JP6251807B2 - 極低温冷凍機および他の装置用の非回転フレクシャーベアリング - Google Patents

Description

本願は、所望の配置で部材を保持する装置に関する。特に、本発明は、極低温冷凍機および他の装置用の非回転フレクシャーベアリングに関する。

極低温冷凍機は、各種部材の極低温までの冷却に、しばしば使用される。例えば、極低温冷凍機は、結像システムの異なる種類の焦点面アレイの冷却に使用され得る。しばしば、極低温冷凍機のある部材を、極低温冷凍機の他の部材に対して、一定の位置に固定することが要求され、あるいは望ましい場合がある。これは、例えば、極低温冷凍機の適切な作動を確実に行うために、または極低温冷凍機もしくはシステム全体における障害を抑制するために、必要となる。極低温冷凍機の部材を固定する一つの対応策には、極低温冷凍機の移動機構をサポート構造に接続するフレクシャーベアリングを使用することが含まれる。従来のフレクシャーベアリングは、らせんパターンで配置されたアームを有し、該アームは、極低温冷凍機の移動機構とサポート構造の間に延伸する。

本発明では、極低温冷凍機および他の装置用の非回転フレクシャーベアリングが提供される。

第1の実施形態では、機器は、サポート構造および装置に固定されるように構成された、外側ハブおよび内側ハブを有する。また、当該機器は、外側ハブと内側ハブを接続する曲げアームの複数の組を有する。曲げアームの各組は、対称な曲げアームを有する。

第2の実施形態では、システムは、装置と、サポート構造と、前記装置を前記サポート構造に接続するように構成されたフレクシャーベアリングと、を有する。フレクシャーベアリングは、前記サポート構造および前記装置に固定されるように構成された、外側ハブおよび内側ハブを有する。また、フレクシャーベアリングは、外側ハブと内側ハブを接続する曲げアームの複数の組を有する。曲げアームの各組は、対称な曲げアームを有する。

第3の実施形態では、方法は、フレクシャーベアリングに結合された装置を移動するステップを有する。フレクシャーベアリングは、装置およびサポート構造に固定させるように構成された、外側ハブおよび内側ハブを有する。また、当該方法は、移動の結果として、フレクシャーベアリング内の曲げアームを変形させるステップを有する。フレクシャーベアリングは、外側ハブと内側ハブを接続する曲げアームの複数の組を有する。曲げアームの各組は、対称な曲げアームを有する。当該方法は、さらに、移動の間、装置の回転を実質的に抑制するステップを有する。

以下の図面、説明、および特許請求の範囲から、当業者には、他の特徴が容易に理解され得る。

本願の開示および特徴のさらなる完全な理解のため、添付図面とともに、以下の記載が参照される。

本発明による非回転フレクシャーベアリングを有するシステムの一例を示した図である。 本発明による非回転フレクシャーベアリングの一例を示した図である。 本発明による非回転フレクシャーベアリングの一例を示した図である。 本発明による非回転フレクシャーベアリングの他の例を示した図である。 本発明による非回転フレクシャーベアリングの他の例を示した図である。 本発明による非回転フレクシャーベアリングの他の例を示した図である。 本発明による非回転フレクシャーベアリングを用いる方法の一例を示した図である。

本願において、以下に示す、図1乃至図7および本発明の原理を記載するために使用された各種実施形態は、一例を示すためのものであり、本発明の範囲を限定するものと解してはならない。本発明の原理が、いかなる種類の好適に配置されたシステムにおいて実施されても良いことは、当業者には理解できる。

図1には、本発明による非回転フレクシャーベアリングを有する、一例としてのシステム100を示す。図1に示すように、システム100は、圧縮機102を有し、この圧縮機は、他の部材（図示されていない）とともに使用され、極低温冷凍機を形成する。極低温冷凍機は、通常、極低温まで、または他の極めて低い温度まで、他の部材を冷却できる装置を表す。図1において、図1の左側の部材は、図1の右側にミラー化されており、簡略化のため、圧縮機102の片側の部材だけが参照符号を用いて表される。

この例において、圧縮機102は、モータ磁石104と、モータコイル106とを有し、これらは、圧縮機ピストン108を動かすように作動される。ピストン108は、各圧縮サイクルの間、前後にストロークし、これにより、移送ラインを介して提供される流体に、繰り返し圧力変化が生じる。流体の制御された膨脹および圧縮により、1または2以上の部材に、所望の冷却が形成される。これは、圧縮機102のある特定の実施例を表しており、システム100には、他のいかなる好適な圧縮機を使用してもよいことに留意する必要がある。

圧縮機102および極低温冷凍機の他の部材（例えば拡張器および平衡器ユニット）は、ハウジング112内に配置され、このハウジングは、エンドキャップ114によりシールされる。ハウジング112は、サポート構造を有し、圧縮機102は、ここに取り付けられる。ハウジング112は、極低温冷凍機（またはその一部）を取り囲みまたは保護する、いかなる好適な構造を表してもよい。エンドキャップ114は、極低温冷凍機ハウジングを密閉する、いかなる好適な構造を表してもよい。

圧縮機102の位置の正確な制御を支援するため、ハウジング112に圧縮機102を取り付けるための、複数のフレクシャーベアリングが提供される。この例では、フレクシャーベアリングの複数のスタック116a−116bが存在する。各スタック116a−116bは、1または2以上のフレクシャーベアリングを有してもよい。以下により詳しく示すように、各フレクシャーベアリングは、通常、外側ハブ、内側ハブ、および曲げアームを有する。外側ハブおよび内側ハブは、（ハウジング112のような）サポート構造、および移動部材（例えば圧縮機102または極低温冷凍機の他の部分）を有する装置に固定される。曲げアームは、外側ハブと内側ハブを結合する。曲げアームの対称的な組は、装置が移動した際に、該装置の回転防止を支援するように構成される。フレクシャーベアリングの一実施例は、以下に示す。

前述のように、ある従来のフレクシャーベアリングは、らせんパターンで配置されたアームを有し、該アームは、極低温冷凍機の移動部材とサポート構造の間に延伸する。この従来のフレクシャーベアリングは、通常、所望の配置で極低温冷凍機の移動部材を保持するが、この構成の一つの問題は、移動部材が回転し得ることである。移動部材の回転は、大きなシステムの作動の際に、障害を引き起こす（極低温冷凍機の「排出外乱」と称する）。本願に記載の非回転フレクシャーベアリングでは、所定の位置における極低温冷凍機の部材の固定と、部材の回転の抑制もしくは排除の両方が支援される。特に、これは、部材のオフ軸振動およびモーメントを抑制または最小化することを支援する。そのようなオフ軸振動およびモーメントは、らせん構造のフレクシャーベアリングでは固有の事象である。極低温冷凍機の部材は、その位置において依然外乱を受けるものの、非回転フレクシャーベアリングの使用により、極低温冷凍機からの排出外乱として、十分に低いレベルを得ることが可能となる。これは、例えば、それぞれのボアに配列された圧縮機ピストン108を維持することを支援する際に有益である。

極低温冷凍機は、いかなる好適な部材の冷却に使用されてもよい。例えば、極低温冷凍機は、焦点面アレイの冷却に使用できる。これは、赤外線センサを含む、各種タイプの用途に使用される画像検知装置を表す。しかしながら、極低温冷凍機は、他のいかなる好適なシステムの部材の冷却に使用されてもよい。極低温冷凍機が使用される他の例には、冷却計算部材（例えばプロセッサ）、電気通信における無線周波数部材、および深宇宙通信機器（例えばRFフィルタ）、磁気共鳴画像化（MRI）システム、ならびに超伝導電子機器が含まれる。これらの使用は、単なる一例に過ぎず、極低温冷凍機は、他の任意のタイプのシステムにおける部材の冷却に使用され得る。

図1において、圧縮機102は、極低温冷凍機の一部を表し、極低温冷凍機は、例えば拡張器および平衡器ユニットのような、他の各種部材を有し得ることに留意する必要がある。また、拡張器、平衡器ユニット、または極低温冷凍機の他の部材は、移動部材を有し、1または2以上の非回転フレクシャーベアリングは、前述の方法と同じまたは同様の方法で、これらの移動部材とともに使用されてもよい。

図1には、非回転フレクシャーベアリングを有するシステム100の一例が示されているが、図1に対して、各種変更が可能である。例えば、圧縮機102は、ハウジング112と結合された状態で示されているが、1または2以上のフレクシャーベアリングを使用して、他のいかなる好適な部材を、任意の好適なサポート構造に固定するように支援してもよい。非回転フレクシャーベアリングは、極低温冷凍機との使用に限定されるものではない。

図2および図3には、本発明による非回転フレクシャーベアリング200の一例を示す。フレクシャーベアリング200は、いかなる好適なシステムに使用されてもよい。例えば、フレクシャーベアリング200は、図1のシステム100において、スタック116a−116b内に収容されたフレクシャーベアリングを表してもよい。

図2に示すように、フレクシャーベアリング200は、外側ハブ202および内側ハブ204を有する。外側ハブ202は、サポート構造に固定され、内側ハブ204は、装置に固定される（例えば、圧縮機102または極低温冷凍機の他の部材）。あるいは、外側ハブ202は、装置に固定され、内側ハブ204は、サポート構造に固定されてもよい。これにより、フレクシャーベアリング200は、サポート構造に対する所望の位置で、極低温冷凍機部材または他の装置が固定されることを支援する。装置は、外力により一時的に移動するが、フレクシャーベアリング200は、装置が所定の位置に迅速に戻ることを支援する。図1に示すように、複数のフレクシャーベアリング200を用いて（例えばスタックにおいて）、バネ剛性、さらには極低温冷凍機または他の装置における移動機構の固有周波数の調整が支援される。

ハブ202−204の円形状は、単なる一例に過ぎないことに留意する必要がある。フレクシャーベアリング200の各ハブ202−204は、いかなる好適なサイズ、形状、および寸法を有してもよい。特定の実施例では、外側ハブ202は、約4.7インチ（約119.38mm）の内径、および約5.4インチ（約137.16mm）の外径を有し、内側ハブ204は、約1.375インチ（約34.925mm）の内径、および約2.42インチ（約61.468mm）の外径を有する。

各ハブ202−204は、各種開口206を有する。開口206は、接合具を受容するように配置され、この接合具は、フレクシャーベアリング200を、サポート構造、極低温冷凍機または他の装置に結合する。例えば、各開口206により、ハブ202−204を貫通するボルトが挿入され、フレクシャーベアリング200がサポート構造または極低温冷凍機または他の装置に固定される。各開口206は、いかなる好適なサイズ、形状、および寸法を有してもよい。ただし、他のいかなる好適な機構を使用して、フレクシャーベアリング200を固定してもよいことに留意する必要がある。

また、図2に示すように、フレクシャーベアリング200は、3組の曲げアーム208a−208cを有する。曲げアームの組208a−208cは、外側ハブ202と内側ハブ204を結合する。その結果、フレクシャーベアリング200がサポート構造、極低温冷凍機、または他の装置に固定されると、曲げアームの組208a−208cは、極低温冷凍機部材または他の装置が所望の配置で保持されることを支援する。外力により曲げアームが変形し、極低温冷凍機部材または他の部材に移動が生じても、曲げアームは、装置が所定の配置に戻るように作動する。図2に示した例では、3組の曲げアーム208a−208cは、中心軸の周りに、約120゜の間隔で放射状に配置される。

各曲げの組208a−208cは、2つの曲げアーム210a−210bを有する。各組208a−208cの曲げアーム210a−210bは、相互に鏡像を形成し、これは、ある組の曲げアーム210aが、その組における曲げアーム210bと鏡像であることを意味する。従って、各組208a−208cにおける曲げアーム210a−210bは、対称であり、これは、ハブ202−204を接続するロード経路が対称であることを意味する。図2から明らかなように、各曲げアーム210a−210bは、外側ハブ202に接続され、各種「S字」曲線を有する巻線経路に従って、内側ハブ204に至る。各曲げアーム210a−210bによって誘導される経路は、通常、「ループバック」領域212を有し、ここでは、曲げアーム210a−210bは、フレクシャーベアリング200内で、実質的に方向が反転する。ここで、各曲げアーム210a−210bは、その経路の大部分、または全てに沿って、湾曲するように示されているが、これは必ずしも必要ではないことに留意する必要がある。

以下の各種フレクシャーベアリングの記載では、「軸」方向に対して参照される。「軸」方向は、フレクシャーベアリングの中心軸に沿った方向を表し、これは、フレクシャーベアリング200の中心軸に沿った方向、すなわち図2に示した図に対して垂直な方向を表す。一方、「半径（放射状の）」方向は、フレクシャーベアリング200の中心軸から、図2における外側ハブ202に向かう方向を表す。

前述のように、フレクシャーベアリング200の外側ハブ202は、サポート構造に結合され、極低温冷凍機部材または他の装置は、フレクシャーベアリング200の内側ハブ204に結合され得る。この構成では、曲げアームは、変形およびねじれが可能であるが、極低温冷凍機部材または他の装置が、フレクシャーベアリング200の中心軸に沿って軸方向に移動した際に、内側ハブ204は、実質的に（または全く）回転しない。図3に示すように、これは、ある組208a−208bにおける一つの曲げアーム201aの変形が、同じ組208a−208bにおける他の曲げアーム210bの実質的に反対方向の変形と対応するためである。換言すれば、各組208a−208b内の曲げアーム210a−210bの対称性のため、内側ハブ204は、移動に応じて回転しない。その結果、各組208a−208b内での曲げアーム210a−210bの変形は、実質的に相互にキャンセルされ、内側ハブ204には、僅かの回転しか生じず、または回転が生じなくなる。フレクシャーベアリング200の外側ハブ202が装置に結合され、フレクシャーベアリング200の内側ハブ204がサポート構造と結合される場合、同じ機構により、外側ハブ202の回転が抑制され、または最小化されることが助長されることに留意する必要がある。

また、各組208a−208cにおける曲げアーム210a−210bの構成は、フレクシャーベアリング200（あるハブ202−204は、極低温冷凍機部材または他の装置に固定される）の固有周波数が、極低温冷凍機部材または他の装置の作動周波数と連携されないように選定される。例えば、曲げアーム210a−210bの固有周波数は、約80Hzから約120Hzである。約40Hzから約60Hzの作動周波数を有する圧縮機102が使用された場合、曲げアーム210a−210bは、動的増幅に影響を受けない（あるいは極めて僅かの範囲で影響を受ける）。

フレクシャーベアリング200は、いかなる好適な材料から形成されてもよい。ある実施例では、フレクシャーベアリング200は、BOHLER-UDDEHOLM 716UHBステンレス鋼のような、ステンレス鋼またはフラッパバルブ鋼から形成され得る。また、フレクシャーベアリング200は、いかなる好適なサイズ、形状、および寸法を有してもよい。特定の例では、フレクシャーベアリング200は、約0.008インチ（約0.2032mm）、約0.01インチ（約0.254mm）、約0.022インチ（約0.5588mm）、または約0.0315インチ（約0.8mm）の厚さを有してもよい。フレクシャーベアリング200は、さらに、固体材料片の適当な形態への機械加工法、材料の適当な形態への成形法、または別個に製造された各種部材を溶接する方法、もしくは他の接続処理のような、いかなる好適な方法で形成されてもよい。

特定の実施例では、フレクシャーベアリング200は、以下の詳細を考慮して設計される。内側ハブ24の最大軸方向移動距離は、内側ハブ204の中立位置から測定した場合、約±0.3インチ（約±7.62mm）から約±0.4インチ（約±10.16mm）である。また、フレクシャーベアリング200の任意の場所に加わる最大応力は、特定の閾値未満であり、これは、例えば62キロポンド／平方インチ（ksi）である。これは、フレクシャーベアリング200の適切な作動寿命を確実化するために行われる。ただし、これらの値は、一例に過ぎず、他の値を使用してもよいことに留意する必要がある。

図4乃至図6には、本発明による非回転フレクシャーベアリング400−600の他の例を示す。これらのフレクシャーベアリング400-600の各々は、いかなる好適なシステムで使用されてもよい。例えば、これらのフレクシャーベアリング400-600の各々は、図1のシステム100におけるスタック116a−116b内に収容されたフレクシャーベアリングを表してもよい。

図4に示すように、フレクシャーベアリング400は、外側ハブ402、内側ハブ404、および開口406を有する。またフレクシャーベアリング400は、3組408a−408cの曲げアーム410a−410bを有する。図4に示した例では、3組408a−408cの曲げアームは、約120゜の間隔で、中心軸の周囲に放射状に配置される。フレクシャーベアリング200のように、曲げアーム410a−410bは、極低温冷凍機部材もしくは他の装置の回転を抑制しまたは最小化したまま、所望の位置に装置を保持することを支援する。

図4に示したフレクシャーベアリング400は、図2のフレクシャーベアリング200と同様の構造である。ただし、図4において、曲げアーム410a−410bは、図2における曲げアーム210a−210bと同程度に湾曲した経路を誘導せず、曲げアーム410a−410bは、幾分短くなる。これにより、極低温冷凍機部材または他の装置は、移動の影響を受けにくくなるが、曲げアーム410a−410bに加わる応力は、増加する（応力は、短い経路に沿って分布されるため）。

図5に示すように、フレクシャーベアリング500は、外側ハブ502、内側ハブ504、および開口506を有する。また、フレクシャーベアリング500は、3組508a−508cの曲げアーム510a−510bを有する。図5に示した例では、3組508a−508cの曲げアームは、中心軸の周りに約120゜の間隔で、放射状に配置されている。フレクシャーベアリング200および400のように、曲げアーム510a−510bは、装置の回転が抑制されまたは最小化されたまま、極低温冷凍機部材または他の装置を所望の配置に保持することを支援する。

図5において、各曲げアーム510a−510bにより誘導される経路は、十分に短く、ほとんどの各曲げアーム510a−510bは、フレクシャーベアリング500の中心軸の周囲を接線方向に移動する。各曲げアーム510a―510bの非接線方向部分は、曲げアームの「ループバック」領域512と、曲げアームをハブ502−504に接続する部分とを有する。

図6に示すように、フレクシャーベアリング600は、外側ハブ602、内側ハブ604、および開口606を有する。また、フレクシャーベアリング600は、3組608a―608cの曲げアーム610a−610bを有する。図6に示した例では、3組608a―608cの曲げアームは、中心軸の周りに約120゜の間隔で放射状に配置される。前述のフレクシャーベアリングのように、曲げアーム610a−610bは、装置の回転が抑制されまたは最小化されたまま、極低温冷凍機部材または他の装置を所望の配置に保持することを支援する。

曲げアーム610a−610bは、図5における曲げアーム510a−510bと同様であるが、曲げアーム610a−610bに存在する円および半円開口614の数が異なっている。これらの開口614は、軸剛性および固有周波数のような、フレクシャーベアリング600の各種特性を変化させる。

図4乃至図6に示した全てのフレクシャーベアリング400−600において、各組の曲げアーム中の曲げアームは、相互に鏡像となっており、従って対称である。これは、各フレクシャーベアリングの外側もしくは内側ハブ（どれがサポート構造に固定されているかに依存する）の回転を抑制しまたは最小化することを支援する。一つの曲げアームの移動は、鏡像の曲げアームの移動により、実質的に是正（緩和）されるからである。

図2乃至図6には、非回転フレクシャーベアリングの一例が示されているが、図2乃至図6に対して、各種変更がなされてもよい。例えば、曲げアームの数は、単なる一例に過ぎず、必要に応じて変更できる。特定の例では、フレクシャーベアリングのサイズに応じて、フレクシャーベアリングは、4組以上の曲げアームを有してもよい。また、曲げアームは、湾曲している必要はなく、実質的に直線の区画で構成されてもよい。

図7には、本発明による非回転フレクシャーベアリングを使用するための一方法700を示す。説明の容易化のため、方法700は、図1のシステム100に使用されるフレクシャーベアリング200について示されている。しかしながら、方法700は、いかなる他の好適なシステムにおける、いかなる他のフレクシャーベアリング（例えばフレクシャーベアリング400−600）の使用をも含み得る。

図7に示すように、ステップ702では、少なくとも一つのフレクシャーベアリングが、サポート構造、および配置の必要な装置に結合される。これは、例えば、フレクシャーベアリング200の開口206に、ボルトまたは他の接合具を挿入するステップを含んでもよい。これを行うことにより、フレクシャーベアリング200を、圧縮機102または他の極低温冷凍機部材もしくは装置に、およびハウジング112に、固定することできる。

ステップ704では、フレクシャーベアリングに結合された装置が移動する。これは、例えば、外力により、圧縮機102をフレクシャーベアリング200の中心軸に沿って軸方向に移動させるステップを含んでもよい。その結果、ステップ706において、フレクシャーベアリング内の対称な曲げアームが変形する。これは、例えば、ある曲げアームの変形により生じるハブ202−204の回転が、鏡像の曲げアームの変形により生じるハブ202−204の回転によって、実質的にキャンセルされるステップを含んでもよい。これにより、ステップ708において、移動の間、装置の回転を抑制または最小化することが支援される。ステップ710では、装置は、実質的に、その所望の停止位置に戻る。これは、例えば、いったん、移動を生じさせる外力が除去された際に、フレクシャーベアリング200によって、圧縮機102が中立位置に戻るステップを含んでもよい。

図7には、非回転フレクシャーベアリングを使用するための方法700の一例が示されているが、図7に対して各種変更がなされてもよい。例えば、ステップは、直列的に示されているが、各図において各種ステップは、重複してもよく、並列に生じてもよく、異なる順番で生じてもよく、あるいは複数回生じてもよい。

本願を通じて使用されているある用語および語句の定義を説明することは有意である。「含む」および「有する」という用語、ならびにその関連語は、限定されない含有物を意味する。「または」という用語は、および／またはの意味を含む。「関する」という語句およびその関連語は、含むこと、内部に含まれること、相互に接続されること、含有すること、内包されること、接続されること、結合されること、伝達できること、協働すること、交互配置されること、並列すること、近接されること、拘束されること、有すること、特性を有すること、または関係を有することなどを含むことを意味する。

本願では、ある実施例およびおおむね関連する方法について示したが、これらの実施例および方法の変更と置換は、当業者には明らかである。従って、前述の一実施例の記載は、本発明を定め、限定するものではない。以下の特許請求の範囲により定められるように、本発明の思想および範囲から逸脱しないで、他の変更、置換、および変更も可能である。

Claims (20)

1. サポート構造および装置に固定されるように構成された、外側ハブおよび内側ハブと、
   前記外側ハブと前記内側ハブとを接続する曲げアームの複数の組であって、各曲げアームの組は相互に鏡像を形成する対称な曲げアームを有する、複数の組と、
   を有し、
   各曲げアームは、1または2以上の円形開口を有することを特徴とする機器。
2. 前記曲げアームの組は、当該機器の中心軸の周囲に、放射状に配置される、請求項1に記載の機器。
3. 当該機器は、当該機器の前記中心軸の周囲に、約120゜の間隔を有する3組の曲げアームを有する、請求項2に記載の機器。
4. 各曲げアームは、前記外側ハブと前記内側ハブの間に、湾曲した部分を有する、請求項1に記載の機器。
5. 各組内の前記対称な曲げアームは、ある組における一つの曲げアームのねじれが、その組における別の曲げアームのねじれにより、実質的に是正されるように構成される、請求項1に記載の機器。
6. 各曲げアームは、1または2以上の「S字」カーブと、ループバック領域とを含む経路を誘導し、
   前記ループバック領域では、前記曲げアームは、当該機器内での移動の方向を実質的に反転する、請求項1に記載の機器。
7. 各曲げアームは、当該機器の中心軸の周りに、接線方向に湾曲した部分を有する、請求項1に記載の機器。
8. 各曲げアームは、さらに、1または2以上の半円形の開口を有する、請求項7に記載の機器。
9. 装置と、
   サポート構造と、
   前記装置を前記サポート構造に接続するように構成されたフレクシャーベアリングと、
   を有するシステムであって、
   前記フレクシャーベアリングは、
   前記サポート構造および前記装置に固定されるように構成された、外側ハブおよび内側ハブと、
   前記外側ハブと前記内側ハブとを接続する曲げアームの複数の組であって、各曲げアームの組は、相互に鏡像を形成する対称な曲げアームを有する、複数の組と、
   を有し、
   各曲げアームは、1または2以上の円形開口を有することを特徴とするシステム。
10. 前記フレクシャーベアリングは、前記フレクシャーベアリングの中心軸の周囲に放射状に配置された、約120゜の間隔を有する、3組の曲げアームを有する、請求項9に記載のシステム。
11. 各曲げアームは、前記外側ハブと前記内側ハブの間に、湾曲した部分を有する、請求項9に記載のシステム。
12. 各組内の前記対称な曲げアームは、ある組における一つの曲げアームのねじれが、その組における別の曲げアームのねじれにより、実質的に是正されるように構成される、請求項9に記載のシステム。
13. 各曲げアームは、1または2以上の「S字」カーブと、ループバック領域とを含む経路を誘導し、
    前記ループバック領域では、前記曲げアームは、前記フレクシャーベアリング内での移動の方向を実質的に反転する、請求項9に記載のシステム。
14. 各曲げアームは、前記フレクシャーベアリングの中心軸の周りに、接線方向に湾曲した部分を有する、請求項9に記載のシステム。
15. 各曲げアームは、さらに、1または2以上の半円形の開口を有する、請求項14に記載のシステム。
16. 前記装置は、極低温冷凍機の移動部材を有し、
    前記サポート構造は、前記極低温冷凍機のハウジングを有する、請求項9に記載のシステム。
17. フレクシャーベアリングに結合された装置を移動するステップであって、前記フレクシャーベアリングは、前記装置およびサポート構造に固定されるように構成された外側ハブおよび内側ハブを有することを特徴とするステップと、
    前記移動の結果として、前記フレクシャーベアリング内の曲げアームを変形させるステップであって、前記フレクシャーベアリングは、前記外側ハブと前記内側ハブとを接続する曲げアームの複数の組を有し、該曲げアームの各組は、相互に鏡像を形成する対称な曲げアームを有し、各曲げアームは、1または2以上の円形開口を有することを特徴とするステップと、
    前記移動の間、前記装置の回転を実質的に抑制するステップと、
    を有する、方法。
18. 各組内の前記対称な曲げアームは、ある組における一つの曲げアームのねじれが、その組における別の曲げアームのねじれにより、実質的に是正されるように構成される、請求項17に記載の方法。
19. 前記フレクシャーベアリングは、該フレクシャーベアリングの中心軸の周囲に放射状に配置された、約120゜の間隔を有する3組の曲げアームを有する、請求項17に記載の方法。
20. 各曲げアームは、前記外側ハブと前記内側ハブの間に、湾曲した部分を有する、請求項17に記載の方法。

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