JP6257847B1 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本実施の形態に関する太陽電池、および、太陽電池の製造方法について説明する。
図1は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法で形成された、太陽電池の構造を概略的に例示する平面図である。また、図2は、図1におけるA−A’断面図である。
以下、図3から図9を参照しつつ、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法を詳細に説明する。ここで、図3は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法を例示するフローチャートである。また、図4から図9は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法を例示する太陽電池の断面図である。
本実施の形態に関する太陽電池、および、太陽電池の製造方法について説明する。以下では、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図11は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法で形成された、太陽電池の構造を概略的を例示する平面図である。また、図12は、図11におけるB−B’断面図である。
以下、図13から図19を参照しつつ、特に、第1の実施の形態と異なる点について、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法を詳細に説明する。
本実施の形態に関する太陽電池、および、太陽電池の製造方法について説明する。以下では、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図20は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法で形成された、太陽電池の構造を概略的に例示する断面図である。また、図21は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法を例示するフローチャートである。
本実施の形態に関する太陽電池、および、太陽電池の製造方法について説明する。以下では、以上に記載された実施の形態で説明された構成と同様の構成については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
図28は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法で形成された、太陽電池の構造を概略的を例示する断面図である。また、図29は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法を例示するフローチャートである。
以下、図29を参照しつつ、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法を詳細に説明する。ここで、図29は、本実施の形態に関する太陽電池の製造方法を例示するフローチャートである。
以下に、以上に記載された実施の形態によって生じる効果を例示する。なお、以下では、以上に記載された実施の形態に例示された具体的な構成に基づいて当該効果が記載されるが、同様の効果が生じる範囲で、本願明細書に例示される他の具体的な構成と置き換えられてもよい。
以上に記載された実施の形態では、それぞれの構成要素の材質、材料、寸法、形状、相対的配置関係または実施の条件などについても記載する場合があるが、これらはすべての局面において例示であって、本願明細書に記載されたものに限られることはないものとする。
Claims (4)
- 半導体基板上に、トンネル酸化物層を形成し、前記トンネル酸化物層上に、第1の導電型の半導体層を形成し、前記半導体層に対し、725℃以上775℃以下の温度で熱処理を行い、熱処理された前記半導体層上に、前記半導体層より水素濃度が高い保護膜を形成し、前記保護膜上に、ガラス粒子を含む電極を印刷し、焼成によって、前記電極と前記半導体層とを電気的に接続させるとともに前記保護膜から離脱した水素によって、前記半導体層中および前記半導体層と前記トンネル酸化物層との界面のダングリングボンドが水素によって終端され、前記半導体層に対して熱処理を行う際のピーク温度、および、焼成によって、前記電極と前記半導体層とを電気的に接続させる際のピーク温度が、前記保護膜を形成する際の温度よりも高い、太陽電池の製造方法。
- 前記トンネル酸化物層上に、第1の導電型の前記半導体層を形成することは、前記トンネル酸化物層上に、真性半導体層を形成し、前記真性半導体層に対し725℃以上775℃以下の温度で熱処理を行うことによって、前記真性半導体層内に第1の導電型のドーパントを拡散させて、第1の導電型の前記半導体層を形成することである、請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記トンネル酸化物層を形成する前に、前記半導体基板上に、第1の導電型の不純物拡散領域を選択的に形成し、前記電極を、前記保護膜上の、平面視において前記不純物拡散領域が形成された位置に対応する位置に印刷する、請求項1または請求項2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記トンネル酸化物層上に、第1の導電型の半導体層を形成し、同時に、前記半導体層に対し、725℃以上775℃以下の温度で熱処理を行う、請求項1から請求項3のうちのいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
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