JP5991031B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明では、第1センシング部(10)は第1磁気抵抗素子(12)を複数有し、第2センシング部(20)は第2磁気抵抗素子(22)を複数有しており、複数の第1磁気抵抗素子(12)及び複数の第2磁気抵抗素子(22)は、360°を16等分した各領域にそれぞれ配置されていることを特徴とする。
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る磁気センサは、例えば対象物の回転角度を検出するために用いられる。
(数1)
y1=θ1+a・sin(8・θ1)
(数2)
y2=θ2+b・sin(8・θ2)
ここで、θ1は入力角度(印加磁界の角度)、θ2は位相を22.5°ずらした入力角度(印加磁界の角度)である。つまり、θ2=θ1+22.5°である。また、a・sin(8・θ1)はy1に含まれる誤差項であり、b・sin(8・θ2)はy2に含まれる誤差項である。a及びbは各磁気抵抗素子12、22の素子部13、23の幅や長さに起因するパラメータである。なお、8・θ1及び8・θ2の「8」は、0°から360°の角度範囲の中に8周期の誤差の波形が含まれることに基づいている。
(数3)
y1+y2=2・θ1+22.5°+(a−b)・sin(8・θ1)
そして、上述のように、各磁気抵抗素子12、22の各素子部13、23の配線幅や配線長の合計が同じになるように設計されていればa−b=0となり、以下の数4のように誤差項は消去される。
(数4)
y1+y2=2θ1+22.5°
この数4に基づいて入力角度(印加磁界の角度)であるθ1を求めることができる。このように、y1及びy2における入力信号項はレイアウトに依存する22.5°の位相のためにθ2を演算で除去でき、残った誤差項は見かけ上、同周期、同位相、同振幅の波形となるのでキャンセルすることができる。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。図4に示されるように、本実施形態では、第1センシング部10の複数の第1磁気抵抗素子12と第2センシング部20の複数の第2磁気抵抗素子22とが千鳥配置されている。この場合、複数の第1磁気抵抗素子12と複数の第2磁気抵抗素子22とは互いが隣同士となるように配置されている。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図6に示されるように、360°を16等分した各領域に各磁気抵抗素子12、22がそれぞれ配置されている。
上記各実施形態で示された磁気センサの構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、第1実施形態では、第2センシング部20の外側に第1センシング部10が位置しているが、第1センシング部10の外側に第2センシング部20が配置されていても良い。これは、数4の式からも言えることであり、各センシング部10、20のどちらが内側・外側であっても、回転角度θ1は数4によって演算できる。
12 第1磁気抵抗素子
13 素子部
14 配線部
20 第2センシング部
22 第2磁気抵抗素子
23 素子部
24 配線部
Claims (5)
- 印加される磁界に応じて抵抗値が変化すると共に線状にレイアウトされた第1磁気抵抗素子(12)を有し、前記第1磁気抵抗素子(12)の抵抗値に基づいた出力を行う第1センシング部(10)と、
印加される磁界に応じて抵抗値が変化すると共に前記第1磁気抵抗素子(12)のレイアウトに対して所定角度傾けられて線状にレイアウトされた第2磁気抵抗素子(22)を有し、前記第2磁気抵抗素子(22)の抵抗値に基づいて、前記第1センシング部(10)に含まれる前記第1磁気抵抗素子(12)のレイアウトに基づく誤差をキャンセルするための出力を行う第2センシング部(20)と、
を備え、
前記第1センシング部(10)は前記第1磁気抵抗素子(12)を複数有し、前記複数の第1磁気抵抗素子(12)は360°を8等分した各領域にそれぞれ配置されており、
前記第2センシング部(20)は前記第2磁気抵抗素子(22)を複数有し、前記複数の第2磁気抵抗素子(22)は360°を8等分した各領域にそれぞれ配置されており、
前記第1センシング部(10)の中心と前記第2センシング部(20)の中心とが一致していることにより、前記第1センシング部(10)の外側に前記第2センシング部(20)が配置され、もしくは、前記第2センシング部(20)の外側に前記第1センシング部(10)が配置されていることを特徴とする磁気センサ。 - 印加される磁界に応じて抵抗値が変化すると共に線状にレイアウトされた第1磁気抵抗素子(12)を有し、前記第1磁気抵抗素子(12)の抵抗値に基づいた出力を行う第1センシング部(10)と、
印加される磁界に応じて抵抗値が変化すると共に前記第1磁気抵抗素子(12)のレイアウトに対して所定角度傾けられて線状にレイアウトされた第2磁気抵抗素子(22)を有し、前記第2磁気抵抗素子(22)の抵抗値に基づいて、前記第1センシング部(10)に含まれる前記第1磁気抵抗素子(12)のレイアウトに基づく誤差をキャンセルするための出力を行う第2センシング部(20)と、
を備え、
前記第1センシング部(10)は前記第1磁気抵抗素子(12)を複数有し、前記第2センシング部(20)は前記第2磁気抵抗素子(22)を複数有しており、
前記複数の第1磁気抵抗素子(12)及び前記複数の第2磁気抵抗素子(22)は、360°を16等分した各領域にそれぞれ配置されていることを特徴とする磁気センサ。 - 前記第1磁気抵抗素子(12)の線の幅と線の長さの合計は、前記第2磁気抵抗素子(22)の線の幅と長さの合計と同じになっていることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気センサ。
- 前記第1磁気抵抗素子(12)と前記第2磁気抵抗素子(22)とが隣同士に配置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の磁気センサ。
- 前記第2磁気抵抗素子(22)の線状のレイアウトは、前記第1磁気抵抗素子(12)の線状のレイアウトに対して22.5°傾けられていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の磁気センサ。
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