発明を実施するための形態について、以下に説明する。なお、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。
(光学素子)
図1に基づき本実施の形態における光学素子について説明する。なお、図1(a)は、本実施の形態における光学素子の平面図であり、図1(b)は、図1(a)における一点鎖線1A−1Bにおいて切断した断面図を模式的に示す。
本実施の形態における光学素子10は、基材11の表面に複数の凹部12が形成されている構造のものである。なお、本実施の形態における説明では、基材11の表面に複数の凹部12が形成されている場合について説明するが、本実施の形態における光学素子は、基材11の表面に複数の凸部が形成されているものでもよい。
図1に示される本実施の形態における光学素子においては、凹部12の最も深い部分が底部13となっており、凹部12における底部13の深さ方向における位置は均一ではなく、凹部12における底部13の深さ方向における位置は2値以上となっており、複数の凹部12における底部13において、最も深い底部13の深さ位置と最も浅い底部13の深さ位置の差、即ち、底部13の高低差は、Δdとなるように形成されている。
次に、底部13における平面的な位置について説明する。図2(a)においては、底部13の位置を「●」によって示している。底部13の位置は、規則的な配列、即ち、所定の周期で配列しているものであってもよく、不規則な配列であってもよい。底部13の位置が不規則な配列である場合には、規則的な配列のピッチをPとすると、規則的な配列がなされた場合における底部の中心点(規則的な配列がなされている点)を基準にして、底部13は、半径が0.25×Pの円の範囲内に存在するように形成されていることが好ましく、更には、半径が0.15×Pの円の範囲内に存在するように形成されていることがより好ましい。このようにすることにより、後述するように所定の角度範囲に効率よく光を拡散させることができる。所定の方向ごとに規則配列のピッチが異なっている場合には、その比率に応じて底部の分布する範囲を楕円にしてもよい。また、規則配列のある点とその近隣の点の距離を1/4の位置の垂線によって囲まれる領域内に底部を分布させると好ましく、規則配列のある点とその近隣の点の距離を3/20の位置の垂線によって囲まれる領域内に底部を分布させるとより好ましい。なお、図2(a)においては、規則的な配列がなされている点の位置を「×」により示している。図2(a)においては、この規則的な配列は、最も近い規則的な配列がなされている点同士を結んだ形状が、三角形となるような配列である。ここで、垂線とは、規則的な配列がなされている点と、隣り合う規則的な配列がなされている点とを結ぶ線分に対する垂線を言う。
また、ある第1の方向に対して底部の平均的な間隔がP1となるように底部を配列させてもよい。このとき第1の方向と直交する方向を第2の方向として、第1の方向に形成される底部の列の各底部の位置の重心が間隔P2となるように配置させてもよい。このような配列は規則的な配列をもとにしていないため規則配列による周期性の影響をより低減することができる。このような配列の例を図3に示す。図3は底部の位置を「●」で示している。図3において第1の方向に複数の底部の列を配置しておりその一部の底部の列の第2の方向の重心位置を点線51a、点線51b、点線51c、点線51dで示している。重心位置が点線51aとなる底部の列において、第1の方向の底部の間隔はそれぞれP11、P12、…、P17となっており、その平均値はP1となっている。また、第2の方向の重心位置である点線51a、点線51b、点線51c、点線51dの間隔がそれぞれP2となるように各底部の列の中の底部の位置は第2の方向に対して不規則になっている。図3では図面の下方向から奇数番目の底部の列の左端の底部の第1の方向の重心位置(点線53)と、図面の下方向から偶数番目の底部52の列の左端の底部の第1の方向の重心位置(点線54)とがP1/2となるように配置されており、30.5/2×P1=P2を満たすようになっている。底部の列の中の第1の方向の底部の間隔は(1±0.25)P1であると好ましく、(1±0.15)P1であるとより好ましい。また、底部の列の第2の方向の重心位置に対してそれぞれの底部の位置が重心位置に対して±0.25P2となることが好ましく、±0.15P2であるとより好ましい。
また、底部の配列に不規則性がある場合、領域内の一部の範囲で底部の配列が点対称または線対称となる配置を含むようにしてもよい。このようにすることである方向の正の方向と負の方向で非対称性が生じにくくすることができる。
なお、図2(a)においては、三角の規則的な配列がなされている点の位置「×」に対して、ピッチの3/20内の領域に底部「●」が分布する場合を示している。光学素子10は複数の領域を有しており、図2(a)に示す場合では、領域15a、領域15b、領域15c、領域15dの4つの領域に分かれている。各々の領域15a、15b、15c、15dは、基準配列を有しており、点の位置「×」により示されている。
例えば、点の位置「×」が最近接となる配列方向は、領域15aでは0°、領域15bでは15°、領域15cでは30°、領域15dでは45°傾いて配列するように形成されている。
点の位置「×」が最近接となるものの配列方向が、例えば、0°のみの一方向である場合には、後述するように、直交する方向における出射光の出射角度は異なった値となる。しかしながら、光学素子に複数の領域を設け、各々の領域において、点の位置「×」が最近接となる配列方向を領域ごとに変えることにより、直交する方向における出射光の出射角度の相違を緩和することができ、出射光の強度分布を特定の方向に偏らないようにすることができる。
よって、本実施の形態における光学素子では、少なくとも2つの領域を有しており、これらの領域においては、点の位置「×」が最近接となるものの配列方向が異なっている。よって、ある規則配列の配列方向が、ある点を中心に回転したものであってもよい。また、各々の領域ごとに、例えば、三角配列と正方配列のように配列方法が異なったものであってもよい。基準配列は配列の点が長方形となる場合であってもよい。
図2(a)における構造体12aと構造体12bの底部を結ぶ一点鎖線2A−2Bにおいて切断された断面図を図2(b)に示す。
図2(b)に示されるように、凹部12aの底部13aと凹部12bの底部13bとは、深さ方向における位置は異なっており、凹部12aを形成する面と凹部12bとを形成する面とが同一の曲率を有しているような場合には、凹部12aと凹部12bとの境界となる点14aは底部13aと底部13bとの2等分線上には位置しない。なお、隣り合う底部において深さ方向の位置が一致している場合については点線で示すが、この場合には境界となる点14bは底部13aと底部13b1の2等分線上となる。
一般的には、ガラスなどの基材をウェットエッチングすることにより凹部を形成する場合には、隣り合う凹部の表面における曲率は同程度となる。このため、凹部の底部における深さ方向の位置が大きく異なると、境界となる点14aの位置が、2等分線上から大きくずれてしまう。
なお、境界となる点14bの位置で凹部が隣り合う場合には、隣り合う凹部の表面における傾斜角度は同一となり、境界となる点14bにおける凹部の傾斜角度を所定の拡散角度にすることができ、所定の拡散角度範囲内に効率よく光を拡散させることができる。一方、境界となる点14aの位置で凹部が隣り合う場合には、隣り合う凹部の表面における傾斜角度は異なり、所定の拡散角度に対して凹部における傾斜角度が一方では小さく、他方では大きくなる。この場合、所定の拡散角度範囲外に光が拡散する量が増える。
以上より、凹部12の底部13の深さ方向における位置が、大きく異なる場合には、所定の拡散角度範囲外の光が生じやすくなるため、凹部12の底部13の深さ方向における位置の違いは、小さい方が好ましい。しかしながら、凹部12の底部13の深さ方向における位置が、すべて同じである場合には、直進透過する光の成分が増大する。よって、直進透過する光の成分を低減するため、直進透過する光の成分に回折現象を生じさせて、拡散させる方法がある。
回折現象を生じさせるためには、底部13の深さ方向における位置によって生じる光路差が2/7波長以上であることが好ましい。また、最も効率よく回折現象を生じさせるためには、底部13の深さ方向における位置によって生じる光路差が波長程度であることが好ましいが、回折現象においては光路差の波長の剰余を考慮すればよいことと、加工による制御性を考慮すると、底部13の深さ方向における位置によって生じる光路差が、波長の10倍以下であることが好ましい。
以上、光学素子が透過型の光学素子である場合について説明したが、上記内容は、凹部12が形成される基材11の屈折率をn1、凹部12の周囲の媒質の屈折率をn2、入射する光束の波長をλとした場合、下記の(1)に示す式であらわされる。
2/7≦|(n1−n2)×Δd|/λ≦10・・・・(1)
なお、本実施の形態における光学素子では、更には、下記の(2)に示される条件であることが好ましく、また、下記の(3)に示される条件であることがより一層好ましい。
2/7≦|(n1−n2)×Δd|/λ≦5・・・・・(2)
2/7≦|(n1−n2)×Δd|/λ≦2・・・・・(3)
また、凹部12の底部13の深さ方向における位置は、任意の位置にするのではなく、複数の水準(複数の深さ位置)となるように形成してもよい。この場合、深さ方向における位置が2水準(深さ位置が2値)以上であれば、上述した回折現象を得ることができるが、より効率的に回折現象を生じさせるためには、深さ方向における位置が4水準(深さ位置が4値)以上とすることがより好ましい。また、効率的に回折現象を生じさせるためには、底部13が特定の深さの位置に多く分布しないことが好ましく、2水準の場合には、ある特定の深さ方向における位置に、75%より多く底部13が分布していないことが好ましく、更に、4水準以上の場合には、ある特定の深さ方向における位置に、50%より多くの底部13が分布していないことが好ましい。
また、基材11が反りを有している場合や、数100μm以上の長いピッチで凹凸となるうねりを有している場合や、ウェットエッチング加工によって基材11が長いピッチのうねりを有するような場合がある。このような場合、基材11の反りやうねりによる凹凸によって素子の全面で(1)に示す式を満たさない場合があるが、このような場合、少なくとも隣り合う底部が(1)に示す式を満たすようにしてもよい。
また、底部13bと凹部12aと凹部12bの境界である点14の高さ方向の変位量を変位量Δzとした場合、変位量Δzによって発生する光路差が入射する光の波長に比べて小さい値となると光に対して凹部が所望の作用をしない場合がある。したがって、変位量Δzを素子内で平均化した値をΔzavgとして、Δzavgが2/7≦|(n1−n2)×Δzavg|/λを満たすようにすることが好ましく、Δzavgが1/2≦|(n1−n2)×Δzavg|/λを満たすようにするとより好ましく、Δzavgが3/4≦|(n1−n2)×Δzavg|/λを満たすようにするとさらに好ましい。Δzavgは凹部の平均的な形状を求め、底部同士の平均的な間隔の半値をravgとして原点からravgにおける平均的な形状の高さによって近似させてもよい。例えば、凹部の平均的な形状が曲率半径Ravgの球面である場合、原点からr離れた球面の高さはRavg−(Ravg 2−r2)1/2によって求めることができるのでΔzavg=Ravg−(Ravg 2−ravg 2)1/2によって求めてもよい。
光学素子10が透過型の光学素子の場合には、表面に凹部12が形成される基材11を形成している材料としては、ガラスや樹脂などの透明材料を用いることができる。なお、レーザ等の光源からの光を入射するような場合には、耐光性が高いガラス等の無機材料を用いることが好ましい。
また、本実施の形態においては、光学素子10の表面に、不図示の反射防止膜等の光学薄膜を成膜してもよい。
(光学素子の製造方法)
次に、本実施の形態における光学素子の製造方法について説明する。本実施の形態における光学素子10の製造方法には、基材11をウェットエッチングすることにより形成する方法、グレースケール露光によりレジストパターンを形成した後、基材11をドライエッチングすることにより形成する方法、成形型等によるプレス成形により形成する方法、インプリント等による方法が挙げられる。
基材11をウェットエッチングすることにより、本実施の形態における光学素子を製造する製造方法の例として、以下に4つの製造方法について説明する。
(光学素子の製造方法1)
最初に、図4に基づき光学素子の製造方法1について説明する。
この方法では、まず、図4(a)に示すように、ガラス等により形成された基材11の上に、パターニングされたマスク21と、マスク21の開口部における基材11にザグリ部22を形成する。マスク21及びザグリ部22の形成方法は、フォトリソグラフィとエッチング、リフトオフなどのプロセスを組み合わせた加工により形成する方法や、ブラスト加工などの方法を用いて形成することができる。
ブラスト加工では、一般的に、ザグリ部22の深さや、マスク21の開口部の大きさを制御するのが難しいため、フォトリソグラフィとエッチング、リフトオフなどのプロセスを組み合わせた加工により形成する方法が好ましい。フォトリソグラフィとエッチングを組み合わせて形成する方法の場合、ザグリ部22を形成する際には、ドライエッチングを用いることができ、この場合、ザグリ部22の底面22aは平面状に加工される。
次に、図4(b)に示すように、基材11の上にマスク21が形成されており、基材11において、マスク21の開口部が形成されている領域にはザグリ部22が形成されているものをウェットエッチングする。これにより、ザグリ部22を起点として基材11の一部がウェットエッチングにより除去され、基材11の表面に凹部12が形成される。ウェットエッチングにおいては、基材11は等方的にエッチングにより除去されるため、凹部12の底部は平坦部23により形成される。よって、凹部12の表面は、平坦部23と曲面部24とにより形成される。曲面部24では、断面が円弧となる曲面形状となるが、マスク21がウェットエッチングにおける耐性があまりない場合には、マスク21の剥がれ等によって、凹部12におけるエッジ部分の形状が、円弧からずれる場合がある。この場合には、断面のうち平坦部23に接続する曲面部24の少なくとも一部が円弧となる曲面形状となる。マスク21を形成している材料としては、パターニング加工が可能であってウェットエッチング耐性の高いものであることが好ましく、例えば、クロムやモリブデン等の金属材料により形成されている。
次に、図4(c)に示すように、マスク21を除去することにより、本実施の形態における光学素子10を作製することができる。
なお、凹部12における平坦部23は、図1及び図2等における底部13に相当する部分であり、基材11の厚み方向に対し垂直となる面により形成されている。平坦部23と曲面部24との境界は、曲率半径の値を断面方向において計測することにより求めることができる。この場合、平坦部23と曲面部24との境界近傍における曲率半径は、ある一定値の曲率半径から無限大の曲率半径へと変化するものとして観察される。このような変化は、理想的には急峻な変化となるが、境界における変化が急峻な変化とならないような場合には、曲面部24の曲率半径のα倍以上の領域等の所定の曲率半径以上の領域を平坦部23とみなすこともできる。なお、αの値は、1.1以上であることが好ましい。このような曲率半径等の測定には、3次元計測器を用いることができる。また、曲面部24の曲率が大きくなるような場合には、3次元計測器のS/Nの範囲内では、曲率半径の変化を確認することができない場合がある。しかしながら、このような場合には、電子顕微鏡や原子間力顕微鏡等により凹部12の形状を観察することにより、平坦部23と曲面部24との境界及び平坦部23の大きさを求めてもよい。
(光学素子の製造方法2)
次に、図5に基づき光学素子の製造方法2について説明する。
図4に示す方法では、ガラス等の基材11に、ザグリ部22を形成したが、この場合、基材11を形成しているガラスの種類によっては、ザグリ部22を形成するためのドライエッチングによる加工に、極めて長い時間を要する場合があり、更には、殆どドライエッチングすることができず、ザグリ部22を形成することができない場合がある。図5に示す方法は、あらかじめ基材11の表面に、SiO2、Ta2O5などのドライエッチングが可能な薄膜層25を形成する方法である。
具体的には、最初に、図5(a)に示すように、基材11の表面に、SiO2、Ta2O5等のドライエッチングが可能な薄膜層25を成膜し、薄膜層25の上に、マスク21を形成するとともに、薄膜層25において、マスク21の開口部の一部に、ザグリ部26を形成する。これにより、容易にザグリ部26を形成することができ、後のウェットエッチングによる加工が可能になる。
次に、図5(b)に示すように、基材11の上に薄膜層25及びマスク21が積層して形成されており、薄膜層25にザグリ部26が形成されているものをウェットエッチングすることにより、薄膜層25及び基材11の一部が除去される。この際、基材11においては、ウェットエッチングにより等方的に除去される。これにより、基材11に凹部12を形成することができる。
次に、図5(c)に示すように、マスク21及び薄膜層25を除去することにより、本実施の形態における光学素子10を作製することができる。
薄膜層25を形成するための材料としては、ガラスよりもウェットエッチングのレートが小さいものを選択することが好ましい。例えば、Haixin Zhu et al., J. Micromech. Microeng. 19 (2009) 065013には、様々なガラス材料に対するウェットエッチングのレートが記載されている。これによれば、SiO2と組成が同じ石英とガラス材料ではウェットエッチングのレートが10倍以上異なる場合がある。
基材11とSiO2のウェットエッチングのレートの比率をr、薄膜層25のザグリ部26の底部の深さ方向における位置の分布範囲をΔDとした場合、最終的な凹部12の底部13の深さ方向における位置の分布範囲Δdは、Δd=rΔDとなる。よって、例えば、rが10であり、必要なΔdが1μmである場合、ΔDは100nmとなる。このように、各種ガラス材料の加工が可能になることのほかに、ザグリ部26における加工量を小さくすることができるため、ドライエッチングのほかにリフトオフやゾルゲルにより、薄膜層25にザグリ部26を形成することができる。
薄膜層25を形成するための材料としては、SiO2、Ta2O5等のほかに、ゾルゲル、有機材料を用いることができる。ゾルゲルや有機材料を用いる場合には、インプリントプロセスによって薄膜層25をパターニングしてもよい。
(光学素子の製造方法3)
次に、図6に基づき光学素子の製造方法3について説明する。
図6に示す方法は、図5に示す方法と同様に、薄膜層を用いて深さ方向の底部の位置を調整するものであるが、薄膜層にザグリ部を形成するのではなく、パターニングされたマスク21の一部の開口部に、薄膜層27を形成するものである。これにより、薄膜層27の厚みの違いによってウェットエッチング液が基材11に到達するまでの時間を調整することができ、形成される凹部12の底部13の深さ方向における位置を異なる位置にすることが可能となる。
図6に示す製造方法では、最初に、図6(a)に示すように、基材11の表面に開口部を有するマスク21を形成し、マスク21の開口部が形成されている領域の一部において、基材11及びマスク21の上に、薄膜層27を形成する。
次に、図6(b)に示すように、基材11の上にマスク21及び薄膜層27が形成されているものをウェットエッチングすることにより、薄膜層27及び基材11の一部が除去される。この際、基材11においては、ウェットエッチングにより等方的に除去される。これにより、基材11に凹部12を形成することができる。
次に、図6(c)に示すように、マスク21を除去することにより、本実施の形態における光学素子10を作製することができる。
なお、図6に示す場合では、マスク21の上に薄膜層27を形成した場合について説明したが、開口部を有する薄膜層27を形成した上に、マスク21を形成してもよい。薄膜層27を形成している材料は、薄膜層25を形成している材料と同様のものを用いることができ、形成方法も薄膜層25の場合と同様の方法により形成することができる。
(光学素子の製造方法4)
次に、図7に基づき光学素子の製造方法4について説明する。
図5に示す方法では薄膜層25を形成することにより、また、図6に示す方法では薄膜層27を形成することにより、凹部12の底部13における深さ方向の位置が異なるように形成するものである。これに対し、図7に示す方法は、マスク28における開口部の大きさを変えることにより、凹部12の底部13における深さ方向の位置を変えるものである。なお、マスク28は、上述したマスク21と同様の材料により形成されている。
図7に示す製造方法では、最初に、図7(a)に示すように、基材11の表面に開口部の大きさの異なるマスク28を形成する。
次に、図7(b)に示すように、基材11にマスク28が形成されているものをウェットエッチングすることにより、マスク28の開口部における基材11が除去される。この際、基材11においては、ウェットエッチングにより等方的に除去される。これにより、基材11に凹部12を形成することができる。
次に、図7(c)に示すように、マスク28を除去することにより、本実施の形態における光学素子10を作製することができる。
なお、図4から図6に示される方法では、マスク21に形成された開口部からガラスにより形成された基材11をウェットエッチングにより除去するものである。この場合、マスク21の基材11との間におけるエッチング液とマスク21の外側のエッチング液との入れ替り効率は、マスク21の開口部の大きさに依存するものと考えられる。よって、マスクの開口部が大きい場合には、マスクの開口部が小さい場合に比べて、エッチング液の入れ替りが効率的に行われるため、ウェットエッチングにおけるエッチングレートを高くすることができる。ウェットエッチングにおけるエッチングレートの違いは、凹部12における深さの違いとなるため、凹部12における底部13の深さ方向における位置が異なるように形成することができる。図7に示す方法により光学素子を作製した場合には、形成される平坦部23と曲面部24とを有する凹部12は、平坦部23が形成されている深さ方向における位置が深いほど、平坦部23が大きくなるように形成される。
なお、図7に示す光学素子の製造方法においては、マスク28の開口部が大きすぎると、凹部12における平坦部23の占有面積が大きくなるため、マスク28の開口部は、幅が10μm以下となるように形成されていることが好ましく、更には、幅が5μm以下となるように形成されていることがより好ましい。また、底部の位置が不規則な場合には、底部どうしの間隔が不規則となるため、ウェットエッチングの過程で隣り合う凹部12を隔てる基材11が消失するのに必要な時間が変化する場合がある。このような場合、ウェットエッチング液の状態がそれぞれの凹部で変化することによってそれぞれの凹部におけるエッチングレートが変化する場合がある。このような場合、マスク21の開口部の大きさが同一であっても底部13の深さ方向を変化させることができる。
また、図4から図7に示す方法では、マスク21及び28の剥がれや、エッチング液の局所的な濃度分布が生じる場合があると、所望の形状の凹部12が形成されない場合がある。よって、曲面部24の曲率半径は、曲率半径の平均値に対して±30%以内となるように形成することが好ましく、±10%以内となるように形成することがより好ましい。
また、上記のような製造方法を用いる場合、図2(b)に示すように底部13bの位置が深いほど点14aの位置が点14bから離れることとなる。したがって、図2(a)のような平面図におけるそれぞれの凹部12が占有する多角形の面積と底部13の深さには相関がでることになる。したがって、作製した素子と設計の間の差異を判断する指標として凹部12が占有する多角形の面積と底部13の深さの相関を用いることができる。ここで、凹部12が占有する多角形の面積と底部13の深さの相関係数を計算した際に相関係数の絶対値が0.2以上となるように光学素子を加工することが好ましく、相関係数の絶対値が0.4以上となるように光学素子を加工することが好ましい。図8(a)はモリブデンを用いて、平均ピッチ、開口がそれぞれ60μm、φ3μmとなるようにマスク21を形成してウェットエッチングした光学素子の表面を観察したものである。凹部の多角形が占有する面積と高さ方向の底部の位置を9か所測定し、凹部の多角形が占有する面積の最小値で規格化した面積比と高さ方向の位置を計測した結果を図8(b)に示す。図8(b)では面積比と高さ方向の位置に負の相関がみられており、相関係数を計算すると−0.64であった。
(他の構造の光学素子)
次に、本実施の形態における他の構造の光学素子について説明する。
図9に示す構造の光学素子30は、基材31の表面に複数の凸部32が形成されている構造のものである。なお、図9(a)は、本実施の形態における光学素子の平面図であり、図9(b)は、図9(a)における一点鎖線9A−9Bにおいて切断した断面図を模式的に示す。この光学素子30においては、基材31は、光学素子10における基材11と同様の材料を用いることができる。また、この光学素子30では、凸部32の頂上部33が、光学素子10の凹部12の底部13に対応しており、凸部32の頂上部33の高さ方向における位置は、底部13の深さ方向における位置に対応している。
複数の凸部32が形成されている光学素子30の製造方法として、グレースケールマスクや成形型によって所定のレジスト形状を形成し、ドライエッチングによって基材に転写させる方法や、プレス成形によって基材の表面に成形型の凹凸を転写する方法を用いることができる。また、基材と成形型の間に樹脂材料を配置させ樹脂材料に凹凸を転写させる方法を用いることができる。
ドライエッチングやプレス成形する場合、高さ方向の平均的な変位量Δzavgが大きいとドライエッチングのエッチング量が大きくなり加工が困難になる、また、プレス成形を用いる場合は加工の欠点が生じるなどの問題が生じるため、加工の観点からも式(1)〜式(3)のいずれかを満たすことが好ましい。
上記の加工方法における成形型として切削による成形型のほかに、製造方法1〜4に記載の方法によって加工した成形型を用いることができる。また、製造方法1〜4に記載の方法によって加工した成形型のレプリカを作成することでそのレプリカを成形型として使用してもよい。
また、図10に示す構造の光学素子40は、反射型の光学素子であって、基材41の表面に複数の凹部42が形成されており、凹部42が形成されている面に反射膜44が形成されている構造のものである。なお、図10(a)は、本実施の形態における光学素子の平面図であり、図10(b)は、図10(a)における一点鎖線10A−10Bにおいて切断した断面図を模式的に示す。この光学素子40においては、凹部42には、凹部12における底部13と同様に底部43が形成されている。反射膜44は、誘電体多層膜や金属膜により形成することができる。この光学素子40においては、凹部42の周囲の媒質の屈折率をn2、入射する光束の波長をλとした場合、下記の(4)に示す式の関係にある。
2/7≦|2×n2×Δd|/λ≦10・・・・・(4)
なお、本実施の形態における光学素子では、更には、下記の(5)に示される条件であることが好ましく、また、下記の(6)に示される条件であることがより一層好ましい。
2/7≦|2×n2×Δd|/λ≦5・・・・・・(5)
2/7≦|2×n2×Δd|/λ≦2・・・・・・(6)
また、一般的には、底部43の深さ方向における位置に対応する光路長差(ΔL)を用いる場合には、下記の(7)に示す式の関係にある。
2/7≦|ΔL|/λ≦10・・・・・・(7)
前述したように、底部43の深さ方向における位置の分布は、小さい方が好ましいので、下記の(8)に示す関係にあることが好ましく、更には、下記の(9)に示す関係にあることが好ましい。
2/7≦|ΔL|/λ≦5・・・・・・・(8)
2/7≦|ΔL|/λ≦2・・・・・・・(9)
図10に示される光学素子40においては、基材41は、ガラスの他、金属や半導体等の不透明な材料を用いることができる。
(投影装置)
次に、本実施の形態における投影装置について説明する。図11には、本実施の形態における投影装置100の構造を模式的に示す。投影装置100は、レーザ光源111a、111b、111c、レンズ112a、112b、112c、光学素子113a、113b、113c、レンズ114a、114b、114c、空間光変調器115a、115b、115c、合波プリズム116、レンズ117を有している。なお、本実施の形態においては、レーザ光源111a、111b、111cより出射されたレーザ光等を光束と記載する場合がある。また、本実施の形態における投影装置100においては、上述した本実施の形態における光学素子10等が、光学素子113a、113b、113cとして用いられている。
レーザ光源111aは、例えば、赤色の波長域におけるレーザ光を出射するものであり、レーザ光源111aより出射されたレーザ光は、レンズ112aによってレーザ光の発散角度が調整され、光学素子113aによって拡散され、再び、レンズ114aによって発散角度が調整され、空間光変調器115aを介し、合波プリズム116に入射する。空間光変調器115aでは、例えば、画素ごとにレーザ光の透過、非透過の制御がなされ、赤色に対応する像が形成される。
レーザ光源111bは、例えば、緑色の波長域におけるレーザ光を出射するものであり、レーザ光源111bより出射されたレーザ光は、レンズ112bによってレーザ光の発散角度が調整され、光学素子113bによって拡散され、再び、レンズ114bによって発散角度が調整され、空間光変調器115bを介し、合波プリズム116に入射する。空間光変調器115bでは、例えば、画素ごとにレーザ光の透過、非透過の制御がなされ、緑色に対応する像が形成される。
レーザ光源111cは、例えば、青色の波長域におけるレーザ光を出射するものであり、レーザ光源111cより出射されたレーザ光は、レンズ112cによってレーザ光の発散角度が調整され、光学素子113cによって拡散され、再び、レンズ114cによって発散角度が調整され、空間光変調器115cを介し、合波プリズム116に入射する。空間光変調器115cでは、例えば、画素ごとにレーザ光の透過、非透過の制御がなされ、青色に対応する像が形成される。
合波プリズム116では、空間光変調器115aからのレーザ光、空間光変調器115bからのレーザ光、空間光変調器115cからのレーザ光が入射し、合波された後出射される。このように、合波プリズム116より出射された合波されたレーザ光の光束は、レンズ117を介して、スクリーン118に投影される。
本実施の形態においては、レーザ光源111a、111b、111cとしては、半導体レーザや第二次高調波を発生させる固体レーザなど各種レーザを用いることができる。また、レーザは複数用いてもよい。レーザ光源111a、111b、111cはレーザそのものに限られず、レーザ光源111a、111b、111cに相当するものとして、光ファイバーなどを用いてレーザ光源からの光束を伝播させたものの出射口であってもよい。
また、図11においては、赤、緑、青の各光束に対してレーザを用いているが、赤、緑、青のうち1または複数の光源に対してレーザを用いていればよい。光学素子113a、113b、113cは、赤、緑、青のすべての光束に対して用いる必要はなく、赤、緑、青の光束のうち1つ以上の光束に対して用いていればよい。
空間光変調器115a、115b、115cとしては、LCOS(Lyquid crystal on Silicon)やDMD(Digital Mirror Device)を用いることができる。図11においては、LCOSを用いた例を示しているが、DMDは反射型の空間光変調器であるため、図11に示すような透過型の配置とするのではなく、合波プリズム116の後段にDMDを設置し、DMDからの反射光をレンズ117によって投影する配置とすればよい。
次に、本実施の形態における投影装置であって、他の構造の投影装置について説明する。図12は、本実施の形態における他の構造の投影装置200を模式的に示すものである。この投影装置200では、光源として青色のレーザ光源201を用いており、青色のレーザ光源から出射される光束は、第1の光学素子202とダイクロイックミラー203を透過した後、レンズ204を介し蛍光ホイール205に照射される。第1の光学素子202には、上述した本実施の形態における光学素子10等が用いられている。
図13に示されるように、蛍光ホイール205は、光学素子領域205a、緑色蛍光体領域205b、赤色蛍光体領域205cの3つの領域に分割されている。光学素子領域205aは、第2の光学素子が形成されており、緑色蛍光体領域205bには、緑色発光する蛍光体(蛍光材料)により形成されており、赤色蛍光体領域205cは、赤色発光する蛍光体により形成されている。なお、光学素子領域205aにおける第2の光学素子は、光学素子の実施の形態における光学素子10と同様の構造の光学素子により形成されている。
蛍光ホイール205は、モータ等の回転駆動部205dにより回転させることができ、青色のレーザ光源201からのレーザ光が緑色蛍光体領域205bに照射された場合には緑色光を得ることができ、赤色蛍光体領域205cに照射された場合には赤色光を得ることができる。なお、青色のレーザ光源201からのレーザ光が光学素子領域205aに照射された場合には、青色光は光学素子領域205aを透過する。従って、蛍光ホイール205では回転駆動部205dにより回転させることにより、青色光、緑色光、赤色光を時分割させて出射させることができる。緑色蛍光体領域205b及び赤色蛍光体領域205cにおいて発生する蛍光発光は、図12において、点線で示される光路を通り、即ち、レンズ204を透過し、ダイクロイックミラー203において反射され、レンズ212に入射する。レンズ212を透過した後、合波ミラー211によって反射され、レンズ213を透過した後、インテグレータ214に照射される。本実施の形態においては、緑色蛍光体領域205b、赤色蛍光体領域205cに代えて、または、加えて、黄色蛍光体により形成された黄色蛍光体領域を設けたものであってもよい。
酸化物系、硫化物系の蛍光体としては、黄色発光するYAG系の蛍光体(Y3Al5O12:Ce、(Y,Gd)3Al5O12:Ce)、TAG系の蛍光体(Tb3Al5O12:Ce)や添加元素によって各色の蛍光発光が発生するシリケート系、アルカリ土類系の蛍光体などを用いることができる。また、窒化物系の蛍光体として添加元素によって各色の蛍光発光が発生するαサイアロン系(SiAlON)、緑色の蛍光発光をするβサイアロン系(SiAlON:Eu)、赤色の蛍光発光をするカズン系(CaAlSi3N3:Eu)を用いることができる。また、酸窒化物系の蛍光体としてLa酸窒化物(LaAl(Si6−zAl2)N10−zO2:Ce)を用いることができる。
蛍光ホイール205の光学素子領域205aにおける第2の光学素子に青色の光束が照射された場合、第2の光学素子によって拡散され、第2の光学素子を透過した青色の光束は、レンズ206によって発散角を変換される。この後、青色の光束は、ミラー207で反射され、レンズ208を透過し、ミラー209で反射され、レンズ210を透過し、合波ミラー211を透過し、レンズ213を透過した後、インテグレータ214に照射される。
インテグレータ214から出射される青色、緑色、赤色の光束はレンズ215を透過した後、ミラー216によって反射され、レンズ217を透過し、ミラー218で反射された後、空間光変調器219に照射される。空間光変調器219においては像が形成されており、形成された像は、投影レンズ220を介して外部の不図示のスクリーンに投影される。
ここで、第1の光学素子202は、蛍光ホイール205における蛍光体に照射される光の強度分布を均一化する機能を有している。蛍光ホイール205における蛍光体は、蛍光材料をシリコン樹脂などに混ぜたものであり、高い尖頭値を有する青色の光束を照射すると、高い尖頭値の青色光が照射された領域において、シリコン樹脂の劣化などが生じる。このような劣化を低減するために、第1の光学素子202は用いられている。このように、第1の光学素子202を用いることにより、通常の拡散板のように山型の出射光分布とはならずに、トップハット型の出射光分布を実現できるため光束の尖頭値が下がり、より強度の大きい光束を蛍光体に照射することができる。また、蛍光ホイール205における光学素子領域205aの第2の光学素子は、空間的な強度分布を均一化する機能を有しており、回転させることにより、より均一性を高めることができる。
次に、本実施の形態における実施例について説明する。なお、例1〜例4、例11、例12は比較例であり、例5〜例10、例13、例14は実施例である。
(例1)
最初に、例1における光学素子について、図14に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図14(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図14(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、ピッチ50μmで開口位置が正三角形となるように面内に配列させたものである。開口をパターニング後ウェットエッチングによって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は480μmとなる。加工後の光学素子の平面形状は図14(b)のようになる。図14(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図14(c)に示す。計算は図14(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図14(c)に示すように、規則配列による回折が生じ特定の方向に強い光が生じている。図14(d)に図14(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。また、図14(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると75.2%であった。
(例2)
次に、例2における光学素子について、図15に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図15(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図15(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、ピッチ50μmで開口位置が正三角形となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図15(b)のようになる。図15(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図15(c)に示す。計算は図15(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図15(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されているものの、規則配列の配列にしたがった強度分布が生じている。図15(d)に図15(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図15(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度が異なっている。また、図15(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると71.2%であった。
(例3)
次に、例3における光学素子について、図16に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を90nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図16(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図16(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、ピッチ50μmで開口位置が正三角形となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して1段の深さの間隔が11.25nmとなるように8値の深さとなるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は900nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の8値のある水準に50%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図16(b)のようになる。図16(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図16(c)に示す。計算は図16(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図16(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されているもの、規則配列の配列にしたがった強度分布が生じている。図16(d)に図16(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図16(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度が異なっている。また、図16(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると70.6%であった。
(例4)
次に、例4における光学素子について、図17に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図17(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図17(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、ピッチ50μmで開口位置が正三角形となるように面内に配列させたものに対してピッチの10%の値で位置に不規則性を導入したものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図17(b)のようになる。図17(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図17(c)に示す。計算は図17(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図17(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されているものの、規則配列の配列にしたがった強度分布が生じている。図17(d)に図17(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図17(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度が異なっている。また、図17(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると71.3%であった。
(例5)
次に、例5における光学素子について、図18に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図18(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図18(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正三角形となり、配置の方向が4つの領域で0°、15°、30°、45°となるように面内に配列させたものである。開口をパターニング後ウェットエッチングによって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は480μmとなる。加工後の光学素子の平面形状は図18(b)のようになる。図18(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図18(c)に示す。計算は図18(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図18(c)に示すように、特定の方向に強い光が生じていない。図18(d)に図18(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図18(d)に示すように、水平方向と垂直方向で出射角度は同程度となっている。また、図18(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると75.4%であった。
(例6)
次に、例6における光学素子について、図19に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図19(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図19(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正三角形となり、配置の方向が4つの領域で0°、15°、30°、45°となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図19(b)のようになる。図19(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図19(c)に示す。計算は図19(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図19(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されている。図19(d)に図19(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図19(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度は同程度となっている。また、図19(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると69.8%であった。
(例7)
次に、例7における光学素子について、図20に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を90nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図20(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図20(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正三角形となり、配置の方向が4つの領域で0°、15°、30°、45°となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して1段の深さの間隔が11.25nmとなるように8値の深さとなるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は900nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の8値のある水準に50%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図20(b)のようになる。図20(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図20(c)に示す。計算は図20(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図20(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されている。図20(d)に図20(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図20(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度が同程度となっている。また、図20(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると69.5%であった。
(例8)
次に、例8における光学素子について、図21に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図21(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図21(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正三角形となる基本配列に対して10%の不規則性を導入したものとなっており、基本配置の方向が4つの領域で0°、15°、30°、45°となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図21(b)のようになる。図21(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図21(c)に示す。計算は図21(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図21(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されている。図21(d)に図21(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図21(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度が同程度となっている。また、図21(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると69.5%であった。
(例9)
次に、例9における光学素子について、図22に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図22(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図22(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正三角形となる基本配列に対して20%の不規則性を導入したものとなっており、基本配置の方向が4つの領域で0°、15°、30°、45°となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図22(b)のようになる。図22(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図22(c)に示す。計算は図22(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図22(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されている。図22(d)に図22(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図22(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度が同程度となっている。また、図22(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると65.8%であった。
(例10)
次に、例10における光学素子について、図23に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図23(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図23(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正三角形となる基本配列に対して25%の不規則性を導入したものとなっており、基本配置の方向が4つの領域で0°、15°、30°、45°となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図23(b)のようになる。図23(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図23(c)に示す。計算は図23(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図23(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されている。図23(d)に図23(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図23(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度が同程度となっている。また、図23(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると63.3%であった。
(例11)
次に、例11における光学素子について、図24に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図24(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図24(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正三角形となる基本配列に対して50%の不規則性を導入したものとなっており、基本配置の方向が4つの領域で0°、15°、30°、45°となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図24(b)のようになる。図24(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図24(c)に示す。計算は図24(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図24(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されている。図24(d)に図24(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図24(d)でみられるように水平方向と垂直方向で出射角度が同程度となっているが、図24(c)において角度±1.25°の範囲の光を積算すると51.5%であった。
例8から例11において図21(a)、図22(a)、図23(a)、図24(a)の開口部の配置を4分割した左下領域についてある点の最近隣点の方向をヒストグラムにしたものを図25(a)から図25(d)にそれぞれ示す。ここで、最近隣点とはある点にもっとも近接した点のことであり、グラフでは180°異なる方向は同一方向としてヒストグラムを作成している。規則配列に対して10%の不規則性を有する例8では図25(a)に示すように、最近隣点の方向が3つの方向に存在している。同様に、規則配列に対して20%の不規則性を有する例9では図25(b)に示すように−35°、45°、90°付近にボトム構造が見られ、最近隣点の方向が3つの方向に存在していることがわかる。同様に、規則配列に対して25%の不規則性を有する例10では図25(c)に示すように−40°、35°、90°付近にボトム構造が見られ、最近隣点の方向が3つの方向に存在していることがわかる。規則配列に対して50%の不規則性を有する例11では図25(d)に示すように最近隣点が特定の方向に偏っていない。
上記ではボトム構造の存在によって最近隣点の偏りの方向を特定したが、0°から360°の範囲で点が三角形をなすように配列する場合には6方向、四角形をなす場合には4方向、六角形をなす場合には3方向に最近隣点の偏りを有するため、これらの値を仮定してそのような偏りがあるかを判断してもよい。
また、不規則性の値が大きくなるほど±1.25°の範囲に含まれる光の光量が低下している。
(例12)
次に、例12における光学素子について、図26に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図26(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図26(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正方形となっている。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図26(b)のようになる。図26(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図26(c)に示す。計算は図26(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図26(c)に示すように、水平または垂直方向と45°方向に出射させる光の強度が異なっている。図26(d)に図26(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図26(d)でみられるように水平または垂直方向と45°方向で出射角度が異なっている。
(例13)
次に、例13における光学素子について、図27に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図27(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図27(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、4つの領域にピッチ50μmで開口位置が正方形となり、基本配置の方向が4つの領域で0°、22.5°、45°、67.5°となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図27(b)のようになる。図27(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図27(c)に示す。計算は図27(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図27(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されている。図27(d)に図27(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図27(d)でみられるように水平または垂直方向と45°方向で出射角度が同程度となっている。
(例14)
次に、例14における光学素子について、図28に基づき説明する。
屈折率1.53のガラス基材を洗浄し、薄膜層としてSiO2を45nm成膜し、マスクとしてモリブデンを50nm成膜する。モリブデンを成膜後、レジストを塗布し、フォトリソグラフィ、エッチング加工によって図28(a)に示した配列でφ1μmの開口をマスクにパターニングする。なお、図28(a)はおよそ1mm角内の開口の位置を示しており、2つの領域でピッチ50μmで開口位置が正方形となり、基本配置の方向が2つの領域で0°、45°、となるように面内に配列させ、2つの領域でピッチ50μmで開口位置が正三角形となり、基本配置の方向が2つの領域で0°、30°、となるように面内に配列させたものである。開口をパターニングしたのちに、フォトリソグラフィとエッチングによってSiO2をパターニングし、開口部の深さが基準深さに対して0nmまたは45nmの2値の値となるようにする。開口をパターニング後、SiO2とガラス基材のエッチングレート比が10となるように調整されたウェットエッチング液によって480μmエッチングを行う。したがって、構造体の曲面部の曲率半径は略480μmとなり、構造体の深さ方向の分布範囲は450nmとなる。ここで底部13の位置の深さ方向の分布範囲の2値のある水準に75%以上の底部13が配置されないように、各底部13の深さ方向の位置が不規則になるように配置させている。加工後の光学素子の平面形状は図28(b)のようになる。図28(b)は白黒の階調で深さを表示しており、深くなるに伴い黒くなるように表示されている。
このような構造体に対して450nmの光を入射した場合の光の出射光分布を計算したものを図28(c)に示す。計算は図28(b)の形状から発生する位相差のフーリエ変換を求めることで行った。図28(c)に示すように、回折の影響が低減され特定の方向に出射させる光の強度が低減されている。図28(d)に図28(c)の出射光分布のうち水平方向の強度を角度0.21度ごとに平均化し角度に対してグラフ化したものを示す。図28(d)でみられるように水平または垂直方向と45°方向で出射角度が同程度となっている。
以上、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。また、本発明の光学素子は投影装置に限らず、3次元計測装置などの各種装置に用いることができる。また、照明用の拡散板、カメラのファインダー内の焦点板や、投影装置のスクリーンなど拡散状態を制御するための光学素子として用いることができる。