JPWO2019102685A1 - 光導波路構造、蛍光体素子および光導波路構造の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
光導波路、
前記光導波路上に設けられ、前記光導波路内を伝搬する光を反射する反射膜、
前記反射膜上に設けられた金属膜、および
前記金属膜上に設けられ、前記金属膜の表面酸化による表面酸化膜
を備えていることを特徴とする。
光導波路、
前記光導波路上に設けられ、前記光導波路内を伝搬する光を反射する反射膜、および
前記反射膜上に設けられた金属膜を備えている部品を得、この部品の前記金属膜を表面酸化処理することによって、前記金属膜の表面に表面酸化膜を生じさせることを特徴とする、光導波路構造の製造方法に係るものである。
すなわち、光導波路を設けた光導波路素子のチップを作製するには、ダイシング工程や洗浄工程において超純水を使用し、スーパークリーン状態を保持する必要がある。しかし、光導波路上の反射膜は、超純水に触れると腐蝕し、部分的に消失してしまい、反射膜として機能しなくなるという問題があった。
図1〜図4は、本発明の一実施形態に係る光導波路素子に関するものである。
支持基板の具体的材質は特に限定されず,ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、石英ガラスなどのガラスや水晶であってよい。しかし、光源の熱が光導波路に伝導すること、あるいは、波長変換や外部から光導波路自体が加熱することを抑制するために、放熱特性のよい支持基板を使用することができる。この場合には、アルミナ、窒化アルミニウム、炭化珪素、Si、窒化珪素、タングステン、銅タングステン、酸化マグネシウムなどを例示することができる。
蛍光体ガラスの場合は、ベースとなるガラス中に希土類元素イオンを分散したものである。
青色レーザーと蛍光体により黄色の蛍光を発生し、白色光を得る方法
青色レーザーと蛍光体により赤色と緑色の蛍光を発生し白色光を得る方法
また青色レーザーや紫外レーザーから蛍光体により赤色、青色、緑色の蛍光を発生し白色光を得る方法
青色レーザーや紫外レーザーから蛍光体により青色と黄色の蛍光を発生し白色光を得る方法
具体的には、厚み1mm、4インチウエハーの窒化アルミニウムからなる支持基板1上に、スパッタリングにて、Ag系合金からなる反射膜3、Al2O3からなるクラッド層4bを介して、光導波路2を設けた。光導波路2の材質はYAGとした。次いで、光導波路2および支持基板1の表面に、アルミナからなるクラッド層4を8000オングストローム、Agからなる反射膜5を1000オングストローム成膜した。次いで、反射膜5の上に、Tiからなる金属膜6を厚さ2.56μm成膜した。これらの成膜はいずれもスパッタリングによって行った。
他の実施例として、表面酸化膜の金属成分としてTiの代わりにTa,Ni,Crを用い、反射膜にAl系合金を用い、クラッド層にSiO2を用いた場合でも、同様の結果が得られた。
また、実施例1、2、3、4の各光導波路構造においては、端面研磨加工後にも金属膜や反射膜の剥離は見られていない。
Claims (11)
- 光導波路、
前記光導波路上に設けられ、前記光導波路内を伝搬する光を反射する反射膜、
前記反射膜上に設けられた金属膜、および
前記金属膜上に設けられ、前記金属膜の表面酸化による表面酸化膜
を備えていることを特徴とする、光導波路構造。 - 前記表面酸化がプラズマアッシングによることを特徴とする、請求項1記載の光導波路構造。
- 前記光導波路と前記反射膜との間に設けられたクラッド層を備えていることを特徴とする、請求項1または2記載の光導波路構造。
- 前記反射膜が銀、金、白金、アルミニウムおよびこれらの合金からなる群より選ばれた一種以上の金属からなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の光導波路構造。
- 前記金属膜が、チタン、クロム、タンタル、ニッケルおよびこれらの合金からなる群より選ばれた一種以上の金属からなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の光導波路構造。
- 請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の光導波路構造を備えており、前記光導波路が、励起光を伝搬して蛍光を発生する蛍光体からなることを特徴とする、蛍光発生素子。
- 光導波路、
前記光導波路上に設けられ、前記光導波路内を伝搬する光を反射する反射膜、および
前記反射膜上に設けられた金属膜を備えている部品を得、この部品の前記金属膜を表面酸化処理することによって、前記金属膜の表面に表面酸化膜を生じさせることを特徴とする、光導波路構造の製造方法。 - 前記表面酸化処理がプラズマアッシングであることを特徴とする、請求項7記載の方法。
- 前記光導波路構造を超純水によって処理することを特徴とする、請求項7または8記載の方法。
- 前記反射膜が銀、金、白金、アルミニウムおよびこれらの合金からなる群より選ばれた一種以上の金属からなることを特徴とする、請求項7〜9のいずれか一つの請求項に記載の方法。
- 前記金属膜が、チタン、クロム、タンタル、ニッケルおよびこれらの合金からなる群より選ばれた一種以上の金属からなることを特徴とする、請求項7〜10のいずれか一つの請求項に記載の方法。
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