JP6295560B2 - 導電材料の充填方法および導電材料充填装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態では、多層基板(例えば、PALAP(登録商標))を製造する際に行われる導電ペーストの充填方法および導電材料充填装置について説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して、貫通ビア11に第1、第2導電ペーストを充填するものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
11 貫通ビア
100 導電材料充填装置
170 下側マスク
173 貫通孔
180 吸着シート
200 上側マスク
203 貫通孔
Claims (4)
- シート材(10)を貫通する複数の貫通ビア(11)内に、金属粉末と溶剤とを含む導電材料(2)を充填する導電材料の充填方法であって、
前記シート材に一面(10a)と前記一面と反対側の他面(10b)との間を貫通する前記複数の貫通ビアを形成する工程と、
前記シート材の一面側に、前記貫通ビアと連通する貫通孔(203)が形成された上側マスク(200)を配置すると共に、前記シート材の他面側に、前記溶剤を吸着する溶剤吸着シート(180)、前記上側マスクに形成された前記貫通孔と対応する部分に貫通孔(173)が形成された下側マスク(170)を順に配置し、前記下側マスク、前記溶剤吸着シート、前記シート材、前記上側マスクを機械的に固定する固定工程と、
前記シート材の他面側から前記下側マスクに形成された前記貫通孔を通して前記貫通ビア内を吸引しつつ、前記シート材の一面側から前記上側マスクに形成された前記貫通孔を介して前記貫通ビア内に前記導電材料を充填する充填工程と、を行い、
前記下側マスク、前記溶剤吸着シート、前記シート材、前記上側マスクとして、それぞれ所定箇所に位置決め用の孔が形成されたものを用意し、
前記固定工程では、前記下側マスク、前記溶剤吸着シート、前記シート材、前記上側マスクにおけるそれぞれの前記位置決め用の孔にピンを挿入することにより、前記下側マスク、前記溶剤吸着シート、前記シート材、前記上側マスクを機械的に固定し、
前記充填工程では、前記貫通ビア内を吸引することで前記溶剤吸着シートに溶剤を吸着し、前記導電材料を濃縮することで前記金属粉末の充填率を高くし、
前記固定工程と前記充填工程とを繰り返し行い、
初めの第1固定工程では、前記シート材に形成された前記複数の貫通ビアの一部と連通する貫通孔(203a)が形成された前記上側マスクとしての第1上側マスク(200a)を用いると共に、前記第1上側マスクに形成された前記貫通孔と対応する部分に貫通孔(173a)が形成された前記下側マスクとしての第1下側マスク(170a)を用い、
初めの第1充填工程では、前記第1上側マスクに形成された前記貫通孔と連通する前記貫通ビア内に前記導電材料としての第1導電材料(2a)を充填し、
前記第1充填工程の後の第2固定工程では、前記シート材に形成された前記複数の貫通ビアの残部と連通する貫通孔(203b)が形成された前記上側マスクとしての第2上側マスク(200b)を用いると共に、前記第2上側マスクに形成された前記貫通孔と対応する部分に貫通孔(173b)が形成された前記下側マスクとしての第2下側マスク(170b)を用い、
前記第2固定工程の後の第2充填工程では、前記第2上側マスクに形成された前記貫通孔と連通する前記貫通ビア内に、前記第1導電材料に含まれる金属粉末と異なる金属粉末を含む前記導電材料としての第2導電材料(2b)を充填することを特徴とする導電材料の充填方法。 - 前記シート材の一面に対する法線方向から前記シート材および前記下側マスクを視たとき、前記下側マスクに形成された前記貫通孔における前記シート材側の開口端は、前記シート材に形成された前記貫通ビアにおける前記下側マスク側の開口端の内側に位置していることを特徴とする請求項1に記載の導電材料の充填方法。
- 前記シート材の一面に対する法線方向から前記シート材および前記下側マスクを視たとき、前記シート材に形成された前記貫通ビアにおける前記下側マスク側の開口端は、前記下側マスクに形成された前記貫通孔における前記シート材側の開口端の内側に位置していることを特徴とする請求項1に記載の導電材料の充填方法。
- シート材(10)を貫通する複数の貫通ビア(11)内に、金属粉末と溶剤とを含む導電材料(2)を充填する導電材料充填装置であって、
凹部(152)が形成されると共に、前記凹部の内部と外部とを連通する貫通孔(153)が形成され、さらにピンが備えられた下側ベース部(151)と、
前記凹部を閉塞するように前記下側ベース部に固定され、前記凹部と連通する貫通孔(173)が形成されていると共に、前記ピンが挿入される位置決め用の孔が形成された下側マスク(170)と、
前記シート材を挟んで前記下側マスクと反対側に配置され、貫通孔(203)が形成されていると共に、前記ピンが挿入される位置決め用の孔が形成された上側マスク(200)と、
前記上側マスクが固定されると共に、前記上側マスクが前記下側マスクと対向するように前記下側ベース部に固定される上側ベース部(191)と、
前記導電材料を前記貫通ビア内に充填する充填ヘッド(110)と、
前記充填ヘッドを前記シート材の面方向における所定方向に移動させる送り機構(230)と、を備え、
前記上側ベース部と前記下側ベース部とは、前記下側マスク上に溶剤を吸着すると共に位置決め用の孔が形成された溶剤吸着シート(180)および位置決め用の孔が形成された前記シート材が順に配置されると共に、前記ピンが前記下側マスク、前記溶剤吸着シート、前記シート材、前記上側マスクにそれぞれ形成された前記位置決め用の孔に挿入され、前記溶剤吸着シートおよび前記シート材が前記下側マスクおよび前記上側マスクにて挟持されることで前記下側マスク、前記溶剤吸着シート、前記シート材、前記上側マスクが機械的に固定されるように一体化され、
前記上側マスクに形成された前記貫通孔は、前記貫通ビアと連通するように形成され、
前記下側マスクに形成された前記貫通孔は、前記上側マスクに形成された前記貫通孔と対応する部分に形成され、
前記充填ヘッドにて前記貫通ビア内に前記導電材料を充填する際、前記下側ベース部に形成された前記貫通孔および前記下側マスクに形成された前記貫通孔を通して前記シート材に形成された前記貫通ビア内を吸引することで前記溶剤を前記溶剤吸着シートに吸着させ、前記導電材料を濃縮することで前記金属粉末の充填率を高くする吸引部(160)を有することを特徴とする導電材料充填装置。
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