JP6256819B2 - 電流センサ及び電流測定装置 - Google Patents
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 115
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 82
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 37
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 5
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Description
a)磁界センサ5の周波数依存性は、2つの磁界センサ5が電流導体11の側方エッジ12と13の下方に配置されている場合に最小である。
b)半導体チップ4の目標位置からのx方向における半導体チップ4の変位を基準にした、2つの磁界センサ5から形成される差信号の感度は、2つの磁界センサ5が磁界の成分BZの強度が変化する個所に配置された場合に、少なくとも部分的にほぼ線形経過を有する。これは、2つの磁界センサ5が電流導体11の側方エッジ12と13の間の領域に配置された場合である。
Claims (8)
- 下面(8)、上面(9)および4つの側壁と、電気端子(10)と、測定すべき電流が流れる電流導体(11)とを備えるプラスチック製の平坦なハウジング(7)と、
2つの磁界センサ(5)を備える半導体チップ(4)とを有する電流センサ(1)であって、
前記2つの磁界センサ(5)により検出される当該2つの磁界センサ(5)の位置における磁界の成分は反対方向を示し、
前記電流導体(11)と前記電気端子(10)とは同じ厚さを有する電流センサにおいて、
前記半導体チップ(4)は前記電流導体(11)の真上に位置しており、互いに向き合っている前記半導体チップ(4)の表面と前記電流導体(11)は1層以上の電気絶縁層(15)のみによって隔てられ、
前記電流導体(11)は、前記ハウジング(7)の一方の側壁から対向する側壁に伸長して前記電流導体(11)の対向する2つの端部は前記ハウジング(7)の互いに対向する側壁に位置し、前記電流導体(11)は前記ハウジング(7)の前記下面(8)に平坦に埋め込まれ、かつ前記ハウジング(7)の前記下面(8)に露出しており、
前記電流導体(11)の対向する2つの端部のそれぞれの幅が、隣接する2つの電気端子(10)の中心の間の距離の2倍以上であり、
前記電流導体(11)は中心付近にテーパ部を有することを特徴とする電流センサ。 - 前記磁界センサ(5)は、前記電流導体(11)の2つの側方エッジ(12,13)の領域に配置されており、
前記磁界センサ(5)の対称中心間の間隔Aは、0.9*W≦A≦Wの範囲にあり、
ここでWは、前記磁界センサ(5)の領域における前記電流導体(11)の幅である、ことを特徴とする請求項1に記載の電流センサ。 - 前記電気端子(10)は、前記ハウジング(7)の前記下面(8)に平坦に組み込まれている、ことを特徴とする請求項1から2までのいずれか1項に記載の電流センサ。
- 前記半導体チップ(4)の裏側には強磁性層(17)が被覆されている、ことを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の電流センサ。
- 前記半導体チップ(4)はフリップチップ構造で前記電気端子(10)と接続されている、ことを特徴とする請求項1から4までのいずれか1項に記載の電流センサ。
- 導体路(2)を備える導体路基板(3)と、該導体路(2)を流れる電流を測定するための請求項1から5までのいずれか1項による電流センサとを有する電流測定装置において、
前記導体路(2)は所定の個所で遮断されており、
前記導体路基板(3)はその上面または下面に、電気的に浮遊した金属製の面(19)を少なくとも1つ有し、当該面(19)は前記電流センサ(1)の電流導体(11)とロウ付けされており、および/または前記導体路(2)と接続されている、ことを特徴とする電流測定装置。 - 前記少なくとも1つの面(19)の少なくとも1つの上には表面実装可能な構成部材(20)が実装されている、ことを特徴とする請求項6に記載の電流測定装置。
- 前記電流センサ(1)とは反対の側の導体路基板(3)上には磁気的シールド(21)が実装されている、ことを特徴とする請求項6または7に記載の電流測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012077883A JP6256819B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | 電流センサ及び電流測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012077883A JP6256819B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | 電流センサ及び電流測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013205387A JP2013205387A (ja) | 2013-10-07 |
JP6256819B2 true JP6256819B2 (ja) | 2018-01-10 |
Family
ID=49524589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012077883A Active JP6256819B2 (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | 電流センサ及び電流測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6256819B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3940396A1 (en) * | 2020-07-16 | 2022-01-19 | Melexis Technologies SA | Current sensor and method |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016190087A1 (ja) * | 2015-05-22 | 2016-12-01 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 電流センサ |
JP6533101B2 (ja) * | 2015-06-04 | 2019-06-19 | アルプスアルパイン株式会社 | 電流センサ |
US9810721B2 (en) * | 2015-12-23 | 2017-11-07 | Melexis Technologies Sa | Method of making a current sensor and current sensor |
JP6767212B2 (ja) * | 2016-09-02 | 2020-10-14 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 電流センサ |
JP7401180B2 (ja) * | 2018-03-20 | 2023-12-19 | 株式会社デンソー | 電流センサ |
CN109752578A (zh) * | 2019-03-15 | 2019-05-14 | 江苏多维科技有限公司 | 一种磁隔离器 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0732994U (ja) * | 1993-11-22 | 1995-06-16 | 株式会社三協精機製作所 | Icの放熱構造 |
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EP0772046B1 (de) * | 1995-10-30 | 2002-04-17 | Sentron Ag | Magnetfeldsensor und Strom- oder Energiesensor |
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-
2012
- 2012-03-29 JP JP2012077883A patent/JP6256819B2/ja active Active
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US11747369B2 (en) | 2020-07-16 | 2023-09-05 | Melexis Technologies Sa | Current sensor and method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013205387A (ja) | 2013-10-07 |
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