JP6255197B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
(1)呼気測定1
(2)呼気測定2
(3)0.1mg/Lのシミュレータガス測定1
(4)0.1mg/Lのシミュレータガス測定2
(5)0.1mg/Lのシミュレータガス測定3
(6)呼気測定3
上記(1)及び(2)の測定では、呼気ガスの測定により測定ガスが直接感圧膜にあたって測定データにノイズが含まれるか否かを確認した。そして(3)乃至(5)の測定では、測定データの繰り返し再現性の有無を確認した。(6)の測定では、自然対流によるガス抜けの良否を確認した。(6)の測定結果と(1)及び(2)の測定結果との差が大きいほど、自然対流によるガス交換性能が悪いことを意味する。
3 ケース本体
5 蓋部材
6,6´ ガス導入孔
7 ガスセンサ素子
9 端子金具
11 素子収納部
13 ガス滞留部
13A 延長空間部
15A 開口部
15 収納室
31 底壁部
33 周壁部
35 凹部
37 突起
39 凸部
71 ベース
71A 薄板部
71B 外側領域
71C 空洞部
73 電極
75 ヒータ
77 感応膜
Claims (4)
- 少なくともヒータと感応膜とを備えてMEMS構造により形成されたガスセンサ素子と、
前記ガスセンサ素子を収納するケースとを備え、
前記ケースには前記ガスセンサ素子に前記ケースの外部から測定ガスを導入する複数のガス導入孔が設けられており、
前記ケースは、底壁部と該底壁部の周縁部から延びる周壁部と該周壁部及び前記底壁部とによって囲まれて前記底壁部と対向する位置に開口部を有する収納室とを備えたケース本体と、前記複数のガス導入孔を備えて前記開口部に嵌合される蓋部材とからなり、
前記ガスセンサ素子は、前記感応膜が前記蓋部材と所定の間隔あけて対向するように前記底壁部に対して固定され、
前記蓋部材にのみ前記複数のガス導入孔が形成されており、
前記複数のガス導入孔の数、形状寸法及び位置は、前記測定ガスが前記感応膜に直接当たらないように前記測定ガスを前記感応膜に導き、前記ヒータが発熱している間に前記ケースの内部に残留する前記測定ガスと前記ケースの外気とを自然対流により前記複数のガス導入孔を通して交換できるように定められ、
前記蓋部材を正面から見たときに、前記ガス導入孔を通して前記感応膜を見ることができないように、前記複数のガス導入孔の数、形状寸法及び位置が定められているガスセンサであって、
前記複数のガス導入孔の孔径が0.257mm〜0.394mmであることを特徴とするガスセンサ。 - 前記ガスセンサ素子の消費電力が、30mW以下である請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記蓋部材と前記感応膜との間の間隔が0.1mm〜0.7mmである請求項1に記載のガスセンサ。
- 前記底壁部には、前記収納室の一部を構成し且つ前記ガスセンサ素子が収納される素子収納部が形成されており、
前記底壁部には前記素子収納部の周囲に、前記開口部とは反対の方向に開口する1以上の凹部が形成されている請求項1に記載のガスセンサ。
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