JP2015078957A - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】一例として、検査対象物の検査対象面の異常領域の形状の検出精度が低くなることを抑制することができる外観検査装置および外観検査方法を得る。【解決手段】実施形態にかかる外観検査装置は、検査対象面の表面形状データを撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成する疑似画像データ生成部と、前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出する異常領域検出部と、前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の第一の方向の大きさを補正する補正部と、を備えた。【選択図】図６

Description

本発明は、外観検査装置および外観検査方法に関する。

従来、所謂光切断法によって、検査対象物の検査対象面の三次元形状に対応した画像を得ることが可能な外観検査装置が知られている（例えば、特許文献１，２）。この種の外観検査装置では、検査対象面に照射された線状の光の位置や形状に基づいて検査対象領域の各位置での高さが算出され、さらに当該高さに応じた各位置での輝度値が設定されて二次元の疑似画像データが生成され、当該疑似画像データに基づいて異常領域の検出、すなわち外観検査が行われる場合がある。

特開平１０−１６０４３７号公報 特開２００７−１１４６２号公報

しかしながら、この種の外観検査装置では、検査対象物の弾性変形による当該検査対象物の歪みや設置位置のずれ等によって検査対象物と撮像部との間の距離が基準距離から変わると、撮像画像での検査対象物の大きさが正規の大きさから変わってしまい、異常領域の形状の検出精度が低くなってしまう場合がある。

そこで、本発明の実施形態は、一例としては、検査対象物の検査対象面の異常領域の形状の検出精度が低くなることを抑制することができる外観検査装置および外観検査方法を得ることを目的の一つとする。

本発明の実施形態にかかる外観検査装置は、ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得する撮像データ取得部と、検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成する疑似画像データ生成部と、前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出する異常領域検出部と、前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正する補正部と、前記補正部が補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御する表示制御部と、を備えた。

本発明の実施形態によれば、一例としては、検査対象物の検査対象面の異常領域の形状の検出精度が低くなることを抑制することができる外観検査装置および外観検査方法を得ることができる。

図１は、実施形態にかかる外観検査装置の一例が示された模式的な斜視図である。 図２は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた検査対象領域に当てられた線状の光の一例が示された模式的な平面図である。 図３は、実施形態にかかる外観検査装置の一例が示された模式的なブロック図である。 図４は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部の一例が示された模式的なブロック図である。 図５は、実施形態にかかる検査対象物の一例が示された平面図である。 図６は、実施形態にかかる外観検査装置による検査方法の一例が示されたフローチャートである。 図７は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部が実行する補正処理の一例を説明するための図である。 図８は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部が実行する補正処理の一例を説明するための図である。 図９は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部が実行する補正処理の一例を説明するための図であって、（ａ）は補正前の疑似画像の一例が示された図、（ｂ）は補正後の疑似画像の一例が示された図である。

本実施形態では、一例として、図１に示される外観検査装置１は、検査対象物１００を撮像した画像に基づいて、当該検査対象物１００の検査対象面１０１の検査を行う。図１や図３に示されるように、外観検査装置１は、光源２や、撮像部３、制御部４０、搬送装置５（搬送部）、表示装置６（表示部）等を備える。

本実施形態では、検査対象物１００は、一例として、帯状（直方体状）の外観を呈している。本実施形態では、検査対象物１００の長方形状の一面が検査対象面１０１の一例である。検査対象面１０１には、検査対象物１００の長手方向に沿って延在した凸部１０２（図１，５）と、記号１０３（図５）と、が設けられている。凸部１０２は、相互に間隔をあけて略平行に二つ設けられている。また、記号１０３は、凸部１０２とは異なる箇所に突設されている。検査対象物１００は、一例として、弾性材料によって構成されている。凸部１０２は、第三の方向（本実施形態では、Ｘ方向）に沿って延在した特徴点の一例であり、記号１０３は、第三の方向（Ｘ方向）において部分的に検査対象面１０１に存在した特徴点の一例である。

また、光源２は、検査対象面１０１の法線方向（図１中のＺ方向）と線状の光Ｌ（検査対象領域Ａ）の幅方向（図１，２中のＹ方向）との間の斜め方向（斜め上方向）から、線状の検査対象領域Ａを照らしている。詳細には、光源２は、ライトシートＬＳ（シート状の光、平坦なカーテン状の光、スリット光、一例としてはレーザーライトシート）を出射する。図２に示されるように、検査対象面１０１には、光源２から出射されたライトシートＬＳに照らされることで、線状の光Ｌ（の筋）が形成される。線状の光Ｌは、検査対象面１０１の幅方向（検査対象面１０１に沿ったＹ方向、第一の方向）に沿って延びている。検査対象面１０１が平面であった場合、検査対象面１０１上の光Ｌ（輝線）は直線状である。しかしながら、検査対象面１０１が凸部を有していた場合、検査対象面１０１が平面であった場合の光Ｌを基準線Ｒ（直線、基準位置）とすると、当該凸部に当たった光Ｌは、基準線Ｒから光源２側（光源２に近い側）にずれる。また、逆に、検査対象面１０１が凹部を有していた場合、当該凹部に当たった光Ｌは、基準線Ｒから光源２とは反対側（光源２から遠い側）にずれる。すなわち、光Ｌの位置（形状、基準線Ｒからのずれ）によって、検査対象面１０１の凹凸ならびに当該凹凸の程度（凸部の高さ、凹部の深さ、法線方向における位置）を判別することができる。なお、ライトシートＬＳの出射方向ならびに撮像部３による撮像方向は、種々に設定することが可能である。光源２は、例えば、輝線照射用のレーザ光源等である。

撮像部３は、図１に示されるように、ライトシートＬＳに照らされることで検査対象物１００の検査対象面１０１に形成された第一の方向（本実施形態では、Ｙ方向）に沿った線状の光Ｌを、ライトシートＬＳと交叉した第二の方向（本実施形態では、検査対象面１０１の法線方向、Ｚ方向）から撮像して撮像データを取得し、当該撮像データを出力する。したがって、撮像部３が取得した撮像データは、線状の光Ｌの撮像データを含む。別の言い方をすると、撮像部３は、ライトシートＬＳが沿う方向と交叉する方向（本実施形態では、検査対象面１０１の法線方向、Ｚ方向、第二の方向）から検査対象領域Ａを含む検査対象面１０１の細長い領域を撮像する。撮像部３は、例えば、二次元に配列された光電変換素子（光電変換部）を有したエリアセンサ（固体撮像素子、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサや、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサ等）である。

搬送装置５は、検査対象物１００を光Ｌ（検査対象領域Ａ）の幅方向（検査対象物１００の長手方向、図１，２中のＸ方向）に搬送し、検査対象面１０１における検査対象領域Ａを移動させる。なお、検査対象物１００が固定され、光源２や撮像部３等が検査対象面１０１に沿って移動する構成（搬送装置５によって動かされる構成）であってもよい。

また、外観検査装置１は、図３に示されるように、制御部４０（例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）等）や、ＲＯＭ４１（Read Only Memory）、ＲＡＭ４２（Random Access Memory）、ＳＳＤ４３（Solid State Drive）、光照射コントローラ４４、撮像コントローラ４５、搬送コントローラ４６、表示コントローラ４７等を備えることができる。光照射コントローラ４４は、制御部４０からの制御信号に基づいて、光源２の発光（オン、オフ）等を制御する。撮像コントローラ４５は、制御部４０からの制御信号に基づいて、撮像部３による撮像を制御する。搬送コントローラ４６は、制御部４０から受けた制御信号に基づいて、搬送装置５を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。表示コントローラ４７は、制御部４０からの制御信号に基づいて、表示装置６を制御する。また、制御部４０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ４１やＳＳＤ４３等にインストールされたプログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ４２は、制御部４０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図３に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部４０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。

また、本実施形態では、一例として、制御部４０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、外観検査装置１の少なくとも一部として機能（動作）する。すなわち、図４に示されるように、制御部４０は、撮像データ取得部４０ａや、画像処理部４０ｂ、補正部４０ｃ、表示制御部４０ｄ等として機能し、外観検査処理等を実行する。撮像データ取得部４０ａは、撮像部３が撮像した撮像データ（画像）を順次取得する。画像処理部４０ｂは、撮像部３が取得した画像データを画像処理する。表示制御部４０ｄは、表示装置６（例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＯＥＬＤ（Organic Electro-Luminescent Display）等）を制御する。

ここで、本実施形態では、一例として、撮像データ取得部４０ａは、光照射コントローラ４４、撮像コントローラ４５、および搬送コントローラ４６を介して、光源２、撮像部３、および搬送装置５を駆動し、検査対象面１０１を撮像する。詳細には、撮像データ取得部４０ａは、ライトシートＬＳに照らされることで検査対象物１００の検査対象面１０１に形成された第一の方向（本実施形態では、Ｙ方向）に沿った線状の光ＬをライトシートＬＳと交叉した第二の方向（本実施形態では、Ｚ方向）から撮像部３が撮像した撮像データを、第一の方向と直交しかつ検査対象面１０１に沿った第三の方向（本実施形態では、Ｘ方向、検査対象物１００の長手方向）に沿って順次取得する。かかる撮像データ取得部４０ａは、一例として、光照射コントローラ４４を制御する光照射制御部４０ａ１と、撮像コントローラ４５を制御する撮像制御部４０ａ２と、搬送コントローラ４６を制御する搬送制御部４０ａ３と、を有している。

また、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｂは、疑似画像データ生成部４０ｂ１を有している。疑似画像データ生成部４０ｂ１は、検査対象領域Ａの複数の点（検査対象領域Ａの長手方向（Ｘ方向）の各点）に対応した撮像データ中の線状の光Ｌにおける基準線Ｒ（基準位置）からのずれに応じて、当該各点での輝度値を決定することにより検査対象面１０１の表面形状データを撮像データ毎に生成し、それらの複数の表面形状データを用いて二次元の疑似画像３００（図９参照）の画像データである疑似画像データを生成する。決定した輝度値は、各点の高さ情報として用いることができる。疑似画像データ生成部４０ｂ１は、一例として、各位置での基準線Ｒから光源２に近い側（図１の左上側）へのずれが大きいほど輝度値を高く設定し（画素を明るくし）、光源２から遠い側の遠い側（図１の右下側）へのずれが大きいほど輝度値を低く設定する（画素を暗くする）。これにより、疑似画像３００は、検査対象領域Ａの二次元の外観に近い画像となる。疑似画像データ生成部４０ｂ１は、一例として、各点の輝度値を、ずれの大きさに応じて線形的に決定することができる。表示制御部４０ｄは、疑似画像３００が表示されるよう、表示装置６を制御することができる。疑似画像３００は、検査対象面１０１の凹凸の状態（大きさや、位置等）を視覚的に判断しやすいという利点を有している。

また、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｂは、異常領域検出部４０ｂ２を有している。異常領域検出部４０ｂ２は、疑似画像データを処理して検査対象面１０１での異常領域を検出（決定）する。詳細には、異常領域検出部４０ｂ２は、一例として、疑似画像データと、所定の記憶部（例えば、ＳＳＤ４３や、ＲＯＭ４１等）に記憶された基準となる疑似画像データ（基準画像データ）とを比較して、各点の輝度値の差異を取得する。そして、異常領域検出部４０ｂ２は、輝度値の差異が所定の閾値と同じかあるいは超えている点（画素）の群（集合、かたまり、領域）の大きさが、所定数（画素数あるいは面積の閾値）と同じかあるいはより多かった場合には、当該領域を異常領域として検出する。なお、疑似画像データ生成部４０ｂ１が生成した疑似画像データと、基準となる疑似画像データとの比較は、輝度値によって二値化処理したデータ同士を比較してもよい。

上記構成では、図５に示すように、検査対象物１００の弾性変形による当該検査対象物１００の歪みや検査対象物１００の設置位置のずれ等によって検査対象物１００と撮像部３との間の距離が基準値から変わると、撮像画像での検査対象物１００の大きさが正規の大きさから変わってしまい、異常領域の形状の検出精度が低くなってしまう場合がある。そこで、本実施形態では、一例として、補正部４０ｃは、疑似画像データ生成部４０ｂ１が生成した表面形状データから、検査対象面１０１の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した複数の特徴点と、検査対象面１０１の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、二次元の疑似画像３００の第一の方向（本実施形態では、Ｙ方向）の大きさ（長さ）を補正する。検査対象面１０１の基準データは、所定の記憶部（例えば、ＳＳＤ４３や、ＲＯＭ４１等）に記憶されている。また、本実施形態では、表示制御部４０ｄは、補正部４０ｃが補正した二次元の疑似画像３００Ｂ（図９の（ｂ））が表示されるよう、表示装置６を制御する。

次に、図６を参照して、本実施形態にかかる外観検査装置１による外観検査処理の一例について説明する。具体的に、制御部４０は、まず、画像処理部４０ｂ（疑似画像データ生成部４０ｂ１）として機能し、検査対象面１０１の表面形状データを、撮像部３の撮像データ毎に生成し、それらの複数の表面形状データを用いて疑似画像データを生成する（ステップＳ１）。

次に、制御部４０は、画像処理部４０ｂ（異常領域検出部４０ｂ２）として機能し、疑似画像データを画像処理して検査対象面１０１での異常領域を検出する（ステップＳ２：異常領域の検出処理）。なお、ステップＳ２の異常領域の検出処理の前処理として、制御部４０は、例えば、ノイズ除去や、フィルタリング（平滑化）、穴埋め処理等を実行しうる。

次に、制御部４０は、条件分岐を行う（ステップＳ３）。詳細には、制御部４０は、ステップＳ２で異常領域を検出した場合には（ステップＳ３のＹｅｓ）、ステップＳ４へ進んで補正処理を行い、ステップＳ２で異常領域を検出しなかった場合には（ステップＳ３のＮｏ）、補正処理を行わずにステップＳ５に進む。つまり、本実施形態では、一例として、制御部４０（補正部４０ｃ）は、異常領域検出部４０ｂ２が異常領域を検出したことを条件に、二次元の疑似画像３００の第一の方向の大きさを補正する。なお、制御部４０（補正部４０ｃ）は、異常領域検出部４０ｂ２の異常領域の検出の有無に拘わらず、二次元の疑似画像３００の第一の方向の大きさを補正してもよい。

ステップＳ４では、制御部４０は、補正部４０ｃとして機能し、二次元の疑似画像３００の第一の方向（Ｙ方向）の大きさを補正する。制御部４０が行う補正について図７，８を参照して、詳しく説明する。図７には、図５中のＦ７−Ｆ７線での検査対象面１０１の断面に対応した各種の画像が示されている。具体的には、図７には、検査対象面１０１の基準表面形状データに基づく検査対象面１０１の基準表面画像Ｄ１（表面画像）と、撮像部３の撮像データから疑似画像データ生成部４０ｂ１が生成した検査対象面１０１の表面形状データに基づく撮像表面画像Ｄ２（表面画像）と、補正後の表面形状データに基づく補正後表面画像Ｄ２Ａ（表面画像）と、が示されている。基準表面画像Ｄ１、撮像表面画像Ｄ２、および補正後表面画像Ｄ２Ａは、検査対象面１０１のＹＺ平面での断面形状を示している。

制御部４０（補正部４０ｃ）は、まず、疑似画像データ生成部４０ｂ１が生成した表面形状データから、検査対象面１０１の形状の複数の特徴点を抽出する。図７の例では、制御部４０は、撮像表面画像Ｄ２の二つの高さ（輝度値）のピーク部Ｄ２１，Ｄ２２をエッジ検出等の処理によって抽出し、このピーク部２１，Ｄ２２の各エッジ部Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａを複数の特徴点として抽出する。ピーク部Ｄ２１，Ｄ２２は、二つの凸部１０２に対応している。次に、制御部４０は、抽出したエッジ部Ｄ２１ａ，２２ａと、検査対象面１０１の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、二次元の疑似画像３００の第一の方向（本実施形態では、Ｙ方向）の大きさ（長さ）を補正する。検査対象面１０１の基準表面形状データの複数の基準特徴点は、図７の例では、基準表面画像Ｄ１の二つの高さのピーク部Ｄ１１，Ｄ１２のエッジ部Ｄ１１ａ，Ｄ１２ａである。基準表面形状データの複数の基準特徴点は、エッジ処理等によって予め抽出されている。このとき、制御部４０は、一例として、抽出した二つのエッジ部Ｄ２１ａ，２２ａ（複数の特徴点）間の距離Ｌ２ａと、当該二つのエッジ部Ｄ２１ａ，２２ａ（特徴点）に対応した二つのエッジ部Ｄ１１ａ，Ｄ１２ａ（基準特徴点）間の距離Ｌ１ａとの比を用いて、疑似画像データ生成部４０ｂ１が生成した検査対象面１０１の表面形状データの第一の方向（Ｙ方向）の大きさ（座標位置）を補正することで、二次元の疑似画像３００の第一の方向（Ｙ方向）の大きさを補正する。具体的には、制御部４０は、一例として、撮像表面画像Ｄ２の長さＬ３に、距離Ｌ１ａ／距離Ｌ２ａの値を掛けることで補正する。

図８には、図５中のＦ８−Ｆ８線での検査対象面１０１の断面に対応した各種の画像が示されている。具体的には、図８には、図７と同様に、基準表面画像Ｄ１と、撮像表面画像Ｄ２と、補正後表面画像Ｄ２Ａと、が示されている。図８の例では、制御部４０は、撮像表面画像Ｄ２の四つの高さのピーク部Ｄ２１，Ｄ２２，Ｄ２３，Ｄ２４をエッジ検出等の処理によって抽出し、このピーク部Ｄ２１，Ｄ２２，Ｄ２３，Ｄ２４の各エッジ部Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａ，Ｄ２３ａ，Ｄ２４ａを複数の特徴点として抽出する。ピーク部Ｄ２３，２４は、記号１０３に対応している。次に、制御部４０は、抽出した複数のエッジ部Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａ，Ｄ２３ａ，Ｄ２４ａ（特徴点）と、検査対象面１０１の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、二次元の疑似画像３００の第一の方向（本実施形態では、Ｙ方向）の大きさ（長さ）を補正する。検査対象面１０１の基準表面形状データの複数の基準特徴点は、図８の例では、基準表面画像Ｄ１の四つの高さのピーク部Ｄ１１，Ｄ１２，Ｄ１３，Ｄ１４のエッジ部Ｄ１１ａ，Ｄ１２ａ，Ｄ１３ａ，Ｄ１４ａである。図８の例では、制御部４０は、一例として、第一の二つの特徴点としてのエッジ部Ｄ２１ａ，２２ａ間の距離Ｌ２ａと、当該二つの特徴点に対応した二つの基準特徴点であるエッジ部Ｄ１１ａ，Ｄ１２ａ間の距離Ｌ１ａとの比（第一の比）と、第二の二つの特徴点としてのエッジ部Ｄ２３ａ，２４ａ間の距離Ｌ２ｂと、当該二つの特徴点に対応した二つの基準特徴点であるエッジ部Ｄ１３ａ，Ｄ１４ａ間の距離Ｌ１ｂとの比（第二の比）と、を用いて、疑似画像データ生成部４０ｂ１が生成した検査対象面１０１の表面形状データの第一の方向（Ｙ方向）の大きさ（座標位置）を補正することで、二次元の疑似画像３００の第一の方向（Ｙ方向）の大きさを補正する。具体的には、一例として、撮像表面画像Ｄ２の長さＬ３に、距離Ｌ１ａ／距離Ｌ２ａの値と距離Ｌ１ｂ／距離Ｌ２ｂとの値の平均値を掛けることで補正する。

制御部４０は、一例として、上記の補正を各疑似画像データ生成部４０ｂ１が生成した検査対象面１０１の複数の表面形状データ（１ラインデータ）のそれぞれに対して行う。二次元の疑似画像３００は、複数の表面形状データの集まりであるので、これにより、二次元の疑似画像３００の第一の方向（Ｙ方向）の大きさが補正される。ここで、制御部４０は、一例として、検査対象面１０１に異常領域があるために、特徴点の数が基準特徴点の数と一致しない表面形状データがある場合には、当該表面形状データの前後（撮像順番の前後）の表面形状データであって特徴点の数が基準特徴点の数と一致した表面形状データで行った補正と同様の補正を、当該表面形状データに施すことができる。以上の補正処理によって、図９に示されるように、疑似画像３００Ａが疑似画像３００Ｂに補正される。図９には、抽出された異常領域３０４が、検査対象面１０１の画像３０１中に表示されている。図９の例では、異常領域３０４が、補正前の疑似画像３００Ａ（図９の（ａ））では横長の楕円であったのが、補正後の疑似画像３００Ｂ（図９の（ｂ））では略真円に補正されているのが分かる。また、図９の二次元の疑似画像３００には、凸部１０２に対応した凸部画像３０２が表示されている。また、制御部４０（補正部４０ｃ）は、一例として、二次元の疑似画像３００における異常領域３０４を含む一部の領域（例えば、図９に示された領域３００ａ）に対してだけ、二次元の疑似画像３００の第一の方向の大きさを補正してもよい。この場合には、一例として、その領域３００ａだけが表示装置６の表示画面に表示される。

ステップＳ５では、制御部４０は、表示制御部４０ｄとして機能し、例えば、図９（ｂ）に示されるように、表示装置６の表示画面に、疑似画像３００Ｂが表示されるよう、表示コントローラ４７ひいては表示装置６を制御する。なお、疑似画像３００Ｂは、異常領域が検出された場合の例である。また、制御部４０は、異常領域３０４が検出されなかった場合には、疑似画像３００を表示せずに、異常領域３０４が無い旨を表示装置６に表示させることができる。

以上、説明したように、本実施形態では、一例として、補正部４０ｃが、表面形状データから検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した複数の特徴点と、検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、二次元の疑似画像３００の第一の方向の大きさを補正する。したがって、本実施形態によれば、検査対象物１００の検査対象面１０１の異常領域３０４の形状の検出精度が低くなることを抑制することができる。

また、本実施形態では、一例として、補正部４０ｃは、二つの特徴点間の距離と、当該二つの特徴点に対応した二つの基準特徴点間の距離との比を用いて、二次元の疑似画像３００の第一の方向の大きさを補正する。したがって、比較的簡素な処理で補正を行うことができる。

また、本実施形態では、一例として、補正部４０ｃは、異常領域検出部４０ｂ２が異常領域３０４を検出したことを条件に、二次元の疑似画像３００の第一の方向の大きさを補正する。したがって、異常領域３０４が検出されない場合には、補正が行われないので、外観検査装置１の処理速度の向上が図られる。

また、本実施形態では、一例として、補正部４０ｃは、二次元の疑似画像３００における異常領域３０４を含む一部の領域３００ａに対してだけ、二次元の疑似画像３００の第一の方向の大きさを補正する。したがって、領域３００ａ以外の部分の補正が行われないので、外観検査装置１の処理速度の向上が図られる。

以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。例えば、検査対象物は、帯状以外の物であってもよい。例えば、検査対象物は、円筒状のホース等であってもよい。

１…外観検査装置、６…表示装置（表示部）、４０ａ…撮像データ取得部、４０ｂ１…疑似画像データ生成部、４０ｂ２…異常領域検出部、４０ｃ…補正部、４０ｄ…表示制御部、１００…検査対象物、１０１…検査対象面、３００…疑似画像、３００ａ…領域、３０４…異常領域、Ｄ１１ａ，Ｄ１２ａ，Ｄ１３ａ，Ｄ１４ａ…基準特徴点、Ｄ２１ａ，Ｄ２２ａ，Ｄ２３ａ，Ｄ２４ａ…特徴点、Ｌ…光、ＬＳ…ライトシート、Ｒ…基準線。

Claims (7)

1. ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得する撮像データ取得部と、
   検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成する疑似画像データ生成部と、
   前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出する異常領域検出部と、
   前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正する補正部と、
   前記補正部が補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御する表示制御部と、
   を備えた外観検査装置。
2. 前記補正部は、二つの前記特徴点間の距離と、当該二つの前記特徴点に対応した二つの前記基準特徴点間の距離との比を用いて、前記大きさを補正する請求項１に記載の外観検査装置。
3. 前記補正部は、前記異常領域検出部が前記異常領域を検出したことを条件に、前記大きさを補正する請求項１または２に記載の外観検査装置。
4. 前記補正部は、前記二次元の疑似画像における前記異常領域を含む一部の領域に対してだけ、前記大きさを補正する請求項１ないし３のいずれか一項に記載の外観検査装置。
5. 前記検査対象面は、前記第三の方向に沿って延在した前記特徴点を有した請求項１ないし４のいずれか一項に記載の外観検査装置。
6. 前記検査対象面は、前記第三の方向において部分的に存在した前記特徴点を有した請求項１ないし５のいずれか一項に記載の外観検査装置。
7. 外観検査装置を構成するコンピュータが、
   ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得するステップと、
   検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成するステップと、
   前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出するステップと、
   前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正するステップと、
   補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御するステップと、
   を実行する、外観検査方法。

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