JP6272079B2 - 搬送部材、これを備える基板搬送装置および基板処理装置 - Google Patents
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Description
であり、支持部1と保持部2のみの構成とし、保持部2の先端を嵌め合わせ形状とすればよい。
。
とが好適である。なお、セラミックスの材質としては、アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、窒化アルミニウム、炭化珪素、炭化硼素、コージェライトまたはこれらの複合物を用いることができる。
す。
を炭化珪素質焼結体という。
また、焼結助剤として、炭化硼素およびカルボン酸塩の粉末を準備する。そして、各粉末を、例えば、炭化珪素粉末100質量%に対して、炭化硼素の粉末を0.12質量%以上1.4質量%以下、カルボン酸塩の粉末を1質量%以上3.4質量%以下となるように秤量して混合す
る。
公知のプッシャー方式やローラー方式の連続トンネル炉で焼成する。セラミック原料の種類により焼成温度は異なるが、セラミック原料が炭化珪素であるときには、不活性ガスの雰囲気中または真空雰囲気中、1800〜2200℃の温度範囲で10分〜10時間保持した後、2200〜2350℃の温度範囲で10分〜20時間にて焼成すればよい。これによって、基板Wを支持する支持部と、支持部を保持する保持部とを備える板状体からなり、支持部は、先端側が少なくとも二股に分岐しており、内側面の輪郭が変化しているとともに、向かい合う内側面に挟合形状となる部位を有している搬送部材を得ることができる。なお、搬送部材の所望の表面に、研削剤や研磨剤を用いて鏡面に仕上げてもよい。
1a:凹部
2:保持部
3:締結部
4:貫通孔
5:側面
6:吸着孔
7:接続孔
8:流路
10,20:搬送部材
30:基板搬送装置
40:基板処理装置
Claims (8)
- 基板を搬送するための搬送部材であって、前記基板を支持する支持部と、該支持部を保持する保持部とを備える板状体からなり、前記支持部は、先端側が少なくとも二股に分岐しており、
前記支持部は、対称軸に垂直な断面形状を見たとき、一方の内側面における輪郭と他方の内側面における輪郭とが挟まり合う部位を有していることを特徴とする搬送部材。 - 前記内側面に凹部となる部位を有していることを特徴とする請求項1に記載の搬送部材。
- 前記板状体がセラミックスからなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の搬送部材。
- 前記セラミックスが炭化珪素質焼結体からなることを特徴とする請求項3に記載の搬送部材。
- 前記内側面の表面側が、内部側よりも炭素を多く含有していることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の搬送部材。
- 基板を吸着する吸着孔と、前記板状体の内部に設けられた前記吸着孔に通じる流路とを有していることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の搬送部材。
- 前記基板を搬送するための部材として、請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の搬送部材を備えることを特徴とする基板搬送装置。
- 前記基板を搬送するための装置として請求項7に記載の基板搬送装置を備えることを特徴とする基板処理装置。
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