JP6267481B2 - 外観検査装置および外観検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、外観検査装置および外観検査方法に関する。

従来、所謂光切断法によって、検査対象面の三次元形状に対応した画像を得ることが可能な外観検査装置が知られている（例えば、特許文献１）。この種の外観検査装置では、検査対象面に照射された線状の光の位置や形状に基づいて検査対象領域の各位置での高さが算出され、さらに当該高さに応じた各位置での輝度値が設定されて二次元の疑似画像データが生成され、当該疑似画像データに基づいて異常領域の有無の判別、すなわち外観検査が行われる場合がある。

特開２０１１−１４１２６０号公報

しかしながら、この種の外観検査装置では、疑似画像データにおいて位置（位相）を特定するのに手間がかかる場合があった。

そこで、本発明の実施形態は、一例としては、疑似画像データの位置（位相）を特定しやすい外観検査装置および外観検査方法を得ることを目的の一つとする。

本発明の実施形態にかかる外観検査装置にあっては、ライトシートによって照らされることで、検査対象物の第一の検査対象面と、当該第一の検査対象面と交叉した検査対象物の第二の検査対象面と、に亘って形成された一連の線状の光であって、第一の検査対象面および第二の検査対象面における照射位置が移動する光を、当該照射位置に対して固定された位置から撮像した画像を、順次取得する撮像部と、第一の検査対象面で二次元に離散化された各点に対応した線状の光の画像のずれに基づいて各点での輝度値を決定して、二次元の第一の疑似画像データを生成する第一の疑似画像データ生成部と、第二の検査対象面で二次元に離散化された各点に対応した線状の光の画像のずれに基づいて各点での輝度値を決定して、二次元の第二の疑似画像データを生成する第二の疑似画像データ生成部と、第一の疑似画像データおよび第二の疑似画像データのうち一方から、基準となる疑似画像データを特定することにより、当該一方および他方の、光の移動方向における位相を特定する位相特定部と、位相特定部によって特定された位相に基づいて第一の疑似画像データおよび第二の疑似画像データのうち他方を画像処理して当該他方での異常領域を決定する異常領域決定部と、を備える。

本発明の実施形態によれば、一例としては、疑似画像データの位置（位相）を特定しやすい外観検査装置および外観検査方法を得ることができる。

図１は、実施形態にかかる外観検査装置の一例が示された模式的な平面図である。 図２は、図１の視線IIからの側面図である。 図３は、図１の視線IIIからの側面図である。 図４は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた検査対象領域に当てられた線状の光の一例が示された模式図である。 図５は、実施形態にかかる外観検査装置の一例が示された模式的なブロック図である。 図６は、実施形態にかかる外観検査装置の制御部の一例が示された模式的なブロック図である。 図７は、実施形態にかかる外観検査装置による検査方法の一例が示されたフローチャートである。 図８は、実施形態にかかる外観検査装置で得られた疑似画像データの一例の一部が示された模式図である。 図９は、実施形態にかかる外観検査装置の処理により表示装置の表示画面に表示された疑似画像ならびに異常領域の画像の一例が示された模式図である。

本実施形態では、一例として、外観検査装置１は、検査対象物１００を撮像した画像に基づいて、当該検査対象物１００の検査対象面１０１，１０２（本実施形態では、一例として、特に、検査対象面１０１）の検査を行う。外観検査装置１は、図１〜３，５に示されるように、光源２や、撮像部３１，３２、制御部４０、移動装置５、表示装置６等を備える。

本実施形態では、図１〜４に示されるように、タイヤが検査対象物１００の一例であり、当該タイヤの外周面（トレッド面、接地面）が検査対象面１０１（第一の検査対象面）の一例であり、外周面と隣接した一つまたは二つ（本実施形態では、一例として一つ）の側面が検査対象面１０２（第二の検査対象面）の一例である。また、検査対象物１００は、ドーナツ状の外観を呈し、検査対象面１０１は、略円筒面状であり、検査対象面１０２は、略円環状かつ略平面状である。検査対象物１００は、移動装置５によって検査対象物１００の中心軸Ａｘ（回転軸）を中心として回転される。なお、検査対象物１００としてのタイヤはあくまで一例であって、本発明は例えばシート等のタイヤ以外の検査対象物１００にも適用可能である。

光源２（光照射部）は、図１〜３に示されるように、ライトシートＬＳ（シート状の光、平坦なカーテン状の光、スリット光、一例としてはレーザーライトシート）を出射する。図１，２，４に示されるように、検査対象面１０１，１０２には、光源２から出射されたライトシートＬＳに照らされることで、線状の光Ｌ（の筋）が形成される。線状の光Ｌは、検査対象面１０１，１０２のそれぞれで、検査対象面１０１，１０２の幅方向（中心軸Ａｘの軸方向または径方向）に沿って延びている。ライトシートＬＳは、本実施形態では、一例として、中心軸Ａｘを含む平面に沿っている。光源２は、図３に示されるように、検査対象面１０１および検査対象面１０２と交叉する方向に位置され、検査対象面１０１上に位置されるとともに、検査対象面１０２上にも位置されている。本実施形態では、一例として、光源２は、検査対象面１０１，１０２で共用され、検査対象面１０１，１０２上にそれぞれ設定される線状の検査対象領域Ａ１，Ａ２を照らしている。光源２は、例えば、輝線照射用のレーザ光源等である。

撮像部３１，３２は、図１〜３に示されるように、ライトシートＬＳが沿う方向と交叉する方向（本実施形態では、一例としてＲ方向と鋭角をなす方向）から検査対象領域Ａ１，Ａ２を含む検査対象面１０１，１０２の細長い領域を撮像する。撮像部３１は、検査対象面１０１の検査対象領域Ａ１を撮像し、撮像部３２は、検査対象面１０２の検査対象領域Ａ２を撮像する。図４に示される撮像部３１の視線では、右側が光源２に近い側、左側が光源２から遠い側である。撮像部３１，３２は、例えば、二次元に配列された光電変換素子（光電変換部）を有したエリアセンサ（固体撮像素子、例えば、ＣＣＤ（charge coupled device）イメージセンサや、ＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）イメージセンサ等）である。

ここで、図４を参照して、仮に検査対象面１０１に凹凸（Ｘ方向に沿った凹凸）が無かった場合、検査対象面１０１上の光Ｌ（輝線）は直線状である。しかし、検査対象面１０１が凸部を有していた場合、検査対象面１０１が平面であった場合の光Ｌを基準線ＲＬ（直線、基準位置）とすると、当該凸部に当たった光Ｌは、基準線ＲＬから光源２側（図４の例では右側）にずれる。また、逆に、検査対象面１０１が凹部を有していた場合、当該凹部に当たった光Ｌは、基準線ＲＬから光源２とは反対側（光源２から遠い側、図４の例では左側）にずれる。すなわち、光Ｌの位置（形状、基準線ＲＬからのずれ）によって、検査対象面１０１の凹凸ならびに当該凹凸の程度（凸部の高さ、凹部の深さ、法線方向における位置）を判別することができる。なお、ライトシートＬＳの向きならびに撮像部３１，３２による撮像方向は、種々に設定することが可能である。

移動装置５は、検査対象物１００の検査対象面１０１を、光Ｌ（検査対象領域Ａ）の幅方向（検査対象面１０１，１０２の長手方向、中心軸Ａｘの周方向、図１中のＣ方向、タイヤの周方向）に、略一定の速度で移動させ（搬送し）、検査対象面１０１における検査対象領域Ａ１，Ａ２を移動させる。なお、検査対象物１００が固定され、光源２や撮像部３１，３２等が検査対象面１０１に沿って移動する構成（移動装置５によって動かされる構成）であってもよい。

また、外観検査装置１は、図５に示されるように、制御部４０（例えばＣＰＵ（central processing unit）等）や、ＲＯＭ４１（read only memory）、ＲＡＭ４２（random access memory）、ＳＳＤ４３（solid state drive）、光照射コントローラ４４、撮像コントローラ４５、移動コントローラ４６、表示コントローラ４７等を備えることができる。光照射コントローラ４４は、制御部４０からの制御信号に基づいて、光源２の発光（オン、オフ）等を制御する。撮像コントローラ４５は、制御部４０からの制御信号に基づいて、撮像部３１，３２による撮像を制御する。移動コントローラ４６は、制御部４０から受けた制御信号に基づいて、移動装置５を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。表示コントローラ４７は、制御部４０からの制御信号に基づいて、表示装置６を制御する。また、制御部４０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ４１やＳＳＤ４３等にインストールされた（記憶された）プログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ４２は、制御部４０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図５に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部４０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。

また、本実施形態では、一例として、制御部４０は、ハードウエアとソフトウエア（プログラム）との協働によって、外観検査装置１の少なくとも一部として機能（動作）する。すなわち、図６に示されるように、制御部４０は、光照射制御部４０ａや、撮像制御部４０ｂ、移動制御部４０ｃ、画像処理部４０ｄ（疑似画像データ生成部４０ｄ１，前処理部４０ｄ２，補間処理部４０ｄ３，位相特定部４０ｄ４，異常領域決定部４０ｄ５）、表示制御部４０ｅ等として機能する。光照射制御部４０ａは、光照射コントローラ４４を制御する。撮像制御部４０ｂは、撮像コントローラ４５を制御する。移動制御部４０ｃは、移動コントローラ４６を制御する。画像処理部４０ｄは、撮像部３１，３２が取得した疑似画像データを画像処理する。表示制御部４０ｅは、表示装置６（例えば、ＬＣＤ（liquid crystal display）、ＯＥＬＤ（organic electroluminescent display）等）を制御する。

ここで、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、複数の検査対象領域Ａ１，Ａ２の各点（検査対象領域Ａ１，Ａ２の長手方向の各点）に対応した光Ｌの画像の基準線ＲＬ（基準位置）からのずれに応じて、当該各点での輝度値を決定することにより、二次元の疑似画像データＩｍｖ１，Ｉｍｖ２（図８，９参照）を生成する。一例として、検査対象面１０１に対応した疑似画像データＩｍｖ１（第一の疑似画像データ）の生成に関し、画像処理部４０ｄは、各位置での基準線ＲＬから光源２に近い側（図４では右側）へのずれが大きいほど輝度値を高く設定し（画素を明るくし）、光源２から遠い側（図４では左側）へのずれが大きいほど輝度値を低く設定する（画素を暗くする）。画像処理部４０ｄは、検査対象面１０２に対応した疑似画像データＩｍｖ２（第二の疑似画像データ）についても同様の処理を行う。このような処理により、疑似画像データＩｍｖ１，Ｉｍｖ２は、検査対象領域Ａ１，Ａ２の二次元の外観に近い画像となる。画像処理部４０ｄは、疑似画像データＩｍｖ１，Ｉｍｖ２を生成する疑似画像データ生成部４０ｄ１（第一の疑似画像データ生成部、第二の疑似画像データ生成部）の一例である。疑似画像データＩｍｖ１，Ｉｍｖ２は、検査対象面１０１，１０２の凹凸の状態（大きさや、位置等）を視覚的に判断しやすいという利点を有している。表示制御部４０ｅは、疑似画像データＩｍｖ１が表示されるよう、表示装置６を制御することができる。

また、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄは、撮像された画像から得られた疑似画像データＩｍｖ１，Ｉｍｖ２と、所定の記憶部（例えば、ＳＳＤ４３や、ＲＯＭ４１等）に記憶された基準となる疑似画像データとを比較して、各点の輝度値の差異を取得する。そして、画像処理部４０ｄは、輝度値の差異が所定の閾値と同じかあるいは超えている点（画素）の群（集合、かたまり、領域）の大きさが、所定数（画素数あるいは面積の閾値）と同じかあるいはより多かった場合には、当該領域を異常領域と決定する。なお、疑似画像データＩｍｖ１，Ｉｍｖ２と基準となる疑似画像データとの比較は、輝度値によって二値化処理したデータ同士を比較してもよい。

次に、図７を参照して、本実施形態にかかる外観検査装置１による異常領域の特定処理の一例について説明する。具体的に、制御部４０は、まず、画像処理部４０ｄ（疑似画像データ生成部４０ｄ１）として機能し、複数の検査対象領域Ａ１，Ａ２の各点（画素）についての基準線ＲＬ（基準位置）に対する光Ｌの位置（ずれ）から、当該各点の輝度値を決定し、二次元の疑似画像データＩｍｖ１，Ｉｍｖ２を生成する（ステップＳ１）。このステップＳ１で、画像処理部４０ｄは、一例として、各点の輝度値を、ずれの大きさに応じて線形的に決定することができる。

次に、制御部４０は、画像処理部４０ｄ（前処理部４０ｄ２）として機能し、画像処理の前処理を実行する（ステップＳ２）。前処理としては、例えば、ノイズ除去や、フィルタリング（平滑化）、穴埋め処理等がある。

次に、制御部４０は、画像処理部４０ｄ（補間処理部４０ｄ３）として機能し、輝度値が無い画素（データ欠損領域の画素）について、当該画素の輝度値を、その周囲の画素の輝度値から補間して決定する（ステップＳ３）。一例として、検査対象面１０１，１０２に比較的深い凹部（図示されず）が存在した場合、当該凹部内に形成された線状の光Ｌが、当該凹部の縁に遮られて撮像部３１，３２に入らない場合がある。また、検査対象面１０１，１０２に比較的高い凸部（図示されず）が存在した場合、当該凸部の死角となる領域には光Ｌが到達しない場合がある。このような場合は、対応する画素の輝度値が無い状態となる。輝度値が無いと、疑似画像データの画像処理の演算に支障を来したり、疑似画像データに基づいて表示装置６で表示される画像に、欠損（例えば、黒い領域）が含まれたりすることがある。そこで、ステップＳ３では、このような不都合が生じないように、輝度値が無いデータ欠損領域の画素の輝度値を、その周囲の画素の輝度値から補間する。

次に、制御部４０は、画像処理部４０ｄ（位相特定部４０ｄ４）として機能し、撮像部３２で撮像された検査対象面１０２（タイヤの側面）の画像から、疑似画像データＩｍｖ２（図８参照）の位相、ひいては、疑似画像データＩｍｖ１（図９参照）の位相を特定する（ステップＳ４）。このステップＳ４では、検査対象物１００がタイヤ（例えば自動車等の車両用のタイヤ）である場合、図８に例示されるような、検査対象面１０２（タイヤの側面）に設けられた文字（この例では「Ｙ」）を示す形状（凹凸形状、ロゴ、マーク、印刷、刻印等）に対応した疑似画像データＩｍｃに基づいて、位相を特定することができる。すなわち、画像処理部４０ｄは、疑似画像データＩｍｖ２と、所定の記憶部（例えば、ＳＳＤ４３や、ＲＯＭ４１等）に記憶された基準となる疑似画像データ（基準画像データ、図示されず）とを用いて、パターンマッチング（例えば、テンプレートマッチング）を行う。具体的に、画像処理部４０ｄは、例えば、疑似画像データＩｍｖ２および基準となる疑似画像データのうち少なくとも一方を、検査対象面１０２の長手方向（中心軸Ａｘの周方向、図８中の右方向、図１中のＣ方向、タイヤの周方向）に沿ってずらしながら（位置を変化させながら）、各位置（位相）での相関係数を取得する。そして、画像処理部４０ｄは、相関係数が最も高い位置（位相）を取得する。これにより、画像処理部４０ｄは、疑似画像データＩｍｖ２の位相を特定することができる。疑似画像データＩｍｖ１の取得されたタイミングと疑似画像データＩｍｖ２の取得されたタイミングとは対応付けられている（疑似画像データＩｍｖ１の位相は、疑似画像データＩｍｖ２の位相と同じである）ため、画像処理部４０ｄは、疑似画像データＩｍｖ１の位相も特定することができる。なお、位相は、疑似画像データＩｍｃの重心となる点Ｐｃや、エッジ（端部、角部）となる点Ｐｅの位置を基準として決定されうる。

次に、制御部４０は、画像処理部４０ｄ（異常領域決定部４０ｄ５）として機能し、異常領域を決定する（ステップＳ５）。このステップＳ５では、画像処理部４０ｄは、上述したように、撮像された画像から得られた疑似画像データＩｍｖ１と、所定の記憶部（例えば、ＳＳＤ４３や、ＲＯＭ４１等）に記憶された基準となる疑似画像データとを比較する。このステップＳ５での演算は、ステップＳ４で取得された位相に基づいて、疑似画像データＩｍｖ１と基準となる疑似画像データとの位相が合わせられた状態で行われる。画像処理部４０ｄは、この比較によって各点の輝度値の差異を取得する。そして、画像処理部４０ｄは、輝度値の差異が所定の閾値と同じかあるいは超えている点（画素）の群（集合、かたまり、領域）の大きさが、所定数（画素数あるいは面積の閾値）と同じかあるいはより多かった場合に、当該領域を異常領域と決定する。なお、疑似画像データＩｍｖ１と基準となる疑似画像データとの比較は、輝度値によって二値化処理したデータ同士を比較してもよい。また、画像処理部４０ｄは、疑似画像データＩｍｖ２についても、同様の演算処理を行って、異常領域を特定してもよい。

次いで、制御部４０は、表示制御部４０ｅとして機能し、例えば、図９に示されるように、表示装置６の表示画面６ａに、疑似画像２００や、異常領域を示す画像２０１、位相（位置）を示す数値２０２（角度や、長さ、数値（指標）等、本実施形態では、一例として角度）等が表示されるよう、表示コントローラ４７ひいては表示装置６を制御する（ステップＳ６）。

以上、説明したように、本実施形態では、一例として、画像処理部４０ｄ（位相特定部４０ｄ４）は、疑似画像データＩｍｖ２（第一および第二の疑似画像データのうち一方）から、基準となる疑似画像データＩｍｃを特定することにより、当該一方および他方の、光の移動方向における位相を特定する。よって、本実施形態によれば、一例としては、疑似画像データＩｍｖ１を用いて位相を特定する場合に比べて、より迅速にあるいはより容易に位相を特定することができる場合がある。

また、例えばタイヤのような検査対象物１００を外観検査装置１にセットする際に、検査対象面１０１を高精度に位置合わせする作業を行うと、検査に手間がかかる、すなわち、単位時間あたりに検査できる検査対象物１００の数が減る場合がある。この点、本実施形態では、上記一例として、検査対象面１０２の疑似画像データＩｍｖ２について、基準となる疑似画像データに基づいて、位相（位相差、ずれ）を取得する。よって、本実施形態によれば、一例としては、検査対象物１００を外観検査装置１にセットする際の、位置合わせ作業（位置決め作業）の精度を低くできたり、位置決め作業を無くしたりすることができ、よって、一例としては、検査の手間や、検査に要する時間が減りやすい。

また、本実施形態では、一例として、光源２は、検査対象面１０１（第一の検査対象面）と検査対象面１０２（第二の検査対象面）とに亘るライトシートＬＳを照射する。よって、本実施形態によれば、一例としては、検査対象面１０１，１０２のそれぞれに光源２を設けた場合に比べて、より構成が簡素化されやすい。また、一例としては、検査対象面１０１，１０２のそれぞれに光源２を設けた場合に比べて、光源の設置作業の手間が減りやすい。

また、本実施形態では、一例として、撮像部として、検査対象面１０１（第一の検査対象面）に面した撮像部３１（第一の撮像部）と、検査対象面１０２（第二の検査対象面）に面した撮像部３２（第二の撮像部）と、を備えた。よって、本実施形態によれば、一例としては、検査対象面１０１，１０２の両方を撮像する撮像部を用いた場合に比べて、より容易にあるいはより精度良く、検査対象面１０１，１０２の位相を特定できる場合がある。

また、本実施形態では、一例として、検査対象物１００はタイヤであり、検査対象面１０１（第一の検査対象面）はタイヤの接地面であり、検査対象面１０２（第二の検査対象面）はタイヤの接地面と隣接した側面である。すなわち、本実施形態にかかる外観検査装置１は、一例としては、タイヤの外観検査装置として構成することができる。

また、本実施形態では、一例として、基準となる疑似画像データは、検査対象面１０２（第二の検査対象面）に設けられた文字の画像に対応したデータである。よって、本実施形態によれば、一例としては、タイヤの側面に設けられた文字の画像を利用して、より容易にあるいはより精度良く、検査対象面１０１，１０２の位相を特定できる場合がある。

以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。例えば、文字の画像に替えて、数字の画像や、記号、ロゴ、模様等の画像を用いることができる。また、二つの側面（第二の検査対象面）で位相（位置）を検出した結果に基づいて、接地面（第一の検査対象面）で検出された異常領域の位相（位置）を特定することができる。

また、別の例として、検査対象面に位相を特定する対象となる複数の異なる形状が配置（点在）されている場合には、より迅速に位相を特定することができる。検査対象面に位相を特定する対象となる形状が一つだけ配置されている場合、一周分の撮像が必要となる場合があるが、検査対象面に位相を特定する対象となる複数の異なる形状が配置されている場合には、各形状で位相を特定することができるため、当該形状が一つだけである場合に比べて、位相の特定に要する時間が短くなりやすい。

１…外観検査装置、２…光源（光照射部）、３１…撮像部（第一の撮像部）、３２…撮像部（第二の撮像部）、４０ｄ１…疑似画像データ生成部（第一の疑似画像データ生成部、第二の疑似画像データ生成部）、４０ｄ４…位相特定部、４０ｄ５…異常領域決定部、１００…検査対象物、１０１…検査対象面（第一の検査対象面、接地面）、１０２…検査対象面（第二の検査対象面、側面）、２０１…（異常領域の）画像、Ａ１…検査対象領域（照射位置）、Ａ２…検査対象領域（照射位置）、Ｉｍｃ…（基準となる）疑似画像データ、ＬＳ…ライトシート、Ｌ…（線状の）光。

Claims (5)

1. ライトシートによって照らされることで、検査対象物の第一の検査対象面と、当該第一の検査対象面と交叉した前記検査対象物の第二の検査対象面と、に亘って形成された一連の線状の光であって、前記第一の検査対象面および前記第二の検査対象面における照射位置が移動する光を、当該照射位置に対して固定された位置から撮像した画像を、順次取得する撮像部と、
   前記第一の検査対象面で二次元に離散化された各点に対応した前記線状の光の画像のずれに基づいて前記各点での輝度値を決定して、二次元の第一の疑似画像データを生成する第一の疑似画像データ生成部と、
   前記第二の検査対象面で二次元に離散化された各点に対応した前記線状の光の画像のずれに基づいて前記各点での輝度値を決定して、二次元の第二の疑似画像データを生成する第二の疑似画像データ生成部と、
   前記第一の疑似画像データおよび前記第二の疑似画像データのうち一方から、基準となる疑似画像データを特定することにより、当該一方および他方の、前記光の移動方向における位相を特定する位相特定部と、
   前記位相特定部によって特定された位相に基づいて前記第一の疑似画像データおよび前記第二の疑似画像データのうち他方を画像処理して当該他方での異常領域を決定する異常領域決定部と、
   を備えた、外観検査装置。
2. 前記第一の検査対象面の前記第二の検査対象面から離れた第一端部と前記第二の検査対象面の前記第一の検査対象面から離れた第二端部とに亘るライトシートを照射する光照射部と、
   前記撮像部としての前記第一の検査対象面に面した第一の撮像部および前記第二の検査対象面に面した第二の撮像部と、
   を備えた、請求項１に記載の外観検査装置。
3. 前記検査対象物はタイヤであり、前記第一の検査対象面は前記タイヤの接地面であり、前記第二の検査対象面は前記タイヤの前記接地面と隣接した側面である、請求項１または２に記載の外観検査装置。
4. 前記基準となる疑似画像データは、前記側面に設けられた文字の画像に対応したデータである、請求項３に記載の外観検査装置。
5. 外観検査装置を構成するコンピュータが、
   ライトシートによって照らされることで、検査対象物の第一の検査対象面と、当該第一の検査対象面と交叉した前記検査対象物の第二の検査対象面と、に亘って形成された一連の線状の光であって、前記第一の検査対象面および前記第二の検査対象面における照射位置が移動する光を、当該照射位置に対して固定された位置から撮像した画像を、順次取得するステップと、
   前記第一の検査対象面で二次元に離散化された各点に対応した前記線状の光の画像のずれに基づいて前記各点での輝度値を決定して、二次元の第一の疑似画像データを生成するステップと、
   前記第二の検査対象面で二次元に離散化された各点に対応した前記線状の光の画像のずれに基づいて前記各点での輝度値を決定して、二次元の第二の疑似画像データを生成するステップと、
   前記第一の疑似画像データおよび前記第二の疑似画像データのうち一方から、基準となる疑似画像データを特定することにより、当該一方および他方の、前記光の移動方向における位相を特定するステップと、
   特定された前記位相に基づいて前記第一の疑似画像データおよび前記第二の疑似画像データのうち他方を画像処理して当該他方での異常領域を決定するステップと、
   を実行する、外観検査方法。

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