KR102423657B1

KR102423657B1 - 다이어프램 벨로우즈

Info

Publication number: KR102423657B1
Application number: KR1020150109465A
Authority: KR
Inventors: 볼프강 타츠라이터
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2014-08-04
Filing date: 2015-08-03
Publication date: 2022-07-20
Also published as: CN105333220B; TW201610333A; EP2982888A1; US9958092B2; TWI676757B; KR20160016704A; SG10201505946TA; JP2016035328A; US20160033061A1; CN105333220A; JP6628998B2; EP2982888B1

Abstract

본 발명은, 연속하는 다이어프램 (1) 이 자신의 내부 에지 (2) 영역에서 그리고 자신의 외부 에지 (3) 영역에서 교대로 서로 용접되는 다이어프램 벨로우즈 (diaphragm bellows) 에 관한 것이다. 다이어프램 벨로우즈는 또한 이 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구 (11) 를 관통하는 로드 (10) 의 표면에서 또는 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브 (18) 의 표면에서의 가이드를 위한 하나 이상의 가이드부 (5) 를 더 구비한다. 이 하나 이상의 가이드부 (5) 는 판금 (metal sheet) 으로부터 형성되고, 장착 섹션 (6) 을 구비하며, 이 장착 섹션은, 외부 에지 (7) 의 영역에 있는 로드 (10) 상에서 가이드가 이루어지는 경우에는, 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램 (1) 사이에 놓여 있고, 이들 이웃하는 다이어프램 (1) 과 용접되어 있으며, 내부 에지 (19) 의 영역에 있는 튜브에서 가이드가 이루어지는 경우에는, 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램 (1) 사이에 놓여 있고, 이들 이웃하는 다이어프램 (1) 과 용접되어 있다. 장착 섹션 (6) 은 로드 (10) 의 표면에서 또는 튜브 (18) 의 표면에서의 가이드를 위한 가이드 섹션 (9) 에 연결되어 있다.

Description

다이어프램 벨로우즈{DIAPHRAGM BELLOWS}

본 발명은, 외부 에지 및 내부 에지를 갖는 복수의 다이어프램을 구비하는 다이어프램 벨로우즈에 관한 것으로서, 이 경우 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축의 방향으로 연속하는 다이어프램은 자신의 내부 에지 영역에서 그리고 자신의 외부 에지 영역에서 교대로 서로 용접되어 있으며, 이 경우 다이어프램 벨로우즈는 또한 이 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구를 관통하는 로드의 외부 표면에서의 가이드를 위한 하나 이상의 가이드부를 더 구비한다. 또한, 본 발명은 외부 에지 및 내부 에지를 갖는 복수의 다이어프램을 구비하는 다이어프램 벨로우즈와도 관련이 있으며, 이 경우 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축의 방향으로 연속하는 다이어프램은 자신의 내부 에지 영역에서 그리고 자신의 외부 에지 영역에서 교대로 서로 용접되어 있으며, 이 경우 다이어프램 벨로우즈는 또한 이 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브의 내부 표면에서 가이드 하기 위한 하나 이상의 가이드부를 더 구비한다.

다이어프램 벨로우즈는 일반적으로, 적용시에 다양한 압력 영역들을 분리시키기 위한 유연한 밀봉 요소로서 사용된다. 따라서, 다이어프램 벨로우즈는 예를 들어 진공 밸브의 진공을 실시하기 위해서 사용되며, 이 경우 다이어프램 벨로우즈는 밸브의 구동 로드를 둘러싸고, 밸브의 개방 및 폐쇄시에 진공 영역을 대기 영역으로부터 분리시킨다. 다이어프램 벨로우즈는, 운동을 진공 상태로 유도하기 위한 진공을 실시하기 위해서 적용되는 이외에, 예를 들어 열 팽창 또는 조립 공차를 수용하기 위한 보상기 (compensator) 로서도 사용될 수 있다. 또 다른 한 가지 적용 예는, 진공 시스템 내에서 예컨대 진공 펌프와 측정 장치 사이에서 진동을 해제하기 위해 적용하는 것이다.

다이어프램 벨로우즈는 자신의 외부 에지 및 내부 에지에서 교대로 서로 용접되는 다이어프램으로 이루어진다. 제조시에는, 먼저 다이어프램 쌍이 자신의 내부 에지에서 서로 용접되고, 그 후에 이 다이어프램 쌍이 상호 정렬되어 자신의 외부 에지에서 서로 용접된다. 이와 같은 다이어프램 벨로우즈에 의해서는, 축 방향으로의 그리고/또는 가로 방향으로의 그리고/또는 각 (angle) 방향으로의 스트로크 (stroke) 가 가능하다.

다이어프램 벨로우즈 이외에, 튜브가 벨로우즈 형태로 변형됨으로써 가동성에 도달하는, 웨이브 벨로우즈 (wave bellows) 도 공지되어 있다. 웨이브 벨로우즈의 특별한 형성 예는 예를 들어 US 4,650,160 A호 및 GB 2 062 132 A호에 개시되어 있다.

다이어프램 벨로우즈를 사용할 때에는 대부분 다이어프램 벨로우즈의 내부 공간과 외부 면 사이에서 압력차가 나타나며, 이 경우 다이어프램 벨로우즈의 내부에서의 압력은 다이어프램 벨로우즈의 외부에서의 압력보다 더 작거나 더 클 수 있다. (특히 다이어프램 벨로우즈의 외부에서보다 더 높은 압력이 다이어프램 벨로우즈의 내부에서 우세한 경우에 발생하는) 이와 같은 압력차로 인해 그리고/또는 중력에 의해서, 다이어프램 벨로우즈의 길이가 충분히 긴 경우에는, 다이어프램 벨로우즈의 낮은 가로 방향 강성 (lateral rigidity) 으로 인해 다이어프램 벨로우즈의 다소 강한 측면 구부러짐 (bending) 현상이 발생할 수 있다. 예를 들어, 이와 같은 상황에 의해서는, 다이어프램 벨로우즈가 다이어프램의 내부 에지의 용접 영역에서 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구를 관통하는 로드 (예컨대 진공 밸브의 구동 로드) 에 접할 수 있다. 따라서, 로드가 이동할 때에는 이 로드 상에서 다이어프램의 내부 에지의 마찰이 발생하며, 이와 같은 상황은 다이어프램의 내부 에지들 사이에서 용접 심 (weld seam) 의 마모를 야기하고, 이로써 시간이 경과함에 따라 이 용접 심 및 누출부의 강도에 부정적인 영향이 미칠 수 있다.

그렇기 때문에, 다이어프램 벨로우즈를 가이드하기 위한 가이드부는 이미 자신의 세로 연장부의 중간 영역에서 사용되었다. 서문에 언급된 유형의 다이어프램 벨로우즈는 US 2002/0175480 A1호에 개시되어 있다. 이 간행물에는, 외부로 돌출하는 돌출부를 갖는 환상의 가이드부 (= 미끄럼 링) 가 개시되어 있으며, 이 돌출부는 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램들 사이의 공간으로 돌출하고, 가이드부는 다이어프램 벨로우즈가 축 방향으로 이동되는 것을 막기 위해 형상 결합 방식으로 고정된다. 각각의 미끄럼 링이 그 사이에 고정되어 있는 2개 다이어프램의 내부 에지는 미끄럼 링의 외부 재킷 표면 (jacket surface) 상에 올려져 있다. 다이어프램 벨로우즈가 압축된 상태에서는, 이웃하는 다이어프램의 내부 에지들도 미끄럼 링의 외부 재킷 표면 위에 배치되어 있다. 이와 같은 미끄럼 링에서의 한 가지 특정한 단점은, 각각의 미끄럼 링이 그 사이에 고정되어 있는 다이어프램들이 서로 접할 수 없다는 데 있다. 그럼으로써, 다이어프램 벨로우즈의 가능한 축 방향 스트로크가 감소한다. 또한, 이와 같은 미끄럼 링은 다이어프램에 비해 상대적으로 큰 질량을 가지며, 이로써 다이어프램의 추가의 동하중 (dynamic load) 이 발생하게 된다. 수직 방향으로 설치된 상태에서는, 미끄럼 링의 질량에 의해 또한 개별 미끄럼 링 하부에서 그리고 상부에서 다이어프램 벨로우즈의 상이한 팽창이 야기되며, 이와 같은 팽창은 복수의 미끄럼 링을 사용하는 경우에 증가 되고, 마찬가지로 다이어프램 벨로우즈의 더 높은 하중을 유도한다.

CN 203 363 518 U호에 공지된 다이어프램 벨로우즈에서는, 다이어프램 벨로우즈의 2개의 섹션 사이에 단단한 지지 링이 용접되어 있다. 이 경우에는, 전술된 것과 유사한 문제점들이 발생한다.

JP 2013221596 A호는 전단기 (shear) 모양으로 형성된 가이드 부재를 구비하는 벨로우즈를 보여준다. 이 경우에는, 복잡한 구조가 사용되고 있다.

또한, 주입 가능한 주입 펌프 (infusion pump) 에서 의약품을 공급하기 위해 다이어프램 벨로우즈를 사용하는 것도 공지되어 있다. 의약품은 다이어프램 벨로우즈의 내부에 있으며, 이 다이어프램 벨로우즈는 하부 면에서는 주입 펌프의 바닥에 의해서 그리고 상부 면에서는 주입 펌프의 기판 (ground plate) 에 의해서 폐쇄되어 있다. 바닥에 작용을 하는 압력에 의해서 다이어프램 벨로우즈가 압축되고 의약품이 주입된다. 다이어프램 벨로우즈의 남아 있는 용적 및 그와 더불어 남아 있는 의약품의 양을 결정하기 위하여, 다이어프램 벨로우즈의 바닥에 코일을 포함하는 전자식 공진 회로 (electronic resonant circuit) 가 사용된다. 다이어프램 벨로우즈의 용적을 결정하기 위한 공진 회로의 민감성을 높이기 위해, EP 2 177 792 A1호에는, 의약품을 통과시키기 위한 하나 이상의 개구를 구비하는 다이어프램 벨로우즈의 추가의 중간 플레이트가 사용된다. 이 중간 플레이트를 고정시키기 위해서는 십자 모양으로 배치된 고정 암을 갖는 고정 링이 이용되며, 이들 고정 암은 중앙 연결 영역에서 서로 연결되어 있고, 이들 고정 암과 중간 플레이트가 용접되어 있다. 고정 링은 자신의 외부 에지의 영역에서 2개 다이어프램의 외부 에지들 사이에 놓여 있고, 이들 에지와 용접되어 있다. 이와 같은 장치에서는 이미 다이어프램 벨로우즈의 길이가 짧기 때문에, 다이어프램 벨로우즈의 측면 구부러짐 현상을 막기 위한 가이드가 필요치 않다.

본 발명의 과제는, 측면 구부러짐 현상이 하나 이상의 가이드부에 의해서 저지되는, 서문에 언급된 유형의 개선된 다이어프램 벨로우즈를 제공하는 것이다.

본 발명에 따라, 이와 같은 개선은 청구항 1 또는 청구항 2의 특징들을 갖는 다이어프램 벨로우즈에 의해서 이루어진다.

본 발명에 따라, 가이드부는 판금으로부터 형성된다. 본 발명의 제 1 변형예에 따라, 다이어프램 벨로우즈는 장착 섹션을 갖는 하나 이상의 가이드부를 구비하며, 이 장착 섹션은 자신의 외부 에지의 영역에서 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램들 사이에 놓여 있고, 이들 이웃하는 다이어프램과 용접되어 있다. 장착 섹션은 자신의 외부 에지로부터 출발해서 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축에 근접하고, 이웃하는 다이어프램의 내부 에지들 위로 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축의 방향으로 돌출하며, 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축에서 이들 이웃하는 다이어프램의 내부 에지들보다 더 가까이 놓여 있는, 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구를 관통하는 로드의 외부 표면에서의 가이드를 위한 가이드 섹션에 연결되어 있다.

본 발명의 제 2 변형예에 따라, 하나 이상의 가이드부의 장착 섹션은 자신의 내부 에지의 영역에서 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램들 사이에 놓여 있고, 이들 이웃하는 다이어프램과 용접되어 있다. 장착 섹션은 자신의 내부 에지로부터 출발해서 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축으로부터 멀어지고, 이웃하는 다이어프램의 외부 에지들 위로 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축으로부터 안내하는 방향으로 돌출하며, 이들 이웃하는 다이어프램의 외부 에지들보다 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축으로부터 더 멀리 떨어져서 놓여 있는, 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브의 내부 표면에서의 가이드를 위한 가이드 섹션에 연결되어 있다.

하나 이상의 가이드부를 판금으로부터 형성함으로써, 이 가이드부가 적은 질량을 가지게 되며, 그 결과 이와 같은 하나 또는 복수의 가이드부를 구비하는 다이어프램 벨로우즈의 형성에 의해서는, 하나 이상의 가이드부의 추가 질량에 의한 다이어프램 벨로우즈의 결정적으로 더 높은 하중이 발생하지 않게 된다. 또한, 다이어프램 벨로우즈의 적어도 거의 완전한 압축 가능성도 얻을 수 있다. 이와 같은 점에서, 본 발명에 따른 다이어프램 벨로우즈는 간단히 제조될 수 있다.

본 발명에 의해서는, 측면 구부러짐 현상을 막아주고 긴 수명을 갖는, 가이드부를 구비하는 다이어프램 벨로우즈가 제공될 수 있다.

가이드 섹션은 유리하게 적어도 부분적으로 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축의 방향으로 진행한다. 특히, 이 가이드 섹션은 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축을 슬리브 (sleeve) 모양으로 둘러싼다.

가이드부의 장착 섹션의 두께 (= 재료 두께) 는 바람직하게, 가이드부의 장착 섹션이 그 사이에 배치되어 있는 다이어프램들의 두께의 5배 미만이고, 특히 바람직하게는 이들 다이어프램의 두께의 3배 미만이다. 유리하게, 장착 섹션은, 이 장착 섹션이 그 사이에 놓여 있는 다이어프램들과 동일한 두께를 갖는 다이어프램 부분으로부터 형성되거나, 또는 이와 같은 2개의 서로 접하는 다이어프램 부분으로부터 형성된다.

가이드부의 가이드 섹션의 두께 (= 재료 두께) 는 바람직하게, 가이드 섹션에 연결된 장착 섹션이 그 사이에 놓여 있는 다이어프램들의 두께의 5배 미만이고, 특히 바람직하게는 이들 다이어프램의 두께의 3배 미만이다. 유리하게는, 가이드 섹션이 이들 다이어프램과 동일한 두께를 가질 수 있다.

본 발명의 한 바람직한 실시예에서, 가이드 섹션은 장착 섹션과 일체형으로 형성되어 있다. 이때, 가이드부는 바람직하게 판금부를 딥 드로잉 (deep drawing) 가공함으로써 형성될 수 있다. 장착 섹션이 2개의 서로 접하는 다이어프램 부분으로부터 형성되면, 한 가지 가능한 실시예는, 이 가이드부가 2개의 섹션을 포함하는 것을 제안하며, 이들 각각의 섹션은 장착 섹션의 층들 중 하나와 재료 일체형으로 형성되어 있다. 이때, 가이드부는 바람직하게 2개의 판금 부재를 딥 드로잉 가공함으로써 형성될 수 있으며, 이들 2개의 판금 부재는 함께 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램들 사이에 삽입되어 이들과 용접된다.

다른 가능한 한 실시예에서, 가이드 섹션은 장착 섹션과 용접될 수 있다. 이때, 장착 섹션은 튜브 형태로 형성될 수 있고, 다이어프램 부분에 의해 형성된 장착 섹션의 내부 에지와 용접될 수 있다.

가이드 섹션은 바람직하게 다이어프램의 내부 에지로부터 간격을 두고 배치되어 있으며, 이 경우 간격은 바람직하게 가이드 섹션의 두께 (= 재료 두께) 의 적어도 3배이다.

가이드 섹션의 두께 (= 재료 두께) 는 바람직하게 0.07 내지 0.6 mm의 범위 안에 있으며, 이 경우에는 0.1 내지 0.3 mm의 범위가 특히 바람직하다.

가이드부의 장착 섹션의 두께 (= 재료 두께) 는 바람직하게 0.07 내지 0.6 mm의 범위 안에 있으며, 이 경우에는 0.1 내지 0.3 mm의 범위가 특히 바람직하다.

예를 들어, 하나 이상의 가이드부는 강철로부터 형성되어 있다. 예컨대 니켈-합금 또는 티타늄과 같은 다른 금속으로부터의 형성도 가능하다.

본 출원서의 범위 안에서 "내부" 및 "외부"와 같이 언급될 때에, 이 표현들은 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축에 대한 방사 방향 위치와 관련이 있는데, 다시 말해 더 내부에 놓여 있는 부분은 더 외부에 놓여 있는 부분보다 세로 중심축으로부터 더 적은 간격을 갖는다.

본 발명의 또 다른 장점들 및 세부 사항은 이하에서 첨부 도면을 참조하여 설명된다. 도면에 대한 설명 부분에서,
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 다이어프램 벨로우즈의 한 섹션을 측면도로 보여주고,
도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 절단된 한 단면을 보여주며,
도 3은 도 2의 세부 사항 (B) 을 보여주고,
도 4 및 도 5는 다이어프램 벨로우즈의 다이어프램을 사시도로 그리고 비스듬하게 바라보고 도시한 도면으로 보여주며,
도 6은 다이어프램의 측면도를 보여주고,
도 7은 다이어프램 벨로우즈의 가이드부를 사시도로 보여주며,
도 8은 도 7의 선 CC를 따라 절단된 한 단면을 보여주고,
도 9 및 도 10은 다양한 관찰 방향으로부터 가이드부를 비스듬하게 바라보고 도시한 도면들을 보여주며,
도 11은 양측에 일체로 설치된 접속 부재를 구비하는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 다이어프램 벨로우즈 그리고 이 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구를 포함하는 장치를 보여주고,
도 12는 도 11의 선 DD를 따라 절단된 한 단면을 보여주며,
도 13은 도 12의 세부 사항 (E) 을 보여주고,
도 14는 다이어프램 벨로우즈를 제조할 때의 중단 단계에 상응하는, 내부 에지에 용접된 2개의 다이어프램 쌍 및 그 사이에 배치된 가이드부의 측면도를 보여주며,
도 15는 도 14의 선 FF를 따라 절단된 한 단면을 보여주고,
도 16은 도 14의 부분들을 비스듬하게 바라보고 도시한 도면으로 보여주며,
도 17은 본 발명의 제 2 실시예를 위한, 도 2와 유사한 한 단면을 보여주고,
도 18은 도 17의 세부 사항 (G) 을 보여주며,
도 19는 본 발명의 제 2 실시예에 상응하는 가이드부의 도 8과 유사한 한 단면을 보여주고,
도 20은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 다이어프램 벨로우즈의 가이드부의 측면도를 보여주며,
도 21은 도 20의 선 HH를 따라 절단된 한 단면을 보여주고,
도 22 및 도 23은 다양한 관찰 방향으로부터 가이드부를 비스듬하게 바라보고 도시한 도면들을 보여주며,
도 24는 양측에 일체로 설치된 접속 부재 및 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브를 구비하는, 본 발명의 제4 실시예에 따른 다이어프램 벨로우즈를 포함하는 장치를 보여주고,
도 25는 도 24의 선 II를 따라 절단된 한 단면을 보여주며, 그리고
도 26은 도 25의 확대된 세부 사항 (J) 을 보여준다.

도면들은 다양한 축척을 갖는다. 다양한 실시예에서 서로 상응하거나 유사한 부분들은 동일한 도면 부호들로 표기되어 있다.

도 1 내지 도 10에는, 제 1 실시예에 따른 본 발명에 따른 다이어프램 벨로우즈의 세로 연장부의 한 섹션이 도시되어 있다. 다이어프램 벨로우즈는 복수의 다이어프램 (1) 을 포함하며, 이들 다이어프램은 다이어프램 디스크 또는 환상 다이어프램으로서도 명명될 수 있다. 개별 다이어프램은 내부 에지 (2) 및 외부 에지 (3) 를 갖는다. 다이어프램의 내부 및 외부 에지 (2, 3) 는 원 형태를 갖는다. 도시된 실시예에서는, 바람직한 바와 같이, 모든 다이어프램의 내부 에지가 동일한 반경을 갖고, 외부 에지는 내부 에지에 비해 큰 동일한 반경을 갖는다. 다이어프램들은 특히 회전 대칭으로 형성되어 있다.

유리하게는, 공지된 바와 같이, 외부 힘의 작용 없이 다이어프램 (1) 이 물결 모양으로 그리고 약간 원추형으로 형성되어 있다. 본 실시예에서 다이어프램 (1) 은 모두 동일하게 형성되어 있다.

다이어프램 (1) 은 바람직하게 0.07 내지 0.3 mm, 바람직하게 0.09 내지 0.2 mm의 범위 안에 놓여 있는 두께를 갖는 판금으로 이루어진다.

예를 들어, 다이어프램 (1) 은 강철 판으로 이루어진다. 예컨대 니켈 합금 또는 티타늄과 같은 다른 금속으로부터 형성하는 것도 가능하다.

다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 의 방향으로 연속하는 다이어프램 (1) 은 자신의 내부 에지 (2) 및 외부 에지 (3) 에서 교대로 서로 용접되어 있으며, 이로써 아코디언 (accordion) 형태의 형상이 나타난다.

다이어프램 벨로우즈의 형성은 지금까지 기술된 정도로 공지되어 있다.

다이어프램 벨로우즈는, 도 1 내지 도 3에 도시된 다이어프램 벨로우즈의 세로 연장부의 섹션 내에 가이드부 (5) 를 더 구비한다. 이 가이드부도 마찬가지로 판금으로부터 형성된다. 판금의 두께 (= 재료 두께) 는 다이어프램 (1) 의 두께에 상응한다. 그에 비해 상이한 두께를 갖는, 예를 들어 더 큰 두께를 갖는 판금도 사용될 수 있으며, 이 경우 두께는 바람직하게 다이어프램 (1) 의 판금 두께의 3배 미만이고, 특히 바람직하게는 2배 미만이다.

가이드부 (5) 는 장착 섹션 (6) 을 포함한다. 이 장착 섹션은 자신의 외부 에지의 영역에서 이웃하는, 다시 말해 세로 중심축 (4) 의 방향으로 연속하는, 다이어프램 벨로우즈의 다이어프램 (1) 의 외부 에지 영역들 사이에 놓여 있다. 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램 (1) 의 서로 접하는 외부 에지 (3) 들 및 장착 섹션 (6) 의 서로 접하는 외부 에지 (3) 들은 서로 용접되어 있다. 용접부는, 자신의 외부 에지 (3) 에서 서로 용접된 다이어프램 벨로우즈의 나머지 이웃하는 다이어프램 (1) 의 용접부와 유사한 방식으로 형성될 수 있다.

가이드부 (5) 의 외부 에지도 될 수 있는 장착 섹션 (6) 의 외부 에지 (7) 로부터 출발해서, 장착 섹션 (6) 은 가이드부 (5) 의 가이드 면 (8) 방향으로 점차 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 에 근접하고, 이 경우에는 가이드부 (5) 에 이웃하는 다이어프램 (1) 의 (그리고 본 실시예에서는 또한 다이어프램 벨로우즈의 나머지 모든 다이어프램 (1) 의) 내부 에지 (2) 위로 세로 중심축 (4) 의 방향으로 돌출한다.

가이드 면 (8) 은 가이드부 (5) 의 중앙 개구를 둘러싼다. 가이드부 (5) 의 중앙 개구는, 가이드부 (5) 의 장착 섹션 (6) 의 양측에 놓여 있는 다이어프램 (1) 의 중앙 개구들의 직경의 적어도 80%에 해당하는 직경을 갖는다.

다이어프램 벨로우즈를 세로로 절단한 중심 단면상으로 볼 때 (특히 도 2 및 도 3 참조), 장착 섹션 (6) 은, 이 장착 섹션을 (방사 방향을 기준으로) 다이어프램 벨로우즈의 연속하는 다이어프램 (1) 사이에 놓이게끔 하는 상기 장착 섹션 (6) 의 방사 방향 연장부의 영역에서, 다이어프램 벨로우즈가 완전히 압축된 상태에서 다이어프램 (1) 과 이들 다이어프램 사이에 있는 장착 섹션 (6) 이 평탄하게 서로 접하도록, 다이어프램 (1) 에 부합하는 윤곽을 갖는다.

본 실시예에서, 장착 섹션 (6) 은 세로 중심 단면상으로 볼 때 (특히 도 2, 도 3 및 도 8 참조) 물결 (wave) 모양으로 진행하며, 이 경우 물결의 길이 및 높이는 다이어프램 (1) 의 물결의 길이 및 높이에 상응한다.

장착 섹션 (6) 은, (이웃하는) 다이어프램 (1) 의 내부 에지 위로 세로 중심축 (4) 의 방향으로 돌출하는 자신의 영역에서 가이드부 (5) 의 가이드 섹션 (9) 에 연결되어 있다. 이로써, 가이드 섹션 (9) 은 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2) 보다 더 작은, 세로 중심축 (4) 으로부터의 거리를 갖게 된다. 가이드 섹션 (9) 은 다이어프램 벨로우즈를 로드 (10) 상에서의 가이드를 위해 이용되며, 이와 관련해서는 더 아래에서 더 정확하게 기술될 도 11 내지 도 13이 참조된다.

세로 중심축 (4) 쪽을 향하고 있고, 로드 (10) 에 대해 다이어프램 벨로우즈를 가이드하기 위한 가이드부 (5) 의 가이드 면 (8) 을 형성하는 가이드 섹션 (9) 의 내부 표면은 본 실시예에서 원통형이다. 다시 말해, 본 실시예에서 가이드부 (5) 는 실린더 재킷 (cylinder jacket) 모양으로 형성되어 있다.

그러나 실린더 재킷 모양과 다른 형성도 생각할 수 있고 또한 가능하다. 따라서, 가이드 섹션 (9) 은 예를 들어 세로 중심 단면상으로 볼 때 물결 모양으로 형성될 수 있다. 또한, 가이드 섹션이 원칙적으로는 원주 방향으로 세로 중심축 (4) 둘레에 간격을 두고 배치된 섹션들을 구비할 수 있음으로써, 결과적으로 이 가이드 섹션은 폐쇄된 슬리브를 형성하지 않게 된다. 그러나 가이드부 (5) 를 회전 대칭으로 형성하는 것도 바람직하다.

가이드 섹션 (9) 은 세로 중심축 (4) 의 방향을 기준으로 유리하게는 적어도 0.5 cm의 길이에 걸쳐서 연장된다.

세로 중심 단면상으로 볼 때, 본 실시예의 가이드부 (5) 는 실질적으로 L자 모양의 윤곽을 갖는다 (이때 "실질적으로 L자 모양의"라는 표현이 의미하는 바는, 장착 섹션 (6) 의 물결 및 - 상황에 따라 물결 모양으로도 형성되는 - 가이드 섹션 (9) 과 장착 섹션 (6) 의 연결부도 만곡 (curvature) 을 통해서 존재한다는 것이다) .

가이드 섹션 (9) 은, 세로 중심축 (4) 의 세로 연장부의 동일 영역에 놓여 있는 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2) 로부터, 바람직하게는 가이드 섹션 (9) 의 판금 두께의 5배 이상의 값에 해당하는 거리를 갖는다.

본 발명의 실시예에서, 장착 섹션 (6) 과 가이드 섹션 (9) 간의 연결은 재료 일체형의 형성을 통해서 이루어진다. 이때, 가이드부 (5) 는 전체적으로 재료 일체형으로 형성되어 있다. 원칙적으로, 장착 섹션 (6) 및 가이드 섹션 (9) 은 또한 서로 재료 결합 방식으로 연결된 부분들에 의해서도 형성될 수 있으며, 이와 관련해서는 더 아래에서 기술될 제 3 실시예도 참조된다.

장착 섹션 (6) 을 관통하는 중심 평면은, 이 평면으로부터 떨어진 장착 섹션 (6) 의 점들의 거리 제곱의 면적분 (surface integral) 이 최솟값을 취하는 평면이 되도록 규정될 수 있다. 이와 같은 장착 섹션 (6) 의 중심 평면은 바람직하게 세로 중심축 (4) 과 적어도 70°의 각, 바람직하게는 90°의 각을 형성한다.

세로 중심 단면상으로 볼 때 가이드부의 외부 에지에 놓여 있는 이 가이드부의 단부로부터 출발해서 가이드부의 내부 단부의 방향으로 (또는, 다른 한 실시예에서는, 내부 단부들 중 한 단부의 방향으로) 사람이 움직이면, 장착 섹션 (6) 에서 설정된 접선 (tangent) 과 세로 중심축 (4) 사이의 각이 45°보다 더 작아지는 장소에서 장착 섹션 (6) 의 내부 단부가 규정될 수 있다. 가이드 섹션 (9) 의 시작은, 가이드부 (5) 에 설정된 접선이 처음으로 세로 중심축 (4) 에 대하여 평행하게 놓이는 장소에서 이루어질 수 있다. 따라서, 장착 섹션 (6) 의 내부 단부와 가이드 섹션 (9) 의 시작점 사이에는 짧고 휘어진 전이 섹션 (transition section) 이 존재하게 될 것이다.

다이어프램 벨로우즈는 다수의 적용 예에서 도 1 및 도 2에 도시된 것보다 더 길게 형성될 것이다. 이 경우, 나머지 다이어프램 (1) 의 형성 및 연결은 도시된 섹션에서와 동일할 수 있다. 다이어프램 벨로우즈의 길이에 따라, 유리하게는 또 다른 가이드 부 (5) 들이 존재할 수 있다. 이때, 축 방향으로 연속하는 가이드부 (5) 들은, 다이어프램 벨로우즈가 완전히 압축된 상태에서도 이들 가이드부가 여전히 세로 중심축 (4) 의 축 방향으로 상호 간격을 두고 떨어져 있도록 배치되어 있다.

다이어프램 벨로우즈의 축 방향 양 단부에 놓여 있는 다이어프램 (1) 에는, 단부 부재가 특히 표준화된 플랜지의 형태로 용접될 수 있다.

도 11 내지 도 13은, 진공을 실시하기 위해서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 다이어프램 벨로우즈를 적용한 예를 보여준다. 로드 (10) 는 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구 (11) 를 관통한다. 한 단부에서, 로드 (10) 에는 접속 부재 (12) 가 설치되어 있으며, 이 접속 부재는 다이어프램 벨로우즈의 단부 측 다이어프램 (1) 의 외부 에지 (3) 와 용접되어 있다. 로드 (10) 는 또 다른 접속 부재 (14) 의 통로 개구 (13) 를 통해서 자신의 다른 단부의 방향으로 돌출한다. 다른 단부 측 다이어프램 (1) 의 외부 에지 (3) 는 접속 부재 (14) 와 용접되어 있다. 접속 부재 (14) 로서는, 예를 들어 진공 장치의 다른 부분, 예컨대 진공 밸브에 진공 밀봉 방식으로 연결될 수 있는 플랜지가 사용될 수 있다. 다이어프램 벨로우즈를 구비하는 유닛의 간단한 교체가 요구되지 않는 경우에는, 이 단부 측 다이어프램 (1) 이 진공 장치의 상응하는 부분과 직접 용접될 수도 있다. 접속 부재 (12) 는 생략될 수도 있고, 마지막 다이어프램 (1) 이 제공될 수 있으며, 이 마지막 다이어프램은, 이웃하는 다이어프램과 용접된 외부 에지를 구비하고, 다른 다이어프램들의 내부 에지 위로 세로 중심축 (4) 의 방향으로 돌출하여 로드 (10) 에 직접 용접된 내부 에지를 구비한다.

도 12로부터 알 수 있는 사실은, 본 실시예에 도시된 다이어프램 벨로우즈가 2개의 가이드부 (5) 를 구비한다는 것이다. 개별 가이드부 (5) 의 가이드 섹션 (9) 은, 미끄럼 가이드부를 형성하기 위한 간격 (clearance) 을 두고서 로드 (10) 를 둘러싼다. 바람직하게, 이 간격은 0.02 내지 1 mm의 범위 안에, 특히 바람직하게는 0.02 내지 0.2 mm의 범위 안에 있다.

다이어프램 벨로우즈를 제조하기 위하여, 공지된 방식에 따라 먼저 다이어프램 벨로우즈의 내부 에지 (2) 에서 서로 용접된 다이어프램 (1) 쌍이 형성된다. 도 14 내지 도 16에는 이와 같은 2개의 쌍이 도시되어 있다. 가이드부 (5) 로부터 떨어져 있는 영역에서는, 이와 같이 형성된 쌍들이 공지된 방식으로 상호 정렬되고, 가이드부의 외부 에지 (7) 에서 서로 용접된다. 가이드부 (5) 가 다이어프램 벨로우즈 내에서 배치되어야만 하는 장소에서는, 이 가이드부가 이와 같은 2개의 다이어프램 쌍 사이로 끼워지며, 이와 관련해서는 도 14 내지 도 16이 참조된다. 그 후에, 가이드부 (5) 의 외부 에지들 및 가이드부 (5) 에 이웃하는 다이어프램 (1) 의 외부 에지들이 상호 접하여 서로 용접된다.

본 발명의 제 2 실시예는 도 17 내지 도 19에 도시되어 있다. 제 2 실시예에 따른 다이어프램 벨로우즈는 이하에서 기술될 차이점들을 제외하고는 제 1 실시예의 다이어프램 벨로우즈에 상응한다.

본 실시예에서, 가이드부 (5) 는 2개 부분으로 형성되어 있다. 제 1 단일 부분의 형성은 제 1 실시예의 가이드부의 형성에 상응한다. 제 2 단일 부분은 장착 섹션 (6) 의 영역에서는 제 1 단일 부분과 동일하게 형성되어 있다. 그러나 제 2 단일 부분으로부터 형성된 가이드 섹션의 부분은, 제 1 단일 부분으로부터 형성된 가이드 섹션의 부분과 반대의 축 방향으로 연장된다. 2개의 단일 부분이 서로 접함으로써, 결과적으로 이들 단일 부분은 장착 섹션 (6) 의 영역에서 서로 평탄하게 접하게 되고, 함께 가이드부 (9) 의 장착 섹션 (6) 을 형성하게 된다. 이때, 이 영역에서 이들 단일 부분은 서로 용접될 수 있다. 이와 같이 형성된 가이드부 (5) 는 제 1 실시예에서 기술된 것과 유사한 방식으로, 2개의 다이어프램 (1) 사이로 삽입되고, 다이어프램 (1) 및 가이드부 (5) 의 외부 에지 (3, 7) 는 서로 용접된다.

제 3 실시예는 이하에서 도 20 내지 도 23을 참조하여 설명된다. 이하에서 기술될 차이점들을 제외하고, 제 3 실시예의 형성은 제 2 실시예의 형성에 상응한다.

차이점은 재차 가이드부 (5) 의 형성에서 나타난다. 이 경우에, 장착 섹션 (6) 및 가이드 섹션 (9) 은 서로 용접된 별도의 부분들로부터 형성된다. 장착 섹션 (6) 은 윤곽에 있어서 실질적으로 제 1 실시예의 가이드부의 장착 섹션에 상응하고, 자신의 내부 에지에서 가이드 섹션 (9) 과 용접되어 있으며, 본 실시예에서 가이드 섹션은 슬리브 모양으로 형성된 부분으로부터 형성되고, 이 부분은 "벽이 얇은 튜브 부재"로서도 명명될 수 있다. 도 21에 도시되어 있는 용접부 (15) 는 유리하게 상기 슬리브 모양 부분의 축 방향 중심 영역에서 형성된다.

도 24 내지 도 26은, 본 발명의 제4 실시예에 따른 다이어프램 벨로우즈를 구비하는 장치를 보여준다. 또한, 다이어프램 벨로우즈의 양 단부에서 용접된 접속 부재 (12, 14) 및 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브 (18) 도 도시되어 있으며, 이 튜브를 통해서는 다이어프램 벨로우즈의 측면 구부러짐 현상을 방지하기 위한 다이어프램 벨로우즈의 가이드가 이루어진다.

이하에서 기술될 차이점들을 제외하고, 다이어프램 벨로우즈의 형성은 제 1 실시예의 형성에 상응한다.

본 실시예에서, 개별 가이드부 (5) 의 가이드 섹션 (9) 은 다이어프램 벨로우즈의 외부 면에 놓여 있고, 이 가이드 섹션의 외부 면은 가이드부 (5) 를 둘러싸는 튜브 (18) 의 내벽과 상호 작용하는 이 가이드부 (5) 의 가이드 면 (8) 을 형성한다. 가이드 섹션 (9) 은 장착 섹션 (6) 에 연결되어 있다. 동시에 가이드부 (5) 의 내부 에지를 형성하는 장착 섹션 (6) 의 내부 에지 (19) 는, 가이드부 (5) 에 이웃하는 2개 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2) 들 사이에 놓여 있고, 이 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2, 19) 와 그 사이에 놓여 있는 가이드부 (5) 는 서로 용접되어 있다. 다시 말해, 장착 섹션 (6) 은, 이 장착 섹션이 이웃하는 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2) 와 용접되어 있는 자신의 내부 에지 (19) 로부터 출발하여, 가이드부 (5) 의 가이드 면 (20) 의 방향으로 세로 중심축 (4) 으로부터 멀어지고, 이웃하는 다이어프램 (1) 의 외부 에지 (3) 위로 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 으로부터 멀어지는 방향으로 돌출한다. 이 경우에, 장착 섹션 (6) 은 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 으로부터 다이어프램 (1) 의 외부 에지 (3) 보다 더 멀리 떨어져 있는 가이드 섹션 (9) 에 연결되어 있다.

튜브 (18) 는, 개별 가이드 섹션 (9) 과 튜브 (18) 사이에서 미끄럼 가이드부를 형성하기 위한 간격을 각각 두고서 가이드부 (5) 의 가이드 섹션 (9) 을 둘러싼다. 바람직하게, 이 간격은 0.02 mm 내지 1 mm의 범위 안에, 특히 바람직하게는 0.02 mm 내지 0.2 mm의 범위 안에 있다.

다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브 (18) 의 내부 표면에서 가이드가 이루어지는 이와 같은 본 발명의 변형 실시예에서도, 예를 들어 제 2 및 제 3 실시예에 상응하는 전술된 변형예들과 유사한 가이드부 (5) 의 상이한 변형을 생각할 수 있고, 이와 같은 변형이 가능하다.

튜브 (18) 가 도 24 내지 도 26에 도시된 실시예에서는 접속 부재 (14) 에 설치되어 있지만, 다른 방식으로도 고정될 수 있다.

도 24 내지 도 26에 도시된 실시예는 재차, 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구 (11) 를 관통하는 로드 (10) 의 운동을 진공 영역 내부로 전달하기 위한 진공 실시부로서 이용된다. 이때, 로드 (10) 는 접속 부재 (12) 에 연결되어 있으나, 이 경우 접속 부재 (12) 는 재차 생략될 수 있고, 다이어프램 벨로우즈는 직접 로드 (10) 에 용접될 수 있다.

다른 실시예들에서는, 로드 (10) 도 생략될 수 있고, 통로 개구 (11) 는 예를 들어 물체를 통과시키기 위한 2개 진공 챔버 사이의 연결부로서 제공될 수 있다. 이 경우, 튜브 (18) 에서 이루어지는 가이드에 의해서는, 다이어프램 벨로우즈가 아래로 구부러지는 현상이 방지된다.

1: 다이어프램
2: 내부 에지
3: 외부 에지
4: 세로 중심축
5: 가이드부
6: 장착 섹션
7: 외부 에지
8: 가이드 면
9: 가이드 섹션
10: 로드
11: 통로 개구
12: 접속 부재
13: 통로 개구
14: 접속 부재
15: 용접부
18: 튜브
19: 내부 에지
20: 가이드 면

Claims

외부 에지 (3) 및 내부 에지 (2) 를 갖는 복수의 다이어프램 (1) 을 구비하는 다이어프램 벨로우즈 (diaphram bellows) 로서,
상기 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 의 방향으로 연속하는 다이어프램 (1) 이 자신의 내부 에지 (2) 영역에서 그리고 자신의 외부 에지 (3) 영역에서 교대로 서로 용접되며,
상기 다이어프램 벨로우즈가 상기 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구 (11) 를 관통하는 로드 (10) 의 외부 표면에서의 가이드를 위한 하나 이상의 가이드부 (5) 를 더 구비하고,
상기 하나 이상의 가이드부 (5) 가 판금으로부터 형성되고, 장착 섹션 (6) 을 구비하며, 상기 장착 섹션은, 외부 에지 (7) 의 영역에서 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램 (1) 사이에 놓여 있고, 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 과 용접되어 있으며, 자신의 외부 에지 (7) 로부터 출발해서 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 에 근접하고, 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2) 위로 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 의 방향으로 돌출하며, 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 에서 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2) 보다 더 가까이 놓여 있는, 상기 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구 (11) 를 관통하는 로드 (10) 의 외부 표면에서의 미끄럼 가이드를 위한 가이드 섹션 (9) 에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
외부 에지 (3) 및 내부 에지 (2) 를 갖는 복수의 다이어프램 (1) 을 구비하는 다이어프램 벨로우즈로서,
상기 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 의 방향으로 연속하는 다이어프램 (1) 이 자신의 내부 에지 (2) 영역에서 그리고 자신의 외부 에지 (3) 영역에서 교대로 서로 용접되며, 상기 다이어프램 벨로우즈가 또한 상기 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브 (18) 의 내부 표면에서의 가이드를 위한 하나 이상의 가이드부 (5) 를 더 구비하고,
상기 하나 이상의 가이드부 (5) 가 판금으로부터 형성되고, 장착 섹션 (6) 을 구비하며, 상기 장착 섹션은, 내부 에지 (19) 의 영역에서 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램 (1) 사이에 놓여 있고, 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 과 용접되어 있으며, 자신의 내부 에지 (19) 로부터 출발해서 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 으로부터 멀어지고, 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 의 외부 에지 (3) 위로 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 으로부터 안내하는 방향으로 돌출하며, 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 으로부터 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 의 외부 에지 (3) 보다 더 멀리 떨어져 있는, 상기 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브 (18) 의 내부 표면에서의 미끄럼 가이드를 위한 가이드 섹션 (9) 에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 가이드 섹션 (9) 이 세로 중심축 (4) 을 슬리브 모양으로 둘러싸는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 가이드부 (5) 의 상기 장착 섹션 (6) 의 두께는, 상기 가이드부 (5) 의 상기 장착 섹션 (6) 이 그 사이에 배치되어 있는 다이어프램 (1) 의 두께의 5배 미만인 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 4 항에 있어서,
상기 가이드부 (5) 의 상기 장착 섹션 (6) 의 두께는, 상기 가이드부 (5) 의 상기 장착 섹션 (6) 이 그 사이에 배치되어 있는 다이어프램 (1) 의 두께의 3배 미만인 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 가이드부 (5) 의 상기 가이드 섹션 (9) 의 두께는, 상기 가이드 섹션 (9) 에 연결된 상기 가이드부 (5) 의 상기 장착 섹션 (6) 이 그 사이에 배치된 다이어프램 (1) 의 두께의 5배 미만인 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 6 항에 있어서,
상기 가이드부 (5) 의 상기 가이드 섹션 (9) 의 두께는, 상기 가이드 섹션 (9) 에 연결된 상기 가이드부 (5) 의 상기 장착 섹션 (6) 이 그 사이에 배치된 다이어프램 (1) 의 두께의 3배 미만인 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 가이드 섹션 (9) 이 상기 장착 섹션 (6) 또는 상기 장착 섹션 (6) 의 하나 이상의 단일 부분과 재료 일체형으로 형성되거나, 상기 장착 섹션 (6) 에 재료 결합 방식으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 다이어프램 벨로우즈가 완전히 압축된 상태에서는, 상기 가이드부 (5) 의 상기 장착 섹션 (6) 의 양측에 놓여 있는 다이어프램 (1) 과 상기 장착 섹션 (6) 이 서로 평탄하게 접하는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 가이드부 (5) 의 상기 가이드 섹션 (9) 이 중앙 개구를 구비하며, 상기 중앙 개구의 직경은, 상기 가이드부 (5) 의 상기 장착 섹션 (6) 의 양측에 놓여 있는 다이어프램 (1) 의 중앙 개구들의 직경의 적어도 80%에 해당하는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 다이어프램 벨로우즈가 2개 이상의 가이드부 (5) 를 구비하는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
제 11 항에 있어서,
상기 다이어프램 벨로우즈가 완전히 압축된 상태에서도, 상기 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 의 축 방향으로 연속하는 가이드부 (5) 는 상기 세로 중심축 (4) 의 축 방향으로 상호 간격을 두고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈.
내부 통로 개구 (11), 및 다이어프램 벨로우즈의 상기 내부 통로 개구 (11) 를 관통하는 로드 (10) 를 구비하는 다이어프램 벨로우즈를 포함하는 장치로서,
상기 다이어프램 벨로우즈가 외부 에지 (3) 및 내부 에지 (2) 를 갖는 복수의 다이어프램 (1) 을 구비하며,
상기 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 의 방향으로 연속하는 다이어프램 (1) 이 자신의 내부 에지 (2) 영역에서 그리고 자신의 외부 에지 (3) 영역에서 교대로 서로 용접되며, 상기 다이어프램 벨로우즈가 또한 상기 다이어프램 벨로우즈의 내부 통로 개구 (11) 를 관통하는 로드 (10) 의 외부 표면에서의 가이드를 위한 하나 이상의 가이드부 (5) 를 더 구비하고,
상기 하나 이상의 가이드부 (5) 가 판금으로부터 형성되고, 장착 섹션 (6) 을 구비하며, 상기 장착 섹션은 외부 에지 (7) 의 영역에서 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램 (1) 사이에 놓여 있고, 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 과 용접되어 있으며, 자신의 외부 에지 (7) 로부터 출발해서 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 에 근접하고, 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2) 위로 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 의 방향으로 돌출하며, 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 에서 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 의 내부 에지 (2) 보다 더 가까이 놓여 있는, 상기 로드 (10) 의 외부 표면에서의 미끄럼 가이드를 위한 가이드 섹션 (9) 에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈를 포함하는 장치.
제 13 항에 있어서,
상기 로드 (10) 에 대한 상기 가이드 섹션 (9) 의 미끄럼 가이드부를 형성하기 위하여, 상기 하나 이상의 가이드부 (5) 의 상기 가이드 섹션 (9) 이 0.02 mm 내지 1 mm의 범위 안에 있는 간격을 두고서 상기 로드 (10) 를 둘러싸는 것을 특징으로 하는, 다이어프램 벨로우즈를 포함하는 장치.
다이어프램 벨로우즈, 및 상기 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸고 내부 표면을 갖는 튜브 (18) 를 포함하는 장치로서,
상기 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 의 방향으로 연속하는 다이어프램 (1) 이 자신의 내부 에지 (2) 영역에서 그리고 자신의 외부 에지 (3) 영역에서 교대로 서로 용접되며, 상기 다이어프램 벨로우즈가 또한 상기 다이어프램 벨로우즈를 둘러싸는 튜브 (18) 의 내부 표면에서의 가이드를 위한 하나 이상의 가이드부 (5) 를 더 구비하고,
상기 하나 이상의 가이드부 (5) 가 판금으로부터 형성되고, 장착 섹션 (6) 을 구비하며, 상기 장착 섹션은, 내부 에지 (19) 의 영역에서 다이어프램 벨로우즈의 이웃하는 다이어프램 (1) 사이에 놓여 있고, 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 과 용접되어 있으며, 자신의 내부 에지 (19) 로부터 출발해서 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 으로부터 멀어지고, 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 의 외부 에지 (3) 위로 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 으로부터 안내하는 방향으로 돌출하며, 다이어프램 벨로우즈의 세로 중심축 (4) 으로부터 상기 이웃하는 다이어프램 (1) 의 외부 에지 (3) 보다 더 멀리 떨어져 있는, 상기 튜브 (18) 의 내부 표면에서의 미끄럼 가이드를 위한 가이드 섹션 (9) 에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 장치.
제 15 항에 있어서,
상기 튜브 (18) 에 대한 상기 가이드 섹션 (9) 의 미끄럼 가이드부를 형성하기 위하여, 상기 튜브 (18) 는 0.02 mm 내지 1 mm의 범위 안에 있는 간격을 두고서 상기 하나 이상의 가이드부 (5) 의 상기 가이드 섹션 (9) 을 둘러싸는 것을 특징으로 하는, 장치.