光体素子であり、前記光導波路から白色光が放射することを特徴とする、照明装置。
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