JP6273139B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Claims (9)
- 多孔質体により形成されて工作物との間に研磨材を含有するスラリーを供給しながら前記工作物を相対的に移動させて前記工作物を研磨する多孔質研磨パッドであって、 前記多孔質体において気孔を形成する発泡体が疎水性で基材とする樹脂よりも接触角が大きい樹脂で形成した殻壁を有するとともに発泡剤を内包した微小カプセル、または高分子材料で作られた殻壁に疎水性の発泡剤を内包した微小カプセルからなり、樹脂からなる基材に発泡体を混入して型に入れ、前記型を加熱して基材を硬化させるとともに前記基材の硬化反応熱で前記発泡体中の前記発泡剤を目的の倍率まで膨張したガスが前記殻壁を破って形成した気孔の壁に前記破られた殻壁または発泡剤が前記気孔の内部に付着残存して気孔に残っている疎水性に優れた殻または発泡剤により、気孔に入り込むスラリーの研磨圧力による排出作用が向上し研磨特性を大きく向上させることを特徴とする多孔質研磨パッド。
- 前記多孔質体が親水性樹脂または親水性繊維を含有していることを特徴とする請求項1記載の多孔質研磨パッド。
- 前記多孔質体に含有される親水性樹脂または親水性繊維がエポキシ、ポリアミド、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリエーテル、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリスチレン、綿、羊毛、レーヨン、ナイロン、ポリエステル、およびそれらの混合物およびブレンドからなる群から選択される請求項2に記載の多孔質研磨パッド。
- 前記多孔質体に含有される親水性繊維であり線径が5〜500μm、アスペクト比が30〜300、含有率が体積%で1〜30%であることを特徴とする請求項1、2または3に記載の多孔質研磨パッド。
- 前記多孔質体のD硬度が15〜65°であることを特徴とする請求項1,2,3または4に記載の多孔質研磨パッド。
- 前記多孔質体の基材がエポキシ樹脂またはエポキシ樹脂とウレタン樹脂との混合物でガラス転移点が0〜100℃であることを特徴とする請求項1,2,3,4または5に記載の多孔質研磨パッド。
- 前記多孔質体の気孔率が5〜70%であり形成された気孔径が5〜500μmであることを特徴とする請求項1,2,3,4,5または6に記載の多孔質研磨パッド。
- 前記多孔質体に直径0.5〜500μm程度の砥粒が1〜30%配合されている事を特徴とする請求項1,2,3,4,5,6または7に記載の多孔質研磨パッド。
- 前記多孔質体の表面に格子状の溝が形成されていることを特徴とする請求項1,2,3,4,5,6,7または8に記載の多孔質研磨パッド。
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