JP6647425B2 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1の太陽電池を模式的に示す断面図、図2は、同上面図である。図1は図2のI-I断面図である。実施の形態1の太陽電池10は、p型単結晶シリコン基板11の裏面11B側に、BSF層であるp+型拡散層14を形成するための拡散源に用いたBSG膜12とキャップ層に用いたNSG膜13との積層膜を、そのまま残してパッシベーション膜Paとしたものである。
次に実施の形態2の太陽電池について説明する。図9は、実施の形態2の太陽電池30を示す断面図である。図10は、実施の形態2の太陽電池の製造工程を示す工程断面図である。図11は、実施の形態2の太陽電池の製造工程を示すフローチャートである。実施の形態1では、受光面11A側にpn接合を配したp型単結晶シリコン基板11を用いた太陽電池セルについて説明したが、実施の形態2では、p型単結晶シリコン基板11を用い、裏面11B側にpn接合を配した太陽電池30について説明する。この場合、BSG膜12およびNSG膜13が受光面11A側になるため、BSG膜12およびNSG膜13には反射防止膜16としての役割を持たせる必要があり、BSG膜12およびNSG膜13の膜厚調整が必要となる。さらに詳しく述べると、太陽光スペクトルが最大となる600nmでの反射率が最小になるよう、BSG膜12およびNSG膜13の膜厚比および合計膜厚を含めて膜厚調整を行う必要がある。
実施の形態1および2では、p型単結晶シリコン基板11を用いたセルについて説明したが、これらのセルは当然のことながら、n型のシリコン基板を用いたセルでも適用可能である。
次に実施の形態4の太陽電池について説明する。実施の形態1から3では、太陽電池セルを構成する基板の受光面、および裏面に、それぞれ受光面側電極および裏面電極を配置した構造であったが、太陽電池の裏面である第2の面11bに双方の極の電極を配置した、所謂、IBC(Interdigitated Back Contact)セルのボロン拡散に対しても、BSG膜とNSG膜との積層膜を適用可能である。図12は、IBCセル構造を用いた実施の形態4の太陽電池を示す断面図、図13は、実施の形態4の太陽電池の製造工程を示す工程断面図、図14は、実施の形態4の太陽電池の製造工程を示すフローチャートである。実施の形態4では、図12に示すように、n型単結晶シリコン基板11nを用い、第1の面11a側および第2の面11b側の一部にn型拡散層15を形成すると共に第2の面11bの一部にp+型拡散層14を形成している。太陽電池の裏面11Bに第1の電極17Rおよび第2の電極18Sを形成している。BSG膜12とNSG膜13との積層膜は受光部を除く表面に形成されている。つまり裏面11Bの一部もn型拡散層15との間にpn接合を形成し受光部を構成している。
Claims (7)
- シリコン基板の受光面である第1の主面に、第1の導電型の元素とケイ素とを含む第1のガラス層と、前記第1の導電型の元素を含まずケイ素を含む第2のガラス層との積層膜をCVD法によって形成する工程と、
前記シリコン基板を熱処理して、前記シリコン基板の前記第1の主面に拡散層を形成する工程と、
前記積層膜を貫通して、前記拡散層にコンタクトする集電電極を形成する工程と、
を含み、
前記積層膜のみを前記第1の主面側の前記拡散層のパッシベーション膜とすることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記第1の導電型の元素は、ボロンであり、前記第1のガラス層がBSG膜であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第1のガラス層は、第1の導電型の元素を0.5wt%から3wt%含むことを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第2のガラス層は、NSG膜であることを特徴とする請求項2または3に記載の太陽電池の製造方法。
- シリコン基板の第1の主面に、第1の導電型の元素とケイ素とを含む第1のガラス層と、前記第1の導電型の元素を含まずケイ素を含む第2のガラス層との積層膜を形成する工程と、
前記シリコン基板を熱処理して、前記シリコン基板の前記第1の主面に第1の拡散層を形成する工程と、
前記シリコン基板の第1の主面または第2の主面に、第2の導電型の元素を含む第2の拡散層を形成する工程と、
前記積層膜を貫通して、前記第1の拡散層にコンタクトする集電電極を形成する工程と、
を含み、
前記第1の拡散層を形成する工程の後であって前記第2の拡散層を形成する工程の前に、前記積層膜をマスクとして前記シリコン基板の第2の主面に凹凸構造を形成する工程を備えた
ことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記第1のガラス層を形成する工程は、CVD法によって前記第1のガラス層を形成する工程であることを特徴とする請求項5に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記第1の拡散層を形成する工程は、900℃から1100℃で加熱する熱処理工程であることを特徴とする請求項5または6に記載の太陽電池の製造方法。
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