JP5651054B2 - 被計測体の表面異常識別装置 - Google Patents
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- 高温の被計測体から得られる輻射光を輻射光撮像部により、前記被計測体が一定角度回転される毎に撮像して得た複数の輻射光画像を合成して、合成輻射光画像を作成する画像合成部と、
前記合成輻射光画像から所定領域を抽出して、撮像中の前記被計測体の温度低下に基づく前記所定領域の画像の輝度変化を補正する第1輝度補正部と、
前記補正した所定領域の画像から輝度が所定基準値以下である所定暗部を検出し、該所定暗部を前記被計測体の表面異常と判定する異常判定部と、
を備えることを特徴とする被計測体の表面異常識別装置。 - 前記被計測体の形状又は位置に基づく前記所定領域の画像の輝度変化を補正する第2輝度補正部を備え、
前記異常判定部は、前記第1及び第2輝度補正部によって補正した所定領域の画像から輝度が所定基準値以下である所定暗部を検出し、前記所定暗部を前記被計測体の表面異常と判定することを特徴とする請求項1記載の被計測体の表面異常識別装置。 - 前記所定領域の抽出範囲は、前記合成輻射光画像から得られるエッジ画像のエッジ箇所に基づいて決定されることを特徴とする請求項1又は2記載の被計測体の表面異常識別装置。
- 前記被計測体から得られる輻射光を撮像する輻射光撮像部と、
前記被計測体から得られる輻射光のピーク波長と異なるレーザ光を前記被計測体に投光するレーザ光源と、
前記被計測体に投光されたレーザ光の反射光を受光する反射光撮像部と、
前記反射光撮像部により受光して得た反射光データに基づいて、前記被計測体の形状を算出する形状算出部と、を備え、
前記レーザ光源の投光方向は、前記輻射光撮像部の撮像方向と一致することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の被計測体の表面異常識別装置。
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