JP6340944B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置に関する。

画像形成装置として、例えば液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置、例えばインクジェット記録装置が知られている。

従来の液体吐出ヘッドの製造方法として、液滴を吐出するノズルが通じる個別液室を形成する流路板を、複数の板状部材で構成し、板状部材にはプレス加工で個別液室となる貫通穴や凹部を形成し、研磨紙を用いた研磨加工によってバリや変形を除去するものが知られている（特許文献１）。

また、ノズルを形成するノズル板をプレス加工で形成し、化学研磨加工又は電解研磨加工を行ってバリや変形を除去するものが知られている（特許文献２）。

特開２０１２−０１３７７１号公報 特開２００９−００６６４１号公報

上述したように、ＳＵＳなどの金属部材からなる板状部材にプレス加工で圧力室（個別液室）などの流路となる貫通穴や凹部を形成し、１枚の板状部材或いは複数枚の板状部材を積層接合して流路板を構成する場合、板状部材の平面性を確保するための研磨加工を行う。

この場合、流路板にあっては、流路間の隔壁となる貫通穴や凹部の隔壁は剛性が低いために、研磨加工によってねじれや厚みばらつきが発生しやすく、他の部材との接合不良や接合強度の低下が生じるという課題が生じる。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、接合信頼性を向上することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、
液滴を吐出するノズルが通じる複数の流路を形成する流路板を他の部材と接合して液体吐出ヘッドを製造する方法であって、
板状部材をプレス加工して、前記複数の流路となる凹部又は貫通穴を形成する工程と、
前記プレス加工後に、前記板状部材の前記他の部材と接合する接合面側に化学研磨加工を施す工程と、
を行って前記流路板を形成し、
前記化学研磨加工は、前記板状部材の厚み方向で前記接合面側の一部のみに施す
構成とした。

本発明によれば、接合信頼性を向上することができる。

本発明を適用する液体吐出ヘッドの一例の分解斜視説明図である。 同ヘッドの各部材をノズル側から見た平面説明図である。 同ヘッドの各部材を圧電アクチュエータ側からみた平面説明図である。 同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 同ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図である。 本発明における流路板の製造に使用する一般的なプレス装置のせん断型部分の説明図である。 プレス加工によるせん断面の説明に供する説明図である。 同じくバリの発生の説明に供する説明する。 一般的な機械研磨加工の説明に供する斜視説明図である。 隔壁にねじれが発生している流路板を使用したヘッドの説明に供するノズル配列方向に沿う断面説明図である。 比較例における研磨工程の説明に供する説明図である。 本発明の第１実施形態における研磨工程の説明に供する説明図である。 同第１実施形態で形成した流路板を使用した液体吐出ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図である。 本発明に係る画像形成装置の一例の機構部を説明する側面説明図である。 同機構部の要部平面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明を適用する液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図５を参照して説明する。図１は同ヘッドの分解斜視説明図、図２は同ヘッドの各部材をノズル側から見た平面説明図、図３は同ヘッドの各部材を圧電アクチュエータ側からみた平面説明図である。図４は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図５は同ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材である振動板部材３とを積層して接着剤で接合している。そして、振動板部材３を変位させる圧力発生手段としての圧電アクチュエータ１１と、共通液室部材としてのフレーム部材２０とを備えている。

ノズル板１には、液滴を吐出する複数のノズル４が配列されている。このノズル板１はＮｉ電鋳で形成しているが、これに限るものではない。例えば、ステンレスのプレス加工、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものなどを用いることができる。また、ノズル面にはメッキ被膜や撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥液膜を形成している。このノズル板１は流路板２に接着剤接合している。

流路板２は、ノズル４が通じる流路である個別液室６、個別液室６に液体を供給する液体供給路となる流体抵抗部７、流体抵抗部７の上流側の液導入部８を形成している。個別液室６は隔壁６Ａによって隔てられている。この流路板２は、例えばステンレス（ＳＵＳ３０４など）を用いてプレス加工で形成している。

振動板部材３は、個別液室６の一部の壁面を変位可能な振動領域３ａを有する。また、振動板部材３には、共通液室１０に臨み、共通液室１０と各個別液室６の入口側である液導入部８とを通じる開口部９が形成されている。この振動板部材３は、二層構造をなし、Ｎｉ電鋳で形成している。

そして、振動板部材３の個別液室６と反対側には、共通液室部材２０を接合している。

また、振動板部材３の振動領域３ａの個別液室６とは反対側に圧電アクチュエータ１１を配置している。

圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３に柱状の圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを形成した圧電部材１２を接合している。そして、圧電部材１２の圧電柱１２Ａは、振動板部材３の振動領域３ａに形成された島状凸部３ｂに接合され、配線部材であるＦＰＣ１６を介して駆動信号が与えられる。圧電部材１２の圧電柱１２Ｂは隔壁６Ａに対応する振動板部材３の凸部３ｃに接合されている。

なお、圧電部材１２はベース部材１３に接合固定して溝加工（スリット加工）によって分断することのない溝を形成することで、柱状の圧電素子である複数の柱状圧電素子（圧電柱）１２Ａ、１２Ｂを形成したものである。

また、圧電部材１２としては、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸（ＰＺＴ）と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極とを交互に積層した積層型圧電部材を用いている。

この圧電アクチュエータ１１は、共通液室部材２０に設けたアクチュエータ挿入穴２１内に挿入されて配置されている。

共通液室部材２０には、各個別液室６に液体を供給する共通液室１０が形成されている。そして、共通液室１０に外部から液体を供給する液体供給口部２２が形成されている。

また、共通液室１０の一部の壁面は振動板部材３の一部の層で形成した変形可能なダンパ領域３１としている。そして、流路板２には、ダンパ領域３１に対応して、つまり、ダンパ領域３１を挟んで共通液室１０と反対側にダンパ室３２を形成している。

この液体吐出ヘッドでは、例えば圧電柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって圧電柱１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３ａが変形して個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体（インク）が流入し、その後圧電柱１２Ａに印加する電圧を上げて駆動柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動領域３ａをノズル４方向に変形させて個別液室６内のインクを加圧することで、ノズル４からインク滴が吐出される。

そして、圧電柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動領域３ａが初期位置に復元し、個別液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０から個別液室６内にインクが充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。

次に、本発明における流路板の製造に使用する一般的なプレス装置について図６を参照して説明する。図６は同プレス装置のせん断型部分の説明図である。

プレス加工におけるせん断型は、プレス機械のスライドに取りつけられて上下運動する上型５８と、ボルスターに固定されて用いられる下型５９とで構成される。

上型５８が下型５９側に下降することにより、流路板２となるワーク（板状部材）Ｗをせん断加工して、前述した個別液室６、流体抵抗部７、液導入部８などとなる貫通穴（凹部であってもよい。）を形成することができる。

ここで、上型は、ダイセット６０Ａ、ストリッパプレート６１、パンチ６２、サブガイドポスト６３、パンチプレート６４、図示しないバッキングプレート、ショルダーボルト、で構成される。

下型５９は、ダイ６５、サブガイドブッシュ６６、ロケーションピン６７、ダイプレート６８、ダイセット６０Ｂにより構成される。

パンチ６２とダイ６５は、同じ形状に精密に機械加工され、適正クリアランスを保つように固定される。ストリッパプレート６１は、ダイプレート６８とともにワークＷを挟み込み固定することにより、ワークＷとパンチ６２を所定の位置に案内することができる。また、パンチ６２が退避するときにワークＷが付いて上がるのをはぎ取る役目がある。

ダイセット６０Ｂは、サブガイドブッシュ６６とサブガイドポスト６３よって上下の金型の芯合せを容易かつ確実にし、段取り替えを短時間で行うために使用される。プレスの形状精度は、せん断切り口面の形状と湾曲とで判断され、通常は、せん断面が大きく、だれ、破断面、かえり、湾曲の小さいことが好ましい。

次に、プレス加工によるせん断面について図７及び図８を参照して説明する。図７はプレス加工によるせん断面の説明に供する説明図、図８は同じくバリの発生の説明に供する説明する。

プレス加工によるせん断面は、図７に示すように、だれ、せん断面、破断面及びバリの４つの部分に分けられる。この４つの部分の大きさは、板材（板状部材）の材質や形状、クリアランス、せん断プレードの摩耗によって左右される。

そして、図８に示すように、せん断機構から板厚の１〜２％の高さのバリが必然的に発生する。

このプレスによるバリが発生したまま、接合を行うと、接合信頼性、接合力にバラツキが発生し、液体吐出ヘッドにおけるノズル配列方向の各チャンネルの滴吐出特性のバラツキが発生する。そこで、研磨加工して、バリを取ることが行われる。

次に、一般的な機械研磨加工について図９を参照して説明する。図９は同研磨加工の説明に供する斜視説明図である。

図９（ａ）に示すように、高精度に平坦化した高精度平坦化治具５００に研磨紙５０１を配置し、その上に研磨対象部品である流路板２となる板状部材６００を流路板保持治具５０２に取り付ける。

そして、図９（ｂ）に示すように、板状部材６００を研磨紙５０１に押し付けた状態で、ノズル配列方向と直交する方向である矢印Ｃで示す方向に往復させることによって研磨する。

ところが、個別液室６の隔壁６Ａは非常に剛性が低いために、研磨加工による外力をうけてねじれが発生する。隔壁６Ａのねじれが発生すると、目標とする接合位置からのズレが発生するために、滴吐出特性が大きな影響を受けることになる。

すなわち、図１０に示すように、隔壁６Ａの目標とする接合位置は、破線で示すように支柱となる圧電柱１２Ｂに対応する位置である。

しかしながら、隔壁６Ａにねじれが発生していると、図１０に示すように、目標とする接合位置から外れて接合され、支柱となる圧電柱１２Ｂで支持されるべき位置に隔壁６Ａがなくなり、隔壁の押さえが弱い状態となる。

その結果、滴吐出に伴う圧力変動によって隔壁６Ａが変形し、隣接クロストーク（隣り合う個別液室間での干渉）が発生し易くなり、滴吐出特性にばらつきが生じる。

また、個別液室の配列方向において、中央領域では研磨による加圧によって、隔壁６Ａが変形しやすく、端部領域では変形しにくいために、中央部では隔壁６Ａの研磨量が大きくなり、端部で隔壁６Ａの研磨量が小さくなる。

そのため、隔壁６Ａにバラツキが発生し、他の部材と接合したときの接合信頼性が低下する。

そこで、本発明においては、流路板を形成する板状部材の接合面側に化学研磨加工を行うようにしている。

ここで、まず、比較例について図１１を参照して説明する。図１１は同比較例における研磨工程の説明に供する説明図である。

まず、図１１（ａ）に示すように、板状部材６００にプレス加工を行って流路である個別液室６などとなる貫通穴６０６を形成している。このとき、板状部材６００にはプレス加工によって個別液室６間の隔壁６Ａとなる貫通穴６０６間の隔壁６０６Ａにバリ６３４が生じる。

ここで、板状部材６００のバリ６３４が生じている面側がノズル板１又は振動板部材３に接合される接合面となる。

そこで、プレス加工後、図１１（ｂ）に示すように、板状部材６００全体を化学研磨液６３５に浸漬して板状部材６００の表面を溶かす。なお、化学研磨液は、例えば、塩酸若しくは硝酸等の酸性溶液であり、図１１に示すように液槽７００内に貯留されている。

このとき、化学研磨液６３５に触れている所は、均一にエッチングされるので、個別液室６間の隔壁６Ａとなる貫通穴６０６間の隔壁６０６Ａのバリ６３４も除去される。また、機械加工研磨の様な外力が加わらないために、隔壁６０６Ａにねじれも発生することがない。

これにより、図１１（ｃ）に示すように、隔壁６Ａにバリやねじれのない流路板２が得られる。

しかしながら、この比較例のように板状部材６００全体を化学研磨液に浸漬して研磨を行うと、上述したように、バリ６３４を完全に除去するために隔壁６０６Ａ全体が研磨されて、隔壁６０６Ａの剛性が低下するおそれがある。

次に、本発明の第１実施形態について図１２を参照して説明する。図１２は同実施形態における研磨工程の説明に供する説明図である。

本実施形態では、図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、板状部材６００の厚み方向でバリを生じている接合面側の一部のみを液槽７００内に貯留された化学研磨液６３５に浸漬して化学研磨加工を行っている。ここでは、バリが生じている接合面側をノズル板１と接合する接合面側とする。

この場合、化学研磨液６３５が触れている部分のみがエッチングされるために、図１２（ｃ）に示すように、ノズル板１と接合するノズル板側隔壁部分６Ａ１と、振動板部材３と接合する振動板側隔壁部分６Ａ２とでノズル配列方向の幅が異なる隔壁６Ａが形成された流路板２を得ることができる。

ここで、流路板２を形成するプレス用の板状部材６００としては、２００μｍ以下の非常に薄い板厚のものを用いるが、このような板状部材６００は２０％の板厚公差のばらつきがある。

そのため、バリが発生している場合について、バリが発生している表面側のみを化学研磨するためには、全体の板厚の５０％を浸漬して化学研磨をする必要がある。

次に、本発明の第２実施形態について説明する。

プレス後の板状部材６００には、板厚のバラツキの他に、それまでの工程で反り等が発生する場合があるために、ノズル配列方向における中央部のみを浸漬して化学研磨する工程と、端部のみ浸漬して化学研磨する工程との２段階の工程に分けて化学研磨を行うこともできる。

そこで、本実施形態では、板状部材６００を化学研磨液６３５に接触した状態で液槽７００に対して回転可能に保持する。

そして、まず、板状部材６００の中央部のみを化学研磨液６３５に所定時間浸漬させて、中央部のバリを溶解させる。

次いで、板状部材６００の端部のみが化学研磨液６３５に浸漬するように板状部材６００を回転させる。この状態で所定時間浸漬させて、板状部材６００の端部のバリを溶解させる。

このようにして、板状部材６００の中央部と端部のバリを溶解した後、板状部材６００が化学研磨液６３５に接触しない位置まで回転させて、液槽７００から板状部材６００を取り出す。

なお、化学研磨液に板状部材６００の中央部又は端部を浸漬させてバリを溶解する場合は、上記実施形態のように、板状部材の厚み方向で接合面側の一部のみ浸漬させてバリを除去する。

次に、本発明の第３実施形態について説明する。

本実施形態も、板状部材の中央部と端部とで工程を分ける例である。

ここでは、板状部材６００と化学研磨液６３５の液面との距離（液槽の深さ方向における距離）を変更できるステージを液槽７００に対して取り付ける。

そして、まず板状部材６００の中央部のみが化学研磨液６３５に浸漬する位置までステージを移動させる。この状態で板状部材６００を化学研磨液６３５に所定時間浸漬させて、中央部のバリを溶解させる。

次いで、中央部のバリを溶解させた後、板状部材６００を化学研磨液６３５から引き揚げて、化学研磨液６３５に溶解しないレジスト膜を中央部に成膜する。

このレジスト膜を成膜した状態で板状部材６００の端部が化学研磨液６３５に浸漬する位置までステージを移動させる。このとき、中央部も化学研磨液６３５に浸漬するが、レジスト膜によって中央部の浸漬している部分は溶解されない。

そして、端部のバリを溶解させた後、板状部材６００を化学研磨液６３５から引き揚げて、レジスト膜を除去する。

これにより、板状部材６００に反りが発生している場合であっても、化学研磨加工でバリを除去することができる。

なお、化学研磨液に板状部材６００の中央部又は端部を浸漬させてバリを除去する場合は、上記実施形態のように、板状部材の厚み方向で接合面側の一部のみ浸漬させてバリを除去する。

また、本実施形態では、中央部のバリ除去を行った後にレジスト膜を成膜したが、化学研磨工程を行う前に中央部にレジスト膜を成膜し、まず端部のバリ除去を行い、その後レジスト膜を除去し、その後に中央部のバリ除去を行う工程順序としても良い。

上述した第１実施形態（他の実施形態でもよい。）で形成した流路板を使用した液体吐出ヘッドについて図１３を参照して説明する。図１３は同ヘッドのノズル配列方向に沿う断面説明図である。

上述したように流路板２は、振動板部材側隔壁部分６Ａ２はエッチングされていないので、隔壁が狭幅化することがなく、隔壁６Ａの剛性や強度を高めることができ、また、狭幅化しないために支持となる圧電柱１２Ｂとの接合位置合わせも容易に行うことができる。

また、上記各実施形態では、流路板が１枚の板状部材で形成されている例で説明しているが、厚み方向で流路の一部を形成する複数枚の流路板（これを「部分流路板」という。）を接合して１つの流路板とする構成とする場合にも同様に適用することができる。

すなわち、化学研磨加工を施す接合面は、ノズル板、壁面部材、部分流路板のいずれであってもよい。

また、上記実施形態では、圧電型ヘッドで説明しているが、発熱抵抗体を設けた基板を壁面部材とするサーマル型ヘッドでも、その他静電型ヘッドであっても、同様に本発明を適用することができる。

また、上述した液体吐出ヘッドとこの液体吐出ヘッドに液体を供給するタンクを一体化することでヘッド一体型液体カートリッジ（カートリッジ一体型ヘッド）を得ることができる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図１４及び図１５を参照して説明する。なお、図１４は同装置の機構部の側面説明図、図１５は同機構部の要部平面説明図である。

この画像形成装置はシリアル型画像形成装置である。左右の側板２２１Ａ、２２１Ｂに横架したガイド部材である主従のガイドロッド２３１、２３２でキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向（キャリッジ主走査方向）に移動走査する。

このキャリッジ２３３には、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法で製造した液体吐出ヘッドと同ヘッドに供給するインクを収容するタンクを一体化した記録ヘッド２３４ａ、２３４ｂを搭載している。

記録ヘッド２３４は、それぞれ２つのノズル列を有している。一方の記録ヘッド２３４ａの一方のノズル列はブラック（Ｋ）の液滴を、他方のノズル列はシアン（Ｃ）の液滴を吐出する。他方の記録ヘッド２３４ｂの一方のノズル列はマゼンタ（Ｍ）の液滴を、他方のノズル列はイエロー（Ｙ）の液滴を吐出する。なお、ここでは２ヘッド構成で４色の液滴を吐出する構成としているが、１ヘッド当たり４ノズル列配置とし、１個のヘッドで４色の各色を吐出させることもできる。

また、記録ヘッド２３４のタンク２３５には各色の供給チューブ２３６を介して、供給ユニット２２４によって各色のインクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部（圧板）２４１上に積載した用紙２４２を１枚ずつ分離給送する半月コロ（給紙コロ）２４３及び給紙コロ２４３に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド２４４を備えている。

そして、給紙された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方側に送り込むために、用紙２４２を案内するガイド２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えている。また、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

この搬送ベルト２５１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。また、この搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ２５６を備えている。この帯電ローラ２５６は、搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離するための分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３とを備え、排紙ローラ２６２の下方に排紙トレイ２０３を備えている。

また、装置本体の背面部には両面ユニット２７１が着脱自在に装着されている。この両面ユニット２７１は搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させて再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給紙する。また、この両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２としている。

さらに、キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構２８１を配置している。

この維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材（以下「キャップ」という。）２８２ａ、２８２ｂ（区別しないときは「キャップ２８２」という。）を備えている。

まあ、維持回復機構２８１は、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード２８３と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８４などを備えている。

また、キャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け２８８を配置している。この空吐出受け２８８には記録ヘッド２３４のノズル列方向に沿った開口部２８９などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド２４５で案内され、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送される。更に、用紙２４２は先端を搬送ガイド２３７で案内されて先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、略９０°搬送方向を転換される。

このとき、帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が給送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の周回移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙２４２を排紙トレイ２０３に排紙する。

このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えるので、高画質画像を安定して形成することができる。

なお、本願において、「用紙」とは材質を紙に限定するものではなく、ＯＨＰ、布、ガラス、基板などを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体、記録媒体、記録紙、記録用紙などと称されるものを含む。また、画像形成、記録、印字、印写、印刷はいずれも同義語とする。

また、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。

また、「インク」とは、特に限定しない限り、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を三次元的に造形して形成された像も含まれる。

また、画像形成装置には、特に限定しない限り、シリアル型画像形成装置及びライン型画像形成装置のいずれも含まれる。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板部材
４ ノズル
６ 個別液室（流路）
６Ａ 隔壁
１０ 共通液室
１１ 圧電アクチュエータ
２０ フレーム部材
６００ 板状部材
６３４ バリ
６４５ 化学研磨液
２３３ キャリッジ
２３４ａ、２３４ｂ 記録ヘッド

Claims (5)

1. 液滴を吐出するノズルが通じる複数の流路を形成する流路板を他の部材と接合して液体吐出ヘッドを製造する方法であって、
   板状部材をプレス加工して、前記複数の流路となる凹部又は貫通穴を形成する工程と、
   前記プレス加工後に、前記板状部材の前記他の部材と接合する接合面側に化学研磨加工を施す工程と、
   を行って前記流路板を形成し、
   前記化学研磨加工は、前記板状部材の厚み方向で前記接合面側の一部のみに施す
   ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
2. 前記板状部材のノズル配列方向における中央部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程と、
   前記板状部材のノズル配列方向における端部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程と、を別工程で行う
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
3. 前記板状部材は、前記化学研磨液に接触した状態で、前記化学研磨液を溜めている液槽に対して回転可能に保持し、
   前記板状部材のノズル配列方向における中央部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程を行った後、
   前記板状部材を回転させて、
   前記板状部材のノズル配列方向における端部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程を行う
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
4. 前記板状部材のノズル配列方向における中央部のみを化学研磨液に浸漬させて化学研磨する工程を行った後、
   前記板状部材のノズル配列方向における中央部には化学研磨液に溶解されないレジスト膜を成膜する工程を行い、
   その後、前記板状部材を化学研磨液に浸漬し、前記板状部材のノズル配列方向における端部のみを化学研磨する工程を行う
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
5. 請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法で製造された液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。

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