JP6334388B2 - 黒鉛−炭化珪素複合体及びその製造方法 - Google Patents
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(1)Fe含有率が8〜8000ppmである金属珪素粉末を準備する工程と、
(2)前記金属珪素粉末を黒鉛基材の表面に溶射する工程と、
(3)前記金属珪素粉末が溶射された黒鉛基材を非酸化性雰囲気にて1100〜1700℃の温度範囲で熱処理して、前記黒鉛基材の表面に炭化珪素層を形成する工程と
を含む黒鉛−炭化珪素複合体の製造方法を提供する。
本発明の黒鉛−炭素珪素複合体は、黒鉛基材と、該黒鉛基材の表面に形成された炭化珪素層とを有するものであり、この炭化珪素層がFeを含み、Fe含有率を所定の範囲内としたものである。具体的には、上記の炭化珪素層に含まれるFe含有率は、5〜5000ppmであり、好ましくは50〜3000ppmである。このような黒鉛−炭素珪素複合体であれば、高温耐酸化性を向上させることができる。Fe含有率が5ppmより少ないと、黒鉛基材と炭化珪素層との密着性が低下し、炭化珪素層の剥離が生じる場合があり、高温耐酸化性が低下する。逆にFe含有率が5000ppmを超えると、炭化珪素層中に融点の低いFe−Si合金が含まれ、高温耐酸化性が低下する。
次に本発明の黒鉛−炭化珪素複合体の製造方法について説明する。本発明の黒鉛−炭化珪素複合体は、Feの含有率が8〜8000ppmの範囲内である金属珪素粉末を黒鉛基材に溶射し、さらに非酸化性雰囲気にて熱処理を行うことで容易に得ることができる。以下、製造方法について更に詳細な説明を行う。
寸法が50mm×50mm×厚さ3mmのCIP成形黒鉛基材全面に、Fe含有率が500ppm、Al含有率が300ppm、Ca含有率が150ppm、平均粒子径が20μmの金属珪素粉末を金属珪素粉末層の厚さが40μmとなるようプラズマ溶射法により溶射した。次に、この被溶射材をバッチ炉内に仕込み、Ar雰囲気中、1450℃の温度で3時間熱処理した。
Fe含有率が20ppm、Al含有率が20ppm、Ca含有率が10ppmの金属珪素粉末を溶射材料とした他は実施例1と同様な方法で黒鉛−炭化珪素複合体を製造した。
Fe含有率が4800ppm、Al含有率が900ppm、Ca含有率が800ppmの金属珪素粉末を溶射材料とした他は実施例1と同様な方法で黒鉛−炭化珪素複合体を製造した。
Fe含有率が7800ppm、Al含有率が1520ppm、Ca含有率が1500ppmの金属珪素粉末を溶射材料とした他は実施例1と同様な方法で黒鉛−炭化珪素複合体を製造した。
Fe含有率が20ppm、Al含有率が5ppm、Ca含有率が2ppmの金属珪素粉末を溶射材料とした他は実施例1と同様な方法で黒鉛−炭化珪素複合体を製造した。
Fe含有率が2ppm、Al含有率が5ppm、Ca含有率が2ppmの金属珪素粉末を溶射材料とした他は実施例1と同様な方法で黒鉛−炭化珪素複合体を製造した。
Fe含有率が8200ppm、Al含有率が2000ppm、Ca含有率が2000ppmの金属珪素粉末を溶射材料とした他は実施例1と同様な方法で黒鉛−炭化珪素複合体を製造した。
Claims (4)
- 黒鉛基材と、該黒鉛基材の表面に形成された炭化珪素層とを有する黒鉛−炭化珪素複合体であって、前記炭化珪素層がFeを含み、前記炭化珪素層中のFe含有率が5〜5000ppmであり、前記炭化珪素層がさらにAl及びCaを含み、前記炭化珪素層中のAl含有率が10〜1000ppm、Ca含有率が5〜1000ppmであることを特徴とする黒鉛−炭化珪素複合体。
- 前記炭化珪素層の厚みが、10〜300μmであることを特徴とする請求項1に記載の黒鉛−炭化珪素複合体。
- 黒鉛−炭化珪素複合体の製造方法であって、
(1)Fe含有率が8〜8000ppmであり、さらにAl及びCaを含み、Al含有率が16〜1600ppm、Ca含有率が8〜1600ppmである金属珪素粉末を準備する工程と、
(2)前記金属珪素粉末を黒鉛基材の表面に溶射する工程と、
(3)前記金属珪素粉末が溶射された黒鉛基材を非酸化性雰囲気にて1100〜1700℃の温度範囲で熱処理して、前記黒鉛基材の表面に炭化珪素層を形成する工程と
を含む黒鉛−炭化珪素複合体の製造方法。 - 前記金属珪素粉末の平均粒子径が、0.5〜50μmであることを特徴とする請求項3に記載の黒鉛−炭化珪素複合体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014255342A JP6334388B2 (ja) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 黒鉛−炭化珪素複合体及びその製造方法 |
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JP2016113345A JP2016113345A (ja) | 2016-06-23 |
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JP2014255342A Active JP6334388B2 (ja) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 黒鉛−炭化珪素複合体及びその製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6334388B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07315967A (ja) * | 1994-05-23 | 1995-12-05 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | カーボン部品に対するSiC成膜方法 |
JP2000239079A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-05 | Nippon Carbon Co Ltd | 表面を緻密化した炭素材料 |
JP2001199767A (ja) * | 2000-01-12 | 2001-07-24 | Nippon Carbon Co Ltd | 炭化ケイ素成型体の製造方法 |
JP2002128580A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-05-09 | Nippon Carbon Co Ltd | 高純度SiCコ−トカ−ボン材の製造方法 |
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2014
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Publication number | Publication date |
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JP2016113345A (ja) | 2016-06-23 |
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