JP6343105B2 - 機器レベラ - Google Patents

Description

本願は、一般に、半導体処理機器及び／又はそれらの構成要素を水平にするためのデバイス及び方法を含むがそれらに限定されない、重い機器を水平にするためのデバイス及び方法に関する。

装置及び／又はそれらの構成要素について、より正確かつ迅速に水平にすることを可能にするデバイスが必要である。上述した制限及び不都合に取り組む幾つかの実施形態が、以下により詳細に紹介される。そういったデバイス、装置及び方法は、従来のデバイス、装置及び方法と交換することができる。代替的に、そういったデバイス、装置及び方法は、従来のデバイス、装置及び方法を補足することができる。

以下により詳細に説明するように、幾つかの実施形態は、基部ブロックと連結アームと上部プレートとを有する主要本体を含むレベリングデバイスを伴う。連結アームが基部ブロックと上部プレートとの間に位置するように、基部ブロック及び上部プレートが連結アームに連結される。連結アームは特定の幅及び特定の位置を有し、それにより、連結アーム、基部ブロック及び上部プレートが協働して主要本体に凹所を画定する。基部ブロックは、二つの穴を画定する。二つの穴のうちの第１の穴は、基部ブロックの上部プレートに面する側面に画定される。二つの穴のうちの第２の穴は、第１の穴に連結され、第２の穴は、第１の穴に対して実質的に垂直である。第２の穴は、第１の部分及び第２の部分を有し、第２の穴の第１の部分は、円形の断面を有し、第２の穴の第２の部分は、円形でない断面を有する。デバイスは、主要本体と回転可能に結合されるロッドも含む。ロッドは、基部ブロックの第２の穴の第１の部分の中と基部ブロックの第２の穴の第２の部分の中とに少なくとも部分的に置かれる。第２の穴の方に置かれるロッドの第１の部分は、第１のねじを有する。ロッドの第２の部分は、ねじが形成されない。ロッドは、主要本体の外側に少なくとも部分的に置かれるノブと結合される。デバイスは、ロッドと回転可能に結合されると共に基部ブロックと摺動可能に結合される昇降部ブロックを更に含む。昇降部ブロックは、基部ブロックの第２の穴の第２の部分の中に少なくとも部分的に置かれる。昇降部ブロックは、ロッドにより画定される軸と実質的に平行である底部表面を有する。昇降部ブロックは、底部表面の反対側に、底部表面と平行ではない上部表面を有する。昇降部ブロックは、第１のねじを有する貫通穴を画定する。ロッドの第１の部分の第１のねじを有する少なくとも一部分が、昇降部ブロックの貫通穴の中に置かれる。デバイスは、基部ブロックと摺動可能に結合されると共に昇降部ブロックと摺動可能に結合される昇降部ピンを更に含む。昇降部ピンが基部ブロックの第１の穴に沿って摺動するように構成されるように、昇降部ピンが基部ブロックの第１の穴の中に少なくとも部分的に置かれる。昇降部ピンは、第１の端部と、第１の端部の反対側に、第１の端部と平行ではない第２の端部と、を有する。

幾つかの実施形態に従い、装置は、装置本体の下に三つの据え付け点を有する装置本体を含む。三つの据え付け点は、ある特定の平面上に三角形の形状を画定する。装置は、装置本体の中に少なくとも部分的に置かれると共に装置本体の外かつ装置本体の下に少なくとも部分的に延在する傾斜可能な構成要素も含む。装置は、装置本体の三つの据え付け点に置かれると共に傾斜可能な構成要素と結合される三つのサポートを更に含む。三つのサポートは、上述したレベリングデバイスを少なくとも二つ含む。

幾つかの実施形態では、三つのサポートのうちの一つは、動かせないピンである。

幾つかの実施形態では、レベリングデバイスは、レベリングデバイスを装置本体に据え付けるために使用される貫通穴を画定する。

幾つかの実施形態では、三つのサポートは、上述したレベリングデバイスを三つ含む。

幾つかの実施形態では、三つの据え付け点により画定される三角形は、二等辺三角形である。幾つかの実施形態では、三つのサポートは、第１のレベリングデバイス、第２のレベリングデバイス及びサポートを含み、第１のレベリングデバイスとサポートとの間の第１の距離と、第２のレベリングデバイスとサポートとの間の第２の距離と、は実質的に同一である。幾つかの実施形態では、三角形は、正三角形である。

上記の態様も、追加の態様及び実施形態も同様に、より好ましい理解のために、同様の参照数字が全図を通して対応する部品を指す次の図面と関連して、以下の実施形態の説明について参照が為されるべきである。

幾つかの実施形態に係るレベリングデバイスの斜視図である。 幾つかの実施形態に係るレベリングデバイスのハイレベル（ｈｉｇｈ−ｌｅｖｅｌ）の分解図である。 幾つかの実施形態に係るレベリングデバイスの主要本体の斜視図である。 幾つかの実施形態に係るレベリングデバイスの主要本体の基部ブロックの断面図である。 幾つかの実施形態に係るロッドの斜視図である。 幾つかの実施形態に係る昇降部ブロックの斜視図である。 幾つかの実施形態に係る昇降部ブロックの前面図である。 幾つかの実施形態に係る昇降部ピンの斜視図である。 幾つかの実施形態に係る昇降部ピンの前面図である。 幾つかの実施形態に係るクラウン歯車の斜視図である。 幾つかの実施形態に係るクラウン歯車の前面図である。 幾つかの実施形態に係るクラウン歯車の前面図である。 幾つかの実施形態に係るクラウン歯車の斜視図である。 幾つかの実施形態に係るばねの斜視図である。 幾つかの実施形態に係るロックハンドルの斜視図である。 幾つかの実施形態に係るレベリングデバイスを備えた装置を示すハイレベルの図である。 幾つかの実施形態に係る装置の据え付け点を示す図である。 幾つかの実施形態に係るジグの斜視図である。

図面は、別途明白に注釈がない限り、縮尺通りに描いてはいない。

本明細書で説明するデバイス、装置、及び方法は、装置やその構成要素について、より迅速かつ正確に水平にすることを可能にする。本明細書で説明する構成要素を用いることにより、重い装置や構成要素を調整するための便利で正確な方法が実現された。幾つかの実施形態の詳細が、以下で議論される。

添付する図面にその例が図示されているある種の実施形態について、参照が為されるであろう。特許請求の範囲が実施形態に関連して説明されるが、特許請求の範囲はそれらの特定の実施形態だけに限定されることが意図されていないということが理解されるであろう。その反対に、実施形態は、添付した特許請求の範囲の思想及び範囲の中にある代替、改変、及び等価なものを網羅することを意図している。

更に、以下の説明において、多くの特定の詳細が、実施形態の完全なる理解を提供するために記載される。しかしながら、それらの特定の詳細を用いなくても実施形態が実施できるということは、当業者にとって明らかであろう。他の例において、実施形態の態様を不明瞭にすることを避けるために、当業者によく知られている構成要素及び手順は、詳細には説明しない。

同じく理解されるであろうことは、様々な要素を説明するために第１、第２などの用語が本明細書で使用されることがあるが、それらの要素がそれらの用語に限定されるべきでないということである。それらの用語は、一つの要素を他から区別するために使用されるだけである。例えば、特許請求の範囲の範囲から逸脱することなく、第１の部分を第２の部分と名付けることができ、同様に、第２の部分を第１の部分と名付けることができる。第１の部分と第２の部分は、共に部分であるが、同一の部分ではない。

本明細書で実施形態の説明において使用する用語は、特定の実施形態を説明することのみを目的としていて、本発明の限定を意図していない。実施形態の説明や添付した特許請求の範囲で使用するとき、単数形「一つ（ａ）」、「一つ（ａｎ）」、及び「その（ｔｈｅ）」は、文脈上別途明瞭に指示しない限り、複数形を同じく含むことを意図している。同じく理解されるであろうことは、本明細書で使用するときの用語「及び／又は（ａｎｄ／ｏｒ）」が一つ又は複数の関連する列挙した項目の任意かつ全ての可能な組合せを参照すると共にそれを包含するということである。更に理解されるであろうことは、用語「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ）」及び／又は「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」が、本明細書で使用するとき、記載した特徴、整数、ステップ、動作、要素、及び／又は、構成要素の存在を特定しているが、一つ又は複数の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、構成要素、及び／又は、それらのグループの存在や追加を除外するものではない、ということである。

図１は、幾つかの実施形態に係るレベリングデバイス１００の斜視図である。

多くの工業プロセスにおいて、多数の構成要素を互いに実質的に平行（又は水平）にすることが重要である。例えば、化学蒸着においては、ウエハが水平でない場合、蒸着層の均一性が低下し、ウエハ上のチップ間のばらつきの増加につながり、最終的に、半導体デバイスの性能の悪化及び／又は歩留まりの減少につながる。

しかしながら、構成要素（例えば、化学蒸着で使用される加熱ブロック）を調整するための既存の方法は、不正確で、時間が掛かり、非能率的で、不便で、厄介である。例えば、化学蒸着プロセス後に加熱ブロックが水平でないことが見出されたら、処理チャンバが冷却される必要がある。処理チャンバが冷却されてから、垂直ボルト及び関連するナットを用いて据え付けられた加熱ブロックが、ボルト及びナットを回して調整されるが、この作業は不正確であり時間が掛かる。

それに比べて、レベリングデバイス１００は、ノブを回すことによる加熱ブロック（又は、半導体機器で使用される任意の他の構成要素）の調整を可能にする。レベリングデバイス１００は、加熱ブロック（又は、任意の他の構成要素）の垂直位置を正確に調整するための機構を含む。幾つかの実施形態では、加熱ブロックは加熱ブロックを冷却することなく調整され、それにより、加熱ブロックを調整するために必要とされるメンテナンス時間が短縮される。

図２は、幾つかの実施形態に係るレベリングデバイス１００のハイレベルの分解図である。図２において、破線は分解図において隠れている（例えば、見えない）特徴を示す。図２において、ある種の詳細が簡潔さのために省略されている。

レベリングデバイス１００は、装置に据え付けること、構成要素を水平に維持されるように支持すること、及び／又は、レベリングデバイス１００の他の構成要素を保持すること、のために使用される主要本体２０２を含む。

主要本体２０２は穴３０４を画定し、その中にロッド２０４が少なくとも部分的に置かれる。ロッド２０４は、主要本体２０２と回転可能に結合される（例えば、ロッド２０４は、主要本体２０２に対して回転可能である）。

また、レベリングデバイス１００は、昇降部ブロック２０７も含む。ロッド２０４の回転が昇降部ブロック２０７を直線的に（例えば、ロッド２０４により画定される軸に沿って）動かすように、昇降部ブロック２０７がロッド２０４と回転可能に結合される。昇降部ブロック２０７は、傾斜した上部表面を典型的に有する。

また、レベリングデバイス１００は、装置又はその構成要素の一部分を上げるか又は下げるために使用される昇降部ピン２０８も含む。使用に際して、昇降部ピン２０８は昇降部ブロック２０７の上に置かれる。したがって、昇降部ピン２０８及び昇降部ピン２０８と関連する装置構成要素が持ち上げられるように、昇降部ブロック２０７の直線運動が昇降部ピン２０８を押し上げることができる。更に、昇降部ブロック２０７の逆方向の直線運動は、（例えば、昇降部ピン２０８及び／又は関連する装置構成要素に作用する重力や追加の力の助けにより）昇降部ピン２０８を引き下ろすことができる。

幾つかの実施形態では、レベリングデバイス１００は、一つ又は複数の軸受及び／又はＯリング（不図示）を含む。軸受／Ｏリングが含まれる場合、それらはロッド２０４の両端部に置かれる。幾つかの実施形態では、ロッド２０４は、穴３０４に位置する軸受を用いて主要本体２０２（例えば、特に、主要本体２０２の基部ブロック）と結合される。

幾つかの実施形態では、レベリングデバイス１００はロックハンドル２１６を含み、ロックハンドル２１６の中にハブが画定される。組み立て時に、ロッド２０４はロックハンドル２１６のハブを貫通する。

ロックハンドル２１６は、主要本体２０２（例えば、主要本体２０２の基部ブロック）と回転可能に結合される。例えば、ロックハンドル２１６は、主要本体２０２に対して（特に、所定範囲内で）回転することができる。ロックハンドル２１６は、必要なときにロッド２０４の回転を防ぐために使用される。

幾つかの実施形態では、レベリングデバイス１００はロックプレート２１８を含み、ロックハンドル２１６がロックプレート２１８と主要本体２０２との間に置かれるように、ロックプレート２１８が（例えば、ねじを用いて）主要本体２０２に取り付けられる。ロックプレート２１８は、ロックハンドル２１６が主要本体２０２から外れることを防ぎつつ、ロックハンドル２１６の所定範囲内の回転を可能とする（及び、ロックハンドル２１６の所定範囲を超える回転を防ぐ）。

幾つかの実施形態では、レベリングデバイス１００はクラウン歯車２０６及び２１０を含む。本明細書で使用するとき、クラウン歯車とは、第１の面と第１の面の反対側の第２の面とを有すると共に少なくとも一方の面に溝形成された歯を有する歯車を指す。クラウン歯車は、典型的には円盤形状である。幾つかの実施形態では、クラウン歯車は、クラウン歯車の面に直角に突出する歯を有する。幾つかの実施形態では、クラウン歯車は平坦なピッチ面と平坦な歯底面とを有し、それらの両方がクラウン歯車の回転軸に垂直である。クラウン歯車は、フェースギヤとも呼ばれる。

クラウン歯車２０６及び２１０は、主要本体２０２（特に、図３Ａに関して以下で説明する主要本体２０２の基部ブロック）とノブ２２０との間に位置する。クラウン歯車２０６は、歯２０９を含む。同様に、クラウン歯車２１０は、歯（不図示）を含む。組み立て時に、クラウン歯車２０６の歯２０９は、クラウン歯車２１０の歯に面する。

幾つかの実施形態では、ロッド２０４により画定される軸の回りのロッド２０４の回転がクラウン歯車２１０の回転をもたらす一方でロッド２０４により画定される軸の回りのロッド２０４の回転がクラウン歯車２０６の回転をもたらさない（例えば、ロッド２０４がクラウン歯車２０６から独立して回転することができるように、ロッド２０４がクラウン歯車２０６と回転可能に結合されない）ように、クラウン歯車２１０がロッド２０４と結合される。

幾つかの実施形態では、レベリングデバイス１００は、クラウン歯車２１０をクラウン歯車２０６に近づく方向に押圧するためのばね２１４を含む。図２において、ばね２１４は板ばねである。代替的に、異なる種類のばね（例えば、コイルばね）を使用することができる。

レベリングデバイス１００は、ノブ２２０を含む。幾つかの実施形態では、ノブ２２０はノブ組立体を含む。幾つかの実施形態では、ノブ２２０は、動かない（典型的には、主要本体２０２に固定される）ように構成されるスリーブ（バレル又はストックとも呼ばれる）と、回転し且つロッド２０４と結合されるように構成されるシンブルと、を有するマイクロメータを含む。幾つかの実施形態では、スリーブはスケール（例えば、回転数や進んだ距離を示すマーク）を含む。幾つかの実施形態では、シンブルはシンブルの回転の程度（例えば、角度）を判定するために使用されるマークを含む。

幾つかの実施形態では、レベリングデバイス１００は、レベリングデバイス１００を装置（例えば、化学蒸着チャンバなどの半導体処理チャンバ）に取り付けるためのねじを含む。

図３Ａは、幾つかの実施形態に係るレベリングデバイス１００の主要本体２０２の斜視図である。

図３Ａの主要本体２０２は、基部ブロック３１０、連結アーム３２０及び上部プレート３３０を含む。連結アーム３２０が基部ブロック３１０と上部プレート３３０との間に位置するように、基部ブロック３１０及び上部プレート３３０が連結アーム３２０に連結される。連結アーム３２０は特定の幅及び特定の位置を有し、それにより、連結アーム３２０、基部ブロック３１０及び上部プレート３３０が協働して主要本体２０２に凹所（例えば、基部ブロック３１０と上部プレート３３０との間の空間）を画定する。幾つかの実施形態では、図３Ａに示すように、連結アーム３２０の特定の幅は、上部プレート３３０の幅や基部ブロック３１０の幅よりも小さい。例えば、図３の基部ブロック３１０、連結アーム３２０及び上部プレート３３０は実質的に同じ奥行きを有するが、基部ブロック３１０、連結アーム３２０及び上部プレート３３０が共通面を画定するときに上部プレート３３０と基部ブロック３１０との間に凹所が形成されるように、連結アーム３２０の幅は基部ブロック３１０や上部プレート３３０の幅よりも小さい。

幾つかの実施形態では、主要本体２０２は一体的に形成される。例えば、主要本体は材料（例えば、アルミニウムなどの金属）の単一ブロックから形成される。場合によっては、材料の単一ブロックは、主要本体２０２の形状を有するために、切削加工（例えば、鋸挽き、ミーリング、及び／又は穿孔）される。

図３Ｂは、幾つかの実施形態に係るレベリングデバイス１００の主要本体２０２の基部ブロック３１０の断面図である。

基部ブロック３１０は、二つの穴を画定する。二つの穴のうちの第１の穴３０２は、基部ブロック３１０の上部プレート３３０に面する側面（例えば、レベリングデバイスが図１０に示すように据え付けられるときの上部表面）に画定される。図３Ｂに示すように、二つの穴のうちの第２の穴３０４は第１の穴３０２に連結され、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直である。幾つかの実施形態では、第１の穴３０２により画定される軸と第２の穴３０４により画定される軸との間の角度が６５度から１１５度の間であるとき、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直であるとみなされる。幾つかの実施形態では、第１の穴３０２により画定される軸と第２の穴３０４により画定される軸との間の角度が７０度から１１０度の間であるとき、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直であるとみなされる。幾つかの実施形態では、第１の穴３０２により画定される軸と第２の穴３０４により画定される軸との間の角度が７５度から１０５度の間であるとき、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直であるとみなされる。幾つかの実施形態では、第１の穴３０２により画定される軸と第２の穴３０４により画定される軸との間の角度が８０度から１００度の間であるとき、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直であるとみなされる。幾つかの実施形態では、第１の穴３０２により画定される軸と第２の穴３０４により画定される軸との間の角度が８５度から９５度の間であるとき、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直であるとみなされる。幾つかの実施形態では、第１の穴３０２により画定される軸と第２の穴３０４により画定される軸との間の角度が８７度から９３度の間であるとき、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直であるとみなされる。幾つかの実施形態では、第１の穴３０２により画定される軸と第２の穴３０４により画定される軸との間の角度が８８度から９２度の間であるとき、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直であるとみなされる。幾つかの実施形態では、第１の穴３０２により画定される軸と第２の穴３０４により画定される軸との間の角度が８９度から９１度の間であるとき、第２の穴３０４は第１の穴３０２に対して実質的に垂直であるとみなされる。

第２の穴３０４は、第１の部分３１２及び第２の部分３１４を有する。第２の穴３０４の第１の部分３１２は、円形の断面を有する。幾つかの実施形態では、第２の穴３０４の第２の部分３１４は、円形でない断面（例えば、矩形の断面）を有する。幾つかの実施形態では、第２の穴３０４の第２の部分３１４の少なくとも底部表面は、第２の穴３０４の第１の部分３１２の方へ一定に延びていて、それにより、その上での昇降部ブロック（例えば、図２の昇降部ブロック２０７）の摺動が容易となる。幾つかの実施形態では、二つの穴のうちの第１の穴３０２は、図３Ｂに示すように、第２の穴３０４の第２の部分３１４に直接連結される。

図４は、幾つかの実施形態に係るロッド２０４の斜視図である。ロッド２０４の少なくとも第１の部分４１２は、ねじが形成される（例えば、ロッド２０４の第１の部分４１２は第１のねじを有する）。幾つかの実施形態では、ロッド２０４の第２の部分４１４は、ねじが形成されない。図２に示すように、ロッド２０４は、組み立て時に主要本体２０２の外側に少なくとも部分的に置かれるノブと典型的に結合される。

図５Ａは、幾つかの実施形態に係る昇降部ブロック２０７の斜視図である。

組み立て時に、昇降部ブロック２０７は、基部ブロック３１０の第２の穴３０４の第２の部分３１４の中に少なくとも部分的に置かれる（例えば、図１参照）。

昇降部ブロック２０７は、組み立て時に、ロッド２０４と回転可能に結合されると共に基部ブロック３１０と摺動可能に結合される。例えば、ロッド２０４は昇降部ブロック２０７に対して回転することができ、昇降部ブロック２０７は基部ブロック３１０の第２の部分３１４の底部表面上を摺動することができる。

昇降部ブロック２０７は、ねじが形成された穴５１０（例えば、貫通穴）を画定する（例えば、穴５１０はロッド２０４のねじに適合する第１のねじを有する）。幾つかの実施形態では、ロッド２０４の回転が、昇降部ブロック２０７を基部ブロック３１０の第２の部分３１４の底部表面上で摺動させる。

組み立て時に、ロッド２０４の第１の部分４１２の第１のねじを有する少なくとも一部分が、昇降部ブロック２０７の穴５１０の中に置かれる。

図５Ｂは、幾つかの実施形態に係る昇降部ブロック２０７の前面図である。図５Ｂにおいて、破線は前面図において隠れている（例えば、見えない）特徴を示す。

幾つかの実施形態では、組み立て時に、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４は、ロッド２０４により画定される軸と実質的に平行である（例えば、穴５１０により画定される軸が、ロッド２０４により画定される軸と実質的に平行である）。幾つかの実施形態では、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４の法線とロッド２０４により画定される軸とによって形成される角度が６０度から１２０度の間であるとき、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４はロッド２０４により画定される軸と実質的に平行であるとみなされる。幾つかの実施形態では、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４の法線とロッド２０４により画定される軸とによって形成される角度が７０度から１１０度の間であるとき、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４はロッド２０４により画定される軸と実質的に平行であるとみなされる。幾つかの実施形態では、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４の法線とロッド２０４により画定される軸とによって形成される角度が７５度から１０５度の間であるとき、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４はロッド２０４により画定される軸と実質的に平行であるとみなされる。幾つかの実施形態では、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４の法線とロッド２０４により画定される軸とによって形成される角度が８０度から１００度の間であるとき、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４はロッド２０４により画定される軸と実質的に平行であるとみなされる。幾つかの実施形態では、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４の法線とロッド２０４により画定される軸とによって形成される角度が８５度から９５度の間であるとき、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４はロッド２０４により画定される軸と実質的に平行であるとみなされる。幾つかの実施形態では、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４の法線とロッド２０４により画定される軸とによって形成される角度が８７度から９３度の間であるとき、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４はロッド２０４により画定される軸と実質的に平行であるとみなされる。幾つかの実施形態では、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４の法線とロッド２０４により画定される軸とによって形成される角度が８８度から９２度の間であるとき、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４はロッド２０４により画定される軸と実質的に平行であるとみなされる。幾つかの実施形態では、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４の法線とロッド２０４により画定される軸とによって形成される角度が８９度から９１度の間であるとき、昇降部ブロック２０７の底部表面５０４はロッド２０４により画定される軸と実質的に平行であるとみなされる。

昇降部ブロック２０７は、底部表面５０４の反対側に、底部表面５０４と平行ではない上部表面５０２を有する。例えば、底部表面５０４と上部表面５０２とは、角度θを形成する。幾つかの実施形態では、θは−２５度から２５度の間である。幾つかの実施形態では、θは−２０度から２０度の間である。幾つかの実施形態では、θは−１５度から１５度の間である。幾つかの実施形態では、θは−１０度から１０度の間である。幾つかの実施形態では、θは−５度から５度の間である。幾つかの実施形態では、θは−３度から３度の間である。幾つかの実施形態では、θは−２度から２度の間である。幾つかの実施形態では、θは−１度から１度の間である。

図６Ａは、幾つかの実施形態に係る昇降部ピン２０８の斜視図である。図６Ａにおいて、破線は斜視図において隠れている（例えば、見えない）特徴を示す。

組み立て時に、昇降部ピン２０８は、基部ブロック３１０と摺動可能に結合されると共に昇降部ブロック２０７と摺動可能に結合される。例えば、昇降部ピン２０８は、基部ブロック３１０に対して（例えば、第１の穴３０２の内部で）上下に摺動することができると共に昇降部ブロック２０７の上（例えば、昇降部ブロック２０７の上部表面５０２の上）を摺動することができる。

したがって、組み立て時に、昇降部ピン２０８が基部ブロック３１０の第１の穴３０２に沿って摺動するように構成されるように、昇降部ピン２０８が基部ブロック３１０の第１の穴３０２の中に少なくとも部分的に置かれる。

図６Ｂは、幾つかの実施形態に係る昇降部ピン２０８の前面図である。図６Ｂにおいて、破線は前面図において隠れている（例えば、見えない）特徴を示す。

幾つかの実施形態では、昇降部ピンは、第１の端部６１０と、第１の端部６１０の反対側に、第１の端部６１０と平行ではない第２の端部６２０と、を有する。例えば、図６Ｂに示すように、第２の端部６２０は、湾曲していると共に第１の端部６１０に対してある角度を成している。

幾つかの実施形態では、昇降部ピン２０８の第１の端部６１０は、昇降部ブロック２０７の上部表面５０２と実質的に平行である。

幾つかの実施形態では、昇降部ピン２０８はその内部に他の穴６３０及び６４０を画定する。幾つかの実施形態では、穴６３０は昇降部ピン２０８の摺動運動を案内するために使用される。幾つかの実施形態では、穴６４０は昇降部ピン２０８が主要本体２０２の外に摺動するのを防ぐために使用される。

図７Ａは、幾つかの実施形態に係るクラウン歯車２０６の斜視図である。

図７Ａに示すように、クラウン歯車２０６は歯２０９を一側面に有する。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６は、歯２０９を備えた側面の反対側の側面に、一つ又は複数の溝７１０を有する。一つ又は複数の溝７１０は、ロッド２０４の回転を防ぐ（例えば、固定する）ために使用される。

図７Ｂは、幾つかの実施形態に係るクラウン歯車２０６の前面図である。

クラウン歯車２０６は、クラウン歯車２０６の周全体に延びる歯パターン２０９−１を有する。

図７Ｃは、幾つかの実施形態に係るクラウン歯車の前面図である。

図７Ｃにおいて、クラウン歯車２０６は歯パターン２０９−２を有し、その中でクラウン歯車２０６の周に沿って歯がグループ分けされる。図７Ｃにおいて、クラウン歯車２０６の周に沿った二つの隣接する歯グループの間の部分が歯を含まないように、二つの隣接する歯グループが相互に分離される。例えば、図７Ｃに示すように、クラウン歯車２０６の周に沿って、歯が含まれない（例えば、除去された）領域が存在する。これにより、クラウン歯車２０６とクラウン歯車２１０との間の接触領域を減らすことで、高負荷が加えられたときのクラウン歯車２１０に対するクラウン歯車２０６の付着を減らす。

図８は、幾つかの実施形態に係るクラウン歯車２１０の斜視図である。

クラウン歯車２１０は、歯８１０を一側面に有する。幾つかの実施形態では、歯８１０を備えた側面の反対側の側面は、歯を含まない。

幾つかの実施形態では、二つのクラウン歯車２０６及び２１０のうちの一方が、アルミニウムで作製される。幾つかの実施形態では、二つのクラウン歯車２０６及び２１０のうちの一方が、真鍮で作製される。幾つかの実施形態では、二つのクラウン歯車２０６及び２１０のうちの一方が、チタンで作製される。例えば、幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６及びクラウン歯車２１０の双方が、アルミニウムで作製される。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６及びクラウン歯車２１０の双方が、真鍮で作製される。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６及びクラウン歯車２１０の双方が、チタンで作製される。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６はチタンで作製され、クラウン歯車２１０はアルミニウムで作製される。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６はアルミニウムで作製され、クラウン歯車２１０はチタンで作製される。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６はアルミニウムで作製され、クラウン歯車２１０は真鍮で作製される。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６は真鍮で作製され、クラウン歯車２１０はアルミニウムで作製される。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６は真鍮で作製され、クラウン歯車２１０はチタンで作製される。幾つかの実施形態では、クラウン歯車２０６はチタンで作製され、クラウン歯車２１０は真鍮で作製される。

図９Ａは、幾つかの実施形態に係るばね２１４の斜視図である。

図９Ａにおいて、ばね２１４は板ばねである。他の実施形態では、異なる種類のばね（例えば、コイルばね）が使用される。組み立て時に、ばね２１４は、二つのクラウン歯車のうちの一方（例えば、クラウン歯車２１０）と結合されると共にその一方のクラウン歯車（例えば、クラウン歯車２１０）に力を加えるように構成されて、それによりクラウン歯車（例えば、クラウン歯車２１０）の歯が他方のクラウン歯車（例えば、クラウン歯車２０６）の歯に接触する。更に、ばね２１４は、力が加えられたときに、二つのクラウン歯車のうちの一方（例えば、クラウン歯車２１０）が他方のクラウン歯車（例えば、クラウン歯車２０６）から後退する（例えば、離れる方向に動く）ことを可能とし、それにより他方のクラウン歯車（例えば、クラウン歯車２０６）が一方のクラウン歯車（例えば、クラウン歯車２１０）に対して回転することができる。

ばね２１４とクラウン歯車２０６及び２１０との組合せは、使用者がノブを回すときに使用者にフィードバックを提供する。幾つかの実施形態では、フィードバックは、触覚フィードバック（例えば、クラウン歯車２０６及び２１０が歯を飛び越すときのクリック感覚）を含む。幾つかの実施形態では、フィードバックは、可聴フィードバック（例えば、クリック音）を含む。そういったフィードバックは、レベリングデバイス１００の正確な調整を更に容易にする。

図９Ｂは、幾つかの実施形態に係るロックハンドル２１６の斜視図である。

ロックハンドルは、一つ又は複数の溝９１０を含む。組み立て時に、ロックハンドル２１６の一つ又は複数の溝９１０がクラウン歯車２０６の一つ又は複数の溝７１０に面すると共にそれに接触するように、ロックハンドル２１６がクラウン歯車２０６と基部ブロック３１０との間に置かれる。

ロックハンドル２１６は、ロッド２０４により画定された軸の回りのロックハンドル２１６の回転に従って、クラウン歯車２１０がロッド２０４により画定された軸の回りに回転することを防ぐように、クラウン歯車２１０へ近づく方向にクラウン歯車２０６に力を提供するように構成される。例えば、ロックハンドル２１６が回転されると、ロックハンドル２１６の一つ又は複数の溝９１０が、クラウン歯車２０６の一つ又は複数の溝７１０の上を摺動すると共にクラウン歯車２０６の一つ又は複数の溝７１０をクラウン歯車２１０へ近づく方向に押す。これによって、ロッド２０４により画定された軸の回りのロックハンドル２１６の回転に従って、クラウン歯車２０６がクラウン歯車２１０に対して近づく方向及び／又は離れる方向に動くように構成される。十分な力がクラウン歯車２０６に加えられると、クラウン歯車２０６及びクラウン歯車２１０は互いに対して回転することができない。ロッド２０４により画定された軸の回りのクラウン歯車２０６の回転が防がれている（例えば、ロックプレート２１８を用いて回転が止められている）ので、ロックハンドル２１６がクラウン歯車２０６をクラウン歯車２１０へ近づく方向に押すときクラウン歯車２１０の回転も防がれる。

図１０は、幾つかの実施形態に係るレベリングデバイスを備えた装置１０００を示すハイレベルの図である。

幾つかの実施形態では、装置１０００は、加熱ブロック１０２０と結合される化学蒸着機器である。簡潔のため、化学蒸着機器の詳細（例えば、シャワーヘッド、ウエハ、ガスチャネルなど）については省略する。装置１０００は、チャンバ１０１０を含む。

加熱ブロック１０２０は、チャンバ１０１０に対して回転可能又は傾斜可能に化学蒸着機器と結合される（例えば、加熱ブロック１０２０が傾斜できる）。例えば、加熱ブロック１０２０はチャンバ１０１０に対して回転（例えば、ある範囲内で）又は傾斜することができ、これにより加熱ブロック１０２０上に置かれた基板がチャンバ１０１０内の他の構成要素（例えば、シャワーヘッド）に対して水平に位置決めされることができるように基板を調整することが可能となる。

図１０の装置１０００は、少なくとも二つのレベリングデバイス１００（例えば、レベリングデバイス１００−１及びレベリングデバイス１００−２）と結合される。二つのレベリングデバイスのそれぞれ（例えば、レベリングデバイス１００−１）は、装置１０００に対して、装置１０００の下に（例えば、据え付けねじを用いて）取り付けられる。レベリングデバイス１００の昇降部ピン２０８（例えば、２０８−１及び２０８−２）が、加熱ブロック１０２０を支持する。一つ又は複数のレベリングデバイス１００を調整することにより、加熱ブロック１０２０の傾斜を小さくすることができる（例えば、加熱ブロック１０２０を水平にすることができる）。

図１０の装置１０００は、ジグ１２００も含む。ジグ１２００は、加熱ブロック１２００がピン２０８に安定的に接触するように加熱ブロック１２００に下向きの圧力（又は力）を加える、ばね付ピンを典型的に含む。

図１０は、ばね付ピンがチャンバ１０１０から離れる方向を向くようにジグ１２００が置かれていることを示すが、ばね付ピンがチャンバ１０１０に面するようにジグ１２００が置かれてもよいことを、当業者は理解するであろう。

図１１は、幾つかの実施形態に係る装置１０００の据え付け点を示す。図１１に示すのは、装置１０００の底面図であり、チャンバ１０１０の底面側を含む。装置１０００は、三つの据え付け点を有し、そこには二つのレベリングデバイス１００（例えば、１００−１及び１００−２）とピン１１００とが置かれる。幾つかの実施形態では、二つのレベリングデバイス１００及びピン１１００は運動学的連結として動作し、それにより、安定した尚且つ調整可能な支持が装置１０００に提供される。

幾つかの実施形態では、第３のレベリングデバイスがピン１１００の代わりに使用される。

図１２は、幾つかの実施形態に係るジグ１２００の斜視図である。

ジグ１２００は、ブロック１２１０及び一つ又は複数のばね付ピン１２２０を含む。

使用に際して、ジグ１２００は、図１０に示すように、装置本体（例えば、チャンバ１０１０）と傾斜可能な構成要素（例えば、加熱ブロック１０２０）の基部ブロックとの間に置かれる。使用するとき、ジグ１２００は、傾斜可能な構成要素（例えば、加熱ブロック１０２０）の基部ブロックを装置本体（例えば、チャンバ１０１０）から離れる方向にジグ１２００が押すように、装置本体（例えば、チャンバ１０１０）及び傾斜可能な構成要素（例えば、加熱ブロック１０２０）の基部ブロックと接触する。

上述の説明は、解説する目的のために、特定の実施形態を参照して記載してきた。しかしながら、上記の例証的議論は、本発明を、開示したとおりの様態に徹底することもそれに限定することも意図していない。上記の教示に鑑みて、多くの改変と変形が可能である。本発明の原理とその実際的な用途を良好に解説する目的で実施形態を選択して説明したが、それにより、当業者なら期待する特定の使用に適するように様々な改変を備えて本発明及び様々な実施形態を良好に利用することができる。

Claims (18)

1. 主要本体、ロッド、昇降部ブロック及び昇降部ピンを備えるレベリングデバイスであって、
   前記主要本体は、基部ブロック、連結アーム及び上部プレートを有し、
   前記連結アームが前記基部ブロックと前記上部プレートとの間に位置するように前記基部ブロック及び前記上部プレートが前記連結アームに連結され、前記連結アームは特定の幅及び特定の位置を有し、それにより、前記連結アーム、前記基部ブロック及び前記上部プレートが協働して前記主要本体に凹所を画定し、
   前記基部ブロックは、二つの穴を画定し、
   前記二つの穴のうちの第１の穴は、前記基部ブロックの前記上部プレートに面する側面に画定され、
   前記二つの穴のうちの第２の穴は、前記第１の穴に連結され、前記第２の穴は、前記第１の穴に対して実質的に垂直であり、
   前記第２の穴は、第１の部分及び第２の部分を有し、前記第２の穴の前記第１の部分は、円形の断面を有し、前記第２の穴の前記第２の部分は、円形でない断面を有し、
   前記ロッドは、前記主要本体と回転可能に結合され、
   前記ロッドは、前記基部ブロックの前記第２の穴の前記第１の部分の中と前記基部ブロックの前記第２の穴の前記第２の部分の中とに少なくとも部分的に置かれ、
   前記第２の穴の方に置かれる前記ロッドの第１の部分は、第１のねじを有し、
   前記ロッドの第２の部分は、ねじが形成されず、
   前記ロッドは、前記主要本体の外側に少なくとも部分的に置かれるノブと結合され、
   前記昇降部ブロックは、前記ロッドと回転可能に結合されると共に前記基部ブロックと摺動可能に結合され、
   前記昇降部ブロックは、前記基部ブロックの前記第２の穴の前記第２の部分の中に少なくとも部分的に置かれ、
   前記昇降部ブロックは、前記ロッドにより画定される軸と実質的に平行である底部表面を有し、
   前記昇降部ブロックは、前記底部表面の反対側に、前記底部表面と平行ではない上部表面を有し、
   前記昇降部ブロックは、前記第１のねじを有する穴を画定し、
   前記ロッドの前記第１の部分の前記第１のねじを有する少なくとも一部分が、前記昇降部ブロックの前記穴の中に置かれ、
   前記昇降部ピンは、前記基部ブロックと摺動可能に結合されると共に前記昇降部ブロックと摺動可能に結合され、
   前記昇降部ピンが前記基部ブロックの前記第１の穴に沿って摺動するように構成されるように、前記昇降部ピンが前記基部ブロックの前記第１の穴の中に少なくとも部分的に置かれ、
   前記昇降部ピンは、第１の端部と、前記第１の端部の反対側に、前記第１の端部と平行ではない第２の端部と、を有する、
   レベリングデバイス。
2. 前記昇降部ピンの前記第１の端部は、前記昇降部ブロックの前記上部表面と実質的に平行である、請求項１に記載のレベリングデバイス。
3. 二つのクラウン歯車と、ばねと、を更に備え、
   前記二つのクラウン歯車は、前記主要本体の前記基部ブロックと前記ノブとの間に位置し、
   前記二つのクラウン歯車のうちの第１のクラウン歯車の歯が、前記二つのクラウン歯車のうちの第２のクラウン歯車の歯に面し、
   前記ロッドにより画定される軸の回りの前記ロッドの回転が前記ロッドにより画定される前記軸の回りの前記第２のクラウン歯車の回転をもたらすように、前記第２のクラウン歯車が前記ロッドと結合され、
   前記ロッドにより画定される前記軸の回りの前記ロッドの前記回転は、前記第１のクラウン歯車の回転をもたらさず、
   前記ばねは、前記二つのクラウン歯車のうちの前記第１のクラウン歯車の前記歯が前記二つのクラウン歯車のうちの前記第２のクラウン歯車の前記歯に接触するように、前記二つのクラウン歯車のうちの一つと結合されると共にそれに力を加えるように構成される、
   請求項１又は２に記載のレベリングデバイス。
4. 前記二つのクラウン歯車のうちの一つはチタンで作製される、請求項３に記載のレベリングデバイス。
5. 前記二つのクラウン歯車のうちの残りの一つはアルミニウムで作製される、請求項４に記載のレベリングデバイス。
6. 前記二つのクラウン歯車のうちの一つのクラウン歯車は、前記クラウン歯車の周に沿って複数の歯グループを有し、前記クラウン歯車の前記周に沿った二つの隣接する歯グループの間の部分が歯を含まないように、前記二つの隣接する歯グループが相互に分離される、請求項３乃至５のいずれか一項に記載のレベリングデバイス。
7. ロックハンドルを更に備え、
   前記ロックハンドルは、一つ又は複数の溝を含み、
   前記ロックハンドルは、前記基部ブロックと回転可能に結合され、
   前記第１のクラウン歯車は、前記第１のクラウン歯車の前記歯の反対側の面に、一つ又は複数の溝を含み、
   前記ロックハンドルの前記一つ又は複数の溝が前記第１のクラウン歯車の前記一つ又は複数の溝に面すると共にそれに接触するように、前記ロックハンドルが前記第１のクラウン歯車と前記基部ブロックとの間に置かれ、
   前記ロックハンドルは、前記ロッドにより画定された前記軸の回りの前記ロックハンドルの回転に従って、前記第２のクラウン歯車が前記ロッドにより画定された前記軸の回りに回転することを防ぐように、前記第２のクラウン歯車へ近づく方向に前記第１のクラウン歯車に力を提供するように構成される、
   請求項３乃至６のいずれか一項に記載のレベリングデバイス。
8. 前記第１のクラウン歯車は、前記ロッドにより画定された前記軸の回りの回転を防がれていて、
   前記ロッドにより画定された前記軸の回りの前記ロックハンドルの回転に従って、前記第１のクラウン歯車が前記第２のクラウン歯車に対して近づく方向及び離れる方向に動くように構成される、
   請求項７に記載のレベリングデバイス。
9. 前記ロッドは、前記主要本体の前記基部ブロックの前記第２の穴の中に位置する軸受を用いて、前記主要本体の前記基部ブロックと結合される、請求項３乃至８のいずれか一項に記載のレベリングデバイス。
10. 装置本体と、傾斜可能な構成要素と、三つのサポートと、を備え、
    前記装置本体は、前記装置本体の下に三つの据え付け点を有し、前記三つの据え付け点は、ある特定の平面上に三角形の形状を画定し、
    前記傾斜可能な構成要素は、前記装置本体の中に少なくとも部分的に置かれると共に前記装置本体の外かつ前記装置本体の下に少なくとも部分的に延在し、
    前記三つのサポートは、前記装置本体の前記三つの据え付け点に置かれると共に前記傾斜可能な構成要素と結合され、前記三つのサポートは、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の前記レベリングデバイスを少なくとも二つ含む、
    装置。
11. 少なくとも一つのジグを更に備え、
    前記ジグは、ブロック及び一つ又は複数のばね付ピンを含み、
    前記ジグが前記傾斜可能な構成要素の基部ブロックを前記装置本体から離れる方向に押すように、前記ジグが前記装置本体と前記傾斜可能な構成要素の前記基部ブロックとの間に置かれると共に前記装置本体及び前記基部ブロックと接触する、
    請求項１０に記載の装置。
12. 前記三つのサポートのうちの一つは、動かせないピンである、請求項１０又は１１に記載の装置。
13. 前記レベリングデバイスは、前記レベリングデバイスを前記装置本体に据え付けるために使用される貫通穴を画定する、請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の装置。
14. 前記三つのサポートは、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の前記レベリングデバイスを三つ含む、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の装置。
15. 前記三つの据え付け点により画定される前記三角形は、二等辺三角形である、請求項１０乃至１４のいずれか一項に記載の装置。
16. 前記三つのサポートは、第１のレベリングデバイス、第２のレベリングデバイス及びサポートを含み、
    前記第１のレベリングデバイスと前記サポートとの間の第１の距離と、前記第２のレベリングデバイスと前記サポートとの間の第２の距離と、は実質的に同一である、請求項１５に記載の装置。
17. 前記三角形は、正三角形である、請求項１５乃至１６のいずれか一項に記載の装置。
18. 前記三つの据え付け点により画定される前記特定の平面は、前記傾斜可能な構成要素の基部ブロックにより画定される平面と実質的に平行である、請求項１０乃至１７のいずれか一項に記載の装置。

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