JP6309843B2 - センサ用基板およびセンサ装置 - Google Patents
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Description
縁層1aに比べてたわみ等の変形をしやすい。実装板2の厚みは、例えば実装板2が絶縁層1aと同様の酸化アルミニウム質焼結体またかガラスセラミック焼結体からなる場合であれば、約50〜120μm程度の範囲に設定される。
わない。例えば、実装板2の上面のうち搭載部2aよりも外側に端子部分が配置され、この端子部分7から実装板2の上面および側面を経て絶縁基板1まで配線導体の一部が設けられていてもよい。つまり、実装板2の上面から絶縁基板1の下面にかけて配線導体が形成されていても構わない。実装板2の上面に配線導体が形成されている場合には、例えばセンサ素子4と配線導体との接続距離が短くなるため、導通抵抗の低減およびセンサ装置5の生産性等において、より有利である。
の外側面をいわゆる面一に整える)こともでき、取り扱いの容易さ等の実用性がより高いセンサ用基板3およびセンサ装置5を提供することもできる。
上面との離間距離(空隙6の高さ)は、約30〜50μm程度に設定されていればよい。実装板2と絶縁基板1の上面との離間距離を小さく抑えるには、実装板2の下面の外周部に接合されている枠状絶縁層(スペーサ)の厚みを小さく抑えればよい。
の例では、平面視において枠状絶縁層の内側の角部を含む円形状の部分において、実装板2が厚み方向に貫通する貫通部を有している。すなわち、実装板2は、その外周部が枠状絶縁層の層間に位置して保持されているとともに、枠状絶縁層の内周の角部では枠状絶縁層に対してフリーになっている。この場合にも、実装板2の絶縁基板1とは独立した動きがより容易になる。そのため、検知しようとする角速度等の物理量とは異なる振動等によるノイズの影響がより効果的に低減された、検知の精度がより高いセンサ用基板3およびセンサ装置5を提供することができる。
1a・・・絶縁層
2・・・実装板
2a・・・搭載部
3・・・センサ用基板
4・・・センサ素子
5・・・センサ装置
6・・・空隙
7・・・端子部分
8・・・ボンディングワイヤ
Claims (7)
- 互いに積層された複数のセラミック焼結体からなる絶縁層を含んでおり、上面を有する絶縁基板と、
センサ素子の搭載部を含む上面を有しており、前記絶縁基板の前記上面の上方に、中央部が前記絶縁基板の前記上面から離間して配置された実装板とを備えており、
該実装板は前記絶縁層と同じ材料からなり、
前記絶縁層の厚みよりも前記実装板の厚みが小さいことを特徴とするセンサ用基板。 - 前記絶縁基板の前記上面が外周部に凸部を有しており、該凸部内に前記実装板の外周部が保持されていることを特徴とする請求項1記載のセンサ用基板。
- 前記凸部が、互いに積層された複数の枠状絶縁層を含んでいるとともに、前記実装板の外周部が前記複数の枠状絶縁層の層間に位置しており、
平面視において前記実装板の外周と前記枠状絶縁層の外周とが互いに同じ位置に位置していることを特徴とする請求項2記載のセンサ用基板。 - 前記実装板よりも下側に位置している前記枠状絶縁層の下面の幅が、該枠状絶縁層の上面の幅よりも大きいことを特徴とする請求項3記載のセンサ用基板。
- 前記実装板の厚みが、前記実装板と前記絶縁基板の前記上面との離間距離よりも大きいことを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれかに記載のセンサ用基板。
- 前記実装板の前記外周部を含む周辺部における厚みが、該周辺部よりも内側の中央部における厚みよりも小さいことを特徴とする請求項2〜請求項5のいずれかに記載のセンサ用基板。
- 請求項1〜請求項6のいずれかに記載のセンサ用基板と、
前記搭載部に搭載されたセンサ素子とを備えることを特徴とするセンサ装置。
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