JP6295864B2 - ガスバリア性フィルムおよびその製造方法、ならびにこれを用いた電子デバイス - Google Patents

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JP3307471B2 (ja) * 1993-02-24 2002-07-24 東燃ゼネラル石油株式会社 セラミックコーティング用組成物及びコーティング方法
JP3385060B2 (ja) * 1993-04-20 2003-03-10 東燃ゼネラル石油株式会社 珪素−窒素−酸素−（炭素）−金属系セラミックス被覆膜の形成方法
JP3370408B2 (ja) * 1993-12-28 2003-01-27 東燃ゼネラル石油株式会社 セラミックコーティングの製造方法
KR101489618B1 (ko) * 2009-03-17 2015-02-04 린텍 가부시키가이샤 성형체, 그 제조 방법, 전자 디바이스 부재 및 전자 디바이스
JP5533585B2 (ja) * 2010-11-18 2014-06-25 コニカミノルタ株式会社 ガスバリアフィルムの製造方法、ガスバリアフィルム及び電子機器
JP5857452B2 (ja) * 2011-06-03 2016-02-10 コニカミノルタ株式会社 バリアーフィルムの製造方法
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