JP2015078957A - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents

外観検査装置および外観検査方法 Download PDF

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Abstract

【課題】一例として、検査対象物の検査対象面の異常領域の形状の検出精度が低くなることを抑制することができる外観検査装置および外観検査方法を得る。【解決手段】実施形態にかかる外観検査装置は、検査対象面の表面形状データを撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成する疑似画像データ生成部と、前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出する異常領域検出部と、前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の第一の方向の大きさを補正する補正部と、を備えた。【選択図】図6

Description

本発明は、外観検査装置および外観検査方法に関する。
従来、所謂光切断法によって、検査対象物の検査対象面の三次元形状に対応した画像を得ることが可能な外観検査装置が知られている(例えば、特許文献1,2)。この種の外観検査装置では、検査対象面に照射された線状の光の位置や形状に基づいて検査対象領域の各位置での高さが算出され、さらに当該高さに応じた各位置での輝度値が設定されて二次元の疑似画像データが生成され、当該疑似画像データに基づいて異常領域の検出、すなわち外観検査が行われる場合がある。
特開平10−160437号公報 特開2007−11462号公報
しかしながら、この種の外観検査装置では、検査対象物の弾性変形による当該検査対象物の歪みや設置位置のずれ等によって検査対象物と撮像部との間の距離が基準距離から変わると、撮像画像での検査対象物の大きさが正規の大きさから変わってしまい、異常領域の形状の検出精度が低くなってしまう場合がある。
そこで、本発明の実施形態は、一例としては、検査対象物の検査対象面の異常領域の形状の検出精度が低くなることを抑制することができる外観検査装置および外観検査方法を得ることを目的の一つとする。
本発明の実施形態にかかる外観検査装置は、ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得する撮像データ取得部と、検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成する疑似画像データ生成部と、前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出する異常領域検出部と、前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正する補正部と、前記補正部が補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御する表示制御部と、を備えた。
本発明の実施形態によれば、一例としては、検査対象物の検査対象面の異常領域の形状の検出精度が低くなることを抑制することができる外観検査装置および外観検査方法を得ることができる。
図1は、実施形態にかかる外観検査装置の一例が示された模式的な斜視図である。 図2は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた検査対象領域に当てられた線状の光の一例が示された模式的な平面図である。 図3は、実施形態にかかる外観検査装置の一例が示された模式的なブロック図である。 図4は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部の一例が示された模式的なブロック図である。 図5は、実施形態にかかる検査対象物の一例が示された平面図である。 図6は、実施形態にかかる外観検査装置による検査方法の一例が示されたフローチャートである。 図7は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部が実行する補正処理の一例を説明するための図である。 図8は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部が実行する補正処理の一例を説明するための図である。 図9は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部が実行する補正処理の一例を説明するための図であって、(a)は補正前の疑似画像の一例が示された図、(b)は補正後の疑似画像の一例が示された図である。
本実施形態では、一例として、図1に示される外観検査装置1は、検査対象物100を撮像した画像に基づいて、当該検査対象物100の検査対象面101の検査を行う。図1や図3に示されるように、外観検査装置1は、光源2や、撮像部3、制御部40、搬送装置5(搬送部)、表示装置6(表示部)等を備える。
本実施形態では、検査対象物100は、一例として、帯状(直方体状)の外観を呈している。本実施形態では、検査対象物100の長方形状の一面が検査対象面101の一例である。検査対象面101には、検査対象物100の長手方向に沿って延在した凸部102(図1,5)と、記号103(図5)と、が設けられている。凸部102は、相互に間隔をあけて略平行に二つ設けられている。また、記号103は、凸部102とは異なる箇所に突設されている。検査対象物100は、一例として、弾性材料によって構成されている。凸部102は、第三の方向(本実施形態では、X方向)に沿って延在した特徴点の一例であり、記号103は、第三の方向(X方向)において部分的に検査対象面101に存在した特徴点の一例である。
また、光源2は、検査対象面101の法線方向(図1中のZ方向)と線状の光L(検査対象領域A)の幅方向(図1,2中のY方向)との間の斜め方向(斜め上方向)から、線状の検査対象領域Aを照らしている。詳細には、光源2は、ライトシートLS(シート状の光、平坦なカーテン状の光、スリット光、一例としてはレーザーライトシート)を出射する。図2に示されるように、検査対象面101には、光源2から出射されたライトシートLSに照らされることで、線状の光L(の筋)が形成される。線状の光Lは、検査対象面101の幅方向(検査対象面101に沿ったY方向、第一の方向)に沿って延びている。検査対象面101が平面であった場合、検査対象面101上の光L(輝線)は直線状である。しかしながら、検査対象面101が凸部を有していた場合、検査対象面101が平面であった場合の光Lを基準線R(直線、基準位置)とすると、当該凸部に当たった光Lは、基準線Rから光源2側(光源2に近い側)にずれる。また、逆に、検査対象面101が凹部を有していた場合、当該凹部に当たった光Lは、基準線Rから光源2とは反対側(光源2から遠い側)にずれる。すなわち、光Lの位置(形状、基準線Rからのずれ)によって、検査対象面101の凹凸ならびに当該凹凸の程度(凸部の高さ、凹部の深さ、法線方向における位置)を判別することができる。なお、ライトシートLSの出射方向ならびに撮像部3による撮像方向は、種々に設定することが可能である。光源2は、例えば、輝線照射用のレーザ光源等である。
撮像部3は、図1に示されるように、ライトシートLSに照らされることで検査対象物100の検査対象面101に形成された第一の方向(本実施形態では、Y方向)に沿った線状の光Lを、ライトシートLSと交叉した第二の方向(本実施形態では、検査対象面101の法線方向、Z方向)から撮像して撮像データを取得し、当該撮像データを出力する。したがって、撮像部3が取得した撮像データは、線状の光Lの撮像データを含む。別の言い方をすると、撮像部3は、ライトシートLSが沿う方向と交叉する方向(本実施形態では、検査対象面101の法線方向、Z方向、第二の方向)から検査対象領域Aを含む検査対象面101の細長い領域を撮像する。撮像部3は、例えば、二次元に配列された光電変換素子(光電変換部)を有したエリアセンサ(固体撮像素子、例えば、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサや、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサ等)である。
搬送装置5は、検査対象物100を光L(検査対象領域A)の幅方向(検査対象物100の長手方向、図1,2中のX方向)に搬送し、検査対象面101における検査対象領域Aを移動させる。なお、検査対象物100が固定され、光源2や撮像部3等が検査対象面101に沿って移動する構成(搬送装置5によって動かされる構成)であってもよい。
また、外観検査装置1は、図3に示されるように、制御部40(例えばCPU(Central Processing Unit)等)や、ROM41(Read Only Memory)、RAM42(Random Access Memory)、SSD43(Solid State Drive)、光照射コントローラ44、撮像コントローラ45、搬送コントローラ46、表示コントローラ47等を備えることができる。光照射コントローラ44は、制御部40からの制御信号に基づいて、光源2の発光(オン、オフ)等を制御する。撮像コントローラ45は、制御部40からの制御信号に基づいて、撮像部3による撮像を制御する。搬送コントローラ46は、制御部40から受けた制御信号に基づいて、搬送装置5を制御し、検査対象物100の搬送(開始、停止、速度等)を制御する。表示コントローラ47は、制御部40からの制御信号に基づいて、表示装置6を制御する。また、制御部40は、不揮発性の記憶部としてのROM41やSSD43等にインストールされたプログラム(アプリケーション)を読み出して実行する。RAM42は、制御部40がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図3に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部40等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。
また、本実施形態では、一例として、制御部40は、ハードウエアとソフトウエア(プログラム)との協働によって、外観検査装置1の少なくとも一部として機能(動作)する。すなわち、図4に示されるように、制御部40は、撮像データ取得部40aや、画像処理部40b、補正部40c、表示制御部40d等として機能し、外観検査処理等を実行する。撮像データ取得部40aは、撮像部3が撮像した撮像データ(画像)を順次取得する。画像処理部40bは、撮像部3が取得した画像データを画像処理する。表示制御部40dは、表示装置6(例えば、LCD(Liquid Crystal Display)、OELD(Organic Electro-Luminescent Display)等)を制御する。
ここで、本実施形態では、一例として、撮像データ取得部40aは、光照射コントローラ44、撮像コントローラ45、および搬送コントローラ46を介して、光源2、撮像部3、および搬送装置5を駆動し、検査対象面101を撮像する。詳細には、撮像データ取得部40aは、ライトシートLSに照らされることで検査対象物100の検査対象面101に形成された第一の方向(本実施形態では、Y方向)に沿った線状の光LをライトシートLSと交叉した第二の方向(本実施形態では、Z方向)から撮像部3が撮像した撮像データを、第一の方向と直交しかつ検査対象面101に沿った第三の方向(本実施形態では、X方向、検査対象物100の長手方向)に沿って順次取得する。かかる撮像データ取得部40aは、一例として、光照射コントローラ44を制御する光照射制御部40a1と、撮像コントローラ45を制御する撮像制御部40a2と、搬送コントローラ46を制御する搬送制御部40a3と、を有している。
また、本実施形態では、一例として、画像処理部40bは、疑似画像データ生成部40b1を有している。疑似画像データ生成部40b1は、検査対象領域Aの複数の点(検査対象領域Aの長手方向(X方向)の各点)に対応した撮像データ中の線状の光Lにおける基準線R(基準位置)からのずれに応じて、当該各点での輝度値を決定することにより検査対象面101の表面形状データを撮像データ毎に生成し、それらの複数の表面形状データを用いて二次元の疑似画像300(図9参照)の画像データである疑似画像データを生成する。決定した輝度値は、各点の高さ情報として用いることができる。疑似画像データ生成部40b1は、一例として、各位置での基準線Rから光源2に近い側(図1の左上側)へのずれが大きいほど輝度値を高く設定し(画素を明るくし)、光源2から遠い側の遠い側(図1の右下側)へのずれが大きいほど輝度値を低く設定する(画素を暗くする)。これにより、疑似画像300は、検査対象領域Aの二次元の外観に近い画像となる。疑似画像データ生成部40b1は、一例として、各点の輝度値を、ずれの大きさに応じて線形的に決定することができる。表示制御部40dは、疑似画像300が表示されるよう、表示装置6を制御することができる。疑似画像300は、検査対象面101の凹凸の状態(大きさや、位置等)を視覚的に判断しやすいという利点を有している。
また、本実施形態では、一例として、画像処理部40bは、異常領域検出部40b2を有している。異常領域検出部40b2は、疑似画像データを処理して検査対象面101での異常領域を検出(決定)する。詳細には、異常領域検出部40b2は、一例として、疑似画像データと、所定の記憶部(例えば、SSD43や、ROM41等)に記憶された基準となる疑似画像データ(基準画像データ)とを比較して、各点の輝度値の差異を取得する。そして、異常領域検出部40b2は、輝度値の差異が所定の閾値と同じかあるいは超えている点(画素)の群(集合、かたまり、領域)の大きさが、所定数(画素数あるいは面積の閾値)と同じかあるいはより多かった場合には、当該領域を異常領域として検出する。なお、疑似画像データ生成部40b1が生成した疑似画像データと、基準となる疑似画像データとの比較は、輝度値によって二値化処理したデータ同士を比較してもよい。
上記構成では、図5に示すように、検査対象物100の弾性変形による当該検査対象物100の歪みや検査対象物100の設置位置のずれ等によって検査対象物100と撮像部3との間の距離が基準値から変わると、撮像画像での検査対象物100の大きさが正規の大きさから変わってしまい、異常領域の形状の検出精度が低くなってしまう場合がある。そこで、本実施形態では、一例として、補正部40cは、疑似画像データ生成部40b1が生成した表面形状データから、検査対象面101の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した複数の特徴点と、検査対象面101の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、二次元の疑似画像300の第一の方向(本実施形態では、Y方向)の大きさ(長さ)を補正する。検査対象面101の基準データは、所定の記憶部(例えば、SSD43や、ROM41等)に記憶されている。また、本実施形態では、表示制御部40dは、補正部40cが補正した二次元の疑似画像300B(図9の(b))が表示されるよう、表示装置6を制御する。
次に、図6を参照して、本実施形態にかかる外観検査装置1による外観検査処理の一例について説明する。具体的に、制御部40は、まず、画像処理部40b(疑似画像データ生成部40b1)として機能し、検査対象面101の表面形状データを、撮像部3の撮像データ毎に生成し、それらの複数の表面形状データを用いて疑似画像データを生成する(ステップS1)。
次に、制御部40は、画像処理部40b(異常領域検出部40b2)として機能し、疑似画像データを画像処理して検査対象面101での異常領域を検出する(ステップS2:異常領域の検出処理)。なお、ステップS2の異常領域の検出処理の前処理として、制御部40は、例えば、ノイズ除去や、フィルタリング(平滑化)、穴埋め処理等を実行しうる。
次に、制御部40は、条件分岐を行う(ステップS3)。詳細には、制御部40は、ステップS2で異常領域を検出した場合には(ステップS3のYes)、ステップS4へ進んで補正処理を行い、ステップS2で異常領域を検出しなかった場合には(ステップS3のNo)、補正処理を行わずにステップS5に進む。つまり、本実施形態では、一例として、制御部40(補正部40c)は、異常領域検出部40b2が異常領域を検出したことを条件に、二次元の疑似画像300の第一の方向の大きさを補正する。なお、制御部40(補正部40c)は、異常領域検出部40b2の異常領域の検出の有無に拘わらず、二次元の疑似画像300の第一の方向の大きさを補正してもよい。
ステップS4では、制御部40は、補正部40cとして機能し、二次元の疑似画像300の第一の方向(Y方向)の大きさを補正する。制御部40が行う補正について図7,8を参照して、詳しく説明する。図7には、図5中のF7−F7線での検査対象面101の断面に対応した各種の画像が示されている。具体的には、図7には、検査対象面101の基準表面形状データに基づく検査対象面101の基準表面画像D1(表面画像)と、撮像部3の撮像データから疑似画像データ生成部40b1が生成した検査対象面101の表面形状データに基づく撮像表面画像D2(表面画像)と、補正後の表面形状データに基づく補正後表面画像D2A(表面画像)と、が示されている。基準表面画像D1、撮像表面画像D2、および補正後表面画像D2Aは、検査対象面101のYZ平面での断面形状を示している。
制御部40(補正部40c)は、まず、疑似画像データ生成部40b1が生成した表面形状データから、検査対象面101の形状の複数の特徴点を抽出する。図7の例では、制御部40は、撮像表面画像D2の二つの高さ(輝度値)のピーク部D21,D22をエッジ検出等の処理によって抽出し、このピーク部21,D22の各エッジ部D21a,D22aを複数の特徴点として抽出する。ピーク部D21,D22は、二つの凸部102に対応している。次に、制御部40は、抽出したエッジ部D21a,22aと、検査対象面101の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、二次元の疑似画像300の第一の方向(本実施形態では、Y方向)の大きさ(長さ)を補正する。検査対象面101の基準表面形状データの複数の基準特徴点は、図7の例では、基準表面画像D1の二つの高さのピーク部D11,D12のエッジ部D11a,D12aである。基準表面形状データの複数の基準特徴点は、エッジ処理等によって予め抽出されている。このとき、制御部40は、一例として、抽出した二つのエッジ部D21a,22a(複数の特徴点)間の距離L2aと、当該二つのエッジ部D21a,22a(特徴点)に対応した二つのエッジ部D11a,D12a(基準特徴点)間の距離L1aとの比を用いて、疑似画像データ生成部40b1が生成した検査対象面101の表面形状データの第一の方向(Y方向)の大きさ(座標位置)を補正することで、二次元の疑似画像300の第一の方向(Y方向)の大きさを補正する。具体的には、制御部40は、一例として、撮像表面画像D2の長さL3に、距離L1a/距離L2aの値を掛けることで補正する。
図8には、図5中のF8−F8線での検査対象面101の断面に対応した各種の画像が示されている。具体的には、図8には、図7と同様に、基準表面画像D1と、撮像表面画像D2と、補正後表面画像D2Aと、が示されている。図8の例では、制御部40は、撮像表面画像D2の四つの高さのピーク部D21,D22,D23,D24をエッジ検出等の処理によって抽出し、このピーク部D21,D22,D23,D24の各エッジ部D21a,D22a,D23a,D24aを複数の特徴点として抽出する。ピーク部D23,24は、記号103に対応している。次に、制御部40は、抽出した複数のエッジ部D21a,D22a,D23a,D24a(特徴点)と、検査対象面101の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、二次元の疑似画像300の第一の方向(本実施形態では、Y方向)の大きさ(長さ)を補正する。検査対象面101の基準表面形状データの複数の基準特徴点は、図8の例では、基準表面画像D1の四つの高さのピーク部D11,D12,D13,D14のエッジ部D11a,D12a,D13a,D14aである。図8の例では、制御部40は、一例として、第一の二つの特徴点としてのエッジ部D21a,22a間の距離L2aと、当該二つの特徴点に対応した二つの基準特徴点であるエッジ部D11a,D12a間の距離L1aとの比(第一の比)と、第二の二つの特徴点としてのエッジ部D23a,24a間の距離L2bと、当該二つの特徴点に対応した二つの基準特徴点であるエッジ部D13a,D14a間の距離L1bとの比(第二の比)と、を用いて、疑似画像データ生成部40b1が生成した検査対象面101の表面形状データの第一の方向(Y方向)の大きさ(座標位置)を補正することで、二次元の疑似画像300の第一の方向(Y方向)の大きさを補正する。具体的には、一例として、撮像表面画像D2の長さL3に、距離L1a/距離L2aの値と距離L1b/距離L2bとの値の平均値を掛けることで補正する。
制御部40は、一例として、上記の補正を各疑似画像データ生成部40b1が生成した検査対象面101の複数の表面形状データ(1ラインデータ)のそれぞれに対して行う。二次元の疑似画像300は、複数の表面形状データの集まりであるので、これにより、二次元の疑似画像300の第一の方向(Y方向)の大きさが補正される。ここで、制御部40は、一例として、検査対象面101に異常領域があるために、特徴点の数が基準特徴点の数と一致しない表面形状データがある場合には、当該表面形状データの前後(撮像順番の前後)の表面形状データであって特徴点の数が基準特徴点の数と一致した表面形状データで行った補正と同様の補正を、当該表面形状データに施すことができる。以上の補正処理によって、図9に示されるように、疑似画像300Aが疑似画像300Bに補正される。図9には、抽出された異常領域304が、検査対象面101の画像301中に表示されている。図9の例では、異常領域304が、補正前の疑似画像300A(図9の(a))では横長の楕円であったのが、補正後の疑似画像300B(図9の(b))では略真円に補正されているのが分かる。また、図9の二次元の疑似画像300には、凸部102に対応した凸部画像302が表示されている。また、制御部40(補正部40c)は、一例として、二次元の疑似画像300における異常領域304を含む一部の領域(例えば、図9に示された領域300a)に対してだけ、二次元の疑似画像300の第一の方向の大きさを補正してもよい。この場合には、一例として、その領域300aだけが表示装置6の表示画面に表示される。
ステップS5では、制御部40は、表示制御部40dとして機能し、例えば、図9(b)に示されるように、表示装置6の表示画面に、疑似画像300Bが表示されるよう、表示コントローラ47ひいては表示装置6を制御する。なお、疑似画像300Bは、異常領域が検出された場合の例である。また、制御部40は、異常領域304が検出されなかった場合には、疑似画像300を表示せずに、異常領域304が無い旨を表示装置6に表示させることができる。
以上、説明したように、本実施形態では、一例として、補正部40cが、表面形状データから検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した複数の特徴点と、検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、二次元の疑似画像300の第一の方向の大きさを補正する。したがって、本実施形態によれば、検査対象物100の検査対象面101の異常領域304の形状の検出精度が低くなることを抑制することができる。
また、本実施形態では、一例として、補正部40cは、二つの特徴点間の距離と、当該二つの特徴点に対応した二つの基準特徴点間の距離との比を用いて、二次元の疑似画像300の第一の方向の大きさを補正する。したがって、比較的簡素な処理で補正を行うことができる。
また、本実施形態では、一例として、補正部40cは、異常領域検出部40b2が異常領域304を検出したことを条件に、二次元の疑似画像300の第一の方向の大きさを補正する。したがって、異常領域304が検出されない場合には、補正が行われないので、外観検査装置1の処理速度の向上が図られる。
また、本実施形態では、一例として、補正部40cは、二次元の疑似画像300における異常領域304を含む一部の領域300aに対してだけ、二次元の疑似画像300の第一の方向の大きさを補正する。したがって、領域300a以外の部分の補正が行われないので、外観検査装置1の処理速度の向上が図られる。
以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック(構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等)は、適宜に変更して実施することができる。例えば、検査対象物は、帯状以外の物であってもよい。例えば、検査対象物は、円筒状のホース等であってもよい。
1…外観検査装置、6…表示装置(表示部)、40a…撮像データ取得部、40b1…疑似画像データ生成部、40b2…異常領域検出部、40c…補正部、40d…表示制御部、100…検査対象物、101…検査対象面、300…疑似画像、300a…領域、304…異常領域、D11a,D12a,D13a,D14a…基準特徴点、D21a,D22a,D23a,D24a…特徴点、L…光、LS…ライトシート、R…基準線。

Claims (7)

  1. ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得する撮像データ取得部と、
    検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成する疑似画像データ生成部と、
    前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出する異常領域検出部と、
    前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正する補正部と、
    前記補正部が補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御する表示制御部と、
    を備えた外観検査装置。
  2. 前記補正部は、二つの前記特徴点間の距離と、当該二つの前記特徴点に対応した二つの前記基準特徴点間の距離との比を用いて、前記大きさを補正する請求項1に記載の外観検査装置。
  3. 前記補正部は、前記異常領域検出部が前記異常領域を検出したことを条件に、前記大きさを補正する請求項1または2に記載の外観検査装置。
  4. 前記補正部は、前記二次元の疑似画像における前記異常領域を含む一部の領域に対してだけ、前記大きさを補正する請求項1ないし3のいずれか一項に記載の外観検査装置。
  5. 前記検査対象面は、前記第三の方向に沿って延在した前記特徴点を有した請求項1ないし4のいずれか一項に記載の外観検査装置。
  6. 前記検査対象面は、前記第三の方向において部分的に存在した前記特徴点を有した請求項1ないし5のいずれか一項に記載の外観検査装置。
  7. 外観検査装置を構成するコンピュータが、
    ライトシートに照らされることで検査対象物の検査対象面に形成された第一の方向に沿った線状の光を前記ライトシートと交叉した第二の方向から撮像した撮像データを、前記第一の方向と直交しかつ前記検査対象面に沿った第三の方向に沿って順次取得するステップと、
    検査対象領域の複数の点に対応した前記撮像データ中の前記線状の光における基準線からのずれに応じて各前記点での輝度値を決定して前記検査対象面の表面形状データを各前記撮像データ毎に生成し、複数の前記表面形状データを用いて二次元の疑似画像の画像データを生成するステップと、
    前記画像データを処理して前記検査対象面での異常領域を検出するステップと、
    前記表面形状データから前記検査対象面の形状の複数の特徴点を抽出し、抽出した前記複数の特徴点と、前記検査対象面の基準表面形状データの複数の基準特徴点とから、前記二次元の疑似画像の前記第一の方向の大きさを補正するステップと、
    補正した前記二次元の疑似画像が表示されるよう、表示部を制御するステップと、
    を実行する、外観検査方法。
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