JP6323264B2 - 磁気検出装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る磁気検出装置は、内燃機関であるエンジンのクランク軸に固定されたギヤの外周部に配置され、ギヤの回転数(回転角度)を検出するセンサチップとして構成されている。すなわち、センサチップは、回路チップ、磁石、ハウジング、及びターミナル等の他の部品と組み合わされて一つのセンサ装置を構成する。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。図5に示されるように、接続部34は、基板10の一面13の面方向において、各直線部35とで構成される内側の角部34a及び外側の角部34bがR形状になるようにレイアウトされている。これにより、接続部34は円弧状にレイアウトされている。言い換えると、接続部34はかまぼこ型にレイアウトされていると言える。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。図6に示されるように、保護抵抗素子30は拡散抵抗36を有している。拡散抵抗36は、半導体基板11のうち接続部34に対応した位置の表層部に形成されている。拡散抵抗36は、絶縁膜12を貫通する貫通電極15を介して接続部34に電気的に接続されている。
上記各実施形態で示された磁気検出装置の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、配線部33は、2本の直線部35に限らず、3本以上の複数の直線部35が並列に配置されて構成されていても良い。すなわち、接続部34によって構成される蛇行状のレイアウトは1往復に限られず、1.5往復や2往復以上でも良い。このような折り返しのレイアウトにより、保護抵抗素子30のサイズを小さくすることができ、ひいては磁気検出装置を小型化することができる。
13 一面
20 磁気抵抗素子
30 保護抵抗素子
33 配線部
34 接続部
35 直線部
35a、35b 端部
Claims (7)
- 一面(13)を有する基板(10)と、
前記基板(10)の一面(13)に設けられていると共に磁性体材料によって形成されており、外部磁場の影響を受けたときの抵抗値の変化に基づいて検出信号を出力する磁気抵抗素子(20)と、
前記基板(10)の一面(13)に設けられており、電源と前記磁気抵抗素子(20)との間に電気的に接続されると共に、前記電源から入力されるノイズに起因したノイズ電流に対して前記磁気抵抗素子(20)を保護する保護抵抗素子(30)と、
を備え、
前記保護抵抗素子(30)は、
一方の端部(35a)と前記一方の端部(35a)とは反対側の他方の端部(35b)とを有する直線部(35)を複数有し、前記複数の直線部(35)が並列に配置された配線部(33)と、
前記複数の直線部(35)よりも抵抗値が小さく、前記複数の直線部(35)を蛇行状に繋ぐように前記複数の直線部(35)の前記各端部(35a、35b)を電気的に接続する接続部(34)と、
を有し、
前記基板(10)は、半導体基板(11)と、前記半導体基板(11)の上に形成された絶縁膜(12)と、を有しており、
前記保護抵抗素子(30)は、前記半導体基板(11)のうち前記接続部(34)に対応した位置の表層部に形成されていると共に前記接続部(34)に電気的に接続された拡散抵抗(36)を有していることを特徴とする磁気検出装置。 - 前記接続部(34)は、前記複数の直線部(35)を蛇行状に繋ぐように前記各端部(35a、35b)の全体を覆うと共に接触するようにレイアウトされていることを特徴とする請求項1に記載の磁気検出装置。
- 前記接続部(34)は、前記基板(10)の前記一面(13)の面方向における形状が短冊状にレイアウトされていることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気検出装置。
- 前記接続部(34)は、前記基板(10)の前記一面(13)の面方向において、前記複数の直線部(35)とで構成される内側の角部(34a)がR形状になるようにレイアウトされていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の磁気検出装置。
- 前記接続部(34)は、前記基板(10)の前記一面(13)の面方向において、前記複数の直線部(35)とで構成される外側の角部(34b)がR形状になるようにレイアウトされていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の磁気検出装置。
- 前記接続部(34)は、Alを含んだ金属で構成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の磁気検出装置。
- 前記複数の直線部(35)は、前記磁性体材料によって形成されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の磁気検出装置。
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