KR101831120B1

KR101831120B1 - 설비 레벨러

Info

Publication number: KR101831120B1
Application number: KR1020177018748A
Authority: KR
Inventors: 재 환 홍; 정 훈 선; 창 원 김
Original assignee: 에코마이크론, 인코포레이티드
Priority date: 2014-12-10
Filing date: 2015-12-09
Publication date: 2018-02-21
Also published as: US9810367B2; JP6343105B2; KR20170090496A; CN107207229A; EP3230196A1; CN107207229B; US20170122489A1; EP3230196A4; SG11201705477RA; JP2018500257A; EP3230196B1; WO2016094569A1

Abstract

레벨링 장치 및 레벨링 장치를 이용한 기구가 설명된다. 레벨링 장치는 본체; 본체와 회전 가능하게 결합된 로드; 로드와 회전 가능하게 결합되며 본체의 베이스 블록과 슬라이딩 가능하게 결합된 엘리베이터 블록; 및 본체의 베이스 블록과 슬라이딩 가능하게 결합되고 엘리베이터 블록의 경사진 표면과 슬라이딩 가능하게 결합된 엘리베이터 핀을 포함한다. 로드의 회전은 엘리베이터 블록의 선형 이동을 야기하며, 이는 결과적으로 엘리베이터 블록의 이동에 수직인 방향으로의 엘리베이터 핀의 이동을 야기한다.

Description

설비 레벨러{Equipment Leveler}

본 발명은 일반적으로, 제한되지는 않지만, 반도체 처리 설비 및/또는 이들의 구성 요소를 수평화하기 위한 장치 및 방법을 포함하는, 고중량의 설비를 수평화하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.

기구 및/또는 이의 구성 요소의 보다 정확하고 빠른 수평화(leveling)를 가능하게 하는 장치가 장치가 필요하다.

위에서 설명된 한계 및 단점을 다루는 다수의 실시예가 아래에 보다 상세하게 제시되어 있다. 이러한 장치, 기구 및 방법은 종래의 장치, 기구 및 방법을 대체할 수 있다. 대안적으로, 이러한 장치, 기구 및 방법은 종래의 장치, 기구 및 방법을 보완할 수 있다.

이하에서 더욱 상세하게 설명된 바와 같이, 일부 실시예는 베이스 블록, 연결 아암 및 최상부 플레이트를 갖는 본체를 포함하는 레벨링 장치를 포함한다. 연결 아암이 베이스 블록과 최상부 플레이트 사이에 위치되도록 베이스 블록과 최상부 플레이트는 연결 아암에 연결된다. 연결 아암은 특정 폭과 특정 위치를 가져 연결 아암, 베이스 블록 및 최상부 플레이트는 집합적으로 본체에 요부를 한정한다. 베이스 블록은 2개의 구멍을 한정한다. 2개의 구멍 중 제1 구멍은 최상부 플레이트를 향하는 베이스 블록의 측부 상에 한정된다. 2개의 구멍 중 제2 구멍은 제1 구멍에 연결되며, 제2 구멍은 제1 구멍에 대체로 수직이다. 제2 구멍은 제1 부분과 제2 부분을 가지며, 제2 구멍의 제1 부분은 원형 단면을 가지며 제2 구멍의 제2 부분은 원형이 아닌 단면을 갖는다. 본 장치는 또한 본체와 회전 가능하게 결합된 로드를 포함한다. 로드는 베이스 블록의 제2 구멍의 제1 부분 및 베이스 블록의 제2 구멍의 제2 부분 내에 적어도 부분적으로 위치된다. 제2 구멍을 향해 위치된, 로드의 제1 부분은 제1 나사부를 갖는다. 로드의 제2 부분은 나사부가 아니다. 로드는 본체 외부에 적어도 부분적으로 위치된 노브와 결합된다. 본 장치는 로드와 회전 가능하게 결합되고 베이스 블록과 슬라이딩 가능하게 결합된 엘리베이터 블록을 더 포함한다. 엘리베이터 블록은 베이스 블록의 제2 구멍의 제2 부분 내에 적어도 부분적으로 위치된다. 엘리베이터 블록은 로드에 대체로 수직인 최하부 표면을 갖는다. 엘리베이터 블록은 최하부 표면의 반대쪽이면서 최하부 표면과 평행하지 않은 최상부 표면을 갖는다. 엘리베이터 블록은 제1 나사부를 갖는 관통 구멍을 한정한다. 제1 나사부를 갖는, 로드의 제1 부분의 적어도 일부는 엘리베이터 블록의 관통 구멍 내에 위치된다. 엘리베이터 핀은 베이스 블록과 슬라이딩 가능하게 결합되고 엘리베이터 블록과 슬라이딩 가능하게 결합된다. 엘리베이터 핀은 베이스 블록의 제1 구멍 내에 적어도 부분적으로 위치되며 따라서 엘리베이터 핀은 베이스 블록의 제1 구멍을 따라서 슬라이딩하도록 구성된다. 엘리베이터 핀은 제1 말단 및 제1 말단의 반대쪽이면서 제1 말단과 평행하지 않은 제2 말단을 갖는다.

일부 실시예에 따르면, 본 기구는 기구 몸체 아래에 3개의 장착점을 갖는 기구 몸체를 포함한다. 3개의 장착점은 특정 평면 상에 삼각형 형상을 한정한다. 본 기구는 또한 기구 몸체 내에 적어도 부분적으로 위치되고 기구 몸체 아래의 기구 몸체 외부에서 적어도 부분적으로 연장되는 기울어질 수 있는 구성 요소를 포함한다. 본 기구는 기구 몸체의 3개의 장착점에 위치되고 그리고 기울어질 수 있는 구성 요소와 결합된 3개의 지지부를 더 포함한다. 3개의 지지대는 위에 설명된 적어도 2개의 레벨링 장치를 포함한다.

일부 실시예에서, 3개의 지지부 중 하나는 고정 핀이다.

일부 실시예에서, 레벨링 장치는 기구 몸체에 레벨링 장치를 장착하기 위하여 사용된 관통 구멍을 한정한다.

일부 실시예에서, 3개의 지지부는 위에서 설명된 3개의 레벨링 장치를 포함한다.

일부 실시예에서, 3개의 장착점에 의해 한정된 삼각형은 이등변 삼각형이다. 일부 실시예에서, 3개의 지지부는 제1 레벨링 장치, 제2 레벨링 장치 및 지지부를 포함한다; 제1 레벨링 장치와 지지부 사이의 제1 거리와 제2 레벨링 장치와 지지부 사이의 제2 거리는 대체로 동일하다. 일부 실시예에서, 위의 삼각형은 정삼각형이다.

전술한 양태뿐만 아니라 부가적인 양태 및 실시예를 더 잘 이해하기 위해, 이하의 도면과 관련하여 이하의 실시예의 설명을 참조할 것이며, 도면에서 동일한 참조 번호는 도면 전체에서 대응하는 부분을 나타낸다.

도 1은 일부 실시예에 따른 레벨링 장치의 사시도이다.
도 2는 일부 실시예에 따른 레벨링 장치의 고-레벨 분해도이다.
도 3a은 일부 실시예에 따른 레벨링 장치의 본체의 사시도이다.
도 3b는 일부 실시예에 따른 레벨링 장치의 본체의 베이스 블록의 횡단면도이다.
도 4는 일부 실시예에 따른 로드의 사시도이다.
도 5a는 일부 실시예에 따른 엘리베이터 블록의 사시도이다.
도 5b는 일부 실시예에 따른 엘리베이터 블록의 정면도이다.
도 6a는 일부 실시예에 따른 엘리베이터 핀의 사시도이다.
도 6b는 일부 실시예에 따른 엘리베이터 핀의 정면도이다.
도 7a는 일부 실시예에 따른 크라운 기어의 사시도이다.
도 7b는 일부 실시예에 따른 크라운 기어의 정면도이다.
도 7c는 일부 실시예에 따른 크라운 기어의 정면도이다.
도 8은 일부 실시예에 따른 크라운 기어의 사시도이다.
도 9a는 일부 실시예에 따른 스프링의 사시도이다.
도 9b는 일부 실시예에 따른 록 핸들의 사시도이다.
도 10은 일부 실시예에 따른 레벨링 장치를 갖는 기구를 도시한 고-레벨 도면이다.
도 11은 일부 실시예에 따른 기구의 장착점을 도시한 도면이다.
도 12는 일부 실시예에 따른 지그의 사시도이다.
명확하게 명시되지 않는 한 도면은 비율에 맞게 작성되지 않는다.

본 명세서에서 설명된 장치, 기구 및 방법은 장치 또는 그 구성 요소의 더 빠르고 더 정확한 레벨링을 가능하게 한다. 본 명세서 내에서 설명된 구성 요소를 사용하여 무거운 기구 또는 구성 요소를 조정하는 편리하고 정확한 방법 또한 달성되었다. 몇몇 실시예에 대한 세부 사항이 이하에서 설명된다.

특정 실시예가 참조될 것이며, 그 예는 첨부된 도면에 도시된다. 청구범위는 실시예와 관련하여 설명될 것이지만, 청구범위를 이 특정 실시예만으로 한정하려는 의도는 아니라는 것이 이해될 것이다. 반대로, 실시예는 첨부된 청구범위의 사상 및 범위 내에 있는 대안, 변형 및 등가물을 포함하도록 의도된다.

또한, 이하의 설명에서, 다수의 특정 세부 사항이 실시예의 완전한 이해를 제공하기 위해 제공된다. 그러나, 실시예가 이러한 특정 세부 사항 없이 실행될 수 있음이 당업자에게는 명백할 것이다. 다른 예에서, 당업자에게 잘 알려진 구성 요소 및 절차는 실시예의 애매한 양태를 피하기 위하여 상세히 설명되지 않는다.

용어 제1, 제2 등은 용어가 본 명세서에서 다양한 구성 요소를 설명하기 위해 사용될 수 있지만, 이 요소들은 이 용어에 의해 제한되어서는 안된다는 점 또한 이해될 것이다. 이 용어는 한 요소를 다른 요소와 구별하기 위해서만 사용된다. 예를 들어, 제1 부분은 제2 부분으로 지칭될 수 있으며, 마찬가지로 제2 부분은 청구 범위의 범주를 벗어나지 않으면서 제1 부분으로 지칭될 수 있다. 제1 부분과 제2 부분은 모두 부분이지만, 이들은 동일한 부분이 아니다.

본 명세서 내에서의 실시예의 설명에 사용된 용어는 특정 실시예만을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하려는 것은 아니다. 실시예의 설명 및 청구범위에서 사용된 바와 같이, 단수 형태인 "하나", "한" 및 "그"는 문맥이 명백히 다르게 제시하지 않는 한, 복수의 형태를 포함하도록 의도된다. 본 명세서에서 사용된 바와 같은 용어 "및/또는"은 하나 이상의 관련된 열거 항목의 임의의 그리고 모든 가능한 조합을 지칭하고 포함하기 위하여 사용된다는 점 또한 이해될 것이다. 본 명세서 내에 사용될 때, 용어 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 설명된 특징, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 구성 요소를 특정하며, 다른 특징, 정수, 단계, 동작, 요소, 구성 요소 및/또는 이들의 그룹들 중 하나 이상의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다는 것이 더 이해될 것이다.

도 1은 일부 실시예에 따른 레벨링 장치(100)의 사시도이다.

많은 산업 공정에서, 다수의 구성 요소가 실질적으로 서로 평행(또는 수평)한 다수의 구성 요소를 갖는 것이 중요하다. 예를 들어, 화학 기상 증착에서, 웨이퍼가 수평이지 않으면, 증착된 층의 균일성이 감소하며, 이는 웨이퍼 상의 칩들 사이의 증가된 변화를 야기하며 궁극적으로 반도체 장치의 열악한 성능 및/또는 감소된 수율을 야기한다.

그러나, 구성 요소(예를 들어, 화학 기상 증착에 사용되는 가열 블록)를 조정하기 위한 기존의 방법은 부정확하고, 시간 소모적이며, 비효율적이고, 불편하고, 번거롭다. 예를 들어, 화학적 기상 증착 공정 후에 가열 블록이 수평이 아님을 알게 되면, 공정 챔버는 냉각될 필요가 있다. 공정 챔버가 냉각되면, 수직 볼트 및 관련 너트로 장착된 가열 블록이 볼트와 너트를 회전시킴으로써 조정되며, 이는 부정확하고 시간이 걸리는 과정이다.

비교해보면, 레벨링 장치(100)는 노브를 회전시킴으로써 가열 블록(또는 반도체 장비에 사용된 임의의 다른 구성 요소)의 조정을 가능하게 한다. 레벨링 장치(100)는 가열 블록(또는 임의의 다른 구성 요소)의 수직 위치를 정확하게 조정하기 위한 메커니즘을 포함한다. 일부 실시예에서, 가열 블록은 가열 블록을 냉각시키지 않고 조정되며, 그에 의하여 가열 블록을 조정하는데 필요한 유지 보수 시간을 감소시킨다.

도 2는 일부 실시예에 따른 레벨링 장치(100)의 고-레벨 분해도이다. 도 2에서, 점선은 분해도에서 숨겨진(예를 들어, 보이지 않는) 부분을 나타낸다. 도 2에서, 특정 세부 사항은 간결함을 위하여 생략되었다.

레벨링 장치(100)는 기구에 장착하기 위하여, 수평으로 유지될 구성 요소를 지지하기 위하여 및/또는 수평 조절 장치(100)의 다른 구성 요소를 유지하기 위하여 사용된 본체(202)를 포함한다.

본체(202)는 로드(204)가 적어도 부분적으로 위치되는 구멍(304)을 한정한다. 로드(204)는 본체(202)와 회전 가능하게 결합된다(예를 들어, 로드(204)는 본체(202)에 대해 회전할 수 있다).

레벨링 장치(100)는 또한 엘리베이터 블록(207)을 포함한다. 엘리베이터 블록(207)은 로드(204)와 회전 가능하게 결합되어 로드(204)의 회전이 엘리베이터 블록(207)을 선형적으로 (예를 들어, 로드(204)에 의해 한정된 축을 따라) 이동시키도록 한다. 엘리베이터 블록(207)은 전형적으로 경사진 최상부 표면을 갖는다.

레벨링 장치(100)는 또한 엘리베이터 핀(208)을 포함하며, 이는 기구 또는 그의 구성 요소의 일 부분을 들어올리거나 낮추는데 사용된다. 사용시, 엘리베이터 핀(208)은 엘리베이터 블록(207) 위에 위치된다. 따라서, 엘리베이터 핀(208) 및 엘리베이터 핀(208)과 관련된 기구 구성 요소가 올려지도록 엘리베이터 블록(207)의 선형 이동은 엘리베이터 핀(208)을 위로 밀어올릴 수 있다. 또한, 엘리베이터 블록(207)의 반대 방향의 선형 이동은 (예를 들어, 엘리베이터 핀(208) 및/또는 관련 기구 구성 요소에 가해지는 중력 또는 추가적인 힘의 도움으로) 엘리베이터 핀(208)을 아래로 당길 수 있다.

일부 실시예에서, 레벨링 장치(100)는 하나 이상의 베어링 및/또는 O-링(미도시)을 포함한다. 포함된다면, 베어링/O-링들은 로드(204)의 두 대향 종단에 위치된다. 일부 실시예에서, 로드(204)는 구멍(304) 내에 위치된 베어링을 이용하여 본체(202)(예를 들어, 특히 본체(202)의 베이스 블록)와 결합된다.

일부 실시예에서, 레벨링 장치(100)는 내부에서 허브가 한정된 록 핸들(216)을 포함한다. 조립될 때, 로드(204)는 록 핸들(216)의 허브를 통해 연장된다.

록 핸들(216)은 본체(202)(예를 들어, 본체(202)의 베이스 블록)와 회전 가능하게 결합된다. 예를 들어, 록 핸들(216)은 (특히 미리 결정된 범위 내에서) 본체(202)에 대해 회전할 수 있다. 필요할 때 록 핸들(216)은 로드(204)의 회전을 방지하기 위해 사용된다.

일부 실시예에서, 레벨링 장치(100)는 록 플레이트(218)를 포함하며, 록 플레이트는 록 핸들(216)이 록 플레이트(218)와 본체(202) 사이에 위치되도록 (예를 들어, 스크류를 이용하여) 본체(202)에 부착된다. 록 플레이트(218)는 본체(202)로부터의 록 핸들(216)의 해제를 방지하면서 사전 결정된 범위 내에서의 록 핸들(216)의 회전을 가능하게 (그리고 사전 결정된 범위를 벗어난 록 핸들(216)의 회전을 방지)한다.

일부 실시예에서, 레벨링 장치(100)는 크라운 기어(206 및 210)를 포함한다. 본 명세서에 사용된 바와 같이, 크라운 기어는 제1면 및 제1면의 반대쪽인 제2면을 가지며 그리고 적어도 하나의 면 상에 파여진(grooved) 톱니를 지칭한다. 크라운 기어는 전형적으로 디스크 형상이다. 일부 실시예에서, 크라운 기어는 크라운 기어의 면에 직각으로 돌출된 톱니를 갖고 있다. 일부 실시예에서, 크라운 기어는 평면 피치 표면과 평면 치근 표면(root surface)을 가지며, 이들 모두는 크라운 기어의 회전축에 수직이다. 크라운 기어는 또한 정면 기어(face gear)라고도 불리어진다.

크라운 기어(206 및 210)는 본체(202) (특히, 도 3a에 관하여 아래에서 설명된, 본체(202)의 베이스 블록)와 노브(220) 사이에 위치된다. 크라운 기어(206)는 톱니(209)를 포함한다. 유사하게, 크라운 기어(210)는 톱니(미도시)를 포함한다. 조립될 때, 크라운 기어(206)의 톱니(209)는 크라운 기어(210)의 톱니를 향한다.

일부 실시예에서, 크라운 기어(210)는 로드(204)와 결합되어 로드(204)에 의해 한정된 축을 중심으로 하는 로드(204)의 회전이 크라운 기어(210)의 회전을 일으키는 반면에, 로드(204)에 의해 한정된 축을 중심으로 하는 로드(204)의 회전은 크라운 기어(206)의 회전을 야기하지 않는다 (예를 들어, 로드(204)는 크라운 기어(206)와 회전 가능하게 결합되지 않으며 따라서 크라운 기어(206)와 관계없이 로드(204)는 회전할 수 있다).

일부 실시예에서, 레벨링 장치(100)는 크라운 기어(210)를 크라운 기어(206)로 누르기 위한 스프링(214)을 포함한다. 도 2에서, 스프링(214)은 판 스프링이다. 대안적으로, 다른 유형의 스프링(를 들어, 코일 스프링)이 사용될 수 있다.

레벨링 장치(100)는 노브(220)를 포함한다. 일부 실시예에서, 노브(220)는 노브 조립체를 포함한다. 일부 실시예에서, 노브(220)는 움직이지 않도록 (전형적으로, 본체(202)에 고정되도록)로 구성된 슬리브(또한, 배럴 또는 스톡으로 불려짐)를 갖는 마이크로미터 및 회전하도록 구성되고 로드(204)와 결합된 심블(thimble)을 포함한다. 일부 실시예에서, 슬리브는 스케일(예를 들어, 회전수 또는 이동 거리를 나타내는 마킹(marking))을 포함한다. 일부 실시예에서, 심블은 심블의 회전 정도(예를 들어, 도(degrees))를 결정하기 위해 사용되는 마킹을 포함한다.

일부 실시예에서, 레벨링 장치(100)는 레벨링 장치(100)를 기구(예를 들어, 화학 기상 증착 챔버와 같은 반도체 처리 챔버)에 부착하기 위한 스크류를 포함한다.

도 3a는 일부 실시예에 따른 레벨링 장치(100)의 본체(202)의 사시도이다.

도 3a 내의 본체(202)는 베이스 블록(310), 연결 아암(320) 및 최상부 플레이트(330)를 포함한다. 연결 아암(320)이 베이스 블록(310)과 최상부 플레이트(330) 사이에 위치되도록 베이스 블록(310)과 최상부 플레이트(330)는 연결 아암(320)에 연결된다. 연결 아암(320)은 특정 폭 및 특정 위치를 가져 연결 아암(320), 베이스 블록(310) 그리고 최상부 플레이트(330)는 본체(202) 내에 집단적으로 요부(예를 들어, 베이스 블록(310)과 최상부 플레이트(330) 사이의 공간)를 한정한다. 일부 실시예에서, 도 3a에 도시된 바와 같이, 연결 아암(320)의 특정 폭은 최상부 플레이트(330)의 폭 그리고 베이스 블록(310)의 폭보다 작다. 예를 들어, 도 3a에서 베이스 블록(310), 연결 아암(320) 및 최상부 플레이트(330)는 대체로 동일한 깊이를 갖는 반면에, 연결 아암(320)의 폭은 베이스 블록(310) 또는 최상부 플레이트(330)의 폭보다 작으며, 따라서 베이스 블록(310), 연결 아암(320) 및 최상부 플레이트(330)가 공통 평면을 형성할 때, 최상부 플레이트(330)와 베이스 블록(310) 사이에 요부가 형성된다.

일부 실시예에서, 본체(202)는 일체로 형성된다. 예를 들어, 본체는 단일의 재료(예를 들어, 알루미늄과 같은 금속) 블록으로 제조된다. 일부 경우에, 단일의 재료 블록은 절단(예를 들면, 소잉(sawed), 밀링(milled) 및/또는 드릴링(drilled))되어 본체(202)의 형상을 갖는다.

도 3b는 일부 실시예에 따른 레벨링 장치(100)의 본체(202)의 베이스 블록(310)의 횡단면도이다.

베이스 블록(310)은 2개의 구멍을 한정한다. 2개의 구멍 중 제1 구멍(302)은 최상부 플레이트(330) (예를 들어, 레벨링 장치가 도 10에 도시된 바와 같이 장착될 때 최상부 표면)를 향하는 베이스 블록(310)의 측부 상에 한정된다. 도 3b에 나타나 있는 바와 같이, 2개의 구멍 중 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 연결되며, 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직이다. 일부 실시예에서, 제1 구멍(302)에 의해 한정된 축과 제2 구멍(304)에 의해 한정된 축 사이의 각도가 65 내지 115°일 때 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직인 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 제1 구멍(302)에 의해 한정된 축과 제2 구멍(304)에 의해 한정된 축 사이의 각도가 70 내지 110°일 때 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직인 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 제1 구멍(302)에 의해 한정된 축과 제2 구멍(304)에 의해 한정된 축 사이의 각도가 75 내지 105°일 때 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직인 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 제1 구멍(302)에 의해 한정된 축과 제2 구멍(304)에 의해 한정된 축 사이의 각도가 80 내지 100°일 때 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직인 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 제1 구멍(302)에 의해 한정된 축과 제2 구멍(304)에 의해 한정된 축 사이의 각도가 85 내지 95°일 때 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직인 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 제1 구멍(302)에 의해 한정된 축과 제2 구멍(304)에 의해 한정된 축 사이의 각도가 87 내지 93°일 때 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직인 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 제1 구멍(302)에 의해 한정된 축과 제2 구멍(304)에 의해 한정된 축 사이의 각도가 88 내지 92°일 때 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직인 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 제1 구멍(302)에 의해 한정된 축과 제2 구멍(304)에 의해 한정된 축 사이의 각도가 89 내지 91°일 때 제2 구멍(304)은 제1 구멍(302)에 실질적으로 수직인 것으로 간주된다.

제2 구멍(304)은 제1 부분(312) 및 제2 부분(314)을 갖는다. 제2 구멍(304)의 제1 부분(312)은 원형 횡단면을 갖는다. 일부 실시예에서, 제2 구멍(304)의 제2 부분(314)은 원형이 아닌 횡단면(예를 들어, 직사각형 단면)을 갖는다. 일부 실시예에서, 제2 구멍(304)의 제2 부분(314)의 적어도 최하부 표면은 제2 구멍(304)의 제1 부분(312)을 향해 균일하게 연장되며, 이는 이 표면 상에서의 엘리베이터 블록(예를 들어, 도 2의 엘리베이터 블록(207))의 슬라이딩을 가능하게 한다. 일부 실시예에서, 2개의 구멍 중 제1 구멍(302)은, 도 3b에 도시된 바와 같이 제2 구멍(304)의 제2 부분(314)에 직접 연결된다.

도 4는 일부 실시예에 따른 로드(204)의 사시도이다. 로드(204)의 적어도 제1 부분(412)은 나사부이다(예를 들어, 로드(204)의 제1 부분(412)은 제1 나사부를 갖는다). 일부 실시예에서, 로드(204)의 제2 부분(414)은 나사부가 아니다. 도 2에 도시된 바와 같이, 조립될 때 일반적으로 로드(204)는 본체(202) 외부에 적어도 부분적으로 위치된 노브와 결합된다.

도 5a는 일부 실시예에 따른 엘리베이터 블록(207)의 사시도이다.

조립될 때, 엘리베이터 블록(207)은 베이스 블록(310)의 제2 구멍(304)의 제2 부분(314) 내에 적어도 부분적으로 위치된다(예들 들어, 도 1 참조).

조립될 때, 엘리베이터 블록(207)은 로드(204)와 회전 가능하게 결합되며, 베이스 블록(310)과 슬라이딩 가능하게 결합된다. 예를 들어, 로드(204)는 엘리베이터 블록(207)에 대해 회전할 수 있으며, 엘리베이터 블록(207)은 베이스 블록(310)의 제2 부분(314)의 최하부 표면 상에서 슬라이딩할 수 있다.

엘리베이터 블록(207)은 나사부인 구멍(510)(예를 들어, 관통 구멍)을 한정한다 (예를 들어, 구멍(510)은 로드(204)의 나사부와 맞는 제1 나사부를 갖는다). 일부 실시예에서, 로드(204)의 회전은 베이스 블록(310)의 제2 부분(314)의 최하부 표면 상에서 엘리베이터 블록(207)을 슬라이딩하게 한다.

조립될 때, 제1 나사부를 갖는, 로드(204)의 제1 부분(412)의 적어도 일부는 엘리베이터 블록(207)의 구멍(510) 내에 위치된다.

도 5b는 일부 실시예에 따른 엘리베이터 블록(207)의 정면도이다. 도 5b에서, 파선은 정면도에서 숨겨진(예를 들어, 보이지 않는) 부분을 나타낸다.

일부 실시예에서, 조립될 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504, bottom surface)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행이다(예를 들어, 구멍(510)에 의해 정의된 축은 로드(204)에 의해 정의된 축과 실질적으로 평행하다). 일부 실시예에서, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)의 법선(a surface normal of the bottom surface 504)과 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 의해 형성된 각도가 60 내지 120°일 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행한 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)의 법선(a surface normal of the bottom surface 504)과 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 의해 형성된 각도가 70 내지 110°일 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행한 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)의 법선(a surface normal of the bottom surface 504)과 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 의해 형성된 각도가 75 내지 105°일 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행한 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)의 법선(a surface normal of the bottom surface 504)과 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 의해 형성된 각도가 80 내지 100°일 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행한 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)의 법선(a surface normal of the bottom surface 504)과 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 의해 형성된 각도가 85 내지 95°일 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행한 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)의 법선(a surface normal of the bottom surface 504)과 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 의해 형성된 각도가 87 내지 93°일 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행한 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)의 법선(a surface normal of the bottom surface 504)과 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 의해 형성된 각도가 88 내지 92°일 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행한 것으로 간주된다. 일부 실시예에서, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)의 법선(a surface normal of the bottom surface 504)과 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 의해 형성된 각도가 89 내지 91°일 때, 엘리베이터 블록(207)의 최하부 표면(504)은 로드(204)에 의해 정의된 축(an axis defined by the rod)에 실질적으로(substantially) 평행한 것으로 간주된다.

엘리베이터 블록(207)은 최하부 표면(504) 반대쪽이며 최하부 표면(504)에 평행하지 않은 최상부 표면(502)을 갖는다. 예를 들어, 최하부 표면(504) 및 최상부 표면(502)은 각도(θ)를 형성한다. 일부 실시예에서, θ는 -25 내지 25°이다. 일부 실시예에서, θ는 -20 내지 20°이다. 일부 실시예에서, θ는 -15 내지 15°이다. 일부 실시예에서, θ는 -10 내지 10°이다. 일부 실시예에서, θ는 -5 내지 5°이다. 일부 실시예에서, θ는 -3 내지 3°이다. 일부 실시예에서, θ는 -2 내지 2°이다. 일부 실시예에서, θ는 -1 내지 1°도이다.

도 6a는 일부 실시예에 따른 엘리베이터 핀(208)의 사시도이다. 도 6a에서, 파선은 사시도에서 숨겨진(예를 들어, 보이지 않는) 부분을 나타낸다.

조립될 때, 엘리베이터 핀(208)은 베이스 블록(310)과 슬라이딩 가능하게 결합되며, 엘리베이터 블록(207)과 슬라이딩 가능하게 결합된다. 예를 들어, 엘리베이터 핀(208)은 (예를 들어, 제1 구멍(302) 내에서) 베이스 블록(310)에 대해 상하로 슬라이딩할 수 있으며, 엘리베이터 블록(207) 위에서 (예를 들어, 엘리베이터 블록(207)의 최상부 표면(502) 위에서) 슬라이딩할 수 있다.

따라서, 조립될 때, 엘리베이터 핀(208)은 베이스 블록(310)의 제1 구멍(302) 내에 적어도 부분적으로 위치되며 따라서 엘리베이터 핀(208)은 베이스 블록(310)의 제1 구멍(302)을 따라 슬라이딩하도록 구성된다.

도 6b는 일부 실시예에 따른 엘리베이터 핀(208)의 정면도이다. 도 6b에서, 파선은 정면도에서 숨겨진(예를 들어, 보이지 않는) 부분을 나타낸다.

일부 실시예에서, 엘리베이터 핀은 제1 말단(610) 및 제1 말단(610) 반대쪽이며 제1 말단(610)과 평행하지 않은 제2 말단(620)을 갖는다. 예를 들어, 도 6b에 나타나 있는 바와 같이, 제2 말단(620)은 만곡을 이루고 있으며 제1 말단(610)에 대해 어떤 각도를 이루고 있다.

일부 실시예에서, 엘리베이터 핀(208)의 제1 말단(610)은 엘리베이터 블록(207)의 최상부 표면(502)과 실질적으로 평행하다.

일부 실시예에서, 엘리베이터 핀(208)은 내부에 다른 구멍(630 및 640)을 한정한다. 일부 실시예에서, 구멍(630)은 엘리베이터 핀(208)의 슬라이딩 이동을 안내하기 위하여 사용된다. 일부 실시예에서, 구멍(640)은 엘리베이터 핀(208)이 본체(202) 밖으로 슬라이딩되는 것을 방지하기 위해 사용된다.

도 7a는 일부 실시예에 따른 크라운 기어(206)의 사시도이다.

도 7a에 나타난 바와 같이, 크라운 기어(206)는 일 측부 상에 톱니(209)를 갖는다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)는 톱니(209)를 갖는 측부의 반대쪽 측부 상에 하나 이상의 그루브(710)를 갖는다. 로드(204)의 회전을 방지(예를 들어, 록킹)하기 위해 하나 이상의 그루브(710)가 사용된다.

도 7b는 일부 실시예에 따른 크라운 기어(206)의 정면도이다.

크라운 기어(206)는 크라운 기어(206)의 주변부 둘레에 전체적으로 연장되는 톱니 패턴(209-1)을 갖는다.

도 7c는 일부 실시예에 따른 크라운 기어의 정면도이다.

도 7c에서, 크라운 기어(206)는 톱니 패턴(209-2)을 가지며, 이 톱니 패턴 내에서 톱니들은 크라운 기어(206)의 주변부를 따라 모인다. 도 7c에서, 2개의 인접한 톱니 그룹은 서로 분리되며 따라서 2개의 인접한 톱니 그룹 사이의 크라운 기어(206)의 주변부는 톱니를 포함하지 않는다. 예를 들어, 도 7C에 도시된 바와 같이, 톱니가 포함되지 않는(예를 들어, 제거된) 영역들이 크라운 기어(206)의 주변부를 따라 존재한다. 이는 크라운 기어(206)와 크라운 기어(210) 사이의 접촉 면적을 감소시킴으로써, 큰 부하가 가해질 때 크라운 기어(210)에 크라운 기어(206)가 달라붙는 것을 감소시킨다.

도 8은 일부 실시예에 따른 크라운 기어(210)의 사시도이다.

크라운 기어(210)는 일 측부 상에 톱니(810)를 갖는다. 일부 실시예에서, 톱니(810)를 갖는 측부의 반대쪽 측부는 톱니를 포함하지 않는다.

일부 실시예에서, 2개의 크라운 기어(206 및 210) 중 하나는 알루미늄으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 2개의 크라운 기어(206 및 210) 중 하나는 황동으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 2개의 크라운 기어(206 및 210) 중 하나는 티타늄으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)와 크라운 기어(210) 모두는 알루미늄으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)와 크라운 기어(210) 모두는 황동으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)와 크라운 기어(210) 모두는 티타늄으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)는 티타늄으로 만들어지며 크라운 기어(210)는 알루미늄으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)는 알루미늄으로 만들어지며 크라운 기어(210)는 티타늄으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)는 알루미늄으로 만들어지며 크라운 기어(210)는 황동으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)는 황동으로 만들어지며 크라운 기어(210)는 알루미늄으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)는 황동으로 만들어지며 크라운 기어(210)는 티타늄으로 만들어진다. 일부 실시예에서, 크라운 기어(206)는 티타늄으로 만들어지며 크라운 기어(210)는 황동으로 만들어진다.

도 9a는 일부 실시예에 따른 스프링(214)의 사시도이다.

도 9a에서, 스프링(214)은 판 스프링이다. 다른 실시예에서, 다른 형태의 스프링(예를 들어, 코일 스프링)이 사용된다. 조립될 때, 스프링(214)은 2개의 크라운 기어 중 하나(예를 들어, 크라운 기어(210))와 결합되고 하나의 크라운 기어(예를 들어, 크라운 기어(210))에 힘을 가하도록 구성되며, 따라서 크라운 기어(예를 들어, 크라운 기어(210))의 톱니는 다른 크라운 기어(예를 들어, 크라운 기어(206))의 톱니와 접촉한다. 또한, 스프링(214)은 힘이 가해질 때 2개의 크라운 기어 중 하나(예를 들어, 크라운 기어(210))를 다른 크라운 기어(예를 들어 크라운 기어(206))로부터 물러서게(예를 들어, 멀어지게)하며, 따라서 다른 크라운 기어(예를 들어, 크라운 기어(206))는 하나의 크라운 기어(예를 들어, 크라운 기어(210))에 대하여 회전할 수 있다.

사용자가 노브를 돌릴 때 스프링(214)과 크라운 기어(206 및 210)의 조합은 사용자에게 피드백을 제공한다. 일부 실시예에서, 피드백은 촉각 피드백(예를 들어, 크라운 기어(206 및 210)가 톱니를 지나 거를(skip) 때의 클릭 느낌)을 포함한다. 일부 실시예에서, 피드백은 가청 피드백(예를 들어, 클릭 음)을 포함한다. 이러한 피드백은 레벨링 장치(100)의 정확한 조정을 더욱 용이하게 한다.

도 9b는 일부 실시예에 따른 록 핸들(216)의 사시도이다.

록 핸들은 하나 이상의 그루브(910)를 포함한다. 조립될 때, 록 핸들(216)은 크라운 기어(206)와 베이스 블록(310) 사이에 위치되어 록 핸들(216)의 하나 이상의 그루브(910)는 크라운 기어(206)의 하나 이상의 그루브(710)를 향하고 이와 접촉한다.

록 핸들(216)은 로드(204)에 의해 한정된 축을 중심으로 하는 록 핸들(216)의 회전에 따라 크라운 기어(210)를 향하여 크라운 기어(206)에 힘을 제공하도록 구성되며 따라서 크라운 기어(210)는 로드(204)에 의해 한정된 축을 중심으로 회전하지 못한다. 예를 들어, 록 핸들(216)이 회전될 때, 록 핸들(216)의 하나 이상의 그루브(910)는 크라운 기어(206)의 하나 이상의 그루브(710) 상에서 슬라이딩하며 크라운 기어(206)의 하나 이상의 그루브(710)를 크라운 기어(210)를 향하여 밀어붙인다. 따라서, 크라운 기어(206)는 로드(204)에 의해 한정된 축을 중심으로 하는 록 핸들(216)의 회전에 따라 크라운 기어(210)를 향하여 및/또는 크라운 기어(210)에서 멀어지도록 구성된다. 크라운 기어(206)에 충분한 힘이 가해지면, 크라운 기어(206)와 크라운 기어(210)는 서로에 대해 회전할 수 없다. 크라운 기어(206)가 로드(204)에 의해 한정된 축을 중심으로 회전하는 것이 방지되기 때문에(예를 들어, 록 플레이트(218)를 사용하여 회전식으로 고정), 록 핸들(216)이 크라운 기어(206)를 크라운 기어(210)를 향하여 밀 때, 크라운 기어(210)의 회전 또한 방지된다.

도 10은 일부 실시예에 따른 레벨링 장치를 갖는 기구(1000)를 도시하는 고-레벨 도면이다.

일부 실시예에서, 기구(1000)는 가열 블록(1020)과 결합된 화학 기상 증착 장비이다. 간략함을 위하여, 화학 기상 증착 장비의 세부 구성(예를 들어, 샤워 헤드, 웨이퍼, 가스 채널 등)은 생략된다. 기구(1000)는 챔버(1010)를 포함한다.

가열 블록(1020)은 챔버(1010)에 대하여 화학 기상 증착 장비와 회전 가능하게 또는 기울어질 수 있게 결합된다(예를 들어, 가열 블록(1020)은 기울어질 수 있다). 예를 들어, 가열 블록(1020)은 챔버(1010)에 대해 (예를 들어, 범위 내에서) 회전하거나 기울어질 수 있으며, 이는 가열 블록(1020) 상에 위치된 기판의 조정을 가능하게 하며 따라서 기판은 챔버(1010) 내에서 다른 구성 요소(예를 들어, 샤워 헤드)에 대하여 수평으로 위치될 수 있다.

도 10의 기구(1000)는 적어도 2개의 레벨링 장치(100)(예를 들어, 레벨링 장치(100-1) 및 레벨링 장치(100-2))와 결합된다. 2개의 레벨링 장치 각각(예를 들어, 레벨링 장치(100-1))은 기구(1000) 아래에서 (예를 들어 장착 스크류를 이용하여) 기구(1000)에 부착된다. 레벨링 장치(100)의 엘리베이터 핀(208)(예를 들어, 208-1 및 208-2)은 가열 블록(1020)을 지지한다. 하나 이상의 레벨링 장치(100)를 조정함으로써, 가열 블록(1020)의 기울어짐이 감소될 수 있다 (예를 들어, 가열 블록(1020)이 수평을 이룰 수 있다).

도 10 내의 기구(1000) 또한 지그(1200)를 포함한다. 가열 블록(1200)이 핀(208)과 견고하게 접촉하고 있도록 지그(1200)는 전형적으로 가열 블록(1200)에 하향 압력(또는 힘)을 인가하는 스프링 장착 핀을 포함한다.

도 10은 스프링 장착 핀이 챔버(1010)에서 먼 쪽을 향하도록 지그(1200)가 위치된 것을 도시하고 있지만, 당업자는 스프링 장착 핀이 챔버(1010)를 향하도록 지그(1200)가 위치될 수 있다는 점을 이해할 것이다.

도 11은 일부 실시예에 따른 기구(1000)의 장착점을 도시한다. 도 11에는 챔버(1010)의 최하부 측을 포함하는 기구(1000)의 저면도가 도시되어있다. 기구(1000)는 3개의 장착점을 가지며, 여기에 2개의 레벨링 장치(100)(예를 들어, 100-1 및 100-2)와 핀(1100)이 위치된다. 일부 실시예에서, 2개의 레벨링 장치(100) 및 핀(1100)은 기구학적 결합으로서 작동하며, 그로 인하여 기구(1000)에 대해 안정적이지만 조정 가능한 지지를 제공한다.

일부 실시예에서, 핀(1100) 대신에 제3 레벨링 장치가 이용된다.

도 12는 일부 실시예에 따른 지그(1200)의 사시도이다.

지그(1200)는 블록(1210) 및 하나 이상의 스프링 장착 핀(1220)을 포함한다.

사용시, 도 10에 도시된 바와 같이, 지그(1200)는 기구 몸체(예를 들어, 챔버(1010))와 기울어질 수 있는 구성 요소(예를 들어, 가열 블록(1020))의 베이스 블록 사이에 위치된다. 사용시, 지그(1200)는 기구 본체(예를 들어, 챔버(1010)) 및 기울어질 수 있는 구성 요소(예를 들어, 가열 블록(1020))의 베이스 블록과 접촉하며 따라서 지그(1200)는 기울어질 수 있는 구성 요소(예를 들어, 가열 블록(1020))의 베이스 블록을 기구 몸체(예를 들어, 챔버(1010))에서 밀어낸다.

설명의 목적을 위하여 위의 설명은 특정 실시예를 참조하여 설명되었다. 그러나, 위의 예시적인 논의는 개시된 정확한 형태로 본 발명을 제한하거나 전체적인 것으로 하려는 것은 아니다. 위의 교시의 관점에서 많은 변형 및 변화가 가능하다. 본 발명의 원리 및 그 실제 응용을 가장 잘 설명하기 위하여 그리고 그에 따라 당업자가 본 발명 그리고 고려된 특정 용도에 적합한 다양한 변형을 갖는 다양한 실시예를 가장 잘 이용할 수 있도록 실시예가 선택되고 설명되었다.

Claims

베이스 블록, 연결 아암 그리고 최상부 플레이트를 갖는 본체;
여기서, 상기 연결 아암이 상기 베이스 블록과 상기 최상부 플레이트 사이에 위치되도록 상기 베이스 블록과 상기 최상부 플레이트는 상기 연결 아암과 연결되며, 상기 연결 아암은 특정 폭 및 특정 위치를 가져 상기 연결 아암, 상기 베이스 블록 그리고 상기 최상부 플레이트는 집합적으로 상기 본체에 요부(recess)를 한정하며;
상기 베이스 블록은 2개의 구멍을 한정하되;
상기 2개의 구멍 중 제1 구멍은 상기 최상부 플레이트를 향하는 상기 베이스 블록의 일 측 상에 한정되며;
상기 2개의 구멍 중 제2 구멍은 상기 제1 구멍과 연결되고, 상기 제2 구멍은 상기 제1 구멍에 수직이며; 그리고
상기 제2 구멍은 제1 부분과 제2 부분을 가지며, 상기 제2 구멍의 제1 부분은 원형 횡단면을 가지며, 상기 제2 구멍의 제2 부분은 원형이 아닌 횡단면을 갖고;
상기 본체와 회전 가능하게 결합된 로드;
여기서, 상기 로드는 상기 베이스 블록의 상기 제2 구멍의 상기 제1 부분과 상기 베이스 블록의 상기 제2 구멍의 상기 제2 부분 내에 적어도 부분적으로 위치되고;
상기 제2 구멍을 향해 위치된, 상기 로드의 제1 부분은 제1 나사부를 가지며;
상기 로드의 제2 부분은 나사부가 아니며; 그리고
상기 로드는 상기 본체 외부에 적어도 부분적으로 위치된 노브와 결합되고;
상기 로드와 회전 가능하게 결합되며 상기 베이스 블록과 슬라이딩 가능하게 결합된 엘리베이터 블록; 및
여기서, 상기 엘리베이터 블록은 상기 베이스 블록의 상기 제2 구멍의 상기 제2 부분 내에 적어도 부분적으로 위치되며;
상기 엘리베이터 블록은 상기 로드에 의해 정의되는 축(an axis defined by the rod)에 평행인 최하부 표면을 가지며;
상기 엘리베이터 블록은 상기 최하부 표면의 반대쪽이면서 상기 최하부 표면과 평행하지 않은 최상부 표면을 가지며;
상기 엘리베이터 블록은 상기 제1 나사부를 갖는 구멍을 한정하며; 그리고
상기 제1 나사부를 갖는, 상기 로드의 상기 제1 부분의 적어도 일부는 상기 엘리베이터 블록의 상기 구멍 내에 위치되며;
상기 베이스 블록과 슬라이딩 가능하게 결합되며 상기 엘리베이터 블록과 슬라이딩 가능하게 결합된 엘리베이터 핀을 포함하며,
여기서, 상기 엘리베이터 핀은 상기 베이스 블록의 상기 제1 구멍 내에 적어도 부분적으로 위치되어 상기 엘리베이터 핀은 상기 베이스 블록의 상기 제1 구멍을 따라 슬라이딩하도록 구성되며; 그리고
상기 엘리베이터 핀은 제1 말단 및 상기 제1 말단 반대쪽이면서 상기 제1 말단과 평행하지 않은 제2 말단을 갖는 레벨링 장치.
제1항에 있어서, 상기 엘리베이터 핀의 상기 제1 말단은 상기 엘리베이터 블록의 상기 최상부 표면과 평행한 레벨링 장치.
제1항에 있어서,
상기 본체의 상기 베이스 블록과 상기 노브 사이에 위치된 2개의 크라운 기어; 및
여기서, 상기 2개의 크라운 기어 중 제1 크라운 기어의 톱니는 상기 2개의 크라운 기어 중 제2 크라운 기어의 치차를 향하고;
상기 제2 크라운 기어는 상기 로드와 결합되어 상기 로드에 의해 한정된 축을 중심으로 하는 로드의 회전이 상기 로드에 의해 한정된 축을 중심으로 하는 상기 제2 크라운 기어의 회전을 일으키며; 그리고
로드에 의해 한정된 축을 중심으로 하는 상기 로드의 회전은 상기 제1 크라운 기어의 회전을 일으키지 않으며,
상기 2개의 크라운 기어 중 하나의 크라운 기어와 결합되고, 이 크라운 기어에 힘을 가하도록 구성되어 상기 2개의 크라운 기어 중 한 크라운 기어의 톱니를 다른 크라운 기어의 톱니와 접촉시키는 스프링을 더 포함하는 레벨링 장치.
제3항에 있어서, 상기 2개의 크라운 기어 중 하나는 티타늄으로 만들어진 레벨링 장치.
제4항에 있어서, 상기 2개의 크라운 기어 중 나머지 하나는 알루미늄으로 만들어진 레벨링 장치.
제3항에 있어서, 상기 2개의 크라운 기어 중 한 크라운 기어는 상기 크라운 기어의 주변부를 따라 톱니의 그룹들을 가지며, 2개의 인접한 톱니 그룹은 서로 분리되어 상기 2개의 인접한 톱니 그룹 사이의 크라운 기어의 주변부를 따르는 부분은 톱니를 포함하지 않는 레벨링 장치.
제3항에 있어서,
적어도 하나의 그루브를 포함하는 록 핸들을 더 포함하며,
여기서, 상기 록 핸들은 상기 베이스 블록과 회전 가능하게 결합하고;
상기 제1 크라운 기어는 상기 제1 크라운 기어의 상기 톱니의 반대쪽 표면 상에 하나 이상의 그루브를 포함하며;
상기 록 핸들의 상기 하나 이상의 그루브가 상기 제1 크라운 기어의 하나 이상의 그루브를 향하고 이와 접촉하도록 상기 록 핸들은 상기 제1 크라운 기어와 상기 베이스 블록 사이에 위치되고;
상기 록 핸들은 상기 로드에 의해 한정된 상기 축을 중심으로 하는 록 핸들의 회전에 따라 상기 제2 크라운 기어를 향해 상기 제1 크라운 기어에 힘을 제공하도록 구성되어 상기 제2 크라운 기어가 로드에 의해 한정된 상기 축을 중심으로 회전하는 것이 방지되는 레벨링 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1 크라운 기어는 상기 로드에 의하여 한정된 상기 축을 중심으로 하는 회전이 방지되며; 그리고
상기 제1 크라운 기어는 상기 로드에 의하여 한정된 상기 축을 중심으로 하는 상기 록 핸들의 회전에 따라서 상기 제2 크라운 기어를 향하여 이동되도록 그리고 상기 제2 크라운 기어에서 멀어지도록 구성된 레벨링 장치.
제3항에 있어서, 상기 로드는 상기 베이스 블록의 상기 제2 구멍 내에 위치된 베어링을 이용하여 상기 본체의 상기 베이스 블록과 결합된 레벨링 장치.
특정 평면 상에 삼각형 형상을 한정하는 3개의 장착점을 아래에 갖는 기구 몸체;
상기 기구 몸체 내에 적어도 부분적으로 위치되며 상기 기구 몸체 아래의 상기 기구 몸체 밖에서 적어도 부분적으로 연장하는, 기울어질 수 있는 구성 요소; 및
상기 기구 몸체의 상기 3개의 장착점에 위치되고, 상기 기울어질 수 있는 구성 요소와 결합하며, 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른, 적어도 2개의 레벨링 장치를 포함하는 3개의 지지부를 포함하는 기구.
제10항에 있어서,
적어도 하나의 지그를 더 포함하며,
상기 지그는 블록 및 하나 이상의 스프링 장착 핀을 포함하고,
상기 지그는 상기 기구 몸체와 상기 기울어질 수 있는 구성 요소의 베이스 블록 사이에 위치되며 상기 기구 몸체 그리고 베이스 블록과 접촉하여 상기 지그는 상기 기울어질 수 있는 구성 요소의 상기 베이스 블록을 상기 기구 몸체에서 밀어내는 기구.
제10항에 있어서, 상기 3개의 지지부 중 하나는 고정된 핀인 기구.
제10항에 있어서, 상기 레벨링 장치는 관통 구멍을 포함하며, 상기 관통 구멍은 상기 레벨링 장치를 상기 기구 몸체에 장착하기 위하여 사용되는 기구.
제10항에 있어서, 상기 3개의 지지부는 상기 레벨링 장치를 3개 포함하는 기구.
제10항에 있어서, 상기 3개의 장착점에 의하여 한정된 상기 삼각형은 이등변 삼각형인 기구.
제15항에 있어서,
상기 3개의 지지부는 제1 레벨링 장치, 제2 레벨링 장치 및 지지부를 포함하며,
상기 제1 레벨링 장치와 상기 지지부 간의 제1 거리와 상기 제2 레벨링 장치와 상기 지지부 간의 제2 거리는 실질적으로 동일한 기구.
제15항에 있어서, 상기 삼각형은 정삼각형인 기구.
제10항에 있어서, 상기 3개의 장착점에 의하여 한정된 상기 특정 평면은 상기 기울어질 수 있는 구성 요소의 베이스 블록에 의하여 한정된 평면과 실질적으로 평행한 기구.