JP6338769B2 - アクチュエータの制御装置、アクチュエータ、バルブ駆動装置およびアクチュエータの制御方法 - Google Patents

Description

この発明は、直流モータを駆動源とするアクチュエータの制御装置、アクチュエータ、バルブ駆動装置およびアクチュエータの制御方法に関するものである。

アクチュエータの駆動源に用いられる直流モータは、通電によりコイルの温度が上昇すると性能が低下する。そこで従来は、独立した温度センサを直流モータに設置して温度を検出したり（例えば、特許文献１参照）、通電電流と通電時間とに基づいてコイル温度を推定したりし、その温度に基づいて直流モータへの通電を規制することにより性能低下を防いでいた。

特開２００７−４５３２５号公報

しかしながら、直流モータの制御に温度センサの検出値を使用する場合、アクチュエータとは別に、独立した温度センサが必要となる課題があった。
他方、間接的に推定されたコイル温度は、温度センサにより直接的に検出された温度に比べ、精度が低いという課題があった。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、アクチュエータとは別に独立した温度センサを設置することなく、かつ、間接的に推定された温度よりも高精度な、アクチュエータの内部温度を得ることを目的とする。

この発明に係るアクチュエータの制御装置は、位置センサに内蔵されている温度検出素子が検出したセンサ内温度を用いて温度補正された後のシャフトの位置、およびセンサ内温度を取得する取得部と、取得部が取得した温度補正後のシャフトの位置およびセンサ内温度を用いてアクチュエータを制御する制御部とを備えるものである。

この発明によれば、位置センサに内蔵されている温度検出素子により検出されるセンサ内温度を取得するようにしたので、アクチュエータとは別に独立した温度センサを設置することなく、かつ、間接的に推定された温度よりも高精度な、アクチュエータの内部温度を得ることができる。

この発明の実施の形態１に係るウエストゲートアクチュエータの構成例を示す断面図である。 実施の形態１の位置センサの構成例を示す側面図である。 実施の形態１に係るウエストゲートアクチュエータの制御装置の構成例を示すブロック図である。 実施の形態１に係るウエストゲートアクチュエータの制御装置が行う動作を示すフローチャートである。 実施の形態１に係るウエストゲートアクチュエータの制御装置のハードウエア構成例を示す図である。 この発明の実施の形態２に係るウエストゲートアクチュエータの制御装置の構成例を示すブロック図である。

以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態１．
この発明に係るアクチュエータを、車両に搭載されたターボチャージャのウエストゲート（以下、ＷＧと称す）バルブを駆動するＷＧアクチュエータとして用いる場合を例にして説明する。
図１は、実施の形態１に係るＷＧアクチュエータ１の構成例を示す断面図である。ターボチャージャは、エンジンからの排気ガスによってタービンを回転させ、このタービンと同軸で接続されたコンプレッサを駆動して吸気を圧縮しエンジンに供給する構成である。排気通路１００のタービン上流側には、排気ガスを排気通路１００からバイパス通路１０１へ逃がすＷＧバルブ２が設置されており、ＷＧアクチュエータ１がＷＧバルブ２を開閉して排気通路１００からバイパス通路１０１への排気ガス流入量を調整することにより、タービンの回転数を制御する。なお、図１では、ＷＧバルブ２の全閉状態を実線で示し、全開状態を二点鎖線で示す。

ＷＧアクチュエータ１は、駆動源となる直流モータ４と、ＷＧバルブ２を開閉するシャフト１３と、直流モータ４の回転運動をシャフト１３の直線運動に変換するネジ機構１２とを備える。直流モータ４は、複数のＮ極とＳ極に着磁されたマグネット５を有するロータ６と、コイル７が巻回されたステータ８とを含む。コイル７の端部にはブラシ１１ｂが接続されている。ロータ６の一端側は軸受部１４によって回転自在に支持されており、他端側には整流子９が固定されている。

外部端子１０に電圧が印加されると、この外部端子１０に接続しているブラシ１１ａを介し、整流子９を構成する複数の整流子片の中のブラシ１１ａと接触した整流子片に電流が流れ、この整流子片と電気的に接続したブラシ１１ｂを介してコイル７に電流が流れる。コイル７に通電することでステータ８がＮ極とＳ極に磁化し、そのステータ８がマグネット５のＮ極とＳ極と反発および吸引しあうことでロータ６が回転する。ロータ６の回転に伴って通電するコイル７が切り替わることにより、ステータ８の極も切り替わり、ロータ６が回転し続ける。電流の向きが逆になると、ロータ６の回転方向も逆になる。
なお、図１では直流モータ４としてブラシ付きＤＣモータを使用しているが、ブラシレスＤＣモータを使用してもよい。

ロータ６の内部にはシャフト１３を配置するための穴があいており、穴の内周面に雌ネジ部１２ａが形成され、シャフト１３の外周面に雄ネジ部１２ｂが形成されている。この雄ネジ部１２ｂが雌ネジ部１２ａにねじ込まれて結合され、ロータ６の回転運動をシャフト１３の直線運動に変換する。これら雌ネジ部１２ａと雄ネジ部１２ｂとでネジ機構１２が構成される。シャフト１３の一端側は、ハウジング１５を貫通し、リンク機構３を介してＷＧバルブ２と連結されている。シャフト１３の他端側には、このシャフト１３の軸方向における位置を検知する位置センサ１６などが設置されている。

リンク機構３は、２枚のプレート３ａ，３ｂを有する。プレート３ａの一端側にシャフト１３が取り付けられ、他端側の支点３ｃにはプレート３ｂの一端側が回動自在に取り付けられている。このプレート３ｂの他端側にはＷＧバルブ２が取り付けられている。ロータ６の一方向への回転によってシャフト１３がハウジング１５の外へ押し出される方向に移動すると、プレート３ａも同方向に移動して、プレート３ｂとＷＧバルブ２が支点３ｃを中心に回動し、ＷＧバルブ２が開弁方向に動く。ロータ６の逆方向への回転によってシャフト１３がハウジング１５の内へ引き込まれる方向に移動すると、プレート３ａも同方向に移動して、プレート３ｂとＷＧバルブ２が支点３ｃを中心に回動し、ＷＧバルブ２が閉弁方向に動く。

シャフト１３には、二平面などが形成されて回転規制部１３ａとして機能する。また、シャフト１３を貫通するハウジング１５の穴の内周面には、この回転規制部１３ａの形状に合わせて、二平面などのガイド部１５ａが形成されている。回転規制部１３ａとガイド部１５ａとが摺動することにより、ロータ６の回転に合わせてシャフト１３が回転運動するのを規制し、シャフト１３が直線移動するようサポートする。ガイド部１５ａの端部には、シャフト１３側に突出したストッパ１５ｂが形成されており、シャフト１３から突出した形状の当て部１３ｂがこのストッパ１５ｂに当接することにより、シャフト１３のこれ以上の開弁方向への直線移動を規制する。同様に、ネジ機構１２の端部にストッパ１５ｃとして機能するプレートが設置され、当て部１３ｃとして機能するシャフト１３の端面がストッパ１５ｃに当接することにより、シャフト１３のこれ以上の閉弁方向への移動を規制する。

図２は、実施の形態１の位置センサ１６の構成例を示す側面図である。
シャフト１３のストッパ１５ｃとして機能するプレートには、シャフト１３の外径より小さな穴が貫通しており、この穴にセンサ用シャフト１７が通され、センサ用シャフト１７の端面がシャフト１３の端面に当接する。これにより、シャフト１３の軸方向の往復運動に合わせてセンサ用シャフト１７も往復運動する。センサ用マグネット１８の磁束はその周囲に設置されたセンサ用ステータ１９を流れ、位置センサ１６を通過する。このセンサ用マグネット１８はセンサ用シャフト１７に固定されており、シャフト１３の往復運動に伴って位置センサ１６に対するセンサ用マグネット１８の位置が変化することにより、位置センサ１６を通過する磁束密度も変化する。

図３は、制御装置２０の構成例を示すブロック図である。
位置センサ１６には、磁気検出素子１６ａと温度検出素子１６ｂが内蔵されている。磁気検出素子１６ａはホール素子または磁気抵抗素子などであり、温度検出素子１６ｂはサーミスタなどである。磁気検出素子１６ａは、シャフト１３の往復運動に伴って変化する磁束密度を検出し、シャフト１３の実ストローク位置に変換する。磁気検出素子１６ａは磁気感度が温度に依存する特性があるため、位置センサ１６は、温度検出素子１６ｂによりセンサ内温度を検出し、磁気検出素子１６ａの温度特性を補正する。この位置センサ１６は、例えばＳＥＮＴ（Ｓｉｎｇｌｅ Ｅｄｇｅ Ｎｉｂｂｌｅ Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ）方式により、温度特性を補正した後の実ストローク位置と、その補正に用いたセンサ内温度とを示すデジタル信号を制御装置２０へ出力する。なお、位置センサ１６から制御装置２０への出力は、ＳＥＮＴのようなデジタル信号に限定されるものではなく、アナログ信号でもよい。

エンジンコントロールユニットは、エンジン制御部２１と制御装置２０とを備えており、これら以外の構成については図示および説明を省略する。エンジン制御部２１は、シャフト１３の目標ストローク位置を、制御部２２へ出力する。

図３の例では、制御装置２０の機能をエンジンコントロールユニットの一機能として実現するように構成しているが、制御装置２０を独立した電子制御ユニットとして構成してもよいし、あるいはＷＧアクチュエータ１の内部に回路基板として組み込んでもよい。

制御装置２０は、制御部２２と、モータドライバ２３と、取得部２４と、異常判定部２５とを備えている。
取得部２４は、シャフト１３の実ストローク位置とセンサ内温度のデジタル信号を、位置センサ１６から取得する。取得部２４は、取得した実ストローク位置を制御部２２へ出力し、センサ内温度を異常判定部２５へ出力する。なお、取得部２４が位置センサ１６から取得した実ストローク位置は、位置センサ１６において既に温度補正された後の位置である。

実施の形態１の制御装置２０は、温度検出素子１６ｂにより検出されたセンサ内温度が、ＷＧアクチュエータ１の内部温度と等しいものと推定し、以下に説明するように、このセンサ内温度に基づいてＷＧアクチュエータ１の温度異常を判定する。

異常判定部２５は、取得部２４から受け取ったセンサ内温度を予め定められている温度閾値と比較する。異常判定部２５は、センサ内温度が温度閾値より高い場合にＷＧアクチュエータ１が異常温度になっていると判定し、センサ内温度が温度閾値以下の場合にＷＧアクチュエータ１が正常温度になっていると判定し、判定結果を制御部２２へ出力する。温度閾値は、ＷＧアクチュエータ１が正常に動作する温度の上限値（例えば、１００度）であり、例えば直流モータ４への通電または使用環境温度によりＷＧアクチュエータ１の内部温度が上昇してＷＧアクチュエータ１に必要とされる性能を確保できなくなる事態または溶損に至る事態などを防ぐことができる温度とする。また、温度閾値にヒステリシスを設けて、センサ内温度が温度閾値の上限値（例えば、１００度）を超えると異常温度と判定し、センサ内温度が温度閾値の下限値（例えば、５０度）を下回ると正常温度と判定してもよい。

制御部２２は、異常判定部２５から異常温度または正常温度を示す判定結果の通知を受け取る。
異常判定部２５から正常温度の判定結果が通知された場合、制御部２２は、取得部２４から受け取った実ストローク位置が、エンジン制御部２１から受け取った目標ストローク位置に近づくように、シャフト１３のストローク位置をフィードバック制御する。シャフト１３のストローク位置をフィードバック制御することにより、シャフト１３に連結されたＷＧバルブ２の開度が調整される。例えばＰＩＤ制御を行う場合、制御部２２は、目標ストローク位置と実ストローク位置との偏差を算出し、偏差に応じた比例項、積分項および微分項の各操作量を求めて駆動Ｄｕｔｙを算出し、駆動Ｄｕｔｙに対応するＰＷＭ（Ｐｕｌｓｅ Ｗｉｄｔｈ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）制御信号を生成してモータドライバ２３へ出力する。

異常判定部２５から異常温度の判定結果が通知された場合、制御部２２は、直流モータ４への通電を規制するＰＷＭ制御信号を生成しモータドライバ２３へ出力する。直流モータ４への通電を規制する温度保護制御としては、例えば、上記フィードバック制御により求めた駆動Ｄｕｔｙを当該駆動Ｄｕｔｙより低いＤｕｔｙに制限して通電電流を下げたり、当該駆動Ｄｕｔｙを０に制限して通電を停止したりする。この温度保護制御により、ＷＧアクチュエータ１の過度な温度上昇を抑制して、ＷＧアクチュエータ１の性能低下および溶損などを防ぐ。
なお、エンジン制御部２１が、常判定部２５から異常温度を示す判定結果の通知を受け取って、直流モータ４への通電を規制する指示を制御部２２へ出力する構成にしてもよい。この構成の場合、制御部２２は、エンジン制御部２１から受けた指示に従って、上記同様にフィードバック制御により求めた駆動Ｄｕｔｙを当該駆動Ｄｕｔｙより低いＤｕｔｙに制限して通電電流を下げたり、当該駆動Ｄｕｔｙを０に制限して通電を停止したりする。

モータドライバ２３は、制御部２２から受け取るＰＷＭ制御信号に応じて直流モータ４に印加する電圧をオンオフ制御し、直流モータ４へ通電する電流を調整する。

図４は、制御装置２０の動作を示すフローチャートである。
取得部２４は、位置センサ１６からシャフト１３の実ストローク位置とセンサ内温度を取得する（ステップＳＴ１）。異常判定部２５は、温度検出素子１６ｂにより検出されたセンサ内温度を予め定められている温度閾値と比較し（ステップＳＴ２）、センサ内温度が温度閾値より高い場合（ステップＳＴ２“ＹＥＳ”）、ＷＧアクチュエータ１が異常温度であると判定して制御部２２へ通知する（ステップＳＴ３）。この通知を受け取った制御部２２は、直流モータ４への通電を規制するよう温度保護制御を行う（ステップＳＴ４）。

一方、センサ内温度が温度閾値以下の場合（ステップＳＴ２“ＮＯ”）、異常判定部２５は、ＷＧアクチュエータ１が正常温度であると判定して制御部２２へ通知する（ステップＳＴ５）。この通知を受け取った制御部２２は、通常のフィードバック制御を行う（ステップＳＴ６）。

次に、図５を用いて、制御装置２０のハードウエア構成例を説明する。
モータドライバ２３は、直流モータ４に印加する電圧をオンオフするスイッチング素子などで構成される。位置センサ１６がＳＥＮＴ方式のデジタル信号を出力するタイプである場合、取得部２４はデジタル信号を受信する受信装置４２である。位置センサ１６がアナログ信号を出力するタイプである場合、取得部２４はＡ／Ｄコンバータ４３である。制御装置２０は、位置センサ１６の出力タイプに応じて、受信装置４２またはＡ／Ｄコンバータ４３の一方を備えていればよい。

制御部２２および異常判定部２５は、メモリ４０に記憶されたプログラムを実行するプロセッサ４１により、実現される。プロセッサ４１は、ＣＰＵまたはシステムＬＳＩ等の処理回路である。メモリ４０は、上記プログラムの他、ＷＧアクチュエータ１の内部温度が異常か正常かを判定するための温度閾値などを記憶している。なお、複数のプロセッサおよび複数のメモリが連携して上記機能を実行してもよい。

以上より、実施の形態１によれば、制御装置２０は、位置センサ１６に内蔵されている温度検出素子１６ｂが検出したセンサ内温度を用いて温度補正された後のシャフト１３の位置およびセンサ内温度を取得する取得部２４と、取得部２４が取得したシャフト１３の位置およびセンサ内温度を用いてＷＧアクチュエータ１を制御する制御部２２とを備える構成にしたので、アクチュエータとは別に独立した温度センサを設置することなく、かつ、間接的に推定された温度よりも高精度な、アクチュエータの内部温度を得ることができる。さらに、高精度な内部温度を用いることにより、アクチュエータの制御を高精度に行うことができる。

また、実施の形態１によれば、異常判定部２５は、取得部２４が取得したセンサ内温度が温度閾値より高い場合にＷＧアクチュエータ１の内部温度が異常であると判定することにより、アクチュエータの温度保護制御を高精度に行うことができる。

実施の形態２．
図６は、この発明の実施の形態２に係るＷＧアクチュエータ１の制御装置２０の構成例を示すブロック図である。図６において、図３と同一または相当する部分は同一の符号を付し説明を省略する。また、実施の形態２に係る制御装置２０の制御対象であるＷＧアクチュエータ１は上記実施の形態１と同じ構成であるため、以下では図１および図２を援用する。

実施の形態２の制御装置２０は、直流モータ４のコイル７の温度を推定するコイル温度推定部２６を備えている。以下、直流モータ４のコイル７の温度を「コイル温度」と称す。コイル温度の推定方法としては、例えば、モータドライバ２３から直流モータ４のコイル７へ通電する電流値と通電時間を検出してコイル温度を推定する等、周知の技術を用いればよい。コイル温度推定部２６は、推定したコイル温度を温度補正部２７へ出力する。

ただし、コイル温度推定部２６は、実測した温度を何ら使用することなく、間接的にコイル温度を推定するので、精度が高くない。そのため、推定したコイル温度とＷＧアクチュエータ１とのずれが実用に供さないほどに大きくなる可能性もある。そこで、実施の形態２では、コイル温度推定部２６が推定したコイル温度を、位置センサ１６に内蔵されている温度検出素子１６ｂにより検出されたセンサ内温度で補正し、精度を高める。具体的には、温度補正部２７が、取得部２４から受け取ったセンサ内温度とコイル温度推定部２６から受け取ったコイル温度を用いて、ＷＧアクチュエータ１の内部温度を推定し、異常判定部２５ａへ出力する。温度補正部２７は、例えば、センサ内温度とコイル温度の単純平均または加重平均を算出し、算出した平均値をＷＧアクチュエータ１の内部温度と推定する。

異常判定部２５ａは、温度補正部２７から受け取ったＷＧアクチュエータ１の内部温度を温度閾値と比較して、ＷＧアクチュエータ１が正常温度か異常温度かを判定する。

以上より、実施の形態２によれば、制御装置２０は、直流モータ４のコイル７の温度を推定するコイル温度推定部２６と、コイル温度推定部２６が推定したコイル７の温度を、取得部２４が取得したセンサ内温度を用いて補正する温度補正部２７とを備えるようにしたので、間接的にコイル温度を推定する場合に比べて、推定精度を高めることができる。

次に、実施の形態２に係る制御装置２０の変形例を説明する。
上述したように、コイル温度推定部２６によるコイル温度の推定精度は高くないため、温度検出素子１６ｂにより検出されたセンサ内温度を用いて当該コイル温度を補正したとしても、ＷＧアクチュエータ１の実際の内部温度に等しくなるとは限らない。そこで、この変形例では、温度検出素子１６ｂにより検出されるセンサ内温度が温度閾値より高い場合、温度補正部２７から受け取ったＷＧアクチュエータ１の内部温度が温度閾値以下であって正常温度を示していたとしても、ＷＧアクチュエータ１が異常温度になっていると判定する。

具体的には、取得部２４から異常判定部２５ａへ直接センサ内温度を出力する。異常判定部２５ａは、まず、取得部２４から受け取ったセンサ内温度を温度閾値と比較して、ＷＧアクチュエータ１が正常温度か異常温度かを判定する。異常判定部２５ａは、この判定処理においてＷＧアクチュエータ１が異常温度であると判定した場合、異常温度の判定結果を制御部２２へ通知する。一方、ＷＧアクチュエータ１が正常温度であると判定した場合、続いて異常判定部２５ａは、温度補正部２７から受け取ったＷＧアクチュエータ１の内部温度を温度閾値と比較して、ＷＧアクチュエータ１が正常温度か異常温度かを判定する。異常判定部２５ａは、この判定処理においてＷＧアクチュエータ１が異常温度であると判定した場合、異常温度の判定結果を制御部２２へ通知する。

以上のように、異常判定部２５ａは、推定したコイル温度によらず、取得部２４が取得したセンサ内温度が温度閾値より高い場合にＷＧアクチュエータ１の内部温度が異常であると判定することにより、ＷＧアクチュエータ１の温度異常をより確実に判定することが可能となる。

なお、本発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。

上記説明では、本発明に係るアクチュエータが駆動する駆動対象物の一例としてＷＧバルブを挙げたが、これに限定されるものではなく、エンジンに装着される排気ガス再循環（ＥＧＲ）バルブ、または可変容量（ＶＧ；Ｖａｒｉａｂｌｅ Ｇｅｏｍｅｔｒｙ）ターボチャージャに装着される可動ベーン等であってもよい。
また、本発明に係るアクチュエータのシャフトと駆動対象物とを、リンク機構を用いて連結する構成を示したが、リンク機構を用いずに直接シャフトと駆動対象物とを連結する構成であってもよい。
また、本発明に係るアクチュエータと、駆動対象物であるバルブと、制御装置とを備えたバルブ駆動装置として構成してもよい。

また、上記説明では、位置センサにより検出されたセンサ内温度をアクチュエータの温度保護制御に用いる例を説明したが、この用途に限定されるものではない。

この発明に係るアクチュエータの制御装置は、高精度なアクチュエータの内部温度を得るようにしたので、直流モータを駆動源とするアクチュエータの制御装置に用いるのに適している。

１ ＷＧアクチュエータ、２ ＷＧバルブ（駆動対象物）、３ リンク機構、３ａ，３ｂ プレート、３ｃ 支点、４ 直流モータ、５ マグネット、６ ロータ、７ コイル、８ ステータ、９ 整流子、１０ 外部端子、１１ａ，１１ｂ ブラシ、１２ ネジ機構、１２ａ 雌ネジ部、１２ｂ 雄ネジ部、１３ シャフト、１３ａ 回転規制部、１３ｂ，１３ｃ 当て部、１４ 軸受部、１５ ハウジング、１５ａ ガイド部、１５ｂ，１５ｃ ストッパ、１６ 位置センサ、１６ａ 磁気検出素子、１６ｂ 温度検出素子、１７ センサ用シャフト、１８ センサ用マグネット、１９ センサ用ステータ、２０ 制御装置、２１ エンジン制御部、２２ 制御部、２３ モータドライバ、２４ 取得部、２５，２５ａ 異常判定部、２６ コイル温度推定部、２７ 温度補正部、４０ メモリ、４１ プロセッサ、４２ 受信装置、４３ Ａ／Ｄコンバータ、１００ 排気通路、１０１ バイパス通路。

Claims (6)

1. シャフトと、前記シャフトを軸方向に往復運動させる直流モータと、前記シャフトの位置を検出する位置センサとを有するアクチュエータの制御装置であって、
   前記位置センサに内蔵されている温度検出素子が検出したセンサ内温度を用いて温度補正された後の前記シャフトの位置、および前記センサ内温度を取得する取得部と、
   前記取得部が取得した温度補正後の前記シャフトの位置および前記センサ内温度を用いて前記アクチュエータを制御する制御部とを備えることを特徴とするアクチュエータの制御装置。
2. 前記直流モータのコイルの温度を推定するコイル温度推定部と、
   前記コイル温度推定部が推定した前記コイルの温度を、前記取得部が取得したセンサ内温度を用いて補正する温度補正部とを備え、
   前記制御部は、前記取得部が取得した温度補正後の前記シャフトの位置および前記温度補正部が補正した温度を用いて前記アクチュエータを制御することを特徴とする請求項１記載のアクチュエータの制御装置。
3. 前記取得部が取得したセンサ内温度が温度閾値より高い場合に前記アクチュエータの内部温度が異常であると判定する異常判定部を備えることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータの制御装置。
4. シャフトと、
   前記シャフトを軸方向に往復運動させる直流モータと、
   前記シャフトの位置を検出する位置センサと、
   請求項１記載の制御装置とを備えることを特徴とするアクチュエータ。
5. シャフト、前記シャフトを軸方向に往復運動させる直流モータ、および前記シャフトの位置を検出する位置センサを有するアクチュエータと、
   前記アクチュエータによって駆動されるバルブと、
   請求項１記載の制御装置とを備えることを特徴とするバルブ駆動装置。
6. シャフトと、前記シャフトを軸方向に往復運動させる直流モータと、前記シャフトの位置を検出する位置センサとを有するアクチュエータの制御装置が、前記位置センサに内蔵されている温度検出素子が検出したセンサ内温度を用いて温度補正された後の前記シャフトの位置および前記センサ内温度を取得し、当該取得した温度補正後の前記シャフトの位置および前記センサ内温度を用いて前記アクチュエータを制御するアクチュエータの制御方法。

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