JP6255452B2 - 表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
第2の被覆領域、54 チャネル保護層、56 ソース電極、58 ドレイン電極、60 ソース配線、62 ドレイン配線、64 画素電極、66 パッシベーション層、68 保護層。
Claims (10)
- 基板と、
前記基板の上に設けられたゲート電極と、
前記ゲート電極を覆うように前記基板の上に設けられるゲート絶縁膜と、
チャネル領域、ソース領域及びドレイン領域を連続一体的に有するトランジスタ構成用領域と、前記トランジスタ構成用領域から分離されて前記ゲート絶縁膜の一部を覆う一対の被覆領域と、を有するように、前記ゲート絶縁膜の上に設けられた酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層の前記チャネル領域上に設けられたチャネル保護層と、
前記酸化物半導体層の前記ソース領域及び前記一対の被覆領域の一方に接して設けられたソース電極と、
前記酸化物半導体層の前記ドレイン領域及び前記一対の被覆領域の他方に接して設けられたドレイン電極と、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極の上に設けられたパッシベーション層と、
を有し、
前記ゲート絶縁膜は、膜厚が80nm以上2000nm以下の範囲であり、
前記酸化物半導体層の膜厚は、30nm以上500nm以下の範囲であることを特徴とする表示装置。 - 請求項1に記載された表示装置において、
前記ゲート電極に接続されたゲート配線と、
前記ソース電極に接続されたソース配線と、
前記ドレイン電極に接続されたドレイン配線と、
をさらに有し、
前記ゲート絶縁膜は、前記ゲート配線を覆うように前記基板の上に設けられ、前記ゲート配線の表面形状に従って凸部を有し、前記ゲート配線の周縁から立ち上がる形状に沿って高さが変化する段差部を有し、
前記ソース配線及び前記ドレイン配線の少なくとも一方は、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート配線と立体的に交差し、
前記酸化物半導体層は、前記段差部の、前記ソース配線及び前記ドレイン配線の前記少なくとも一方と重なる領域を覆うように、前記トランジスタ構成用領域から分離された第2の被覆領域を含むことを特徴とする表示装置。 - 請求項1又は2に記載された表示装置において、
前記酸化物半導体層は、前記トランジスタ構成用領域及び前記一対の被覆領域の厚みが同じになるように形成されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項2に記載された表示装置において、
前記酸化物半導体層は、前記トランジスタ構成用領域、前記一対の被覆領域及び前記第2の被覆領域の厚みが同じになるように形成されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載された表示装置において、
前記酸化物半導体層は、In-Ga-Zn-O系、In-Al-Zn-O系、In-Sn-Zn-O系、In-Zn-O系、In-Sn-O系、Zn-O系及びSn-O系からなる群より選択される一の酸化物半導体からなることを特徴とする表示装置。 - 基板の上に設けられたゲート電極を覆って前記基板の上にゲート絶縁膜を80nm以上2000nm以下の範囲の膜厚になるように形成する工程と、
チャネル領域、ソース領域及びドレイン領域を連続一体的に有するトランジスタ構成用領域と、前記トランジスタ構成用領域から分離されて前記ゲート絶縁膜の一部を覆う一対の被覆領域と、を有するように、前記ゲート絶縁膜の上に酸化物半導体層を30nm以上500nm以下の範囲の膜厚になるように形成する工程と、
前記酸化物半導体層の上に保護層を形成する工程と、
前記保護層及び前記ゲート絶縁膜に対してエッチングが進行し、前記酸化物半導体層がエッチングストッパとして機能するエッチングによって、前記酸化物半導体層の前記チャネル領域上に一部がチャネル保護層として残るように、前記保護層をパターニングする工程と、
前記酸化物半導体層の前記ソース領域及び前記一対の被覆領域の一方に接するようにソース電極を形成する工程と、
前記酸化物半導体層の前記ドレイン領域及び前記一対の被覆領域の他方に接するようにドレイン電極を形成する工程と、
前記ソース電極及び前記ドレイン電極の上にパッシベーション層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。 - 請求項6に記載された表示装置の製造方法において、
前記基板の上には、前記ゲート電極に接続されるようにゲート配線が形成され、
前記ゲート絶縁膜は、前記ゲート配線を覆って、前記ゲート配線の表面形状に従って凸部を有し、前記ゲート配線の周縁から立ち上がる形状に沿って高さが変化する段差部を有するように形成し、
前記ゲート絶縁膜の上には、前記ソース電極に接続されるようにソース配線を形成し、
前記ゲート絶縁膜の上には、前記ドレイン電極に接続されるようにドレイン配線を形成し、
前記ソース配線及び前記ドレイン配線の少なくとも一方は、前記ゲート絶縁膜を介して前記ゲート配線と立体的に交差するように形成し、
前記酸化物半導体層は、前記段差部の、前記ソース配線及び前記ドレイン配線の前記少なくとも一方と重なる領域を覆うように、前記トランジスタ構成用領域から分離された第2の被覆領域を有するように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。 - 請求項6又は7に記載された表示装置の製造方法において、
前記酸化物半導体層は、前記トランジスタ構成用領域及び前記一対の被覆領域の厚みが同じになるように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。 - 請求項7に記載された表示装置の製造方法において、
前記酸化物半導体層は、前記トランジスタ構成用領域、前記一対の被覆領域及び前記第2の被覆領域の厚みが同じになるように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。 - 請求項6から9のいずれか1項に記載された表示装置の製造方法において、
前記酸化物半導体層は、In-Ga-Zn-O系、In-Al-Zn-O系、In-Sn-Zn-O系、In-Zn-O系、In-Sn-O系、Zn-O系及びSn-O系からなる群より選択される一の酸化物半導体から形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
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