JP6292333B2 - 太陽電池 - Google Patents
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- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 154
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 151
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 120
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 97
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 89
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 87
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 76
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 71
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 68
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 60
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 60
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 42
- DVRDHUBQLOKMHZ-UHFFFAOYSA-N chalcopyrite Chemical group [S-2].[S-2].[Fe+2].[Cu+2] DVRDHUBQLOKMHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 claims description 28
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 claims description 24
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 20
- 125000005549 heteroarylene group Chemical group 0.000 claims description 20
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 20
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 13
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 8
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 547
- -1 nitrogen-containing compound Chemical class 0.000 description 231
- 239000010408 film Substances 0.000 description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 description 77
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 52
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 49
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 48
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 48
- 239000000463 material Substances 0.000 description 43
- DKVNPHBNOWQYFE-UHFFFAOYSA-N carbamodithioic acid Chemical group NC(S)=S DKVNPHBNOWQYFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 39
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 37
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 36
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 30
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 30
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 26
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 23
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 23
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 23
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 229910052951 chalcopyrite Inorganic materials 0.000 description 22
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 22
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 22
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 21
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 21
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 20
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 19
- 125000001391 thioamide group Chemical group 0.000 description 19
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 18
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 17
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 17
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 15
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 15
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 15
- 125000000714 pyrimidinyl group Chemical group 0.000 description 15
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 14
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 14
- 125000002993 cycloalkylene group Chemical group 0.000 description 13
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical compound C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 12
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 11
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 11
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 11
- 125000001302 tertiary amino group Chemical group 0.000 description 11
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 10
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 125000004076 pyridyl group Chemical group 0.000 description 10
- BPMFPOGUJAAYHL-UHFFFAOYSA-N 9H-Pyrido[2,3-b]indole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=N1 BPMFPOGUJAAYHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical group 0.000 description 9
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 9
- 125000006365 alkylene oxy carbonyl group Chemical group 0.000 description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 9
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 8
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 8
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 8
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 7
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 7
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 7
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 7
- RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1Cl RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 0 CC1C=CC=**C1c(cccc1)c1-c(cc1)cc(c2ncccc22)c1[n]2-c(cc1)cc2c1[o]c(c(C)c1)c2cc1-[n](c(cc1)c2cc1-c(cccc1)c1-c1ccccn1)c1c2nccc1 Chemical compound CC1C=CC=**C1c(cccc1)c1-c(cc1)cc(c2ncccc22)c1[n]2-c(cc1)cc2c1[o]c(c(C)c1)c2cc1-[n](c(cc1)c2cc1-c(cccc1)c1-c1ccccn1)c1c2nccc1 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 6
- 125000005529 alkyleneoxy group Chemical group 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 description 6
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 6
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 6
- 125000000467 secondary amino group Chemical group [H]N([*:1])[*:2] 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K tripotassium phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])([O-])=O LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 235000002597 Solanum melongena Nutrition 0.000 description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 5
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 description 5
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N isonitrile group Chemical group N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 5
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 5
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 5
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 5
- 125000000383 tetramethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 5
- NONOKGVFTBWRLD-UHFFFAOYSA-N thioisocyanate group Chemical group S(N=C=O)N=C=O NONOKGVFTBWRLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 125000003258 trimethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 5
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 239000012074 organic phase Substances 0.000 description 4
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 4
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 4
- UNILWMWFPHPYOR-KXEYIPSPSA-M 1-[6-[2-[3-[3-[3-[2-[2-[3-[[2-[2-[[(2r)-1-[[2-[[(2r)-1-[3-[2-[2-[3-[[2-(2-amino-2-oxoethoxy)acetyl]amino]propoxy]ethoxy]ethoxy]propylamino]-3-hydroxy-1-oxopropan-2-yl]amino]-2-oxoethyl]amino]-3-[(2r)-2,3-di(hexadecanoyloxy)propyl]sulfanyl-1-oxopropan-2-yl Chemical compound O=C1C(SCCC(=O)NCCCOCCOCCOCCCNC(=O)COCC(=O)N[C@@H](CSC[C@@H](COC(=O)CCCCCCCCCCCCCCC)OC(=O)CCCCCCCCCCCCCCC)C(=O)NCC(=O)N[C@H](CO)C(=O)NCCCOCCOCCOCCCNC(=O)COCC(N)=O)CC(=O)N1CCNC(=O)CCCCCN\1C2=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C2CC/1=C/C=C/C=C/C1=[N+](CC)C2=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C2C1 UNILWMWFPHPYOR-KXEYIPSPSA-M 0.000 description 3
- 125000004105 2-pyridyl group Chemical group N1=C([*])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 3
- LTUUGSGSUZRPRV-UHFFFAOYSA-N 6-methylpyridine-2-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC=CC(C(O)=O)=N1 LTUUGSGSUZRPRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 3
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000641 acridinyl group Chemical group C1(=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3C=C12)* 0.000 description 3
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 125000006294 amino alkylene group Chemical group 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O ammonium group Chemical group [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000000609 carbazolyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 238000009388 chemical precipitation Methods 0.000 description 3
- 229940125904 compound 1 Drugs 0.000 description 3
- 229940125810 compound 20 Drugs 0.000 description 3
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 125000002933 cyclohexyloxy group Chemical group C1(CCCCC1)O* 0.000 description 3
- 239000000412 dendrimer Substances 0.000 description 3
- 229920000736 dendritic polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 3
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 125000003983 fluorenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3CC12)* 0.000 description 3
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 3
- 125000002541 furyl group Chemical group 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JAXFJECJQZDFJS-XHEPKHHKSA-N gtpl8555 Chemical compound OC(=O)C[C@H](N)C(=O)N[C@@H](CCC(O)=O)C(=O)N[C@@H](C(C)C)C(=O)N[C@@H](C(C)C)C(=O)N1CCC[C@@H]1C(=O)N[C@H](B1O[C@@]2(C)[C@H]3C[C@H](C3(C)C)C[C@H]2O1)CCC1=CC=C(F)C=C1 JAXFJECJQZDFJS-XHEPKHHKSA-N 0.000 description 3
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 3
- 125000003707 hexyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 3
- 229920000587 hyperbranched polymer Polymers 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 3
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- 125000005447 octyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 125000004115 pentoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 3
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000160 potassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- 235000011009 potassium phosphates Nutrition 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 125000002572 propoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 3
- 125000003373 pyrazinyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000003226 pyrazolyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000005551 pyridylene group Chemical group 0.000 description 3
- XSCHRSMBECNVNS-UHFFFAOYSA-N quinoxaline Chemical compound N1=CC=NC2=CC=CC=C21 XSCHRSMBECNVNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000010898 silica gel chromatography Methods 0.000 description 3
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 3
- 125000001544 thienyl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 3
- BYEAHWXPCBROCE-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropan-2-ol Chemical compound FC(F)(F)C(O)C(F)(F)F BYEAHWXPCBROCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 1-benzothiophene Chemical compound C1=CC=C2SC=CC2=C1 FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ASSKVPFEZFQQNQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzoxazolinone Chemical compound C1=CC=C2OC(O)=NC2=C1 ASSKVPFEZFQQNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PGFIHORVILKHIA-UHFFFAOYSA-N 2-bromopyrimidine Chemical compound BrC1=NC=CC=N1 PGFIHORVILKHIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NSBVOLBUJPCPFH-UHFFFAOYSA-N 5h-pyrido[3,2-b]indole Chemical compound C1=CN=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 NSBVOLBUJPCPFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BZHCVCNZIJZMRN-UHFFFAOYSA-N 9h-pyridazino[3,4-b]indole Chemical group N1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=N1 BZHCVCNZIJZMRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N Indole Chemical compound C1=CC=C2NC=CC2=C1 SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 description 2
- KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N Pyrazine Chemical compound C1=CN=CC=N1 KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical group C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNUFLCYMSVYYNW-ZPJMAFJPSA-N [(2r,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6r)-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-6-[[(3s,5s,8r,9s,10s,13r,14s,17r)-10,13-dimethyl-17-[(2r)-6-methylheptan-2-yl]-2,3,4,5,6,7,8,9,11,12,14,15,16,17-tetradecahydro-1h-cyclopenta[a]phenanthren-3-yl]oxy]-4,5-disulfo Chemical compound O([C@@H]1[C@@H](COS(O)(=O)=O)O[C@@H]([C@@H]([C@H]1OS(O)(=O)=O)OS(O)(=O)=O)O[C@@H]1[C@@H](COS(O)(=O)=O)O[C@@H]([C@@H]([C@H]1OS(O)(=O)=O)OS(O)(=O)=O)O[C@@H]1[C@@H](COS(O)(=O)=O)O[C@H]([C@@H]([C@H]1OS(O)(=O)=O)OS(O)(=O)=O)O[C@@H]1C[C@@H]2CC[C@H]3[C@@H]4CC[C@@H]([C@]4(CC[C@@H]3[C@@]2(C)CC1)C)[C@H](C)CCCC(C)C)[C@H]1O[C@H](COS(O)(=O)=O)[C@@H](OS(O)(=O)=O)[C@H](OS(O)(=O)=O)[C@H]1OS(O)(=O)=O LNUFLCYMSVYYNW-ZPJMAFJPSA-N 0.000 description 2
- ABRVLXLNVJHDRQ-UHFFFAOYSA-N [2-pyridin-3-yl-6-(trifluoromethyl)pyridin-4-yl]methanamine Chemical compound FC(C1=CC(=CC(=N1)C=1C=NC=CC=1)CN)(F)F ABRVLXLNVJHDRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004062 acenaphthenyl group Chemical group C1(CC2=CC=CC3=CC=CC1=C23)* 0.000 description 2
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N acridine Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004397 aminosulfonyl group Chemical group NS(=O)(=O)* 0.000 description 2
- 125000005428 anthryl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C([H])=C3C(*)=C([H])C([H])=C([H])C3=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 2
- 239000008346 aqueous phase Substances 0.000 description 2
- 125000006615 aromatic heterocyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical group 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003828 azulenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003785 benzimidazolyl group Chemical group N1=C(NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 2
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001164 benzothiazolyl group Chemical group S1C(=NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 2
- 125000004106 butoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 2
- CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N cadmium oxide Inorganic materials [Cd]=O CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 2
- GNVMUORYQLCPJZ-UHFFFAOYSA-N carbamothioic s-acid Chemical group NC(S)=O GNVMUORYQLCPJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003917 carbamoyl group Chemical group [H]N([H])C(*)=O 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229940125773 compound 10 Drugs 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N cyclopentadiene Chemical compound C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 2
- 125000006612 decyloxy group Chemical group 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- TXCDCPKCNAJMEE-UHFFFAOYSA-N dibenzofuran Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3OC2=C1 TXCDCPKCNAJMEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IYYZUPMFVPLQIF-UHFFFAOYSA-N dibenzothiophene Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3SC2=C1 IYYZUPMFVPLQIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002147 dimethylamino group Chemical group [H]C([H])([H])N(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 125000005446 heptyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 2
- 125000003454 indenyl group Chemical group C1(C=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001041 indolyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002510 isobutoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])O* 0.000 description 2
- AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N isoquinoline Chemical compound C1=NC=CC2=CC=CC=C21 AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002183 isoquinolinyl group Chemical group C1(=NC=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 2
- ZLVXBBHTMQJRSX-VMGNSXQWSA-N jdtic Chemical compound C1([C@]2(C)CCN(C[C@@H]2C)C[C@H](C(C)C)NC(=O)[C@@H]2NCC3=CC(O)=CC=C3C2)=CC=CC(O)=C1 ZLVXBBHTMQJRSX-VMGNSXQWSA-N 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- DLEDOFVPSDKWEF-UHFFFAOYSA-N lithium butane Chemical compound [Li+].CCC[CH2-] DLEDOFVPSDKWEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 2
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 description 2
- MZRVEZGGRBJDDB-UHFFFAOYSA-N n-Butyllithium Substances [Li]CCCC MZRVEZGGRBJDDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000006611 nonyloxy group Chemical group 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 125000002971 oxazolyl group Chemical group 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 125000004817 pentamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 2
- 125000005005 perfluorohexyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 2
- 125000005007 perfluorooctyl group Chemical group FC(C(C(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)* 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 125000005561 phenanthryl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000951 phenoxy group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(O*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 125000004592 phthalazinyl group Chemical group C1(=NN=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229910052699 polonium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 125000001725 pyrenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002098 pyridazinyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002294 quinazolinyl group Chemical group N1=C(N=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 2
- 125000001567 quinoxalinyl group Chemical group N1=C(C=NC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 2
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 2
- MFRIHAYPQRLWNB-UHFFFAOYSA-N sodium tert-butoxide Chemical compound [Na+].CC(C)(C)[O-] MFRIHAYPQRLWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M sodium;chloride;hydrate Chemical class O.[Na+].[Cl-] HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000475 sulfinyl group Chemical group [*:2]S([*:1])=O 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004213 tert-butoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(O*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000335 thiazolyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004306 triazinyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000876 trifluoromethoxy group Chemical group FC(F)(F)O* 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- HUWSZNZAROKDRZ-RRLWZMAJSA-N (3r,4r)-3-azaniumyl-5-[[(2s,3r)-1-[(2s)-2,3-dicarboxypyrrolidin-1-yl]-3-methyl-1-oxopentan-2-yl]amino]-5-oxo-4-sulfanylpentane-1-sulfonate Chemical compound OS(=O)(=O)CC[C@@H](N)[C@@H](S)C(=O)N[C@@H]([C@H](C)CC)C(=O)N1CCC(C(O)=O)[C@H]1C(O)=O HUWSZNZAROKDRZ-RRLWZMAJSA-N 0.000 description 1
- 125000004209 (C1-C8) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- CSUFEOXMCRPQBB-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrafluoropropan-1-ol Chemical group CC(F)(F)C(O)(F)F CSUFEOXMCRPQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KANAPVJGZDNSCZ-UHFFFAOYSA-N 1,2-benzothiazole 1-oxide Chemical compound C1=CC=C2S(=O)N=CC2=C1 KANAPVJGZDNSCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXTZUUVTGMDXNG-UHFFFAOYSA-N 1,2-benzoxazine-3,4-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=O)NOC2=C1 UXTZUUVTGMDXNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTZQTRPPVKQPFO-UHFFFAOYSA-N 1,2-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2C=NOC2=C1 KTZQTRPPVKQPFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005918 1,2-dimethylbutyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004815 1,2-dimethylethylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([*:2])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002030 1,2-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:1])=C([*:2])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 1,3-Diphenylbenzene Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OC=NC2=C1 BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SFPQFQUXAJOWNF-UHFFFAOYSA-N 1,3-diiodobenzene Chemical compound IC1=CC=CC(I)=C1 SFPQFQUXAJOWNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001989 1,3-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:1])=C([H])C([*:2])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000001140 1,4-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:2])=C([H])C([H])=C1[*:1] 0.000 description 1
- RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 1-naphthylamine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=CC2=C1 RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006017 1-propenyl group Chemical group 0.000 description 1
- JINXYLZMLZNPAR-UHFFFAOYSA-N 1-sulfanylidene-1,3-benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2S(=S)C=NC2=C1 JINXYLZMLZNPAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BAXOFTOLAUCFNW-UHFFFAOYSA-N 1H-indazole Chemical compound C1=CC=C2C=NNC2=C1 BAXOFTOLAUCFNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MREIFUWKYMNYTK-UHFFFAOYSA-N 1H-pyrrole Chemical group C=1C=CNC=1.C=1C=CNC=1 MREIFUWKYMNYTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFAYWAUCHUMJMH-UHFFFAOYSA-N 1h-pyrimidine-4,6-dione Chemical compound O=C1CC(=O)N=CN1 HFAYWAUCHUMJMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDQJTWBNWQABLE-UHFFFAOYSA-N 1h-quinazoline-2,4-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NC(=O)NC2=C1 SDQJTWBNWQABLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEYDZHNIIMENOB-UHFFFAOYSA-N 2,6-dibromopyridine Chemical compound BrC1=CC=CC(Br)=N1 FEYDZHNIIMENOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFCZRCPQBWIXTR-UHFFFAOYSA-N 2,8-dibromodibenzofuran Chemical compound C1=C(Br)C=C2C3=CC(Br)=CC=C3OC2=C1 UFCZRCPQBWIXTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004974 2-butenyl group Chemical group C(C=CC)* 0.000 description 1
- YEDUAINPPJYDJZ-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxybenzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SC(O)=NC2=C1 YEDUAINPPJYDJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006024 2-pentenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001494 2-propynyl group Chemical group [H]C#CC([H])([H])* 0.000 description 1
- AGIJRRREJXSQJR-UHFFFAOYSA-N 2h-thiazine Chemical group N1SC=CC=C1 AGIJRRREJXSQJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BIRGXTCAZOKDQE-UHFFFAOYSA-N 3,4-dichloro-2-pyridin-2-ylpyridine Chemical compound ClC1=CC=NC(C=2N=CC=CC=2)=C1Cl BIRGXTCAZOKDQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOLORTLGFDVFDW-UHFFFAOYSA-N 3-(1h-benzimidazol-2-yl)-7-(diethylamino)chromen-2-one Chemical compound C1=CC=C2NC(C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=NC2=C1 GOLORTLGFDVFDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 3-(oxolan-2-yl)propanoic acid Chemical compound OC(=O)CCC1CCCO1 WUPHOULIZUERAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004337 3-ethylpentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(C([H])([H])C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003542 3-methylbutan-2-yl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000003349 3-pyridyl group Chemical group N1=C([H])C([*])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- SLHKDOGTVUCXKX-UHFFFAOYSA-N 4,4'-biphenyldiboronic acid Chemical compound C1=CC(B(O)O)=CC=C1C1=CC=C(B(O)O)C=C1 SLHKDOGTVUCXKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZKGFGLOQNSMBS-UHFFFAOYSA-N 4,5,6-trichlorotriazine Chemical compound ClC1=NN=NC(Cl)=C1Cl LZKGFGLOQNSMBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000339 4-pyridyl group Chemical group N1=C([H])C([H])=C([*])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- HQQTZCPKNZVLFF-UHFFFAOYSA-N 4h-1,2-benzoxazin-3-one Chemical compound C1=CC=C2ONC(=O)CC2=C1 HQQTZCPKNZVLFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BKYWEUVIGUEMFX-UHFFFAOYSA-N 4h-dithieno[3,2-a:2',3'-d]pyrrole Chemical compound S1C=CC2=C1NC1=C2SC=C1 BKYWEUVIGUEMFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XFJBGINZIMNZBW-CRAIPNDOSA-N 5-chloro-2-[4-[(1r,2s)-2-[2-(5-methylsulfonylpyridin-2-yl)oxyethyl]cyclopropyl]piperidin-1-yl]pyrimidine Chemical compound N1=CC(S(=O)(=O)C)=CC=C1OCC[C@H]1[C@@H](C2CCN(CC2)C=2N=CC(Cl)=CN=2)C1 XFJBGINZIMNZBW-CRAIPNDOSA-N 0.000 description 1
- NJIAKNWTIVDSDA-FQEVSTJZSA-N 7-[4-(1-methylsulfonylpiperidin-4-yl)phenyl]-n-[[(2s)-morpholin-2-yl]methyl]pyrido[3,4-b]pyrazin-5-amine Chemical compound C1CN(S(=O)(=O)C)CCC1C1=CC=C(C=2N=C(NC[C@H]3OCCNC3)C3=NC=CN=C3C=2)C=C1 NJIAKNWTIVDSDA-FQEVSTJZSA-N 0.000 description 1
- KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 7H-purine Chemical group N1=CNC2=NC=NC2=C1 KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDALETGZDYOOGB-UHFFFAOYSA-N Acridone Natural products C1=C(O)C=C2N(C)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=C1O GDALETGZDYOOGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002696 Ag-Au Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002708 Au–Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHTFURNNHQLOFC-UHFFFAOYSA-N C(C(C=C1c2ncccc22)c(cc3)cc4c3[o]c3c4cccc3-[n](c(cc3)c4cc3-c(cccc3)c3-c3ncccc3)c3c4nccc3)C=C1N2c1ccccc1 Chemical compound C(C(C=C1c2ncccc22)c(cc3)cc4c3[o]c3c4cccc3-[n](c(cc3)c4cc3-c(cccc3)c3-c3ncccc3)c3c4nccc3)C=C1N2c1ccccc1 DHTFURNNHQLOFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRJSBIBBFDUCQN-UHFFFAOYSA-N C(C1c2cc(-c3ccccn3)c(-c3ccccn3)c(-c3ccccn3)c2SC11)C(c2ncccc2)C(c2ncccc2)=C1c1ncccc1 Chemical compound C(C1c2cc(-c3ccccn3)c(-c3ccccn3)c(-c3ccccn3)c2SC11)C(c2ncccc2)C(c2ncccc2)=C1c1ncccc1 QRJSBIBBFDUCQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YUCKOXMABNNZCD-UHFFFAOYSA-N C1C=CC(c(c(-c2cncnc2)cc(-c(cc2-c3cncnc3)cc(-c3cncnc3)c2-c2ccccn2)c2)c2-c2cncnc2)=NC1 Chemical compound C1C=CC(c(c(-c2cncnc2)cc(-c(cc2-c3cncnc3)cc(-c3cncnc3)c2-c2ccccn2)c2)c2-c2cncnc2)=NC1 YUCKOXMABNNZCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKIDREFQTCUSQP-UHFFFAOYSA-N C1C=CC(c(cc(C(C(C=C2)S3)C=C2[n](c(cccc2)c2c2c4)c2ccc4-c(cccc2)c2-c2ncccc2)c3c2)c2-c2ccccn2)=NC1 Chemical compound C1C=CC(c(cc(C(C(C=C2)S3)C=C2[n](c(cccc2)c2c2c4)c2ccc4-c(cccc2)c2-c2ncccc2)c3c2)c2-c2ccccn2)=NC1 OKIDREFQTCUSQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCBCXLWGZOPKCB-UHFFFAOYSA-N C1C=CC=NC1c(c(-c1ncccc1)c1)cc2c1[s]c(cc1)c2cc1-[n]1c(ccc(-c(cccc2)c2-c2ccccn2)c2)c2c2cc(-c3ccccc3-c3ncccc3)ccc12 Chemical compound C1C=CC=NC1c(c(-c1ncccc1)c1)cc2c1[s]c(cc1)c2cc1-[n]1c(ccc(-c(cccc2)c2-c2ccccn2)c2)c2c2cc(-c3ccccc3-c3ncccc3)ccc12 WCBCXLWGZOPKCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQLFFDRDRFUSIT-UHFFFAOYSA-N C1CC(c2cc(C(C=CC34)=CC3c3cc(-c5cc(-c6ncccc6)ccc5)ccc3N4c3cccc(-[n](c(ccc(-c4cc(-c5ccccn5)ccc4)c4)c4c4c5)c4ccc5-c4cccc(-c5ncccc5)c4)c3)ccc2)=NCC1 Chemical compound C1CC(c2cc(C(C=CC34)=CC3c3cc(-c5cc(-c6ncccc6)ccc5)ccc3N4c3cccc(-[n](c(ccc(-c4cc(-c5ccccn5)ccc4)c4)c4c4c5)c4ccc5-c4cccc(-c5ncccc5)c4)c3)ccc2)=NCC1 YQLFFDRDRFUSIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAKCCJYSOLWGNK-IAIJRPJWSA-N C=C/C=C\C=C(\c1ccccc1-c(cc1)cc(c2ccccc22)c1[n]2-c(cc1)cc2c1OC1C=C(c3ncccc3)C(c3ncccc3)=CC21)/N Chemical compound C=C/C=C\C=C(\c1ccccc1-c(cc1)cc(c2ccccc22)c1[n]2-c(cc1)cc2c1OC1C=C(c3ncccc3)C(c3ncccc3)=CC21)/N LAKCCJYSOLWGNK-IAIJRPJWSA-N 0.000 description 1
- PUUZEDFYIBKTRM-UHFFFAOYSA-N CC1=CC(N(C(CC2)=CC=C2c(cc2)ccc2N(c2ccccc2)c2cccc(C)c2)c2ccccc2)=CCC1 Chemical compound CC1=CC(N(C(CC2)=CC=C2c(cc2)ccc2N(c2ccccc2)c2cccc(C)c2)c2ccccc2)=CCC1 PUUZEDFYIBKTRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFZGWKZPMXCHTP-BKEHADEASA-N CCC/C(/[n](c(/C=C\C)c(c1c2)N=C)c1ccc2-c1ccccc1-c1ncccc1)=C\C=C/C(c1ncccc1)=C Chemical compound CCC/C(/[n](c(/C=C\C)c(c1c2)N=C)c1ccc2-c1ccccc1-c1ncccc1)=C\C=C/C(c1ncccc1)=C ZFZGWKZPMXCHTP-BKEHADEASA-N 0.000 description 1
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N Carbamic acid Chemical group NC(O)=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- FODUKQRDHBISJS-CURNNYSISA-N Cc1c(C)[n](C2C3=CC=CC=C[C@@H]23)c(C)c1C(c(cc1c2c3c(C)cc(C(c(c(C)c4C)c(C)[n]4-c4ccccc4)=O)c2)cc(C)c1[n]3-c1ncnc(-c(cccc2)c2-c2ncnc(-[n]3c(c(C)cc(C(c(c(C)c4C)c(C)[n]4-c4ccccc4)=O)c4)c4c4cc(C(c(c(C)c5C)c(C)[n]5-c5ccccc5)=O)cc(C)c34)n2)n1)=[O-] Chemical compound Cc1c(C)[n](C2C3=CC=CC=C[C@@H]23)c(C)c1C(c(cc1c2c3c(C)cc(C(c(c(C)c4C)c(C)[n]4-c4ccccc4)=O)c2)cc(C)c1[n]3-c1ncnc(-c(cccc2)c2-c2ncnc(-[n]3c(c(C)cc(C(c(c(C)c4C)c(C)[n]4-c4ccccc4)=O)c4)c4c4cc(C(c(c(C)c5C)c(C)[n]5-c5ccccc5)=O)cc(C)c34)n2)n1)=[O-] FODUKQRDHBISJS-CURNNYSISA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910001200 Ferrotitanium Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N Morpholine Chemical group C1COCCN1 YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N Phenazine Natural products C1=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C21 PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical group C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DRBWRJPFNOBNIO-KOLCDFICSA-N [(2r)-1-[(2r)-2-(pyridine-4-carbonylamino)propanoyl]pyrrolidin-2-yl]boronic acid Chemical compound N([C@H](C)C(=O)N1[C@@H](CCC1)B(O)O)C(=O)C1=CC=NC=C1 DRBWRJPFNOBNIO-KOLCDFICSA-N 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical group C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004054 acenaphthylenyl group Chemical group C1(=CC2=CC=CC3=CC=CC1=C23)* 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 description 1
- FZEYVTFCMJSGMP-UHFFFAOYSA-N acridone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3NC2=C1 FZEYVTFCMJSGMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 125000005073 adamantyl group Chemical group C12(CC3CC(CC(C1)C3)C2)* 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 125000003158 alcohol group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001339 alkali metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004390 alkyl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004414 alkyl thio group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 125000002490 anilino group Chemical group [H]N(*)C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005161 aryl oxy carbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004391 aryl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005110 aryl thio group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- ZSIQJIWKELUFRJ-UHFFFAOYSA-N azepane Chemical group C1CCCNCC1 ZSIQJIWKELUFRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002785 azepinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002393 azetidinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004069 aziridinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004045 azirinyl group Chemical group 0.000 description 1
- CJDPJFRMHVXWPT-UHFFFAOYSA-N barium sulfide Chemical compound [S-2].[Ba+2] CJDPJFRMHVXWPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RFRXIWQYSOIBDI-UHFFFAOYSA-N benzarone Chemical compound CCC=1OC2=CC=CC=C2C=1C(=O)C1=CC=C(O)C=C1 RFRXIWQYSOIBDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYONAGGJKCJOBT-UHFFFAOYSA-N benzimidazol-2-one Chemical compound C1=CC=CC2=NC(=O)N=C21 MYONAGGJKCJOBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004604 benzisothiazolyl group Chemical group S1N=C(C2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000005605 benzo group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000499 benzofuranyl group Chemical group O1C(=CC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000004196 benzothienyl group Chemical group S1C(=CC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000004541 benzoxazolyl group Chemical group O1C(=NC2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- 125000003236 benzoyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C(*)=O 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006309 butyl amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004744 butyloxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- YMMTUMUETNWHDI-UHFFFAOYSA-N c(cc1)cc(-c(cc2)cc(c3cc(-c(cccc4)c4-c4ccccn4)ccc33)c2[n]3-c(cc2)cc(c3c4)c2[s]c3ccc4-[n](c(ccc(-c(cccc2)c2-c2ncccc2)c2)c2c2c3)c2ccc3-c2ccccc2-c2ncccc2)c1-c1ncccc1 Chemical compound c(cc1)cc(-c(cc2)cc(c3cc(-c(cccc4)c4-c4ccccn4)ccc33)c2[n]3-c(cc2)cc(c3c4)c2[s]c3ccc4-[n](c(ccc(-c(cccc2)c2-c2ncccc2)c2)c2c2c3)c2ccc3-c2ccccc2-c2ncccc2)c1-c1ncccc1 YMMTUMUETNWHDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYBWGUNMQDLRSS-UHFFFAOYSA-N c(cc1)cc(-c(cc2)cc(c3ncccc33)c2[n]3-c(cc2)cc(c3c4)c2[o]c3ccc4-[n]2c3cccnc3c3cc(-c4ccccc4-c4ncccn4)ccc23)c1-c1ncccn1 Chemical compound c(cc1)cc(-c(cc2)cc(c3ncccc33)c2[n]3-c(cc2)cc(c3c4)c2[o]c3ccc4-[n]2c3cccnc3c3cc(-c4ccccc4-c4ncccn4)ccc23)c1-c1ncccn1 RYBWGUNMQDLRSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUMXWFMPRBCSDF-UHFFFAOYSA-N c(cc1)cc(-c(cc2c3c4ccc(-c(cccc5)c5-c5ccccn5)c3)ccc2[n]4-c(cc2)cc(c3c4)c2[s]c3ccc4-c2ccccc2-c2ccccn2)c1-c1ncccc1 Chemical compound c(cc1)cc(-c(cc2c3c4ccc(-c(cccc5)c5-c5ccccn5)c3)ccc2[n]4-c(cc2)cc(c3c4)c2[s]c3ccc4-c2ccccc2-c2ccccn2)c1-c1ncccc1 CUMXWFMPRBCSDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITSLVILPSPDORV-UHFFFAOYSA-N c(cc1-c(cc2c3ncccc33)ccc2[n]3-c2nc(-[n](c(cc3)c4cc3-c(cccc3)c3-c3ccccn3)c3c4nccc3)ccc2)ccc1-c1ncccc1 Chemical compound c(cc1-c(cc2c3ncccc33)ccc2[n]3-c2nc(-[n](c(cc3)c4cc3-c(cccc3)c3-c3ccccn3)c3c4nccc3)ccc2)ccc1-c1ncccc1 ITSLVILPSPDORV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTJCVHZROCKLEA-UHFFFAOYSA-N c1cc(-[n]2c3ccncc3c3c2ccnc3)cc(-[n]2c(ccnc3)c3c3c2ccnc3)c1 Chemical compound c1cc(-[n]2c3ccncc3c3c2ccnc3)cc(-[n]2c(ccnc3)c3c3c2ccnc3)c1 NTJCVHZROCKLEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBOUDRIFMGTKHX-UHFFFAOYSA-N c1cc(-c(cc(cc2-c3ncccc3)-c(cc3-c4ncccc4)cc(-c4ncccc4)c3-c3ncccc3)c2-c2ncccc2)ncc1 Chemical compound c1cc(-c(cc(cc2-c3ncccc3)-c(cc3-c4ncccc4)cc(-c4ncccc4)c3-c3ncccc3)c2-c2ncccc2)ncc1 DBOUDRIFMGTKHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMOOGNAWWQVAJL-UHFFFAOYSA-N c1cc(-c(cc2)cc(c3cc(-c4ncccc4)ccc33)c2[n]3-c2cc(-[n]3c(ccc(-c4ncccc4)c4)c4c4cc(-c5ccccn5)ccc34)ccc2)ncc1 Chemical compound c1cc(-c(cc2)cc(c3cc(-c4ncccc4)ccc33)c2[n]3-c2cc(-[n]3c(ccc(-c4ncccc4)c4)c4c4cc(-c5ccccn5)ccc34)ccc2)ncc1 OMOOGNAWWQVAJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NXMHYAQTBVTLRK-UHFFFAOYSA-N c1cc(-c2cc(-c(cc3)ccc3-c3cc(-c4ccccn4)nc(-c4ncccc4)c3)cc(-c3ccccn3)n2)ncc1 Chemical compound c1cc(-c2cc(-c(cc3)ccc3-c3cc(-c4ccccn4)nc(-c4ncccc4)c3)cc(-c3ccccn3)n2)ncc1 NXMHYAQTBVTLRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWGYFPNYYRLEHS-UHFFFAOYSA-N c1cc(-c2cc(-c3cc(-c4cc(-c5ccccn5)nc(-c5ncccc5)c4)ccc3)cc(-c3ccccn3)n2)ncc1 Chemical compound c1cc(-c2cc(-c3cc(-c4cc(-c5ccccn5)nc(-c5ncccc5)c4)ccc3)cc(-c3ccccn3)n2)ncc1 UWGYFPNYYRLEHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUGNHRMIOCELRX-UHFFFAOYSA-N c1cc(-c2nc(-c3ncccc3)nc(-c3cccnc3)n2)ncc1 Chemical compound c1cc(-c2nc(-c3ncccc3)nc(-c3cccnc3)n2)ncc1 IUGNHRMIOCELRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMRMSFHFPFTCDH-UHFFFAOYSA-N c1ccnc(-c(ccc(-c(cc2)cc(-c3cncnc3)c2-c2ccccn2)c2)c2-c2cncnc2)c1 Chemical compound c1ccnc(-c(ccc(-c(cc2)cc(-c3cncnc3)c2-c2ccccn2)c2)c2-c2cncnc2)c1 WMRMSFHFPFTCDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTYQXXWJISYYFP-UHFFFAOYSA-N c1ccnc(-c2cc(-c3ccccn3)c(-c3ncccc3)c(-c3ccccn3)c2-c2ccccn2)c1 Chemical compound c1ccnc(-c2cc(-c3ccccn3)c(-c3ncccc3)c(-c3ccccn3)c2-c2ccccn2)c1 PTYQXXWJISYYFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZULHIIKAKYCSX-UHFFFAOYSA-N c1ccnc(-c2cc(-c3cncc(-c4cc(-c5ccccn5)cc(-c5ccccn5)c4)c3)cc(-c3ncccc3)c2)c1 Chemical compound c1ccnc(-c2cc(-c3cncc(-c4cc(-c5ccccn5)cc(-c5ccccn5)c4)c3)cc(-c3ncccc3)c2)c1 QZULHIIKAKYCSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TZTWVVFUYVGVDU-UHFFFAOYSA-N c1cncc(c2cnccc22)c1[n]2-c(cc1)ccc1-[n]1c2ccncc2c2cnccc12 Chemical compound c1cncc(c2cnccc22)c1[n]2-c(cc1)ccc1-[n]1c2ccncc2c2cnccc12 TZTWVVFUYVGVDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cd+2] CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001951 carbamoylamino group Chemical group C(N)(=O)N* 0.000 description 1
- 125000002837 carbocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004623 carbolinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 1
- SURLGNKAQXKNSP-DBLYXWCISA-N chlorin Chemical group C\1=C/2\N/C(=C\C3=N/C(=C\C=4NC(/C=C\5/C=CC/1=N/5)=CC=4)/C=C3)/CC\2 SURLGNKAQXKNSP-DBLYXWCISA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- OTAFHZMPRISVEM-UHFFFAOYSA-N chromone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C=COC2=C1 OTAFHZMPRISVEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004617 chromonyl group Chemical group O1C(=CC(C2=CC=CC=C12)=O)* 0.000 description 1
- WCZVZNOTHYJIEI-UHFFFAOYSA-N cinnoline Chemical compound N1=NC=CC2=CC=CC=C21 WCZVZNOTHYJIEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000259 cinnolinyl group Chemical group N1=NC(=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 125000005390 cinnolyl group Chemical group N1=NC(=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- JNGZXGGOCLZBFB-IVCQMTBJSA-N compound E Chemical compound N([C@@H](C)C(=O)N[C@@H]1C(N(C)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=N1)=O)C(=O)CC1=CC(F)=CC(F)=C1 JNGZXGGOCLZBFB-IVCQMTBJSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- WUPRCGRRQUZFAB-DEGKJRJSSA-N corrin Chemical group N1C2CC\C1=C\C(CC/1)=N\C\1=C/C(CC\1)=N/C/1=C\C1=NC2CC1 WUPRCGRRQUZFAB-DEGKJRJSSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 125000000332 coumarinyl group Chemical group O1C(=O)C(=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000000 cycloalkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005366 cycloalkylthio group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004977 cycloheptylene group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001934 cyclohexanes Chemical class 0.000 description 1
- 125000006639 cyclohexyl carbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004956 cyclohexylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006312 cyclopentyl amino group Chemical group [H]N(*)C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004979 cyclopentylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001887 cyclopentyloxy group Chemical group C1(CCCC1)O* 0.000 description 1
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 125000005509 dibenzothiophenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 125000006263 dimethyl aminosulfonyl group Chemical group [H]C([H])([H])N(C([H])([H])[H])S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 125000004119 disulfanediyl group Chemical group *SS* 0.000 description 1
- 239000012990 dithiocarbamate Substances 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 125000006575 electron-withdrawing group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- UYMKPFRHYYNDTL-UHFFFAOYSA-N ethenamine Chemical group NC=C UYMKPFRHYYNDTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AEOCXXJPGCBFJA-UHFFFAOYSA-N ethionamide Chemical compound CCC1=CC(C(N)=S)=CC=N1 AEOCXXJPGCBFJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000031 ethylamino group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])N([H])[*] 0.000 description 1
- 125000004672 ethylcarbonyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 125000006125 ethylsulfonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004705 ethylthio group Chemical group C(C)S* 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 125000003914 fluoranthenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC=C4C1=C23)* 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000004216 fluoromethyl group Chemical group [H]C([H])(F)* 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052730 francium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005143 heteroarylsulfonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004836 hexamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 125000002636 imidazolinyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005462 imide group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 125000003453 indazolyl group Chemical group N1N=C(C2=C1C=CC=C2)* 0.000 description 1
- PZOUSPYUWWUPPK-UHFFFAOYSA-N indole Natural products CC1=CC=CC2=C1C=CN2 PZOUSPYUWWUPPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKJUIXBNRJVNHR-UHFFFAOYSA-N indolenine Natural products C1=CC=C2CC=NC2=C1 RKJUIXBNRJVNHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- 125000004491 isohexyl group Chemical group C(CCC(C)C)* 0.000 description 1
- 125000000904 isoindolyl group Chemical group C=1(NC=C2C=CC=CC12)* 0.000 description 1
- 125000001972 isopentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000000555 isopropenyl group Chemical group [H]\C([H])=C(\*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- VDBNYAPERZTOOF-UHFFFAOYSA-N isoquinolin-1(2H)-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NC=CC2=C1 VDBNYAPERZTOOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLTPDFXIESTBQG-UHFFFAOYSA-N isothiazole Chemical compound C=1C=NSC=1 ZLTPDFXIESTBQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001786 isothiazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- CTAPFRYPJLPFDF-UHFFFAOYSA-N isoxazole Chemical compound C=1C=NOC=1 CTAPFRYPJLPFDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000842 isoxazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003951 lactams Chemical class 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000003562 lightweight material Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVWZTYCIRDMTEY-UHFFFAOYSA-N metamizole Chemical compound O=C1C(N(CS(O)(=O)=O)C)=C(C)N(C)N1C1=CC=CC=C1 LVWZTYCIRDMTEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006261 methyl amino sulfonyl group Chemical group [H]N(C([H])([H])[H])S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- 125000004458 methylaminocarbonyl group Chemical group [H]N(C(*)=O)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002816 methylsulfanyl group Chemical group [H]C([H])([H])S[*] 0.000 description 1
- 125000006216 methylsulfinyl group Chemical group [H]C([H])([H])S(*)=O 0.000 description 1
- 125000004170 methylsulfonyl group Chemical group [H]C([H])([H])S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 125000001421 myristyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- BXYVQNNEFZOBOZ-UHFFFAOYSA-N n-[3-(dimethylamino)propyl]-n',n'-dimethylpropane-1,3-diamine Chemical compound CN(C)CCCNCCCN(C)C BXYVQNNEFZOBOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003136 n-heptyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 125000005893 naphthalimidyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005184 naphthylamino group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)N* 0.000 description 1
- 125000005185 naphthylcarbonyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)C(=O)* 0.000 description 1
- 125000005186 naphthyloxy group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)O* 0.000 description 1
- 125000005146 naphthylsulfonyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)S(=O)(=O)* 0.000 description 1
- 125000005029 naphthylthio group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)S* 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001971 neopentyl group Chemical group [H]C([*])([H])C(C([H])([H])[H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 125000002868 norbornyl group Chemical group C12(CCC(CC1)C2)* 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical group C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical compound C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003566 oxetanyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000003544 oxime group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003854 p-chlorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C([H])=C1Cl 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 125000002958 pentadecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000006340 pentafluoro ethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- 125000000538 pentafluorophenyl group Chemical group FC1=C(F)C(F)=C(*)C(F)=C1F 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- 125000004675 pentylcarbonyl group Chemical group C(CCCC)C(=O)* 0.000 description 1
- 125000001828 phenalenyl group Chemical group C1(C=CC2=CC=CC3=CC=CC1=C23)* 0.000 description 1
- 125000001791 phenazinyl group Chemical group C1(=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C12)* 0.000 description 1
- 125000003356 phenylsulfanyl group Chemical group [*]SC1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000003170 phenylsulfonyl group Chemical group C1(=CC=CC=C1)S(=O)(=O)* 0.000 description 1
- 125000001476 phosphono group Chemical group [H]OP(*)(=O)O[H] 0.000 description 1
- IJAPPYDYQCXOEF-UHFFFAOYSA-N phthalazin-1(2H)-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NN=CC2=C1 IJAPPYDYQCXOEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFSXCDWNBUNEEM-UHFFFAOYSA-N phthalazine Chemical compound C1=NN=CC2=CC=CC=C21 LFSXCDWNBUNEEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSZIOXAEADAJLX-UHFFFAOYSA-N phthalazine-1,4-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)N=NC(=O)C2=C1 YSZIOXAEADAJLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005936 piperidyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003495 polar organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 150000004032 porphyrins Chemical group 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 125000004673 propylcarbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- CPNGPNLZQNNVQM-UHFFFAOYSA-N pteridine Chemical group N1=CN=CC2=NC=CN=C21 CPNGPNLZQNNVQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005412 pyrazyl group Chemical group 0.000 description 1
- PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N pyridazine Chemical compound C1=CC=NN=C1 PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005494 pyridonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005400 pyridylcarbonyl group Chemical group N1=C(C=CC=C1)C(=O)* 0.000 description 1
- 125000000168 pyrrolyl group Chemical group 0.000 description 1
- JWVCLYRUEFBMGU-UHFFFAOYSA-N quinazoline Chemical compound N1=CN=CC2=CC=CC=C21 JWVCLYRUEFBMGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LISFMEBWQUVKPJ-UHFFFAOYSA-N quinolin-2-ol Chemical compound C1=CC=C2NC(=O)C=CC2=C1 LISFMEBWQUVKPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002943 quinolinyl group Chemical group N1=C(C=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 125000005493 quinolyl group Chemical group 0.000 description 1
- SEPKUNXLGWMPHL-UHFFFAOYSA-N quinoxaline-2,3-dione Chemical compound C1=CC=CC2=NC(=O)C(=O)N=C21 SEPKUNXLGWMPHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 1
- 238000001226 reprecipitation Methods 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 150000003346 selenoethers Chemical class 0.000 description 1
- UTUZBCDXWYMYGA-UHFFFAOYSA-N silafluorene Chemical compound C12=CC=CC=C2CC2=C1C=CC=[Si]2 UTUZBCDXWYMYGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003808 silyl group Chemical group [H][Si]([H])([H])[*] 0.000 description 1
- 125000004436 sodium atom Chemical group 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M sodium fluoride Chemical compound [F-].[Na+] PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- PNGLEYLFMHGIQO-UHFFFAOYSA-M sodium;3-(n-ethyl-3-methoxyanilino)-2-hydroxypropane-1-sulfonate;dihydrate Chemical compound O.O.[Na+].[O-]S(=O)(=O)CC(O)CN(CC)C1=CC=CC(OC)=C1 PNGLEYLFMHGIQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052950 sphalerite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- ZEGFMFQPWDMMEP-UHFFFAOYSA-N strontium;sulfide Chemical compound [S-2].[Sr+2] ZEGFMFQPWDMMEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 125000005420 sulfonamido group Chemical group S(=O)(=O)(N*)* 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004772 tellurides Chemical class 0.000 description 1
- 125000001973 tert-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001935 tetracenyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C12)* 0.000 description 1
- CRUIOQJBPNKOJG-UHFFFAOYSA-N thieno[3,2-e][1]benzothiole Chemical compound C1=C2SC=CC2=C2C=CSC2=C1 CRUIOQJBPNKOJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical group 0.000 description 1
- 125000002889 tridecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- 125000000025 triisopropylsilyl group Chemical group C(C)(C)[Si](C(C)C)(C(C)C)* 0.000 description 1
- 239000013638 trimer Substances 0.000 description 1
- 125000000026 trimethylsilyl group Chemical group [H]C([H])([H])[Si]([*])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000003960 triphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 125000005023 xylyl group Chemical group 0.000 description 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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Description
また、本発明の透明電極は、金属酸化物等からなる透明電極に比して非常に薄い膜で機能するため、折り曲げによる割れが発生しにくく、フレキシブルに屈曲する透明電極を構成することができ、生産性の向上にも寄与することが可能である。
1.本発明の第1実施形態に係る透明電極
2.本発明の第1実施形態に係る透明電極の変形例1
3.本発明の第1実施形態に係る透明電極の変形例2
4.本発明の第1実施形態に係る透明電極の変形例3
5.本発明の第2実施形態に係る太陽電池の第1例
6.本発明の第2実施形態に係る太陽電池の第2例
7.窒素原子(N)を含有する有機化合物:含窒素化合物
8.含窒素化合物の分子量、有効非共有電子対と性能の関係
9.含窒素化合物の具体例
図1は、本発明の第1実施形態に係る透明電極1の構成を示す断面模式図である。この図に示す透明電極1は、太陽電池に用いるものであり、窒素含有層3と電極層5とを積層した2層構造であり、例えばここでの図示を省略した太陽電池の構成層の上部または下部に、窒素含有層3、電極層5の順に設けられている。このうち、透明電極1における実質的な電極部分を構成する電極層5は、金属を用いて構成された層であり、ここでは窒素含有層3に隣接した状態で積層されている。一方、電極層5に隣接して配置された窒素含有層3は、電極層5を構成する主材料である金属と安定的に結合する窒素原子(N)を含有する有機化合物を用いて構成されていることを特徴としている。
電極層5は、窒素含有層3に隣接して成膜された層であって、金属として特に周期表第11族の金属元素を含んで構成された層である。このような電極層5は、透明電極1において実質的な電極材料としての役割を担う層として設けられている。
窒素含有層3は、電極層5を形成する際の下地として機能する層であり、ここでは電極層5に対して隣接した状態で積層して設けられている。このような窒素含有層3は、窒素原子(N)を含有する有機化合物(以下、含窒素化合物と記す)を用いて構成された窒素含有有機化合物層である。含窒素化合物は、分子内に窒素原子含有基を有する有機化合物であれば特に制限されない。また含窒素化合物は、低分子化合物であっても高分子化合物であってもよいが、電極層5の形成時にこれを構成する金属と、窒素含有層3を構成する含窒素化合物中の窒素原子(N)とが相互作用しやすい構造であることが好ましい。窒素含有層3は、膜厚が極薄い領域(〜10nm)で凝集しやすい電極層5を構成する金属原子に対して、上記のように相互作用して金属原子の凝集を防ぎ、ごく薄い領域でも電極層5を連続膜とし、高い透明性と導電性を両立させることができる。
透明電極1の製造方法は特に制限されないが、本実施形態に係る透明電極1の製造方法は、窒素含有層3を形成し、この上部に電極層5を形成する。このような手順とすることにより、以下に説明するように窒素含有層3の表面においての金属の凝集を抑えてごく薄膜でありながらも連続膜としての電極層5を得ることができる。
以上のような構成の透明電極1は、窒素含有層3に積層して周期表第11族の金属元素を含有する電極層5を設けた構成であることにより、以下に説明するように、導電性と光透過性とを兼ね備えたものとなる。
図2は、本発明の第1実施形態に係る透明電極の変形例1を示す断面模式図である。この図に示すように、変形例1の透明電極1-1は、図1を用いて説明した透明電極1に高屈折率層7を追加した構成であり、電極層5に隣接して高屈折率層7を設けた構成である。このため、ここでは高屈折率層7の構成のみを説明する。
高屈折率層7は、窒素含有層3の屈折率よりも高い屈折率を有する光透過性材料で構成された層であり、実質的な電極として機能する電極層5に対しての保護膜ともなる。ここで、金属を用いて構成された電極層5は、屈折率として虚数部を持っており、これらの項に起因する長波長部の光透過率の低下が発生する。高屈折率層7は、このような光透過率の低下を抑制するための層であり、電極層5の近傍に配置されることが重要である。例えば屈折率が1.9よりも高い高屈折率層7を、電極層5に対して10nm以下の距離に配置すれば、カルコパイライト構造の光電変換層において吸収がある1000〜1100nm程度の範囲まで十分に光透過率の高い透明電極1-1とすることができる。尚、一般的な透明高屈折率材料における屈折率の上限は〜2.5であるが、ここで用いる高屈折率層7は、その屈折率に特別な上限はない。ただし、太陽電池を構成するそれぞれの層と屈折率が大きく異なると、光学干渉により発電効率が低下することもあるため、高屈折率層7の屈折率は上限が2.4程度までであることが好ましい。
このような変形例1の透明電極1-1は、後の実施例でも説明するように、高屈折率層7を設けたことにより、図1を用いて説明した構成の透明電極1と比較して、太陽光に含まれる波長1100nm程度までの広い範囲の光に対しての光透過性の向上を図ることが可能である。またこれにより、後の実施例でも説明するように、図1を用いて説明した構成の透明電極1を用いた場合と比較して、太陽電池の光電変換効率をさらに向上させることが可能である。
図3は、本発明の第1実施形態に係る透明電極の変形例2を示す断面模式図である。この図に示すように、変形例2の透明電極1-2は、図1の構成の透明電極1に高屈折率層7と反射防止層9とを追加した構成であり、電極層5に隣接して高屈折率層7と反射防止層9とをこの順に設けた構成である。高屈折率層7は、図2の変形例1で説明した高屈折率層7と同様の構成である。このため、ここでは反射防止層9の構成のみを説明する。
反射防止層9は、屈折率1.5以下の低屈折率材料を用いて構成された層であり、この反射防止層9側から透明電極1-2に入射される光の反射を防止し、透明電極1-2に対する光の入射を確保するための層である。つまり、透明電極における光入射側の最外層が高屈折率層7で構成された場合、空気との界面で反射が起こりやすくなり、光電変換効率が低下する。このため、高屈折率層7の外側に、反射防止層9を設けるのである。またこの反射防止層9は、実質的な電極として機能する電極層5に対しての保護膜ともなる。
このような変形例2の構成の透明電極1-2は、後の実施例で説明するように、反射防止層9を設けていない図2の構成の透明電極1-1と比較して、太陽光に含まれる波長1100nm程度までの広い範囲の光に対しての光透過率の向上を図ることが可能になる。またこれにより、後の実施例でも説明するように、図2を用いて説明した構成の透明電極1-1を用いた場合と比較して、太陽電池の光電変換効率をさらに向上させることが可能である。
図4は、本発明の第1実施形態に係る透明電極の変形例3を示す断面模式図である。この図に示すように、変形例3の透明電極1-3は、窒素含有層3に隣接して高屈折率層7を設けた構成であり、高屈折率層7以外の構成は図1の透明電極1と同様である。また、高屈折率層7は、図2の変形例1で説明した高屈折率層7と同様の構成である。ここで高屈折率層7は、一般的に酸化亜鉛等で形成される半絶縁層(高抵抗n層とも呼ばれる)21が兼ねてもよい。
図5は、本発明の第2実施形態に係る太陽電池の第1例を示す断面模式図である。この図に示す太陽電池10aは、光電変換材料としてカルコパイライト構造の化合物半導体系材料を用いたものであり、図1を用いて説明した透明電極1を用いて構成されたものである。この太陽電池10aは、基板11上に、ケイ酸塩層13、裏面電極15、カルコパイライト構造の光電変換層17、バッファ層19、半絶縁層21、透明電極1、高屈折率層7、および反射防止層9をこの順に配置した構成である。このような太陽電池10aは、光電変換層17を挟んで基板11とは逆の透明電極1側が、太陽光Hの受光面となる。
基板11は、太陽電池10aが形成される基材である。本実施形態の太陽電池10aにおいては、基板11と逆側が太陽光Hの受光面となる。このため基板11は、光透過性を有するものに限定されることはない。また基板11は、板状、シート状、フィルム状等、その用途や特性に応じて適宜選択された形状として用いられる。
ケイ酸塩層13は、太陽電池10aを高性能化することを目的とし、光電変換層17に対してナトリウム(Na)等のアルカリ金属(アルカリ土類金属を含む)を添加するための層である。詳細は不明であるが、一般にカルコパイライト系太陽電池は、ナトリウム(Na)がカルコパイライトからなる発電層に一部拡散すると発電効率が向上する。このようなケイ酸塩層13は、酸化ケイ素(SiO2)の網目状構造の中に、網目修飾体(Networkmodifier)あるいは網目修飾イオンと称される、アルカリ金属(Li、Na、K、Rb、Cs、Fr)やアルカリ土類金属(Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Ra)が、部分的に入り込んで安定化した構造体で構成される。このような構造体で構成されたケイ酸塩層13は、薄膜として成膜した後に、大気中にしばらくの間放置しても安定であるために変質等の虞も無く、また、成膜後に、拡散防止等のための特別な加熱処理等も必要が無い。
裏面電極15は、太陽電池10aにおける一対の電極のうちの一方の電極であり、例えば陽極として用いられる。この裏面電極15は、光電変換層17の成膜に際しての加熱に対して耐性を有する高融点金属で構成される。また裏面電極15は、光電変換層17を構成するセレン(Se)に対する耐食性を有する導電性材料で構成される。このような裏面電極15を構成する材料としては、例えばモリブデン(Mo)、チタン(Ti)、クロム(Cr)が例示される。
光電変換層17は、カルコパイライト構造の化合物半導体材料(カルコパイライト系材料)で構成された半導体薄膜であってよい、いわゆるCIS系光電変換層である。カルコパイライト系材料は、Ib族元素(Cu、Ag、Au)、IIIb族元素(B、Al、Ga、In、Tl)、およびVIb族元素(S、Se、Te、Po)を含んで構成され、例えばCu(In1-xGax)(SeyS1-y)2[0≦x≦1、0≦y≦1]を主成分とする。ここで、ガリウム(Ga)やイオウ(S)が固溶していない場合(x=y=0)において、光電変換層17はCuInSe2からなる半導体薄膜となる。
バッファ層19は、光電変換層17との電気的な接合を図るための層である。このようなバッファ層19は、CdS、ZnS、ZnOなどのII−VI族化合物半導体、これらの混晶、またはIn2O3、In2S3、In(OH)等のIn系の化合物半導体を用いて構成される。このようなバッファ層19は、膜厚が20nm〜150nm、好ましくは50nm程度である。尚、このようなバッファ層19は、必要に応じて設ければ良いが、このようなバッファ層19を形成することにより開放電圧の向上および光電変換効率が可能となるため、バッファ層19を設けた方が高効率の太陽電池を得やすい傾向がある。
半絶縁層21は、n型の高抵抗層であり、高抵抗n型層とも呼ばれる。光電変換層17と透明電極1との間の漏れ電流を低減するための層である。このような半絶縁層21は、ZnO、ホウ素(B)を含有するZnO:B、アルミニウム(Al)を含有するZnO:Alなどを用いて構成される。尚、このような半絶縁層21は、バッファ層19と共に必要に応じて設ければ良く、バッファ層19と半絶縁層21との何れか一方のみであっても良く、両方とも設ける必要のない場合には設けなくとも良が、このようなバッファ層19およびn型の高抵抗層である半導体層21を形成することにより、開放電圧の向上および光電変換効率が可能となるため、これらのバッファ層19および半導体層21を設けた方が高効率の太陽電池を得やすい傾向がある。
透明電極1は、図1を用いて説明した窒素含有層3と電極層5とを積層させた構成のものであり、太陽電池10aにおける一対の電極のうちのもう一方の電極として用いられる。この透明電極1は、例えば陰極として用いられる。この太陽電池10aにおいて、この透明電極1は、半絶縁層21側から窒素含有層3および電極層5の順に設けられている。この場合において、透明電極1を構成する窒素含有層3は、電極層5と光電変換層17との間の電子輸送層として機能することが好ましい。このような窒素含有層3は、以降に説明する含窒素化合物のうち、電子輸送性の良好な含窒素化合物を用いて構成されたものとすればよい。
透明電極1の電極層5には、必要に応じてグリッド電極25が設けられる。このグリッド電極25は、透明電極1から電流・電圧を受け取り外部回路へと低抵抗で取り出す端子としての電極であり、透明電極1側から光電変換層17への太陽光Hの入射を妨げることのない位置に配置されていることとする。このようなグリッド電極25は、例えばアルミニウムのような導電性の良好な材料で構成されることとする。
高屈折率層7は、先に図2を用いて説明した層であって、窒素含有層3の屈折率よりも高い屈折率を有する光透過性材料で構成された層である。この高屈折率層7は、実質的な電極として機能する電極層5に対しての保護膜ともなり、透明電極の一部として構成されてもよい。電極層5に接してグリッド電極25が配置されている場合であれば、この高屈折率層7は、電極層5とグリッド電極25との接続を確保し、かつグリッド電極25に対する外部端子の接続を妨げないように設けられていることとする。
反射防止層9は、先に図3を用いて説明した層であって、屈折率1.5以下の低屈折率材料を用いて構成された層である。この反射防止層9は、この反射防止層9側から透明電極1に入射される太陽光の反射を防止し、透明電極1に対する光の入射効率を確保するための層である。またこの反射防止層9は、実質的な電極として機能する電極層5に対しての保護膜ともなり、透明電極の一部として構成されてもよい。電極層5に接してグリッド電極25が配置されている場合であれば、この反射防止層9は、電極層5とグリッド電極25との接続を確保し、かつグリッド電極25に対する外部端子の接続を妨げないように設けられていることとする。
以上説明した各層のほか、本実施形態の太陽電池10aは、光電変換効率の向上や、素子の寿命の向上のために、他の部材(他の層)をさらに設けてもよい。その他の部材としては、例えば、正孔注入層、電子注入層、励起子ブロック層、UV吸収層、光反射層、波長変換層などが挙げられる。正孔注入層であれば、光電変換層17と裏面電極15との間に配置される。電子注入層であれば、光電変換層17と透明電極1との間に配置される。励起子ブロック層であれば、光電変換層17と裏面電極15との間、または光電変換層17と透明電極1との間に配置される。UV吸収層であれば、太陽光によるフレキシブル基板の劣化を抑制するため、基板11よりも外側の最外層に配置される。波長変換層も同様に、基板11よりも外側の最外層に配置される。さらに光電変換層17側の陰極(ここでは例えば透明電極1)に隣接して金属酸化物の層を積層してもよい。
上述した構成の太陽電池10aの製造方法を説明する。
以上説明した太陽電池10aは、図1〜図4を用いて説明した導電性と光透過性とを兼ね備えた透明電極1を備えたことにより、透明電極1を介しての光電変換層17における太陽光Hの受光効率を確保しつつ、光電変換層17で変換された電荷の透明電極1を介しての取り出し効率の向上を図ることができる。この結果、カルコパイライト構造の光電変換層17を有する太陽電池10aにおいての光電変換効率の向上を図ることが可能になる。
図6は、本発明の第2実施形態に係る太陽電池の第2例を示す断面模式図である。この図に示す太陽電池10bが、図5を用いて説明した第1例の太陽電池と異なるところは、裏面電極15も透明電極1で構成されているところにあり、他の構成は図5に示す第1例の太陽電池と同様である。このため、第1例と同一の構成要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
上述した構成の太陽電池10bの製造方法は、第1例の太陽電池の製造方法における裏面電極15の形成において、先に透明電極の構成で説明した手順によって、基板11上に窒素含有層3を形成し、この上部に電極層5を形成すれば良い。
以上説明した太陽電池10bは、光電変換層17の両側に、図1〜図4を用いて説明した導電性と光透過性とを兼ね備えた透明電極1を備えたことにより、透明電極1を介しての光電変換層17における太陽光Hの受光効率を確保しつつ、光電変換層17で変換された電荷の透明電極1を介しての取り出し効率の向上を図ることができる。この結果、カルコパイライト構造の光電変換層17を有する太陽電池10bにおいての光電変換効率の向上を図ることが可能になる。
次に、窒素原子(N)を含有する有機化合物(含窒素化合物)の詳細を説明する。ここで説明する含窒素化合物は、図1〜図6に示した透明電極1の窒素含有層3を構成するものである。
上記一般式(1)または一般式(3)においてA1またはA3で表される1価の窒素原子含有基は、窒素原子を含む有機基であれば特に制限なく用いられる。例えば、アミノ基、ジチオカルバメート基、チオアミド基、シアノ基(−CN)、イソニトリル基(−N+≡C−)、イソシアナート基(−N=C=O)、チオイソシアナート基(−N=C=S)、または含窒素芳香族環を含む基が挙げられる。含窒素芳香族環は、置換基を有していても有していなくても良い。
以上のように説明したA1またはA3で表される1価の窒素原子含有基としては、なかでも第11族の金属への配位性が高い、塩基性の基を含むことが好ましい。具体的には、(a)ピリジン環やピリミジン環を含有する基、(b)アミノ基、(c)ジチオカルバメート基またはチオアミド基等である。
ピリジン環やピリミジン環は、不対電子がπ共役系に取り込まれていないπ電子欠乏系の複素芳香族環であり、これらを含有する基は第11族の金属への配位性が高い。ここで用いられる(a)ピリジン環やピリミジン環を含有する基とは、具体的には、ピリジン環、ピリミジン環、またはこれらを含む縮合環から導かれるものである。この際、A1またはA3は、ピリジン環、ピリミジン環、またはこれらを含む縮合環から水素原子が1つ除かれてなる1価の基であってもよい。このような基として、例えば、下記N−1〜N−11で表される基が挙げられる。
A1またはA3としては、上述した2価の基(N−12〜N−36)の一方の結合部位、または上記3価の基(N−37、N−38)の2つの結合部位に対して、直接、または上記2価の連結基を介して、上記N−1〜N−7で示される1価の基が結合したものが例示される。
アミノ基としては、このアミノ基を有する分子内において当該アミノ基に近接する位置に電子吸引性基を有さないものが好ましい。かかるアミノ基は第11族の金属への配位性が高い。アミノ基としては、1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基、4級アミノ基(アンモニウム基)のいずれであってもよい。ただし、中性である1級アミノ基、2級アミノ基、3級アミノ基の方が、金属原子の配位性が良好であるため好ましい。さらに、溶解性、塗布性の観点から3級アミノ基が好ましい。これに加えて、3級アミノ基は極性の高いNH基を有さないため、水分等の極性溶媒が膜中に残りにくく、得られる透明電極や太陽電池の耐久性が改善される傾向がある。
ジチオカルバメート基またはチオアミド基は、ジチオカルバメートまたはチオアミド由来の1価の基であり、第11族の金属に対して特異的に配位性の高い硫黄原子を有する。ジチオカルバメート基またはチオアミド基は、それぞれ置換位置によって2つの異性体が存在する。
上記一般式(2)または(3)において、A2、A4またはA5で表される2価の窒素原子含有基は、窒素原子を含む有機基であれば特に制限なく用いられる。例えば、イミノ基(−NR−)、アミド基(−CO−NR−)、イミド基(−CO−NR−CO−)、スルホンアミド基(−SO2−NR−)、オキシム基(>C=N−OH)、または含窒素芳香族環を含む基が挙げられる。含窒素芳香族環は、置換基を有していても有していなくても良い。
具体的な形態は、A1またはA3における(a)ピリジン環やピリミジン環を含有する1価の基として例示した基から、さらに1つ水素原子を除いて2価の基とする点以外は共通するため、説明を省略する。
これらの基は、含窒素芳香族環由来の2価の基の水素原子の1つ以上が、炭素原子数1〜4のアルキル基で置換され、さらにこのアルキル基の一部が、アミノ基、ジチオカルバメート基、チオアミド基などで置換された基が挙げられる。この場合のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、またはsec−ブチル基、tert−ブチル基が用いられる。
上記一般式(1)中のY1としては、n1価の有機基であれば特に制限されずに適用され、例えばn1価の置換もしくは無置換の芳香族残基、またはn1価の置換もしくは無置換の脂肪族炭化水素残基が挙げられる。ここで、「芳香族残基」とは、芳香族炭化水素環、複素環型芳香環、縮合型芳香環等の芳香環から水素原子n1個を除いた基を意味する。また、「脂肪族炭化水素残基」とは、脂肪族炭化水素から水素原子n1個を除いた基を意味する。
上記一般式(2)中のY2としては、2価の有機基であれば特に制限されずに適用されるが、2価の置換もしくは無置換の芳香族残基であることが好ましい。例えば、置換もしくは無置換の炭素原子数6〜30のアリーレン基、置換もしくは無置換の炭素原子数1〜30のヘテロアリーレン基が挙げられる。これらの基は、A1またはA3を構成する2価の連結基(A)〜(E)を介して結合していてもよい。
上記一般式(3)中のY3は、(n2+2)価の有機基であれば特に制限されずに適用される。このようなY3としては、例えば、下記一般式(3A)で表される(n2+2)価の基が挙げられる。尚、一般式(3A)において、カッコ内がY3を示し、カッコ内のX1に連結されたn2本(図面においては3本)の線が、A3との連結部位を示す。
含窒素化合物が高分子である場合、その分子量に特に制限はないが、上述したような膜質の均一性、光電変換効率、および耐久性の面から、重量平均分子量が3000以上である高分子化合物であることが好ましい。重量平均分子量は、より好ましくは4000以上、さらに好ましくは5000以上である。ここで、含窒素化合物の重量平均分子量の上限は特に限定されないが、50000以下であることが好ましく、30000以下であることがより好ましい。重量平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)(標準物質)で測定することができる。
次に、上述した含窒素化合物の具体例として、例示化合物1−181、および高分子としての例示化合物201−235を示す。なお、本発明で用いる含窒素化合物は、下記の例示構造に限定されることはない。なお、以下の実施例において用いた含窒素化合物は、下記の例示化合物番号にて規定する。
先ず、上記例示化合物のうちの幾つかについて、その合成例を示す。
特開2010−235575号公報を参考とし、下記の合成式に従って例示化合物1を合成した。
特開2008−69122号を参考として下記例示化合物10を合成した。
特開2010−235575の段落[0038]〜[0040]を参考として下記例示化合物13を合成した。
下記の合成式にしたがって例示化合物18を合成した。
特開2010−235575を参考とし、下記の合成式にしたがって例示化合物20を合成した。
下記の合成式にしたがって例示化合物170を合成した。
下記の合成式にしたがって例示化合物176を合成した。
その後、室温まで戻した後、純水600mlを加えて、生じた沈殿物をろ過して除去した。沈殿物をTHF350mlに溶解させた後、硫酸ナトリウムで脱水して、溶液を減圧留去した。得られた固体をシリカゲルカラムクロマトグラフィーにより精製し、例示化合物176の白色固体(3.8g,収率25%)を得た。
下記の合成式にしたがって例示化合物181を合成した。
先ず、Adv.Mater.,VOL.19(2007),p2010(published online: June 29, 2007、2007 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim)を参考として、化合物261−1を合成した。化合物261−1の重量平均分子量は4400であった。
Journal of New Materials for Electrochemical Systems, vol.11, p213-220 (2008)を参考として下記例示化合物235を合成した。
次の手順で試料1〜35の各透明電極を作製し、その評価を行った。下記表1には、各試料1〜35の層構成を示した。以下表1を参照しつつ、透明電極の作製および評価を、順に説明する。
先ず、基板としてソーダライムガラス基板を用意した。この基板に対して、界面活性剤としての花王社製クリンスルーKS3030と超純水とを用いた超音波洗浄を行い、次に超純水による超音波洗浄を行った後、窒素ブローで乾燥させ、最後に紫外線オゾン洗浄を行った。
次に、一般的なカルコパイライト系の太陽電池において透明電極と接して配置される半絶縁層(図5参照)として、酸化亜鉛層を基板上に形成した。ここでは、酸化亜鉛(ZnO)のターゲットを用いたスパッタ法により、膜厚が70nmの酸化亜鉛層を基板上に成膜した。
その後、各試料1〜35において、以下のようにして酸化亜鉛層上に透明電極を形成した。
酸化亜鉛層が形成された基板上に、銀(Ag)とITOとがこの順に積層された透明電極を形成した。ここでは、酸化亜鉛層が形成された基板を真空処理室内に設置し、10−3Pa以下まで真空処理室内を減圧した後、蒸着法により2nm/秒の成膜速度で銀(Ag)層を膜厚5nmで成膜し、その後スパッタリング法により2nm/秒の成膜速度でITO層を膜厚150nmで成膜した。
酸化亜鉛層が形成された基板上に、試料1と同様のスパッタリング法により、アルミニウム添加酸化亜鉛(AZO)からなる透明電極を膜厚500nmで形成した。
酸化亜鉛層が形成された基板上に、銀(Ag)からなる透明電極を形成した。ここでは、酸化亜鉛が形成された基板を真空処理室内に設置し、10−3Pa以下まで真空処理室内を減圧した後、蒸着速度2nm/秒でAg層を膜厚8nmで形成した。
各試料4〜27,31〜53において、酸化亜鉛層が形成された基板上に、下記表1に示す各例示化合物からなる窒素含有層を、蒸着法によって3nmの膜厚で形成した。次いで、各窒素含有層上に、下記表1に示す各材料からなる各膜厚の電極層を、試料3と同様の蒸着法によって形成した。尚、下記表1には、ここで用いた例示化合物の有効非共有電子対の数[n]、分子量[M]、および有効非共有電子対含有率[n/M]も示した。
各試料28〜30において、酸化亜鉛が形成された基板上に、下記表1に示す各例示化合物からなる窒素含有層を、塗布法によって3nmの膜厚で形成した。この際、塗布溶媒にはヘキサフルオロイソプロパノール:n−ブタノール=1:1の混合溶媒を用い、乾燥後の膜厚が3nmとなるように塗布を行った。次いで、各窒素含有層上に、下記表1に示す各材料からなる各膜厚の電極層を、試料3と同様の蒸着法によって形成した。
上記で作製した試料1〜35の各透明電極について、シート抵抗値を測定した。シート抵抗値の測定は、抵抗率計(三菱化学社製MCP−T610)を用い、4端子4探針法定電流印加方式で行った。この結果は、下記表1に合わせて示した。
[試料31〜35における高屈折率層の形成]
上記導電性の評価を行った後、試料31〜35においては、透明電極の上部に、下記表1に示す各材料からなる高屈折率層を形成した。ここでは、透明電極が形成された基板を真空処理室内に設置し、10−3Pa以下まで真空処理室内を減圧した後、スパッタリング法により、2nm/秒の成膜速度で各高屈折率層を成膜した。なお、下記表1には、各高屈折率層の屈折率を合わせて示した。
[試料34,35における反射防止層の形成]
試料34,35においては、高屈折率層の上部に、下記表1に示す各材料からなる反射防止層を形成した。ここでは、高屈折率層の形成に引き続き、スパッタリング法によって、2nm/秒の成膜速度で各反射防止層を成膜した。なお、下記表1には、各反射防止層の屈折率を合わせて示した。
上記で作製した試料1〜30の各透明電極、および試料31〜35の高屈折率層や反射防止層が形成された透明電極について、カルコパイライト系の太陽電池の吸収末端近傍である、波長1100nmの光透過率を測定した。光透過率の測定は、分光光度計(日立製作所製U−3300)を用い、各試料1〜35で用いたソーダライムガラス基板をベースラインとして行った。この結果は、下記表1に合わせて示した。
次の手順で、試料1〜35の各透明電極を有する各太陽電池を作製し(図5参照)、その評価を行った。
先ず、基板11としてポリイミドフィルム(デュポン社製カプトンPV9202:商品名)を用意した。この基板11に対して、界面活性剤(花王社製クリンスルーKS3030商品名)と超純水とを用いた超音波洗浄を行い、次に超純水による超音波洗浄を行った後、窒素ブローで乾燥させ、最後に紫外線オゾン洗浄を行った。
洗浄した基板11上に、ケイ酸塩層13を成膜した。この際、ソーダ石灰ガラスのターゲットを用い、高周波(RF)マグネトロンスパッタリング法により、膜厚が200nmのケイ酸塩層13を成膜した。
以上のようにして太陽電池10aを形成した後、さらに太陽電池10aが形成された基板をグローブボックス内に移送し、グローブボックス内において下記2枚の透明バリアフィルム間に、太陽電池10aが設けられた基板11を挟み込み、下記UV硬化樹脂を透明バリアフィルム間に充填して封止を行った。
透明バリアフィルム:3M社製、Ultra Barrier Solar Film UBL-9L(商品名)
(水蒸気透過率<5×10−4g/m2/d)
UV硬化樹脂:ナガセケムテックス株式会社製、UV RESIN XNR5570-B1(商品名)
封止された太陽電池10aの透明電極1側の受光面上に、有効面積4mm2の受光開口を設けたマスクを配置し、このマスク上からソーラーシミュレーター(AM1.5Gフィルタ)の100mW/cm2の強度の光を照射し、この際の、短絡電流密度Jsc[mA/cm2]、開放電圧Voc[V]、および曲線因子(フィルファクター)FFを測定した。これらの測定は、受光面において受光開口を移動した4箇所のそれぞれにおいて行い、それぞれ4箇所の平均値を求めた。
上記光電変換効率の評価を行った太陽電池10aを、直径1.0cmΦのガラス棒に100回巻き戻しを繰り返した。その後、上記光電変換効率の評価と同様の方法で、太陽電池の光電変換効率η(%)を求めた。次いで、下記式(2)により、光電変換効率の相対効率を算出して平均値を求め、以下の尺度で耐久性を評価した。この結果を、下記表1に合わせて示した。
○ :相対効率80%以上
△ :相対効率60%以上
× :相対効率60%未満
表1から明らかなように、試料4〜35の透明電極、すなわち窒素含有層と、周期表第11属の金属元素である銀を用いて構成された電極層とを積層させて設けた透明電極は、それ以外の透明電極と比較して、実質的な導電性を担う電極層が2〜30nmと極薄膜でありながらも、シート抵抗値が30Ω/square以下であり、電極層が単層成長型(Frank−van der Merwe:FM型)の膜成長によってほぼ均一な膜厚で形成されていることが確認された。また上記試料4〜35の透明電極は、光透過率も50%以上であり、透明電極としての優れた光透過性と導電性とを兼ね備えていることが分かる。
Claims (9)
- 光透過性の基板と、
前記基板上に積層して設けられた一対の電極と、
前記一対の電極間に挟持されたカルコパイライト構造の光電変換層とを備え、
前記一対の電極のうちの前記基板側の電極は、窒素原子を含有する有機化合物を用いて構成された窒素含有層と、前記窒素含有層に接して前記窒素含有層と前記光電変換層との間に設けられた周期表第11族の金属を含有する電極層とを有し、透明電極として構成され、
前記窒素原子を含有する有機化合物は、
下記一般式(2)で表される
少なくとも前記基板側を受光面とする太陽電池。
Zは、−CR1R2−または−NR3−を表し、
X1〜X8は、それぞれ独立して−CR6=または−N=を表し、
R1〜R6は、それぞれ独立して、単結合(―)、水素原子、置換もしくは無置換の炭素原子数1〜20のアルキル基、置換もしくは無置換の炭素原子数3〜20のシクロアルキル基、置換もしくは無置換の炭素原子数6〜30のアリール基、置換もしくは無置換の炭素原子数1〜30のヘテロアリール基、または置換もしくは無置換の炭素原子数1〜20のアルキルオキシ基を表す。] - 一般式(4)中のX1〜X8のうち少なくとも1つは、窒素原子を有する基を含む
請求項1に記載の太陽電池。 - 前記電極層は、銀を主成分とする
請求項1または2に記載の太陽電池。 - 前記電極層は、膜厚が4nm以上、15nm以下である
請求項1〜3の何れかに記載の太陽電池。 - 前記透明電極の外側に、前記窒素含有層よりも屈折率の高い高屈折率層が設けられた
請求項1〜4の何れかに記載の太陽電池。 - 前記高屈折率層は、酸化チタンで構成されている
請求項5に記載の太陽電池。 - 前記高屈折率層のさらに外側に、屈折率が1.5以下の反射防止層が積層されている
請求項5または6に記載の太陽電池。 - 前記反射防止層は、フッ化マグネシウムで構成されている
請求項7に記載の太陽電池。 - 前記窒素原子を含有する有機化合物は、窒素原子が有する非共有電子対のうち芳香族性に関与せずかつ金属に配位していない非共有電子対の数をn、分子量をMとした場合の有効非共有電子対含有率[n/M]が、4.0×10-3≦[n/M]≦4.0×10-2となる化合物である
請求項1〜8の何れかに記載の太陽電池。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012197348 | 2012-09-07 | ||
JP2012197348 | 2012-09-07 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014534376A Division JP6127279B2 (ja) | 2012-09-07 | 2013-09-04 | 太陽電池 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017118151A JP2017118151A (ja) | 2017-06-29 |
JP6292333B2 true JP6292333B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=50237176
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014534376A Expired - Fee Related JP6127279B2 (ja) | 2012-09-07 | 2013-09-04 | 太陽電池 |
JP2017067151A Expired - Fee Related JP6292333B2 (ja) | 2012-09-07 | 2017-03-30 | 太陽電池 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014534376A Expired - Fee Related JP6127279B2 (ja) | 2012-09-07 | 2013-09-04 | 太陽電池 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9882072B2 (ja) |
JP (2) | JP6127279B2 (ja) |
WO (1) | WO2014038567A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013151141A1 (ja) * | 2012-04-04 | 2013-10-10 | コニカミノルタ株式会社 | 有機光電変換素子およびこれを用いた太陽電池 |
KR101788090B1 (ko) * | 2014-11-28 | 2017-11-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | 중합체, 유기막 조성물, 유기막, 및 패턴형성방법 |
KR101968899B1 (ko) * | 2016-01-27 | 2019-04-15 | 주식회사 엘지화학 | 공중합체 및 이를 포함하는 유기 태양 전지 |
US10259951B2 (en) * | 2016-07-19 | 2019-04-16 | International Business Machines Corporation | Organic conductive coating materials |
US20180033901A1 (en) * | 2016-08-01 | 2018-02-01 | Korea Institute Of Energy Research | Semi transparent back contact and solar cell using the same, and a method of manufacturing them |
DE102018214496A1 (de) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Kurzschlussfestes Elektrodensystem für elektronische Bauelemente |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4394366B2 (ja) * | 2003-03-26 | 2010-01-06 | 時夫 中田 | 両面受光太陽電池 |
CN101208081A (zh) | 2005-04-28 | 2008-06-25 | 谢拉奎斯特生物科学有限公司 | 治疗疼痛的方法和组合物 |
WO2007004437A1 (ja) | 2005-07-04 | 2007-01-11 | Osaka Industrial Promotion Organization | β-ケトカルボン酸銀、それを含む金属銀の形成材料、およびその用途 |
US8101699B2 (en) | 2008-12-02 | 2012-01-24 | General Electric Company | Electron-transporting polymers |
JP2010135708A (ja) | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Akitoshi O | 太陽電池の透明導電薄膜電極及びその製造方法 |
JP5051147B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2012-10-17 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 太陽電池モジュール及び太陽光発電装置 |
JPWO2010090123A1 (ja) * | 2009-02-04 | 2012-08-09 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 有機光電変換素子、それを用いた太陽電池、及び光センサアレイ |
JP5577186B2 (ja) * | 2009-09-04 | 2014-08-20 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機el表示装置 |
JP5254917B2 (ja) * | 2009-09-14 | 2013-08-07 | 三菱重工業株式会社 | 光電変換装置の製造方法 |
TW201127520A (en) | 2009-09-18 | 2011-08-16 | Sumitomo Chemical Co | Silver-conjugated compound composite |
EP2599140A1 (en) * | 2010-04-06 | 2013-06-05 | Merck Patent GmbH | Novel electrode |
JP5867987B2 (ja) * | 2010-07-06 | 2016-02-24 | コニカミノルタ株式会社 | 有機光電変換素子、該素子を用いた太陽電池 |
JP2012146548A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Fujifilm Corp | 透明導電膜の製造方法及び透明導電膜 |
-
2013
- 2013-09-04 US US14/426,577 patent/US9882072B2/en active Active
- 2013-09-04 WO PCT/JP2013/073745 patent/WO2014038567A1/ja active Application Filing
- 2013-09-04 JP JP2014534376A patent/JP6127279B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-03-30 JP JP2017067151A patent/JP6292333B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017118151A (ja) | 2017-06-29 |
JP6127279B2 (ja) | 2017-05-17 |
US20150221793A1 (en) | 2015-08-06 |
WO2014038567A1 (ja) | 2014-03-13 |
JPWO2014038567A1 (ja) | 2016-08-12 |
US9882072B2 (en) | 2018-01-30 |
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Legal Events
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A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180116 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |