CN113518914A - 浓度测量装置 - Google Patents
浓度测量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113518914A CN113518914A CN202080017860.XA CN202080017860A CN113518914A CN 113518914 A CN113518914 A CN 113518914A CN 202080017860 A CN202080017860 A CN 202080017860A CN 113518914 A CN113518914 A CN 113518914A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- concentration
- oxygen
- thermal conductivity
- mixed gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 288
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 94
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 50
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 72
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 71
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 51
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 83
- VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N [O].[Ar] Chemical compound [O].[Ar] VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 75
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 14
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 14
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 10
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 9
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 5
- 239000001273 butane Substances 0.000 description 4
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N n-pentane Natural products CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- -1 i.e. Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 239000003915 liquefied petroleum gas Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
- G01N25/18—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating thermal conductivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/18—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/22—Fuels; Explosives
- G01N33/225—Gaseous fuels, e.g. natural gas
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
本发明提供一种浓度测量装置，即使在混合气体中存在导热系数相对于温度的变化率与其它的气体明显不同的气体的情况下，也能够抑制测量对象气体的浓度的测量精度降低。本浓度测量装置的特征在于，具有：传感器部，其基于所述测量对象气体的导热系数，对含有两种以上组分的混合气体中的测量对象气体的浓度进行测量；加热部，其对所述混合气体进行加热，以相对于所述导热系数可唯一确定所述测量对象气体的浓度。
Description
技术领域
本发明涉及浓度测量装置。
背景技术
流量传感器利用在流体的流量及流动的方向的检测中。流量传感器例如在薄膜(隔板)上具备具有加热件、以及隔着加热件配置的热电堆的传感器部。在具有上述传感器部的流量传感器中，当由于加热件对薄膜进行加热而产生的热分布因流体的流动而扰乱时，将该扰乱作为由热电堆产生的温差电动势之差进行测量。
例如，在专利文献1中已经公开一种将使流体通过的流路作为一体而形成的流量传感器。在专利文献2中已经公开一种与流路分体而形成、且使检测流量的传感器部向外部露出的流量传感器。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：(日本)专利第5652315号公报
专利文献2：(日本)专利第6435389号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
本发明的发明者发现在混合气体中测量对象气体的浓度检测中可应用流量传感器的可能性，并对该测量精度进行了验证。通过本验证，已经判明，非混合气体的气体(即，由一种物质产生的气体)的导热系数相对于温度呈一次直线性变化，而在混合气体中各气体相对于温度的导热系数的变化率大致相同的情况下能够得到期望的测量精度，另一方面，在混合气体中存在导热系数相对于温度的变化率与其它的气体明显不同的气体的情况下，存在浓度测量精度降低的问题。另外，通过本验证，也已经判明，在利用热电堆与加热件测量气体的导热系数中，热电堆也可以不是多个，只要在加热件的附近配置一个热电堆即可。
公开技术的一个侧面的目的在于提供一种浓度测量装置，即使在导热系数相对于温度的变化率与其它的气体明显不同的气体存在于混合气体中的情况下，也能够抑制测量对象气体的浓度的测量精度降低。
用于解决技术问题的技术方案
公开的技术的一个侧面利用如下的浓度测量装置进行例示。本浓度测量装置的特征在于，具有：传感器部，其基于所述测量对象气体的导热系数，对含有两种以上组分的混合气体中的测量对象气体的浓度进行测量；加热部，其对所述混合气体进行加热，以相对于所述导热系数可唯一确定所述测量对象气体的浓度。
混合气体是含有两种以上组分的气体。作为混合气体，例如可以例举市政煤气及液化石油气(LP气体)等燃气及空气等。测量对象气体可以是只有一种组分的气体，也可以是含有两种以上组分的气体。传感器部也可以利用导热系数的倒数即热阻系数来替代导热系数。在导热系数相对于温度的变化率与其它的气体明显不同的气体混合存在的混合气体中，由于空气的温度，存在导热系数与浓度的关系并非一对一对应的范围(例如，存在相对于一个导热系数对应两个浓度的范围)。上述范围例如产生在混合气体为低温的情况。在公开的技术中，由加热部对混合气体进行加热，以相对于导热系数可唯一确定测量对象气体的浓度，由此，即使在导热系数相对于温度的变化率与其它的气体明显不同的气体存在于混合气体中的情况下，也能够抑制测量对象气体的浓度的测量精度降低。
公开的技术也可以具有如下的特征。所述传感器部包括：产生与温度相应的电动势的一对热电元件、以及配置在所述一对热电元件之间且根据施加的电压发热的加热部，根据由所述加热部加热的所述一对热电元件产生的电动势，对所述混合气体的流量进行测量，还具有控制向所述加热部施加的电压的控制部，所述控制部在向所述加热部施加比测量所述混合气体的流量时施加的第一电压高的第二电压，使所述传感器部测量所述混合气体的浓度。
热电元件例如为热电堆。热电堆根据周围的温度输出温差电动势。加热部例如是根据施加的电压发热的加热件。在热电元件的附近配置加热部。本浓度测量装置具有在一对热电元件之间配置加热部的特征，由此而能够作为测量流体的流量及流速的流量传感器来使用。本浓度测量装置基于由热电元件产生的电动势，对测量对象气体的浓度进行测量。需要说明的是，在测量对象气体的浓度的测量中，只要基于由一对热电元件之中一方的热电元件产生的电动势即可。例如在氩气混入氧与氮中，导热系数相对于温度的变化率明显不同。在导热系数相对于温度的变化率明显不同的气体混合存在的混合气体中，由于混合气体的温度，存在由热电元件产生的电动势与浓度的关系并非一对一对应的范围(例如，相对于一个电动势，对应有两个浓度的范围)。上述范围例如产生在混合气体为低温的情况。在本浓度测量装置中，在对测量对象气体的浓度进行测量时，使向加热部施加的电压为比第一电压高的第二电压。通过向加热部施加第二电压，能够使加热部周边的空气的温度上升，使由一对热电元件之中一方的热电元件产生的电动势与浓度的关系一对一。因此，本浓度测量装置即使在导热系数相对于温度的变化率与其它的气体明显不同的气体存在于混合气体中的情况下，也能够抑制测量对象气体的浓度的测量精度降低。
公开的技术也可以具有如下的特征。还具有对所述混合气体的温度进行测量的温度计，所述控制部针对所述混合气体的每个温度，存储有基于所述热电元件产生的电动势而可唯一确定所述混合气体的浓度的范围与向所述加热部施加的电压的对应关系，所述控制部获取所述温度计测量的所述混合气体的温度，基于获取到的所述温度来参照所述对应关系，由此确定所述第二电压。通过具有上述特征，本浓度测量装置能够在混合气体的每个温度适当地控制第二电压。
公开的技术也可以具有如下的特征。所述浓度测量装置在生成提高了空气中两种以上规定组分的浓度的浓缩气体的浓缩器中应用，所述混合气体为所述浓缩器浓缩后的浓缩气体，所述测量对象气体是含有在所述浓缩气体中含有的两种以上所述规定组分的气体。
空气例如为氮、氧以及氩的混合气体。本浓度测量装置能够对浓缩器浓缩后的浓缩气体中的、含有两种以上规定组分的气体的浓度进行测量。本浓度测量装置例如在两种以上规定组分为氧与氩的情况下，能够对浓缩器浓缩后的气体中含有氧与氩的测量对象气体的浓度进行测量。
公开的技术也可以具有如下的特征。所述浓缩器通过从含有氮、氧、以及氩的空气中除去氮，生成提高了氧与氩的浓度的浓缩气体，所述规定组分包括氧与氩，在所述浓缩器供给所述浓缩气体的流路设有所述传感器部。通过具有上述特征，本浓度测量装置能够对浓缩器浓缩后的浓缩气体中的混合气体(含有氧与氩的混合气体)的浓度进行测量。即，本浓度测量装置能够确认浓缩器是否可将氧浓缩至期望的浓度。
发明的效果
本浓度测量装置即使在导热系数相对于温度的变化率与其它的气体明显不同的气体存在于混合气体中的情况下，也能够抑制测量对象气体的浓度的测量精度降低。
附图说明
图1是从上表面观察实施方式的流量传感器的图。
图2是图1的A-A线剖视图。
图3是表示控制部的硬件结构的一个例子的图。
图4是表示在将实施方式的流量传感器应用在氧浓缩器中的情况的一个例子的图。
图5是示意性地表示流量传感器对流量的测量方法的第一图。
图6是示意性地表示流量传感器对流量的测量方法的第二图。
图7是示意性地表示在将实施方式的流量传感器应用在氧氩混合的浓度测量中的情况下氧氩混合的流动的图。
图8是示意性地例示实施方式的流量传感器的热等效回路的图。
图9是例示混合气体的导热系数与混合气体中气体的混合比的关系的图。
图10A是针对气体A与气体B的每个导热系数之差，比较混合气体的导热系数与混合气体中气体的混合比的关系的第一图。
图10B是针对气体A与气体B的每个导热系数之差，比较混合气体的导热系数与混合气体中气体的混合比的关系的第二图。
图10C是针对气体A与气体B的每个导热系数之差，比较混合气体的导热系数与混合气体中气体的混合比的关系的第三图。
图11是例示氧氩混合的导热系数与氮的导热系数的图。
图12是针对氧氩混合、例示热电堆的输出值与氧氩混合浓度的对应关系的图。
图13是例示氧氩混合的浓度与浓缩气体的导热系数的关系的图。
图14是针对氧、氮、氩三种气体的各气体，例示气温与导热系数的关系的图。
图15是例示在使向加热件施加的电压变化时氧氩混合的浓度与实施方式的流量传感器具有的热电堆的输出值的关系的图。
图16是示意性地表示在图15中例示的二次曲线的顶点位置的氧氩混合的浓度与向加热件施加的电压的关系的一个例子的图。
图17是表示实施方式的流量传感器的处理流程的一个例子的图。
图18是表示具有温度计的流量传感器的一个例子的图。
图19是表示具有对热电堆附近的浓缩气体进行加热的加热件的流量传感器的一个例子的图。
图20是表示在比实施方式更接近加热件的位置配置了热电堆的流量传感器的一个例子的图。
图21是针对丁烷、丙烷、甲烷、氢四种气体的各气体，例示温度与导热系数的关系的图。
具体实施方式
＜实施方式＞
下面，参照附图，针对一个实施方式的流量传感器进行说明。在本实施方式中，针对将检测流体的流量及流速的流量传感器应用在氧浓缩器中的情况进行说明。氧浓缩器通过从含有氮、氧及微量氩的空气中除去(减少)氮，生成氧浓度比空气高的浓缩气体。浓缩气体因为从空气中除去氮而生成，所以是含有氧、微量氩、以及未被氧浓缩器除去的氮的混合气体。下面，在本说明书中，将含有氧与微量氩的混合气体称为氧氩混合。本实施方式的流量传感器例如将浓缩气体中的氧氩混合的浓度作为测量对象。氧与氩是“规定组分”的一个例子。
图1是从上表面观察实施方式的流量传感器的图，图2是图1的A-A线剖视图。下面，在本说明书中，以主体部21侧为下、隔板22侧为上。图1中例示的流量传感器2具有主体部21及隔板22。加热件23及热电堆24、24排列为一列地配置在隔板22。在本说明书中，也将加热件23及热电堆24、24排列为一列的方向称为Y方向，将与Y方向正交的方向称为X方向，将上下方向(厚度方向)称为Z方向。
流量传感器2是对流体(例如气体)的流速及流量进行测量的传感器。流量传感器2具有主体部21及隔板22。主体部21形成为上表面开口的中空形状(研钵状)，其原材料例如为硅。如图2的例示，隔板22是将主体部21的开口在其上端部封堵的薄膜。在隔板22设有加热件23及热电堆24、24。加热件23及热电堆24、24沿Y方向排列为一列地进行配置。在区分各热电堆24、24时，将热电堆24、24的一方称为热电堆241，将另一方称为热电堆242。流量传感器2是“浓度测量装置”的一个例子。
加热件23是对隔板22进行加热的加热器。热电堆24、24是通过接受来自隔板22的热来产生温差电动势的热电对。热电堆24、24的宽度方向(Y方向)的一端24a配置在主体部21上，另一端24b在隔板22上配置在加热件23的附近(主体21的形成为中空形状的区域上)。热电堆24的一端24a例如为冷触点，另一端24b为热触点。热电堆24、24各自将由于配置在主体部21上而使温度大致恒定的冷触点(一端24a)与由于配置在加热件23附近而经由隔板22容易接受来自加热件23的热的热触点(另一端24b)的温度差作为温差电动势来输出，该温度差越高，则产生的温差电动势越高。另外，在热电堆24、24都为相同温度的情况下，热电堆24、24产生的温差电动势相同。流量传感器2例如是由加热件23对隔板22进行加热、基于由隔板22的热分布之差产生的热电堆24、24的温差电动势之差来对流速及流量进行测量的热式流量传感器。流量传感器2例如由微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems(MEMS))进行制造。流量传感器2例如是设有加热件23及热电堆24、24的隔板22向外部露出的表面安装型流量传感器。加热件23是“加热部”的一个例子。热电堆24是“热电元件”的一个例子。流量传感器2是“传感器部”的一个例子。
控制部100通过控制向加热件23施加的电压，来控制加热件23的发热量。控制部100例如在对氧氩混合的浓度进行测量时，向加热件23施加比在测量流体的流量(流量及流速)时向加热件23施加的第一电压高的第二电压。控制部100例如是具有处理器及内存的信息处理装置。图3是表示控制部的硬件结构的一个例子的图。控制部100包括：中央处理单元(Central Processing Unit(CPU))101、主存储部102、辅助存储部103、显示部104以及连接总线B1。CPU101、主存储部102、辅助存储部103及显示部104由连接总线B1相互连接。
CPU101并非限定于单一的处理器，也可以为多处理器结构。CPU101也可以是例示为微处理器单元(MCU)、片上系统(System on a chip(SoC))、系统LSI、芯片组等的处理器与集成回路的组合。
主存储部102及辅助存储部103是控制部100可读取的存储介质。主存储部102例示为从CPU101直接存取的存储部。主存储部102包括随机存取存储器(Random Access Memory(RAM))以及只读存储器(Read Only Memory(ROM))。
辅助存储部103例如是由可擦写可编程只读存储器(Erasable Programmable ROM(EPROM))、固态硬盘(Solid State Drive(SSD))、硬盘驱动器(Hard Disk Drive(HDD))等例示的非挥发性存储部。辅助存储部103存储有控制向加热件23施加的电压的程序A、及在氧氩混合的浓度测量中利用的各种参数。
在控制部100中，CPU101将在辅助存储部103中存储的程序A在主存储部102的工作区域展开，通过执行程序，进行向加热件23施加的电压的控制及氧氩混合的浓度测量。控制部100为“控制部”的一个例子。
显示部104例如对在CPU101中被处理的数据及在主存储部102中存储的数据进行显示。作为上述显示部，可以例示阴极射线管(Cathode Ray Tube(CRT))显示器、液晶显示器(Liquid Crystal Display(LCD))、等离子体显示面板(Plasma Display Panel(PDP))、电致发光(Electroluminescence(EL))面板、或有机电致发光(EL)面板之类的显示设备。
图4是表示在将实施方式的流量传感器应用在氧浓缩器中的情况的一个例子的图。氧浓缩器200通过从自外部供给的空气中除去氮，生成将氧浓缩后的浓缩气体。流量传感器2例如通过在供给氧浓缩器200将氧浓缩后的浓缩气体的流路的内部进行设置，对氧浓缩器生成的浓缩气体中的氧氩混合的浓度进行测量。
图5及图6是示意性地表示流量传感器对流量的测量方法的图。图5例示在流量传感器2的周围没有风吹的状态。在流量传感器2的周围没有风吹的情况下，温度随着与加热件23的位置远离而降低，如根据热分布H1的例示，隔板22的热分布以加热件23为中心而均匀。因此，热电堆24、24都由加热件23加热为相同的温度，热电堆24、24检测的温度也相同。
图6例示在流量传感器2的周围有风吹的状态。当以热电堆24、24之中一方为热电堆241、另一方为热电堆242时，在图6中，例示风从热电堆241吹向热电堆242的方向的状态。风的上游侧因为被风吹冷而温度降低，所以，如根据热分布H2的例示，与传感器23的上游侧相比，隔板22的热分布更偏向下游侧(与上游侧相比，下游侧为高温)。因此，位于比加热件23更靠近下游侧的热电堆242检测的温度差高于位于比加热件23更靠近上游侧的热电堆241检测的温度差。其结果是，在热电堆241检测的温度差T1与热电堆242检测的温度差T2之间产生差异。因此，通过对热电堆241检测的温度差T1与热电堆242检测的温度差T2之差ΔT1(即，T2－T1)进行测量，流量传感器2能够检测风的方向，并且检测风的强度。
在ΔT1为正的情况下，热电堆242检测的温度差T2比热电堆241检测的温度差T1高。因此，流量传感器2能够检测出有风从热电堆241吹向热电堆242的方向。另外，在ΔT1为负的情况下，热电堆241检测的温度差T1比热电堆242检测的温度差T2高。因此，流量传感器2能够检测出有风从热电堆242吹向热电堆241的方向。此外，在ΔT1为0(零)的情况下，因为任意的热电堆24、24都检测出相同的温度差，所以，流量传感器2能够检测出没有风吹(或者吹的风低于检测范围的下限)。另外，流量传感器2能够检测出ΔT1的绝对值越大，则吹的风越强。
如上述图6的例示，在将流量传感器2应用在流量的测量中的情况下，配置流量传感器2以使风在Y方向上流动。另一方面，在将流量传感器2应用在氧氩混合的浓度测量中的情况下，风在与图6例示的风的方向不同的方向上流动。图7是示意性地表示在将实施方式的流量传感器应用在氧氩混合的浓度测量中的情况下氧氩混合的流动的图。图7是从上表面观察流量传感器2的图。如图7的例示，在进行氧氩混合的浓度测量的情况下，配置流量传感器2，以使氧氩混合在与加热件23和热电堆24排列的方向(Y方向)正交的X方向上流动。在此，为了提高浓度测量的测量精度，优选使氧氩混合流动的速度尽量为低速(大致无风状态)。
图8是示意性地表示实施方式的流量传感器的热等效回路的图。在图8中，I表示加热件23的热阻，Rt表示热电堆的热阻，Rg表示浓缩气体的热阻。另外，ΔT表示无风时的热电堆24(即，热电堆241与热电堆242之中的一方的热电堆)检测的温度差ΔT。ΔT例如可以由如下的(式1)来确定。
[式1]
在上述(式1)中，因为Rt及I已知，所以，通过流量传感器2对ΔT进行测量，能够确定浓缩气体的热阻即Rg。辅助存储部103对热电堆24的温差电动势与ΔT的对应关系、向加热件23施加的电压与加热件23的发热量的对应关系、上述(式1)、以及热电堆的热阻Rt进行存储。温差电动势与ΔT的对应关系、以及向加热件23施加的电压与加热件23的发热量的对应关系例如为表格及数式等。
(气体的导热系数与混合比的关系)
图9是例示混合气体的导热系数与混合气体中气体的混合比的关系的图。在图9例示的混合气体含有气体A与气体B。气体的混合比也可以叫做气体的浓度。在图9中，纵轴例示导热系数，横轴例示混合气体中气体A与气体B的混合比。因为气体A与气体B的导热系数存在差异，所以，根据气体A与气体B的混合比，混合气体的导热系数发生变化。即，通过测量混合气体的导热系数，能够算出混合气体中气体A与气体B的混合比。实施方式的流量传感器2求出ΔT，由此，导热系数可以由上述(式1)来确定。在本实施方式中，例如气体A及气体B之中一方为氮，另一方为氧氩混合。
图10A至图10C是针对气体A与气体B的每个导热系数之差、比较混合气体的导热系数与混合气体中气体的混合比的关系的图。在图10A至图10C中，与图9相同，纵轴例示导热系数，横轴例示含有气体A与气体B的混合气体中气体A与气体B的混合比。在图10A至图10C中，在图10A中例示气体A与气体B的导热系数之差较大的状态，在图10C中例示气体A与气体B的导热系数之差较小的情况，图10B例示气体A与气体B的导热系数之差为图10A与图10C的中间的状态。
如图10A的例示，当气体A与气体B的导热系数之差较大时，气体A与气体B的混合气体的导热系数根据气体A与气体B的混合比而明显发生变化。即，气体A的混合比为100％的状态下气体A和气体B的混合气体的导热系数与气体B的混合比为100％的状态下气体A和气体B的混合气体的导热系数之差增大。而且，如图10B、图10C的例示，随着气体A的导热系数与气体B的导热系数之差减小，气体A的混合比为100％的状态下气体A和气体B的混合气体的导热系数与气体B的混合比为100％的状态下气体A和气体B的混合气体的导热系数之差减小。即，可以说为了提高基于导热系数来算出混合气体中某气体的混合比的精度，优选成为使混合气体中含有的各气体的导热系数之差较大的状态。
图11是例示氧氩混合的导热系数与氮的导热系数的图。在图11中，纵轴例示导热系数，横轴例示温度。即，图11例示导热系数相对于温度的变化。在以后的附图中，有时将氧氩混合表示为“O2+Ar”、或“O2Ar”。参照图11可知，导热系数相对于温度的变化率在氧氩混合与氮之间明显不同。因此，尽管在由区域R1包围的范围(高温区域)内，氧氩混合与氮的导热系数差较大，但在由区域R2包围的范围(低温区域)内，氧氩混合与氮的导热系数差较小。另外，在温度比区域R2的温度高的范围内氧氩混合的导热系数比氮高，另一方面，在区域R2的温度以下的范围内氧氩混合的导热系数比氮低。即，在图11中，存在氧氩混合的导热系数与氮的相对于温度的导热系数交叉、反转的范围。
即，因为在高温区域氧氩混合的导热系数与氮的导热系数之差较大，所以，能够基于混合气体的导热系数适当地算出含有氧氩混合和氮的混合气体中氧氩混合的混合率。另一方面，因为在低温区域氧氩混合的导热系数与氮的导热系数之差较小(或者氧氩混合与氮的相对于温度的导热系数交叉、反转)，所以，难以基于混合气体的导热系数算出含有氧氩混合与氮的混合气体中氧氩混合的混合率(算出精度降低)。
当将图10A至图10C与图11进行比较时，可以理解，为了提高含有氧氩混合与氮的浓缩气体中氧氩混合的混合比的算出精度，只要通过使浓缩气体的温度上升来增大氧氩混合的导热系数与氮的导热系数之差即可。辅助存储部103针对浓缩气体的每个温度，存储有浓缩气体的导热系数与氮及氧氩混合的混合比的对应关系。
此外针对浓缩气体的导热系数与氧氩混合浓度的关系进行说明。图12是针对氧氩混合例示热电堆的输出值与氧氩混合浓度的对应关系的图。在图12中，纵轴例示热电堆24的温差电动势，横轴例示氧氩混合的浓度。在图12中，针对浓缩气体的温度为摄氏60度、摄氏25度及摄氏零下10度的情况进行了例示。
参照图12可知，在浓缩气体的温度为摄氏60度的情况下，热电堆24的输出值与氧氩混合浓度一对一对应。因此，在摄氏60度的情况下，基于热电堆24的输出值，能够唯一确定氧氩混合浓度。然而，在浓缩气体的温度为摄氏25度的情况下，从氧氩混合浓度超过80％左右起，热电堆24的输出值与氧氩混合浓度的一对一关系开始破裂。此外，在浓缩气体的温度为摄氏零下10度的情况下，从氧氩混合浓度超过50％左右起，热电堆24的输出值与氧氩混合浓度的一对一关系开始破裂。在热电堆24的输出值与氧氩混合浓度的一对一关系破裂的范围内，基于热电堆24的输出值不能唯一确定氧氩混合浓度，所以，流量传感器2对氧氩混合浓度的测量精度降低，或不可进行测量。
图13是例示氧氩混合的浓度与浓缩气体的导热系数的关系的图。在图13中，纵轴例示导热系数，横轴例示氧氩混合的浓度。在图13中，例示了对氧氩混合的浓度与导热系数的关系进行模拟后的结果。正如参照图13可理解的那样，浓缩气体的导热系数与氧氩混合的浓度的关系为二次曲线。这可以认为是因为混合气体中不同种类的分子间的热传导效率比同一种类的分子间的导热系数低。在二次曲线中，因为浓度的增减隔着顶点反转，所以，相对于一个表示导热系数的值，对应有两个表示浓度的值。
参照图13可知，根据浓缩气体的温度变化，二次曲线的顶点位置发生变化。例如在图13中，在温度为摄氏零下10度的情况下，在氩混入气体的浓度为80％的情况与40％的情况下，浓缩气体的导热系数大致相同。只要上述的两个表示浓度的值之中一方的值为测量范围以外的值(例如，为表示浓度的变化区域的、0％以上100％以下的范围外)，则通过去掉该值，可以测量正确的浓度。即，只要将顶点的位置设定为作为浓度测量对象的范围外，可以在作为测量对象的范围内使导热系数与浓度的对应为一对一。另外，参照图13可以理解，当浓缩气体的温度降低时，导热系数与混合气体的浓度的关系非一对一的范围扩大，当浓缩气体的温度增高时，导热系数与氧氩混合的浓度的关系为一对一的范围扩大。
图14是针对氧、氮、氩三种气体的各气体例示气温与导热系数的关系的图。在图14中，纵轴例示导热系数，横轴例示气温。参照图14可以理解，因为与氮及氧进行比较，氩的导热系数非常低，所以，即使混入少量的氩，氧与氮的导热系数之差也会减小。
氧浓缩器生成的浓缩气体如上所述，因为是含有氧与微量氩的混合气体，所以，实施方式的流量传感器2优选可提高混合气体即浓缩气体中氧氩混合的浓度的测量精度。
图15是例示在使向加热件施加的电压改变时氧氩混合的浓度与实施方式的流量传感器具有的热电堆的输出值的关系的图。在图15中，纵轴例示热电堆24的温差电动势(输出值)，横轴例示氧氩混合的浓度。
在图15中，针对表示二次曲线性变化的氧氩混合的浓度与实施方式的流量传感器具有的热电堆的输出值的关系的各二次曲线，用“×(叉)标识”例示了顶点的位置。
如参照图15可理解的那样，随着使向加热件23施加的电压增加0V、1V、2V、3V、4V，二次曲线的顶点的位置在纵轴方向上向热电堆24的输出值较低的位置移动，并且在横轴方向上向表示浓度为100％的方向移动。其结果是，随着提高向加热件23施加的电压，热电堆24的输出值与氧氩混合的浓度以一对一对应的范围扩大。这可以认为是由于通过提高向加热件23施加的电压，热电堆24附近的空气的温度上升。
图16是示意性地表示图15中例示的二次曲线顶点位置的氧氩混合的浓度与向加热件施加的电压的关系的一个例子的图。在图16中，纵轴例示氧氩混合的浓度，横轴例示向加热件23施加的电压。在图16中，作为混合气体的温度，例示了摄氏60度、摄氏25度、摄氏零下10度的情况。
参照图16可以理解，针对摄氏60度、摄氏25度、摄氏零下10度的各情况，二次曲线的顶点位置的浓度与向加热件23施加的电压大致成正比。另外，参照图16可以理解，越提高向加热件23施加的电压，则二次曲线的顶点位置的氧氩混合的浓度越高。在图16中，例如当将向加热件23施加的电压设定为1.5V时，在混合气体的温度为摄氏零下10度的情况下，顶点位置的浓度为60％，在为摄氏25度的情况下，顶点位置的浓度为100％。即，通过使含有氧氩混合与氮的浓缩气体的温度上升，二次曲线的顶点移动，其结果为，如图10A至图10C中的说明，能够使高温区域即区域R1中氮与氩混入气体的导热系数之差扩大，并提高流量传感器2对氧氩混合的混合比(浓度)测量精度。
图17是表示实施方式的流量传感器的处理流程的一个例子的图。在图17例示的处理流程中，流量传感器2对氧浓缩器200浓缩后的浓缩气体中的氧氩混合的浓度进行测量。下面，参照图17，针对实施方式的流量传感器2的处理流程的一个例子进行说明。
在步骤S1中，由氧浓缩器200生成的浓缩气体被导入流量传感器2的热电堆24附近。在步骤S2中，控制部100通过向加热件23施加电压，使加热件23发热。利用来自加热件23的热量，对向热电堆24的附近导入的浓缩气体进行加热。
在步骤S3中，控制部100获取热电堆24的温差电动势。控制部100基于在辅助存储部103中存储的温差电动势与ΔT的对应关系，确定ΔT。此外，控制部100从辅助存储部103，获取热电堆24的热阻Rt、以及在步骤S2中与施加的电压对应的加热件23的发热量。控制部100通过将从辅助存储部103获取的热电堆的热阻与加热件23的发热量应用在辅助存储部103所存储的(式1)中，算出浓缩气体的热阻。
在步骤S4中，控制部100基于在步骤S3中算出的热阻，算出浓缩气体中氧氩混合的浓度。控制部100基于在步骤S3中算出的浓缩气体的热阻，算出浓缩气体的导热系数。控制部100参照辅助存储部103所存储的浓缩气体的导热系数与氮及氧氩混合的混合比的对应关系，确定氧氩混合的混合比(浓度)。在步骤S5中，控制部100使在步骤S4中确定的氧氩混合的浓度在显示部104显示。
(流量传感器的作用效果)
如参照图12及图13所述，氧氩混合的浓度与导热系数的关系在低温区域(例如摄氏零下10度附近)一对一的关系破裂。实施方式的流量传感器2通过控制部100使向加热件23施加的电压上升，能够使热电堆24的输出值与氧氩混合的浓度一对一对应的范围扩大。
在实施方式的流量传感器2中，控制部100在流量传感器2测量氧氩混合的浓度时，向加热件23施加比测量流体的流速及流量时向加热件23施加的第一电压高的第二电压。通过使向加热件23施加的电压上升，提高氧氩混合的浓度测量精度。即，即使对于导热系数相对于温度的变化率与氮明显不同的氧氩混合，也能够提高浓度测量精度。上述效果在低温的浓缩气体向流量传感器2中供给的情况下也是有效的。
＜变形例＞
实施方式的流量传感器2也可以具有测量浓缩气体的温度的温度计。图18是表示具有温度计的流量传感器的一个例子的图。图18例示的流量传感器2a具有测量浓缩气体的温度的温度计25。设有温度计25的位置只要是可测量浓缩气体的温度的位置即可，未特别限定。
流量传感器2a在控制部100的辅助存储部103中存储有如图16例示的、二次曲线的顶点位置的氧氩混合的浓度与向加热件23施加的电压的浓度/电压关系。即，可以说辅助存储部103中存储有如下的对应关系，即，对于向加热件23施加的每个电压，基于热电堆24的输出值(温差电动势)可唯一确定混合气体的浓度的范围与加热件23的电压的对应关系。在辅助存储部103中存储浓度/电压关系时的数据形式未特别限定。辅助存储部103中例如也可以以函数、表格等的形式存储浓度/电压关系。通过形成为上述结构，控制部100在从温度计25获取外部气温时，能够参照在辅助存储部103中存储的浓度/电压关系，确定可测量氧氩混合的浓度的电压，并向加热件23施加确定的电压。
在实施方式中，虽然将在隔板22的加热中使用的加热件23转用于浓缩气体的加热，但流量传感器也可以另外具有对热电堆24、24附近的浓缩气体进行加热的加热件。图19是表示具有对热电堆附近的浓缩气体进行加热的加热件的流量传感器的一个例子的图。图19为从上表面观察流量传感器2b的图。图19例示的流量传感器2b在热电堆24、24的附近分别具有加热件23a。
利用上述的结构，也能够对热电堆24、24附近的浓缩气体进行加热，所以能够提高氧氩混合的浓度测量精度。另外，通过将加热件23及加热件23a配置在利用MEMS制造的流量传感器上，能够同时形成加热件23及加热件23a，因而能够降低制造成本。另外，因为加热件23与加热件23a配置在同一MEMS流量传感器上，所以容易使流量传感器小型化。
热电堆24、24也可以配置在比实施方式的流量传感器2更靠近加热件23的位置。图20是表示在比实施方式更靠近加热件的位置配置了热电堆的流量传感器的一个例子的图。图20为从上表面观察流量传感器2c的图。在图20中，以虚线例示了图1例示的实施方式的流量传感器2中热电堆24的位置。在图20例示的流量传感器2c中，在比实施方式的流量传感器2更靠近加热件23的位置配置有热电堆24、24。通过将热电堆24、24配置在上述位置，能够由加热件23比实施方式更有效地对热电堆24、24附近的浓缩气体进行加热。
在如上的说明中，虽然在氧氩混合的浓度测量中应用了流量传感器2，但流量传感器2也可以应用在氧氩混合以外的气体的浓度测量中。在下面，作为一个例子，针对在例示为LP气体及市政煤气的燃气中混入的氢的浓度测量中应用流量传感器2的方式进行说明。LP气体的主组分为丙烷和丁烷，市政煤气的主组分为甲烷。为了抑制在燃烧燃气时产生二氧化碳，并使燃气为在燃料电池中使用的氢的供给源，有时在燃气混入有氢。
图21是针对丁烷、丙烷、甲烷、氢四种气体的各气体例示温度与导热系数的关系的图。在图21中，横轴例示气体的温度。另外，在图21中，左侧的纵轴例示丁烷、丙烷、甲烷(下面总称为CxHy)的导热系数，右侧的纵轴例示氢的导热系数。参照图21可以理解，当对CxHy与氢的混合气体进行加热时，CxHy与氢的导热系数之差增大。即，通过对CxHy与氢的混合气体进行加热，能够使导热系数与氢的浓度一对一对应。
实施方式的流量传感器2通过加热使CxHy与氢的混合气体的温度为相对于导热系数可唯一确定氢浓度的范围，由此而能够应用在氢的浓度测量中。这样，实施方式的流量传感器2通过对混合气体进行加热，使混合气体的温度为相对于导热系数可唯一确定测量对象气体的浓度的范围，由此能够应用在各种测量对象气体的浓度测量中。
在如上所述的实施方式及变形例中，作为流量传感器的一个例，例举了使用热电堆24的热式流量传感器。然而，公开的技术不限于热式流量传感器。公开的技术例如只要是根据流体的导热系数(或热阻系数)输出值发生变化的传感器，也可以应用在热式流量传感器以外的流量传感器中。作为上述传感器，例如可以例举测温电阻、辐射温度计等。另外，作为辐射温度计，例如可以例举辐射热计、热电传感器等。
控制部100也可以控制向加热件23施加的电压，以使加热件23产生的发热量恒定。通过这样对加热件23控制发热量，能够抑制热电堆24、24附近的浓缩气体的温度变化(恒定)，所以能够降低周边环境对热电堆24、24输出的温差电动势产生的影响。因此，能够简化、或省略测量浓度时的校准。另外，能够期待延长加热件23的使用寿命。
在实施方式的流量传感器2中，也可以在氧浓缩器200生成浓缩气体时向加热件23供给电力，在氧浓缩器200不生成浓缩气体时停止向加热件23供给电力。通过采用上述结构，能够期待使流量传感器2省电，并且延长加热件23的使用寿命。
实施方式的流量传感器2虽然对氧浓缩器200浓缩的浓缩气体中的氧氩混合的浓度进行了测量，但流量传感器2测量的对象不限于浓缩气体中的氧氩混合。流量传感器2也可以对含有多种气体的混合气体中的规定组分的浓度进行测量。
实施方式的流量传感器2具有两个热电堆24，但在不测量流体的流速及流量、而只测量氧氩混合的浓度的情况下，也可以具有一个热电堆24。
＜附录1＞
一种浓度测量装置(2)，其特征在于，具有：
传感器部(2、22、23、24)，其基于所述测量对象气体的导热系数，对含有两种以上组分的混合气体中的测量对象气体(氧、氩、氢)的浓度进行测量；
加热部(23)，其对所述混合气体进行加热，以相对于所述导热系数可唯一确定所述测量对象气体的浓度。
＜附录2＞
一种浓度测量装置，能够在生成提高了空气中两种以上规定组分(氧、氩)的浓度的浓缩气体的浓缩器(200)中应用，该浓度测量装置(2)的特征在于，具有：
传感器部(2、22、23、24)，其基于所述混合气体的导热系数，对所述浓缩气体中含有两种以上所述规定组分的混合气体的浓度进行测量；
加热部(23)，其对所述混合气体进行加热，以相对于所述导热系数可唯一确定所述混合气体的浓度。
如上所述的实施方式及变形例可分别进行组合。
附图标记说明
2，2a，2b，2c流量传感器；21主体部；22隔板；23，23a加热件；24，241，242热电堆；24a一端；24b另一端；25温度计；100控制部；101CPU；102主存储部；103辅助存储部；200氧浓缩器。
Claims (5)
1.一种浓度测量装置，其特征在于，具有：
传感器部，其基于测量对象气体的导热系数，对含有两种以上组分的混合气体中的所述测量对象气体的浓度进行测量；
加热部，其对所述混合气体进行加热，以相对于所述导热系数可唯一确定所述测量对象气体的浓度。
2.如权利要求1所述的浓度测量装置，其特征在于，
所述传感器部包括：产生与温度相应的电动势的一对热电元件、以及在所述一对热电元件之间配置且根据施加的电压进行发热的加热部，根据由所述加热部加热的所述一对热电元件产生的电动势，对所述混合气体的流量进行测量，
还具有控制向所述加热部施加的电压的控制部，
所述控制部向所述加热部施加比测量所述混合气体的流量时施加的第一电压高的第二电压，使所述传感器部对所述测量对象气体的浓度进行测量。
3.如权利要求2所述的浓度测量装置，其特征在于，
还具有对所述混合气体的温度进行测量的温度计，
所述控制部针对所述混合气体的每个温度，存储有基于所述热电元件产生的电动势而可唯一确定所述测量对象气体的浓度的范围与向所述加热部施加的电压的对应关系，
所述控制部获取所述温度计测量的所述混合气体的温度，基于获取到的所述温度来参照所述对应关系，由此确定所述第二电压。
4.如权利要求1至3中任一项所述的浓度测量装置，其特征在于，
所述浓度测量装置在生成提高了空气中的两种以上规定组分的浓度的浓缩气体的浓缩器中应用，
所述混合气体为所述浓缩器浓缩的浓缩气体，
所述测量对象气体为含有在所述浓缩气体中含有的两种以上所述规定组分的气体。
5.如权利要求4所述的浓度测量装置，其特征在于，
所述浓缩器通过从含有氮、氧、以及氩的空气中除去氮，生成提高了氧与氩的浓度的浓缩气体，
所述规定组分包括氧与氩，
在所述浓缩器供给所述浓缩气体的流路设有所述传感器部。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019-051263 | 2019-03-19 | ||
| JP2019051263 | 2019-03-19 | ||
| PCT/JP2020/011702 WO2020189677A1 (ja) | 2019-03-19 | 2020-03-17 | 濃度測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113518914A true CN113518914A (zh) | 2021-10-19 |
Family
ID=72520138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202080017860.XA Pending CN113518914A (zh) | 2019-03-19 | 2020-03-17 | 浓度测量装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11994481B2 (zh) |
| JP (1) | JP7168069B2 (zh) |
| CN (1) | CN113518914A (zh) |
| DE (1) | DE112020001358T5 (zh) |
| WO (1) | WO2020189677A1 (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116593075A (zh) * | 2023-07-19 | 2023-08-15 | 浙江朗德电子科技有限公司 | 一种氢气传感器检测单元、制备方法及检测方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102023205862A1 (de) | 2023-06-22 | 2024-04-04 | Vitesco Technologies GmbH | Verfahren und Gassensor zum Ermitteln der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch und/oder der Temperatur des Gasgemischs und Batterieanordnung |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN88101718A (zh) * | 1987-04-04 | 1988-10-26 | 哈特曼和布朗股份公司 | 确定混合气中各气体浓度的方法和测量导热率的传感器 |
| EP0698786A1 (en) * | 1994-08-23 | 1996-02-28 | RICOH SEIKI COMPANY, Ltd. | Atmosphere measuring device and flow sensor |
| JP2004286492A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Japan Science & Technology Agency | 気体センシングシステムとこれに用いる温度センサ |
| JP2013076699A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Belenos Clean Power Holding Ag | ２成分混合物中の気体の濃度を検出するための気体センサおよび方法 |
| JP2014132232A (ja) * | 2013-01-06 | 2014-07-17 | Mitsuteru Kimura | 酸素を含む水素吸収膜を用いた水素ガスセンサ |
| CN105229451A (zh) * | 2013-05-23 | 2016-01-06 | 木村光照 | 具有浓缩功能的氢气传感器以及其中使用的氢气传感器探头 |
| US20160161951A1 (en) * | 2014-12-04 | 2016-06-09 | Sensirion Ag | Determination of fluid composition in a mass flow controller |
| JP2017502904A (ja) * | 2013-12-20 | 2017-01-26 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． | センサシステム及びセンサシステムを有する酸素分離器 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2889910B2 (ja) * | 1993-10-18 | 1999-05-10 | リコーエレメックス株式会社 | 雰囲気検出装置 |
| JP2002136595A (ja) | 2000-10-31 | 2002-05-14 | Nippon Applied Flow Kk | 呼吸器流量計 |
| JP5652315B2 (ja) | 2011-04-28 | 2015-01-14 | オムロン株式会社 | 流量測定装置 |
| JP6435389B2 (ja) | 2017-10-13 | 2018-12-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置 |
| JP6825589B2 (ja) * | 2018-02-20 | 2021-02-03 | オムロン株式会社 | 検出装置 |
-
2020
- 2020-03-17 US US17/434,963 patent/US11994481B2/en active Active
- 2020-03-17 DE DE112020001358.8T patent/DE112020001358T5/de active Pending
- 2020-03-17 WO PCT/JP2020/011702 patent/WO2020189677A1/ja active Application Filing
- 2020-03-17 CN CN202080017860.XA patent/CN113518914A/zh active Pending
- 2020-03-17 JP JP2021507371A patent/JP7168069B2/ja active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN88101718A (zh) * | 1987-04-04 | 1988-10-26 | 哈特曼和布朗股份公司 | 确定混合气中各气体浓度的方法和测量导热率的传感器 |
| EP0698786A1 (en) * | 1994-08-23 | 1996-02-28 | RICOH SEIKI COMPANY, Ltd. | Atmosphere measuring device and flow sensor |
| JP2004286492A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Japan Science & Technology Agency | 気体センシングシステムとこれに用いる温度センサ |
| JP2013076699A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Belenos Clean Power Holding Ag | ２成分混合物中の気体の濃度を検出するための気体センサおよび方法 |
| CN103105412A (zh) * | 2011-09-29 | 2013-05-15 | 巴莱诺斯清洁能源控股公司 | 用于确定二组分混合物中气体浓度的气体传感器和方法 |
| JP2014132232A (ja) * | 2013-01-06 | 2014-07-17 | Mitsuteru Kimura | 酸素を含む水素吸収膜を用いた水素ガスセンサ |
| CN105229451A (zh) * | 2013-05-23 | 2016-01-06 | 木村光照 | 具有浓缩功能的氢气传感器以及其中使用的氢气传感器探头 |
| JP2017502904A (ja) * | 2013-12-20 | 2017-01-26 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェＫｏｎｉｎｋｌｉｊｋｅ Ｐｈｉｌｉｐｓ Ｎ．Ｖ． | センサシステム及びセンサシステムを有する酸素分離器 |
| US20160161951A1 (en) * | 2014-12-04 | 2016-06-09 | Sensirion Ag | Determination of fluid composition in a mass flow controller |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116593075A (zh) * | 2023-07-19 | 2023-08-15 | 浙江朗德电子科技有限公司 | 一种氢气传感器检测单元、制备方法及检测方法 |
| CN116593075B (zh) * | 2023-07-19 | 2023-10-13 | 浙江朗德电子科技有限公司 | 一种氢气传感器检测单元、制备方法及检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE112020001358T5 (de) | 2021-12-09 |
| US11994481B2 (en) | 2024-05-28 |
| JPWO2020189677A1 (zh) | 2020-09-24 |
| JP7168069B2 (ja) | 2022-11-09 |
| US20220136988A1 (en) | 2022-05-05 |
| WO2020189677A1 (ja) | 2020-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4505842B2 (ja) | 熱伝導率測定方法とその装置およびガス成分比率測定装置 | |
| TWI635258B (zh) | 具有用於流體成份補償之微機電系統熱流感測器及用於量測一流體之流率之方法 | |
| EP2241810B1 (en) | Flow rate control device | |
| JP5584267B2 (ja) | ２成分混合物中の気体の濃度を検出するための気体センサおよび方法 | |
| CN113518914A (zh) | 浓度测量装置 | |
| JP2004286492A (ja) | 気体センシングシステムとこれに用いる温度センサ | |
| US20150006092A1 (en) | Device and method for determining the mass-flow of a fluid | |
| EP2369337A2 (en) | Calorific value calculation formula creation system, method of creating calorific value calculation formula, calorific value measurement system, and method of measuring calorific value | |
| JP2947904B2 (ja) | 酸素感知方法およびその装置 | |
| JP2004138425A (ja) | 圧力式流量制御装置の温度測定装置 | |
| Kim et al. | Propane/butane semiconductor gas sensor with low power consumption | |
| JP2010237005A (ja) | ガス物性値計測システム、ガス物性値の計測方法、発熱量算出式作成システム、発熱量算出式の作成方法、発熱量算出システム、及び発熱量の算出方法 | |
| KR102301888B1 (ko) | 히터 전류의 변화를 이용한 가스센서 모듈의 온도 보정방법 | |
| CN111051824B (zh) | 流量测定装置、具备流量测定装置的气量计以及用于气量计的流量测定装置单元 | |
| Cerimovic et al. | Bidirectional micromachined flow sensor featuring a hot film made of amorphous germanium | |
| RU2138799C1 (ru) | Газоанализатор | |
| JP2021135156A (ja) | 流量測定装置 | |
| US20230213467A1 (en) | Gas sensor comprising one or more sensing wires | |
| Nakamura et al. | Study of design optimization method for ultra-low power micro gas sensor | |
| JP2009116904A (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
| JP2010218571A (ja) | 圧力式流量制御装置 | |
| EP2833131B1 (en) | Calorific value measurement system and method of measuring a calorific value | |
| CN113518899A (zh) | 流量测量装置、具备流量测量装置的燃气表及用于燃气表的流量测量装置单元 | |
| Rudolph et al. | Infrared based wall shear stress measurement techniques | |
| JPH0829385A (ja) | 酸素濃度検出計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |