JP6347539B2 - 超音波検査装置 - Google Patents
超音波検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6347539B2 JP6347539B2 JP2014065251A JP2014065251A JP6347539B2 JP 6347539 B2 JP6347539 B2 JP 6347539B2 JP 2014065251 A JP2014065251 A JP 2014065251A JP 2014065251 A JP2014065251 A JP 2014065251A JP 6347539 B2 JP6347539 B2 JP 6347539B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection apparatus
- ultrasonic
- ultrasonic inspection
- reference example
- backup plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 69
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 21
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 9
- 238000012800 visualization Methods 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 3
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000006262 metallic foam Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
Description
媒質中に存在する被測定対象物に対して超音波を送信する送信センサと、
貫通孔を有する支持体並びに金属膜体を有する受信センサとを備え、
前記被測定対象物によって反射された前記超音波の反射波による前記金属膜体の振動を解析して前記被測定対象物の可視化を行う超音波検査装置であって、
前記支持体の内部又は前記金属膜体の表面又はその両方を伝搬する超音波を減衰させる超音波減衰手段を設け、
前記超音波減衰手段として、前記貫通孔に挿入されフェルールを介して固定される光ファイバの先端を前記支持体から突出させるとともに、前記光ファイバの先端を前記金属膜体によって非接触に覆うように、前記フェルールの先端にのみ前記金属膜体を設けた
ことを特徴とする。
前記超音波減衰手段としてさらに、多数の気泡を内包した発泡金属で前記支持体を形成した
ことを特徴とする。
前記超音波減衰手段としてさらに、前記支持体の前記貫通孔から一定距離離間した領域であり且つ前記被測定対象物側にガス空間を凹設した
ことを特徴とする。
図1から図4を用いて本発明の参考例1に係る超音波検査装置について説明する。
図1に示すように、本参考例に係る超音波検査装置は、送信センサ11及び受信センサ12を有するセンサ部10と、光信号を電気信号に変換する光学処理部20と、光学処理部20から入力される電気信号に基づき開口合成処理(画像処理)を行って被測定対象物50(図2参照)を画像化する可視化部(例えば、モニタ等)30とを備えている。
なお、光学処理部20、可視化部30の構成は既知のものと同様であり、ここでの詳細な説明は省略する。
なお、図2中の符号40は媒質(例えば、液体ナトリウム等)である。
図3に示すように、送信センサ11から出射された超音波61は、被測定対象物50によって反射され、反射波62としてセンサ部10(図1,2参照)に戻ってくる。一方、光ファイバ15から照射された検査用レーザ光63は、光ファイバ15の先端がダイヤフラム16によって覆われているため、上述したようにダイヤフラム16によって反射され、反射レーザ光(受信信号)64として光ファイバ15に入射する。
これにより、一部の超音波65がバックアッププレート14の内部で反射されてダイヤフラム16に到達することを抑制することができ、受信信号に重畳するノイズを低減して相対的に受信信号の信号強度を向上させることが可能となり、可視化された画像の視認性を向上させることができる。また、有効受信点数を低減しても可視化された画像について従来の超音波検査装置と同等の視認性を確保することができるため、受信センサ数の低減による製作コストの削減が可能となる。
図5を用いて本発明の参考例2に係る超音波検査装置について説明する。本参考例に係る超音波検査装置は、図1ないし図4に示し上述した参考例1に係る超音波検査装置に対して、バックアッププレート14の構成が異なるものである。
ガス空間14aは、各受信センサ用貫通孔14cから離間した領域であり且つバックアッププレート14のダイヤフラム16側に形成されている。
換言すると、本参考例においてバックアッププレート14は、受信センサ用貫通孔14cの周囲がガス空間14aに対してダイヤフラム16側に突出した形状となっている。
さらに、バックアッププレート14には、ガス空間14aと、バックアッププレート14を挟んでガス空間14aとは反対側の空間とを連通するガス抜き孔14bが複数設けられている。
なお、本参考例においてバックアッププレート14は無垢材142により形成されているものとする。
図6を用いて本発明の参考例3に係る超音波検査装置について説明する。
図6に示すように、本参考例に係る超音波検査装置は、上述した参考例2に係る超音波検査装置において、バックアッププレート14の材料を発泡金属141とするものである。
図7を用いて本発明の参考例4に係る超音波検査装置について説明する。本参考例に係る超音波検査装置は、図1ないし図4に示し上述した参考例1に係る超音波検査装置に対して、バックアッププレート14及びダイヤフラム16の構造が異なるものである。
換言すると、受信センサ用貫通孔14cの周囲において、ダイヤフラム16およびバックアッププレート14の表面側の一部が除去された状態となっている。
なお、本参考例においてバックアッププレート14は無垢材の金属142により形成されている。
例えば、バックアッププレート14の材料として発泡金属を用いれば、上述した効果に加えて、バックアッププレート14の内部に入射した反射波を減衰させることができる。
なお、バックアッププレート14は無垢材の金属142により形成されている。
例えば、バックアッププレート14の材料として発泡金属を用いれば、上述した効果に加えて、バックアッププレート14の内部に入射した反射波を減衰させることができる。
02 受信面
10 センサ部
11 送信センサ
12 受信センサ
13 筺体
14 バックアッププレート
14a ガス空間
14b ガス抜き孔
14c 受信センサ用貫通孔
15 光ファイバ
16 ダイヤフラム
17 フェルール
18 溝部
20 光学処理部
30 可視化部
40 媒質
50 被測定対象物
61 超音波
62 反射波
63 検査用レーザ光
64 反射レーザ光
65 一部の反射波
66 一部の反射波
141 発泡金属
142 無垢材
Claims (3)
- 媒質中に存在する被測定対象物に対して超音波を送信する送信センサと、
貫通孔を有する支持体並びに金属膜体を有する受信センサとを備え、
前記被測定対象物によって反射された前記超音波の反射波による前記金属膜体の振動を解析して前記被測定対象物の可視化を行う超音波検査装置であって、
前記支持体の内部又は前記金属膜体の表面又はその両方を伝搬する超音波を減衰させる超音波減衰手段を設け、
前記超音波減衰手段として、前記貫通孔に挿入されフェルールを介して固定される光ファイバの先端を前記支持体から突出させるとともに、前記光ファイバの先端を前記金属膜体によって非接触に覆うように、前記フェルールの先端にのみ前記金属膜体を設けた
ことを特徴とする超音波検査装置。 - 前記超音波減衰手段としてさらに、多数の気泡を内包した発泡金属で前記支持体を形成した
ことを特徴とする請求項1記載の超音波検査装置。 - 前記超音波減衰手段としてさらに、前記支持体の前記貫通孔から一定距離離間した領域であり且つ前記被測定対象物側にガス空間を凹設した
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の超音波検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014065251A JP6347539B2 (ja) | 2014-03-27 | 2014-03-27 | 超音波検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014065251A JP6347539B2 (ja) | 2014-03-27 | 2014-03-27 | 超音波検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015187576A JP2015187576A (ja) | 2015-10-29 |
JP6347539B2 true JP6347539B2 (ja) | 2018-06-27 |
Family
ID=54429876
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014065251A Active JP6347539B2 (ja) | 2014-03-27 | 2014-03-27 | 超音波検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6347539B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6658291B2 (ja) * | 2016-05-16 | 2020-03-04 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、超音波プローブおよび超音波測定装置 |
JP6999234B2 (ja) | 2018-03-23 | 2022-01-18 | 三菱Fbrシステムズ株式会社 | 超音波検査装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5853835Y2 (ja) * | 1979-04-16 | 1983-12-07 | 株式会社東芝 | 超音波トランスジュ−サ |
US5247490A (en) * | 1992-06-04 | 1993-09-21 | Martin Marietta Corporation | Pressure-compensated optical acoustic sensor |
JP4220102B2 (ja) * | 2000-05-02 | 2009-02-04 | 富士フイルム株式会社 | 動的変化検出方法、動的変化検出装置及び超音波診断装置 |
JP4076872B2 (ja) * | 2002-03-19 | 2008-04-16 | 富士フイルム株式会社 | 超音波受信装置 |
US20040190377A1 (en) * | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Lewandowski Robert Stephen | Method and means for isolating elements of a sensor array |
JP4624763B2 (ja) * | 2004-10-27 | 2011-02-02 | オリンパス株式会社 | 静電容量型超音波振動子、及びその製造方法 |
JP4953177B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2012-06-13 | 独立行政法人日本原子力研究開発機構 | 高解像度対応超音波センサ |
-
2014
- 2014-03-27 JP JP2014065251A patent/JP6347539B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015187576A (ja) | 2015-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20220050084A1 (en) | Device and method for testing a test object | |
JP6030013B2 (ja) | 超音波検査装置、および超音波検査方法 | |
US11692819B2 (en) | Acoustic sensor having waveguide and inspection device | |
JP5996415B2 (ja) | 超音波探傷装置及び方法 | |
JP5755993B2 (ja) | 超音波センサ | |
US10458953B2 (en) | Method and system for acquiring natural frequency of diaphragm | |
JP6347539B2 (ja) | 超音波検査装置 | |
JP6294840B2 (ja) | 振動計測装置 | |
WO2013183247A1 (ja) | 音響光学撮像装置 | |
JP6571958B2 (ja) | 超音波検査装置 | |
KR101391140B1 (ko) | 비선형 파라미터 측정을 위한 초음파 탐촉자 및 이를 포함하는 비선형 파라미터 측정 장치 | |
JP2010025817A (ja) | 非接触空中超音波による管体超音波探傷装置及びその方法 | |
JP2021032810A (ja) | 超音波検査システム及び超音波検査方法 | |
JP2013127400A (ja) | 超音波検査装置 | |
JP6999234B2 (ja) | 超音波検査装置 | |
JP6408163B2 (ja) | 光音響計測用プローブ並びにそれを備えたプローブユニットおよび光音響計測装置 | |
JP5827809B2 (ja) | 超音波探触子及び管状対象物の周長測定方法 | |
KR101742964B1 (ko) | 초음파 센서 유닛 | |
JP4827682B2 (ja) | 超音波ドプラ診断装置のための感度試験装置 | |
JP2014195497A (ja) | 超音波プローブおよび音響カプラーアタッチメント並びに電子機器および超音波画像装置 | |
JPH07306188A (ja) | 受信用トランスデューサ | |
JP2002044773A (ja) | 音響レンズおよび超音波送波器 | |
JP6765928B2 (ja) | 光走査装置、tof型分析装置、および光干渉断層計測装置 | |
JP6486243B2 (ja) | 音響波プローブ、音響波トランスデューサユニット、及び被検体情報取得装置 | |
JP7482067B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170310 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180409 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180508 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20180508 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180528 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6347539 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |