JP6340944B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置 - Google Patents
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液滴を吐出するノズルが通じる複数の流路を形成する流路板を他の部材と接合して液体吐出ヘッドを製造する方法であって、
板状部材をプレス加工して、前記複数の流路となる凹部又は貫通穴を形成する工程と、
前記プレス加工後に、前記板状部材の前記他の部材と接合する接合面側に化学研磨加工を施す工程と、
を行って前記流路板を形成し、
前記化学研磨加工は、前記板状部材の厚み方向で前記接合面側の一部のみに施す
構成とした。
2 流路板
3 振動板部材
4 ノズル
6 個別液室(流路)
6A 隔壁
10 共通液室
11 圧電アクチュエータ
20 フレーム部材
600 板状部材
634 バリ
645 化学研磨液
233 キャリッジ
234a、234b 記録ヘッド
Claims (5)
- 液滴を吐出するノズルが通じる複数の流路を形成する流路板を他の部材と接合して液体吐出ヘッドを製造する方法であって、
板状部材をプレス加工して、前記複数の流路となる凹部又は貫通穴を形成する工程と、
前記プレス加工後に、前記板状部材の前記他の部材と接合する接合面側に化学研磨加工を施す工程と、
を行って前記流路板を形成し、
前記化学研磨加工は、前記板状部材の厚み方向で前記接合面側の一部のみに施す
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記板状部材のノズル配列方向における中央部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程と、
前記板状部材のノズル配列方向における端部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程と、を別工程で行う
ことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記板状部材は、前記化学研磨液に接触した状態で、前記化学研磨液を溜めている液槽に対して回転可能に保持し、
前記板状部材のノズル配列方向における中央部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程を行った後、
前記板状部材を回転させて、
前記板状部材のノズル配列方向における端部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程を行う
ことを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記板状部材のノズル配列方向における中央部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程を行った後、
前記板状部材のノズル配列方向における中央部には化学研磨液に溶解されないレジスト膜を成膜する工程を行い、
その後、前記板状部材を化学研磨液に浸漬し、前記板状部材のノズル配列方向における端部のみを化学研磨する工程を行う
ことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法で製造された液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
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