JP6288480B2 - 加熱冷却モジュール - Google Patents
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Images
Description
載置台として直径320mm×厚み3mmの円板状の銅板を準備した。支持板として直径320mm×厚み3mmの円板状のSi−SiC板を準備した。また、抵抗発熱体として厚さ20μmのステンレス箔に回路パターンをエッチングで形成し、その終端部に給電ケーブルを取り付けた。この抵抗発熱体の上下を厚み50μmのポリイミドシートで覆い熱圧着した後、ポリイミドシートの表面に、セラミックス製(W2mm×D2mm×H1mm)の測温素子をシリコーン接着剤を用い接着固定し、測温素子付きの発熱部を作製した。
11 載置台
11a ウエハ載置面
12 支持板
13 発熱部
20 冷却ユニット
21 可動式冷却板
21a 凹状面
22 固定式冷却ステージ
22a 冷媒流路
30 容器
31 脚部
32 エアシリンダ
32a ピストンロッド
40 介在層
122 固定式冷却ステージ
122a 板状部材
123 ザグリ溝
124 金属製パイプ
222 固定式冷却ステージ
222a、222b 板状部材
223 流路
322 固定式冷却ステージ
322a、322b 板状部材
323 流路
422 固定式冷却ステージ
422a、422b 板状部材
423 流路
A 平面度
Claims (2)
- 上面に被処理物を載置する載置面を有し、前記被処理物を加熱する発熱体を備えた円板状のヒータユニットと、前記ヒータユニットの前記載置面とは反対側の面に対して当接する位置と離間する位置との間で往復動可能な可動式冷却板と、前記離間する位置にある時の前記冷却板が当接する冷却ステージとを有する加熱冷却モジュールであって、前記可動式冷却板は、前記ヒータユニットに当接する側の面が周縁部から中心部に向かって徐々に深くなる凹状であり、前記冷却ステージに当接する側の面が平坦である加熱冷却モジュール。
- 前記凹状の面の平面度が20〜100μmである、請求項1に記載の加熱冷却モジュール。
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