JP6301627B2 - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents
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- ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得する撮像データ取得部と、
検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成する疑似画像データ生成部と、
前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出する異常領域検出部と、
前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正する補正部と、
前記補正部が補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御する表示制御部と、
を備え、
前記補正部は、前記異常領域検出部が前記異常領域を検出したことを条件に、前記大きさを補正する外観検査装置。 - ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得する撮像データ取得部と、
検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成する疑似画像データ生成部と、
前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出する異常領域検出部と、
前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正する補正部と、
前記補正部が補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御する表示制御部と、
を備え、
前記補正部は、前記二次元の疑似画像における前記異常領域を含む一部の領域に対してだけ、前記大きさを補正する外観検査装置。 - 前記補正部は、前記異常領域検出部が前記異常領域を検出したことを条件に、前記大きさを補正する請求項2に記載の外観検査装置。
- 前記補正部は、二つの前記特徴点間の距離と、当該二つの前記特徴点に対応した二つの前記基準特徴点間の距離との比を用いて、前記大きさを補正する請求項1ないし3のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 前記検査対象面は、前記第三の方向に沿って延在した前記特徴点を有した請求項1ないし4のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 前記検査対象面は、前記第三の方向において部分的に存在した前記特徴点を有した請求項1ないし5のいずれか一項に記載の外観検査装置。
- 外観検査装置を構成するコンピュータが、
ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得するステップと、
検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成するステップと、
前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出するステップと、
前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正するステップと、
補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御するステップと、
を実行し、
前記補正するステップでは、前記異常領域を検出したことを条件に、前記大きさを補正する外観検査方法。 - 外観検査装置を構成するコンピュータが、
ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得するステップと、
検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成するステップと、
前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出するステップと、
前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正するステップと、
補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御するステップと、
を実行し、
前記補正するステップでは、前記二次元の疑似画像における前記異常領域を含む一部の領域に対してだけ、前記大きさを補正する外観検査方法。
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