JP6334162B2 - 表面実装装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 59
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 53
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
近年、自動車などの内燃機関の吸入空気通路に設けられ、吸入空気量を測定する空気流量センサとして、熱式のものが質量空気量を直接検知できることから主流となってきており、その中でも特に応答性が高く逆流検出も可能であるとして、半導体マイクロマシニング技術によりシリコン基板の一部を除去し、薄膜部(ダイアフラム)を形成した半導体チップが用いられている。
表面実装装置1は、搬送装置2によって基板4が搬送されて予め設定された位置に位置決めされ、加熱装置3によって予め設定された加熱温度まで加熱されると、基板4の表面に半導体チップ5を配置する動作を開始する。
2 搬送装置
3 加熱装置
4 基板
5 半導体チップ(電子部品)
6 ヘッドツール
7 マウントヘッド
11 基端部
12 ジョイント
13 支持棒
14 球状体
15 貫通孔
16 ワッシャ
21 先端部
22 胴体
24 受け座
25 凹部
31 弾性支持部
32 作用面
41 Oリング(付勢手段)
Claims (5)
- 電子部品を吸着及び解放するヘッドツールをマウントヘッドにより移動させて前記電子部品を基板に配置する表面実装装置であって、
前記ヘッドツールは、
前記マウントヘッドに保持される基端部と、
該基端部に対して予め設定された範囲内で角度変化可能に支持された先端部と、
該先端部に設けられて前記電子部品を弾性支持する弾性支持部と、
前記基端部に対して前記先端部を予め設定された姿勢状態に付勢する付勢手段と、を有し、
前記基端部と前記先端部は、ボール継手により連結され、
前記弾性支持部は、樹脂製の弾性部材により構成され、前記電子部品に対向して少なくとも一部が当接される断面形状が凸形状の作用面を有し、該作用面が前記電子部品の中心から長手方向一方側に偏倚した位置でかつ前記電子部品の薄膜部を避けた位置に当接される球面型の形状を有し、該作用面の中央に負圧の供給を受ける貫通孔が開口して設けられていることを特徴とする表面実装装置。 - 前記付勢手段は、樹脂製の弾性部材又はスプリングにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の表面実装装置。
- 前記弾性部材は、ヤング率0.01〜5.0GPaであることを特徴とする請求項1又は2に記載の表面実装装置。
- 前記ヘッドツールは、前記マウントヘッドに着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の表面実装装置。
- 前記基板と前記電子部品の少なくとも一方を加熱する加熱装置を有することを特徴とする請求項1に記載の表面実装装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013267348A JP6334162B2 (ja) | 2013-12-25 | 2013-12-25 | 表面実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013267348A JP6334162B2 (ja) | 2013-12-25 | 2013-12-25 | 表面実装装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015126007A JP2015126007A (ja) | 2015-07-06 |
JP6334162B2 true JP6334162B2 (ja) | 2018-05-30 |
Family
ID=53536554
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013267348A Active JP6334162B2 (ja) | 2013-12-25 | 2013-12-25 | 表面実装装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6334162B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114080665A (zh) * | 2020-05-08 | 2022-02-22 | 株式会社新川 | 半导体装置的制造装置以及制造方法 |
WO2022208624A1 (ja) * | 2021-03-29 | 2022-10-06 | 平田機工株式会社 | ワイヤボンディング装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2811859B2 (ja) * | 1990-01-24 | 1998-10-15 | 松下電器産業株式会社 | 半導体チップの吸着装置 |
JPH08250898A (ja) * | 1995-12-25 | 1996-09-27 | Omron Corp | 電子部品実装装置 |
JP2008132576A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Sayaka:Kk | ワークの吸着装置 |
JP4933353B2 (ja) * | 2007-05-31 | 2012-05-16 | ヤマハ発動機株式会社 | 吸着ノズルおよび表面実装機 |
JP5163541B2 (ja) * | 2009-03-02 | 2013-03-13 | 三菱マテリアルテクノ株式会社 | 真空吸着パッド |
JP2011177874A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-15 | Mitsubishi Electric Corp | 回転板位置調整装置及び方法 |
JP2011183536A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Ihi Corp | 形状自在な吸着パッド |
JP3159811U (ja) * | 2010-03-16 | 2010-06-03 | 富士電機システムズ株式会社 | エアーピンセット |
JP5800127B2 (ja) * | 2011-05-10 | 2015-10-28 | 株式会社Ihi | 形状自在な吸着グリッパ |
JP5925460B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2016-05-25 | 日立化成株式会社 | フィルム状接着剤およびこれを用いた半導体装置の製造方法 |
-
2013
- 2013-12-25 JP JP2013267348A patent/JP6334162B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015126007A (ja) | 2015-07-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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