JP6311418B2 - テープ貼付装置、ハンド装置及びテープ貼付方法 - Google Patents

Description

本発明は、テープ貼付装置、ハンド装置及びテープ貼付方法に関する。

従来、タックやテープ、シール等を台紙から剥離し、貼付対象物へ貼付するタックラベラーやテープ貼付装置が知られている（例えば、特許文献１）。

特開２００９−２２０８７７号公報

台紙上のテープの形状がいわゆる長尺形状である場合、円弧状の吸着パッドをテープの長手方向に沿って回転させてテープを台紙から剥離することがある。具体的に、テープの直交する二方向の一方の寸法が他方の寸法よりも大きい場合、テープ表面に円弧状の吸着パッドを吸着させ、テープの長手方向に吸着パッドを回転させてテープを台紙から剥離する。このとき、吸着パッドには吸着孔が開口、すなわち、吸着孔の一端が露出しており、この吸着孔を通じてテープ表面を吸引することにより、吸着パッドの吸着面にテープを吸着する。これにより、台紙上のテープを剥離することができる。しかしながら、吸着孔を通じてテープを吸着すると、吸着孔に吸われた位置が凹むことがある。このような凹みは、気泡の原因となり、テープを貼付対象物へ貼付した際に皺の原因となる。また、テープが長尺形状であると、テープが撓み易い。このような撓みもテープを貼付対象物に貼付した際の皺の発生原因となり得る。

１つの側面では、本明細書開示のテープ貼付装置、ハンド装置及びテープ貼付方法は、吸着パッドに吸着して剥離したテープにおける撓みや凹みを抑制することを課題とする。

本明細書開示のテープ貼付装置は、台紙上の長尺形状のテープを剥離するとともに、剥離した前記テープを貼付対象物に貼付するハンド装置を備えるテープ貼付装置であって、前記ハンド装置は、円弧状部を有し、吸着孔の一端が露出して前記テープを吸着する吸着面を前記円弧状部の外周側面に備える吸着パッドと、前記吸着パッドを前記吸着面の裏面側から前記円弧状部の径方向外側に押し広げて前記吸着面を拡張する拡張機構と、を備える。

本明細書開示のハンド装置は、台紙上の長尺形状のテープを剥離するとともに、剥離した前記テープを貼付対象物に貼付するハンド装置であって、円弧状部を有し、吸着孔の一端が露出して前記テープを吸着する吸着面を前記円弧状部の外周側面に備える吸着パッドと、前記吸着パッドを前記吸着面の裏面側から前記円弧状部の径方向外側に押し広げて前記吸着面を拡張する拡張機構と、を備える。

本明細書開示のテープ貼付方法は、吸着パッドが有する円弧状部の外周側面に備えられ、吸着孔の一端が露出した吸着面に台紙上の長尺形状のテープを吸着させて巻き取る工程と、前記吸着パッドを前記吸着面の裏面側から前記円弧状部の径方向外側に押し広げ、前記吸着面を拡張させて吸着している前記テープを引っ張る工程と、前記吸着面に吸着したテープを貼付対象物に貼付する工程と、を含む。

本明細書開示のテープ貼付装置、ハンド装置及びテープ貼付方法によれば、吸着パッドに吸着して剥離したテープにおける撓みや凹みを抑制することができる。

図１は第１実施形態のテープ貼付装置の概略構成を示す斜視図である。 図２はテープを吸着するハンド装置の斜視図である。 図３はテープを吸着するハンド装置の三面図であり、図３（Ａ）は平面図、図３（Ｂ）は側面図、図３（Ｃ）は底面図である。 図４（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれハンド装置の主要部の斜視図である。 図５はハンド装置の主要部の三面図であり、図５（Ａ）は背面図であり、図５（Ｂ）は平面図であり、図５（Ｃ）は正面図である。 図６は空気導入軸を通じて空気貯留室に空気を導入する様子を模式的に示す説明図である。 図７（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ吸着ブロックの斜視図である。 図８は吸着ブロックの三面図であり、図８（Ａ）は正面図であり、図８（Ｂ）は平面図であり、図８（Ｃ）は背面図である。 図９は環状の吸着パッドの斜視図である。 図１０（Ａ）は吸着パッドの側面図であり、図１０（Ｂ）は吸着パッドの正面図である。 図１１は吸着ブロックが半径方向に移動する様子を模式的に示す説明図である。 図１２はテープ貼付装置の機能ブロック図である。 図１３はテープ貼付装置の空気導入／吸着系を示す説明図である。 図１４はハンド装置が作動する様子を示す模式図であり、図１４（Ａ−１）は空気導入軸に空気が導入されていない状態を示し、図１４（Ａ−２）はテープに撓みが生じている様子を示し、図１４（Ｂ−１）は空気導入軸に空気が導入された状態を示し、図１４（Ｂ−２）はテープの撓みが解消する様子を示す説明図である。 図１５は比較例のハンド装置の斜視図である。 図１６は第１実施形態のテープ貼付装置の動作の一例を示すフロー図である。 図１７（Ａ）〜（Ｅ）は第１実施形態のテープ貼付装置が台紙からテープを剥離する工程を時系列的に示す説明図である。 図１８（Ａ）〜（Ｆ）は第１実施形態のテープ貼付装置が貼付対象物である基板にテープを貼付する工程を時系列的に示す説明図である。 図１９は第２実施形態のハンド装置の斜視図である。 図２０は第２実施形態のハンド装置の三面図であり、図２０（Ａ）は平面図であり、図２０（Ｂ）は正面図であり、図２０（Ｃ）は側面図である。 図２１（Ａ）はハンド装置の空気導入軸に空気が導入されていない状態を示す説明図であり、図２１（Ｂ）はハンド装置の空気導入軸に空気が導入されている状態を示す説明図である。 図２２は第３実施形態のハンド装置の主要部を示す説明図である。

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては、説明の都合上、実際には存在する構成要素が省略されていたり、寸法が実際よりも誇張されて描かれていたりする場合がある。

（第１実施形態）
まず、図１を参照しつつ、第１実施形態のテープ貼付装置１の概略構成について説明する。図１は第１実施形態のテープ貼付装置１の概略構成を示す斜視図である。テープ貼付装置１は、後に図１７、図１８を参照して詳述するように台紙１００から柔軟なテープ１０１を剥離し、剥離したテープ１０１を電子装置に装備される基板１０２上へ貼付する。ただし、テープ貼付装置１は、このような用途に限定されるものではなく、台紙から剥離したテープやシールを貼付対象物に貼付する用途に広く適用することができる。テープ貼付装置１が取り扱うテープやシールは、テープやシールの直交する二方向の一方の寸法が他方の寸法よりも大きい形状を有する長尺形状である。テープ貼付装置１は、フレーム２を備え、図中のＸ部を拡大して示すようにフレーム２内にロボット装置１０とハンド装置５０を備えている。ロボット装置１０は、アーム部材１１を介してハンド装置５０を上下左右前後方向に移動させることができる。

次に、ハンド装置５０について図２乃至図６を参照しつつ説明する。図２はテープ１０１を吸着するハンド装置５０の斜視図である。図３はテープ１０１を吸着するハンド装置５０の三面図であり、図３（Ａ）は平面図、図３（Ｂ）は側面図、図３（Ｃ）は底面図である。図４（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれハンド装置の主要部の斜視図である。図５はハンド装置５０の主要部の三面図であり、図５（Ａ）は背面図であり、図５（Ｂ）は平面図であり、図５（Ｃ）は正面図である。図６は空気導入軸５５を通じて空気貯留室５５ｄに空気を導入する様子を模式的に示す説明図である。

ハンド装置５０は、吸着孔７２が開口し、すなわち、吸着孔７２の一端が露出し、テープ１０１を吸着する吸着面Ｆを備える吸着パッド７０と、この吸着パッド７０を吸着面Ｆの裏面側から押し広げて吸着面Ｆを拡張する拡張機構を備える。吸着パッド７０は環状であり、これにより、円弧状部を有している。拡張機構は、具体的に、吸着パッド７０の環状（円弧状部）の内側に周方向に沿って並べられ、それぞれ環状の径方向に移動可能に配置された複数の吸着ブロック６０を含む。第１実施形態における吸着ブロック６０は、移動体の一例である。吸着ブロック６０は、後に詳説するように、中空の空気導入軸５５の周囲に配置される。そして、吸着ブロック６０は、空気導入軸５５内、具体的には、空気導入軸５５内に設けられた空気貯留室５５ｄ内に開口し、空気導入軸５５に導入された空気が導入される空気導入筒部６０ｂを備える。吸着ブロック６０は、空気導入軸５５から放射状に広がるように配置されており、第１実施形態のハンド装置５０では、８個の吸着ブロック６０が配置されている。なお、吸着ブロック６０の数は、８個に限定されず、他の個数であってもよい。

図６を参照すると、ハンド装置５０は、空気導入軸５５を備える。空気導入軸５５は、空気導入ポート５５ａを備えるとともに、先端側にフランジ部５５ｂを備える。また、空気導入軸５５の基端側には駆動軸５４が接続されている。駆動軸５４は、ベアリング部５２が設けられた軸受部５１によって回転自在に支持されている。ハンド装置５０は、ホルダ部５３に設けられたロック部材５３ａを備える。ロック部材５３ａは、駆動軸５４を両側から挟持することで駆動軸５４の回転を停止させることができる。空気導入軸５５の内部には、空気導入ポート５５ａから導入された空気が流通する空気通路５５ｃと、この空気通路５５ｃと連通する空気貯留室５５ｄが設けられている。空気貯留室の外周壁には、外部に連通する保持孔５５ｄ１が設けられている。保持孔５５ｄ１は、円周上に等間隔で８箇所に設けられている。この保持孔５５ｄ１に吸着ブロック６０が備える空気導入筒部６０ｂが摺動自在に差し込まれることにより、８個の吸着ブロック６０は空気導入軸５５の周囲に配置されている。各吸着ブロック６０は、空気導入筒部６０ｂが保持孔５５ｄ１に対し摺動することによって環状の吸着パッド７０の径方向に移動する。

ここで、個々の吸着ブロック６０について図７、図８を参照しつつ説明する。図７（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ吸着ブロック６０の斜視図である。図８は吸着ブロック６０の三面図であり、図８（Ａ）は正面図であり、図８（Ｂ）は平面図であり、図８（Ｃ）は背面図である。第１実施形態の吸着ブロック６０は、樹脂製であるが、金属製、その他の材質であってもよい。吸着ブロック６０は、正面側又は背面側から見たときに扇形状を呈する。そして、吸着ブロック６０は、背面側に吸着ポート６０ａを備える。吸着ポート６０ａは、扇形状の外周側面に開口する吸着空気通路６１に連通している。この吸着空気通路６１は、吸着パッド７０が備える吸着孔７２と連通することとなる。吸着ブロック６０には、上述した空気導入筒部６０ｂが設けられている。この空気導入筒部６０ｂは、扇形状の内周側面に設けられている。空気導入筒部６０ｂは、有底の筒状部材であり、解放側が露出した状態で設けられている。このように、空気導入筒部６０ｂは、有底であることから、吸着空気通路６１とは分離した状態で設けられている。吸着ブロック６０の扇形状の外周側面には、一対の厚み方向壁部６０ｃ１と一対の周方向壁部６０ｃ２が設けられている。厚み方向壁部６０ｃ１及び周方向壁部６０ｃ２は、扇形状の外周側面に嵌め合い凹部６０ｃを形成している。吸着空気通路６１は、この嵌め合い凹部６０ｃ内に開口している。

つぎに、吸着パッド７０について図９、図１０を参照しつつ説明する。図９は環状の吸着パッド７０の斜視図である。図１０（Ａ）は吸着パッド７０の側面図であり、図１０（Ｂ）は吸着パッド７０の正面図である。吸着パッド７０は、切れ目のない環状を備える。従って、３６０°に相当する円弧状部を有する。吸着パッド７０の幅及び直径はテープ１０１の寸法に応じて決められている。吸着パッド７０は、伸縮性を有するゴム製である。ここで、吸着パッド７０の材料は、第１実施形態におけるテープ１０１の貼付対象物が基板１０２であることを考慮して静電対策用の材料が用いられている。吸着パッド７０の外周側面は、テープ１０１を吸着する吸着面Ｆとなっている。吸着パッド７０は、内周側面、すなわち、吸着面Ｆの裏面側に８個の嵌め合い凸部７１を備える。そして、この嵌め合い凸部７１に内外を貫通する吸着孔７２が設けられている。このため、複数の吸着孔７２が集まった領域が形成されている。吸着孔７２が集まった領域の間には、伸展部７３が形成されている。すなわち、吸着パッド７０には、周方向に沿って、吸着孔７２が集まった領域と伸展部７３が交互に配置されている。伸展部７３は、吸着パッド７０が径方向に押し広げられたときに主として伸展する部分である。この伸展部７３は、内周側に配置される吸着ブロック６０が備える周方向壁部６０ｃ２の位置に対応する。

このような吸着ブロック６０及び吸着パッド７０は、図４乃至図５に明確に示されるように、吸着パッド７０の内側に吸着ブロック６０が配置されて組み立てられる。この際、吸着パッド７０と吸着ブロック６０とは、凹凸、すなわち、嵌め合い凹部６０ｃと嵌め合い凸部７１とが嵌合する。このように、凹凸が嵌合することにより、吸着ブロック６０の脱落が抑制されるとともに、吸着に供する空気の漏れが抑制される。なお、吸着ブロック６０は、空気導入筒部６０ｂが保持孔５５ｄ１に挿入されていること、フランジ部５５ｂに抑えられていることによっても脱落が抑制されている。

吸着ブロック６０は、図１１に示すように空気貯留室５５ｄ内に空気が導入され、その空気が空気導入筒部６０ｂに入り込むことによって径方向外側に移動する。各吸着ブロック６０が径方向外側に移動すると吸着パッド７０が周方向に伸展する。これにより、吸着面Ｆに吸着されたテープが周方向に引っ張られ、撓みや吸着孔７２に吸われることによって生じやすい凹みが解消される。

つぎに、図１２を参照してテープ貼付装置１の機能ブロック図について説明する。テープ貼付装置１は、制御部３を備える。制御部３は、ロボットコントローラ部３ａとハンド装置コントローラ部３ｂを備える。ロボットコントローラ部３ａは、ロボット１０の動作を制御する。ハンド装置コントローラ部３ｂは、ハンド装置５０の動作を制御する。ハンド装置コントローラ部３ｂは、図１３に示すように２つのソレノイドバルブポート３ｂ１と８つのエジェクタポート３ｂ２を備える。２つのソレノイドポート２ｂ１のうち、一方は、空気導入ポート５５ａに繋がれ、空気導入軸５５内へ空気を導入する。他方は、ロック部材５３ａに繋がれ、ロック部材５３ａを動作させる。８つのエジェクタポート３ｂ２は、それぞれ吸着ブロック６０が備える吸着ポート６０ａに繋がれ、テープ１０１を吸着する際に真空引きを行う。

このようなテープ貼付装置１におけるハンド装置５０の動作につき、図１４を参照しつつ説明する。図１４はハンド装置５０が作動する様子を示す模式図であり、図１４（Ａ−１）は空気導入軸５５に空気が導入されていない状態を示し、図１４（Ａ−２）はテープに撓みが生じている様子を示している。図１４（Ｂ−１）は空気導入軸５５に空気が導入された状態を示し、図１４（Ｂ−２）はテープの撓みが解消する様子を示す説明図である。図１４（Ａ−１）に示すように吸着ブロック６０が内側、すなわち、空気導入軸５５に当接するような位置にある場合には、図１４（Ａ−２）に示すように吸着パッド７０に吸着されたテープ１０１ａに撓み１０１ａが生じることがある。このような状態から図１４（Ｂ−１）に示すように各吸着ブロック６０が径方向外側に移動し、吸着パッド７０を吸着面Ｆの裏面側から押し広げると吸着面Ｆが拡張する。この結果、図１４（Ｂ−２）に示すようにテープ１０１が周方向に引っ張られ、撓み１０１ａが解消する。このとき、撓み１０１ａだけでなく、吸着孔７２に吸われることによって生じる凹みも解消される。

図１５は、比較例のハンド装置１５０を示す斜視図である。比較例のハンド装置１５０は、実施形態のハンド装置５０と異なり、環状の吸着ブロック１６０を備える。ハンド装置１５０は、吸着ブロック１６０の外周側に環状の吸着パッド１７０を備える点で、第１実施形態のハンド装置５０と共通する。しかしながら、吸着ブロック１６０が分割されておらず、吸着ブロック１６０は径方向外側に移動することができない。このため、吸着パッド１７０は周方向に伸展することができず、その結果、吸着パッド１７０が吸着したテープに生じる撓みや凹みを解消することができない。これに対し、第１実施形態のハンド装置５０であれば、上述のように吸着パッドに吸着して剥離したテープにおける撓みや凹みを抑制することができる。

次に、図１６乃至図１８を参照しつつ第１実施形態のテープ貼付装置１の動作について説明する。図１６は第１実施形態のテープ貼付装置１の動作の一例を示すフロー図である。図１７（Ａ）〜（Ｅ）は第１実施形態のテープ貼付装置が台紙からテープを剥離する工程を時系列的に示す説明図である。図１８（Ａ）〜（Ｆ）は第１実施形態のテープ貼付装置１が貼付対象物である基板１０２にテープを貼付する工程を時系列的に示す説明図である。テープ貼付装置１は、あらかじめ準備されたプログラムに従って、主として制御部３によって実行される。

まず、ステップＳ１では、ロボット装置１０が、テープ１０１が貼付された状態の台紙１００が設置された剥離台上空までハンド装置５０を移動させる（図１７（Ａ））。そして、ステップＳ２において、ロボット装置１０は、ハンド装置５０を吸着位置高さまで下降させる。そして、各吸着ブロック６０が備える吸着ポート６０ａに接続されたエジェクタポート３ｂ２を作動させて吸着動作を開始する。また、ロック部材５３ａを駆動するソレノイドポート３ｂ１を停止させて駆動軸５４を回転可能に開放する（図１７（Ｂ））。ステップＳ２に引き続き行われるステップＳ３では、ロボット装置１０によりハンド装置５０を移動させ、吸着パッド７０を回転させながら台紙１００上のテープ１０１を吸着パッド７０の吸着面Ｆに吸着させて巻き取る（図１７（Ｃ））。ステップＳ３に引き続き行われるステップＳ４では、ロボット装置１０は、ハンド装置５０をテープエンドまで移動させ、その後、ロック部材５３ａを駆動するソレノイドポート３ｂ１を稼働させて駆動軸５４を固定する（図１７（Ｄ））。次いで、ステップＳ５では、ロボット装置１０は、ハンド装置５０を上空へ移動させる。これにより、テープのピックアップが完了する（図１７（Ｅ））。

ステップＳ５に引き続き行われるステップＳ６では、ロボット装置１０は、ハンド装置５０を貼付位置上空まで移動させる（図１８（Ａ））。そして、ステップＳ７において、空気導入ポート５５ａへ繋がれたソレノイドポート３ｂ１を稼働させて空気導入軸５５へ空気を導入する（図１８（Ｂ））。これにより、各吸着ブロック６０は、径方向外側に移動し、吸着パッド７０を周方向に伸展させ、吸着面Ｆを拡張する。この結果、吸着面Ｆに吸着されたテープ１０１に生じた撓みや凹みを解消する。

ステップＳ７に引き続き行われるステップＳ８では、ロボット装置１０は、ハンド装置５０を貼付高さ、すなわち、テープ１０１が貼付対象物である基板１０２に接触する位置まで下降させる。そして、ロック部材５３ａを駆動するソレノイドポート３ｂ１を停止させて駆動軸５４を回転可能に開放する。また、このとき、貼付スタート位置となる吸着ブロック６０が備える吸着ポート６０ａに接続されたエジェクタポート３ｂ２を停止作動させて吸着を停止する。これにより、貼付動作初期における位置づれを抑制することができる（図１８（Ｃ））。そして、ステップＳ９において、ロボット装置１０は、ハンド装置５０を移動させ（図１８（Ｄ））、ステップＳ１０においてハンド装置５０を貼付完了位置まで移動させる。ステップＳ１０では、さらに、ロック部材５３ａを駆動するソレノイドポート３ｂ１を稼働させて駆動軸５４を固定し、すべての吸着ブロック６０の吸着を停止する（図１８（Ｅ））。ステップＳ１０において駆動軸５４を固定するのは、テープ１０１のずれを抑制する為である。すなわち、吸着パッド７０が回転し、テープ１０１の位置がずれることを抑制する為である。

ステップＳ１０に引き続き行われるステップＳ１１では、ハンド装置５０を上空へ移動させる（図１８（Ｆ））。これにより、吸着パッド７０が回転し、吸着面Ｆに吸着したテープ１０１を貼付対象物である基板１０２に貼付することができる。なお、ステップＳ１１では、次回の動作に備えて、空気導入軸５５への空気の導入を停止、吸着ブロック６０を空気導入軸５５側へ復帰させておく。吸着ブロック６０は、弾性を有するゴム製の吸着パッド７０を備えているので、空気導入軸５５への空気の導入が停止されると、自動的に元位置へ復帰することができる。以上で、テープ貼付装置１の一連の動作が完了する。なお、各工程の順序は適宜変更することができる。

第１実施形態では、空気導入軸５５に導入された共通する空気の力を利用して各吸着ブロック６０を径方向外側に移動させているので、各吸着ブロック６０を均等に移動させることができる。また、保持孔５５ｄ１に挿入された空気導入筒部６０ｄがガイドとなるので、スムーズに移動することができ、吸着パッド７０を歪みなく拡大することができる。

なお、第１実施形態では、吸着ブロック６０側に嵌め合い凹部６０ｃを設け、吸着パッド７０側に嵌め合い凸部７１を設けているが、凹凸の関係を入れ替えてもよい。

（第２実施形態）
つぎに、図１９乃至図２１を参照しつつ、第２実施形態のハンド装置２５０について説明する。ハンド装置２５０は、第１実施形態のハンド装置５０に代えて、テープ貼付装置１に搭載することができる。図１９は第２実施形態のハンド装置２５０の斜視図である。図２０は第２実施形態のハンド装置２５０の三面図であり、図２０（Ａ）は平面図であり、図２０（Ｂ）は正面図であり、図２０（Ｃ）は側面図である。図２１（Ａ）はハンド装置２５０の空気導入軸２５５に空気が導入されていない状態を示す説明図であり、図２１（Ｂ）はハンド装置２５０の空気導入軸２５５に空気が導入されている状態を示す説明図である。

第２実施形態のハンド装置２５０が第１実施形態のハンド装置５０と異なるのは、吸着パッドの形状である。すなわち、第１実施形態では、環状の吸着パッド７０が採用されていたが、第２実施形態では、半円形の吸着パッド２７０が採用され、これにより、吸着パッド２７０は、円弧状部を備えている。このように、第１実施形態と第２実施形態とでは、吸着パッドの形状が異なるが、その他の基本的な構成は、両者は共通する。

吸着パッド２７０は、吸着パッド７０と同様に吸着孔２７２と伸展部２７３を備える。また、空気導入軸２５５は、空気導入ポート２５５ａを備える。第２実施形態では、４個の吸着ブロック２６０が半円形に並べられている。吸着ブロック２６０自体は、空気導入ポート２６０ａを備える点も吸着ブロック６０とほぼ共通しているが、空気導入筒部２６０ｂの形状が異なっている。図２１（Ｂ）
を参照すると、空気導入筒部２６０ｂの露出端部には鍔部２６０ｂ１が設けられている。そして、鍔部２６０ｂ１と空気貯留室２５５ｄの内周壁との間にバネ部材２６２が介装されている。このバネ部材２６２は、空気導入筒部２６０ｂを介して吸着ブロック２６０を中心側に付勢している。これは、第１実施形態とことなり、半円形の吸着パッド２７０が採用されていることに鑑み、吸着ブロック２６０をスムーズに空気導入軸２５５側に復帰させるために採られた措置である。

このように、吸着パッド２７０の形状は、円形すなわち、環状に限定されるものでなく、他の形状を採用することもできる。

（第３実施形態）
つぎに、第３実施形態について、図２２を参照しつつ説明する。図２２は第３実施形態のハンド装置の主要部を示す説明図である。第３実施形態は、第１実施形態、第２実施形態とは拡張機構が異なる。すなわち、第１実施形態、第２実施形態では、空気の力で吸着ブロック６０、２６０を径方向外側に移動させていた。これに対し、第３実施形態では、テーパ軸部材３５０を用いて各吸着ブロック３６０を径方向外側に移動させる。テーパ軸部材３５０は、基端側３５０ｂの直径が先端部３５０ａの直径よりも大きい寸法を有する。このようなテーパ軸部材３５０を周方向に沿って並べられた吸着ブロック３６０の中心部へ押し込むと、吸着ブロック３６０は、それぞれ径方向外側に押し出される。これにより、吸着ブロック３６０の周囲に配置された吸着パッド３７０が周方向に広がる。この結果、第１実施形態や第２実施形態と同様の効果を得ることができる。

以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

１ テープ貼付装置
２ フレーム
１０ ロボット装置
５０、２５０ ハンド装置
５３ａ ロック部材
５４ 駆動軸
５５、２５５ 空気導入軸
５５ｄ 空気貯留室
５５ｄ１ 保持孔
６０、２６０、３６０ 吸着ブロック（移動体）
６０ｃ 嵌め合い凹部
６１ 吸着空気通路
７０、２７０、３７０ 吸着パッド
Ｆ 吸着面
７１ 嵌め合い凸部
７２、２７２ 吸着孔
７３、２７３ 伸展部
１００ 台紙
１０１ テープ
１０１ａ 気泡
１０２ 基板（貼付対象物）
３５０ テーパ軸部材

Claims (7)

1. 台紙上の長尺形状のテープを剥離するとともに、剥離した前記テープを貼付対象物に貼付するハンド装置を備えるテープ貼付装置であって、
   前記ハンド装置は、円弧状部を有し、吸着孔の一端が露出して前記テープを吸着する吸着面を前記円弧状部の外周側面に備える吸着パッドと、前記吸着パッドを前記吸着面の裏面側から前記円弧状部の径方向外側に押し広げて前記吸着面を拡張する拡張機構と、を備えるテープ貼付装置。
2. 前記拡張機構は、前記吸着パッドの前記円弧状部の内側に周方向に沿って並べられ、それぞれ前記円弧状部の径方向に移動可能に配置された複数の移動体を含む請求項１に記載のテープ貼付装置。
3. 前記移動体は、中空の空気導入軸の周囲に配置され、前記空気導入軸内に開口し、前記空気導入軸に導入された空気が導入される空気導入筒部を備える請求項２に記載のテープ貼付装置。
4. 前記移動体は、前記吸着パッドが備える吸着孔と連通する吸着空気通路を備える請求項２又は３に記載のテープ貼付装置。
5. 前記吸着パッドと前記移動体とは、凹凸によって嵌合した請求項２又は３に記載のテープ貼付装置。
6. 台紙上の長尺形状のテープを剥離するとともに、剥離した前記テープを貼付対象物に貼付するハンド装置であって、円弧状部を有し、吸着孔の一端が露出して前記テープを吸着する吸着面を前記円弧状部の外周側面に備える吸着パッドと、前記吸着パッドを前記吸着面の裏面側から前記円弧状部の径方向外側に押し広げて前記吸着面を拡張する拡張機構と、を備えるハンド装置。
7. 吸着パッドが有する円弧状部の外周側面に備えられ、吸着孔の一端が露出した吸着面に台紙上の長尺形状のテープを吸着させて巻き取る工程と、
   前記吸着パッドを前記吸着面の裏面側から前記円弧状部の径方向外側に押し広げ、前記吸着面を拡張させて吸着している前記テープを引っ張る工程と、
   前記吸着面に吸着したテープを貼付対象物に貼付する工程と、
   を含むテープ貼付方法。

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